CN112774933B - 一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及自动硅片匀胶用涂抹装置技术领域，且公开了一种自动硅片匀胶用涂抹装置机使用方法，包括两个升降装置，位于左侧的所述升降装置的右侧固定连接有晶片涂胶驱动装置，所述晶片涂胶驱动装置的右侧固定连接有烘干装置，所述烘干装置的右侧与右侧的升降装置固定连接。本发明通过对传送装置的改进，在传送时，第四正反转电机带动第三丝杆转动，第三丝杆使得两个第三滚珠套上的安装条朝相对一侧移动后，这样，安装条移动至适当的位置时，第三正反转电机启动，此时两个传送轮带动传动带转动，当硅片落在两个传动带上时，能够被传送，当到达指定的位置上，第四正反转电机启动，使得两个第三滚珠套朝向相背方向移动，这时能够将硅片放下。

Description

一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法

技术领域

本发明涉及自动硅片匀胶用涂抹装置技术领域，具体为一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法。

背景技术

随着半导体行业的生产和技术发展,对生产设备的自动化要求越来越高。硅片的涂胶处理是半导体行业必不可少的环节。以往硅片的涂胶多是靠人工手动完成，工作效率低，且难以保证最终的胶膜厚度和均匀程度。近年来，随着技术人员的不断研究，自动涂胶机在半导体行业得到了广泛应用，目前，半导体行业中硅片的涂胶处理一般采用的设备工艺流程为经手动放置片篮、自动送片至上料工位、硅片搬运至涂胶工位涂胶、硅片搬运至烘干工位烘干、硅片搬运至下料工位等。

现有的装置在对硅片涂胶时，连续性差，而且需要人工参与，效率不高，并且在涂胶时，机械化操作很容易造成硅片涂抹不均匀，而且胶水外露造成加工车间环境变差。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法，解决了背景技术提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种自动硅片匀胶用涂抹装置，包括两个升降装置，位于左侧的所述升降装置的右侧固定连接有晶片涂胶驱动装置，所述晶片涂胶驱动装置的右侧固定连接有烘干装置，所述烘干装置的右侧与右侧的升降装置固定连接，所述晶片涂胶驱动装置的顶部固定连接有上胶装置，所述晶片涂胶驱动装置和所述烘干装置的顶部设置有传送装置.

优选的，所述升降装置包括升降框架，所述升降框架的内腔竖直设置有第一丝杆，所述升降框架的顶部固定连接有第一正反转电机，所述第一正反转电机的输出端与所述第一丝杆的顶端固定连接，所述第一丝杆上套接有第一滚珠套，两个所述第一滚珠套相对一侧连接放置台，所述放置台的顶部固定连接有框型放置架，所述框型放置架内从上至下一侧设置有多个第一放置座，所述第一放置座内腔固定连接有吸附板，所述框型放置架的外侧固定连接有第二正反转电机，所述第二正反转电机的输出端固定连接有第二丝杆，所述第二丝杆上套接有第二滚珠套，所述第二滚珠套的一侧与所述第一放置座的一侧固定连接。

优选的，所述框型放置架位于第二正反转电机的一侧开设有通口，所述通口的两侧内腔均套接有活动板，所述活动板的底部通过弹性条与所述通口内壁底部弹性连接，所述第二滚珠套的顶部开设有斜槽，所述通口内壁的顶部靠近所述第二正反转电机处固定连接有限位块。

优选的，所述晶片涂胶驱动装置包括有圆形隔离室和固定台，所述圆形隔离室内套接有第二放置座，所述第二放置座的底部固定连接有固定杆，所述固定杆的底端固定连接有第一电动推杆，所述固定台内设置有抽吸泵，所述第二放置座的顶部设置有吸盘，所述抽吸泵通过吸管与所述吸盘连通。

优选的，所述上胶装置包括支撑架，所述支撑架上固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的自由端固定连接有密封板，所述密封板上穿插有喷涂头，所述密封板上设置有抽真空装置。

优选的，所述烘干装置的顶部镶嵌有烘干台，所述烘干台顶部设置有烘干器，所述烘干台顶部左右两侧均镶嵌有第三电动推杆，两个所述第三电动推杆的自由端固定连接有接料框。

优选的，所述传送装置包括活动环，所述活动环内套接有第三丝杆，所述第三丝杆上套接有两个第三滚珠套，横向两个所述第三滚珠套上设置有安装条，所述安装条右侧固定连接有第三正反转电机，两个所述安装条相对一侧的左侧和所述第三正反转电机的输出端均固定连接有传送轮，两个所述传送轮上传送连接有传动带，所述第三丝杆的前端固定连接有第四正反转电机。

一种自动硅片匀胶用涂抹装置的使用方法；

步骤一：将硅片放置在框型放置架上的吸附板，首先，第一正反转电机的输出端带动所述第一丝杆转动，第一滚珠套带动放置台上升，当所在的吸附板与所述传送装置平齐时，该处的第二正反转电机转动，并将吸附板向右侧传送；

步骤二：传送装置将硅片移动至圆形隔离室的正上方，第一电动推杆带动第二放置座上升，并由吸盘将硅片吸附住，移动至圆形隔离室；

步骤三：第二电动推杆带动密封板向下移动，密封板将圆形隔离室，在由喷涂头进行喷胶；

步骤四：完成喷涂后，右侧的传送装置将硅片传送至烘干装置处进行烘干处理，这样烘干的硅片传送至升降装置处被收集。

有益效果

本发明提供了一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法。具备以下有益效果：

（1）、本发明通过对传送装置的改进，在传送时，第四正反转电机带动第三丝杆转动，第三丝杆使得两个第三滚珠套上的安装条朝相对一侧移动后，这样，安装条移动至适当的位置时，第三正反转电机启动，此时两个传送轮带动传动带转动，当硅片落在两个传动带上时，能够被传送，当到达指定的位置上，第四正反转电机启动，使得两个第三滚珠套朝向相背方向移动，这时能够将硅片放下。

（2）、本发明通过对升降装置的改进，两个升降装置的设置，左侧能够连续供应硅片，右侧升降装置与左侧的升降装置运动方向相反，能够将硅片有序的码放，第一正反转电机带动第一丝杆转动，第一滚珠套带动放置台上升，当所在的吸附板与传送装置平齐时，该处的第二正反转电机转动，并将吸附板向右侧传送。

（3）、本发明晶片涂胶驱动装置的改进，将抹胶放置在真空的状态，这样，操作放置在密封的空间内，避免胶水外露，能够保护环境，而且能够增加喷涂效果。

附图说明

图1为本发明的示意图；

图2为本发明升降装置的结构示意图；

图3为本发明框型放置架结构侧面剖视图；

图4为本发明晶片涂胶驱动装置的结构示意图；

图5为本发明上胶装置的结构示意图；

图6为本发明烘干装置的结构示意图。

图中：1升降装置、11升降框架、12第一丝杆、13第一正反转电机、14第一滚珠套、15框型放置架、16第一放置座、17吸附板、18第二正反转电机、19活动板、110弹性条、111第二丝杆、112第二滚珠套、113斜槽、114限位块、2传送装置、21活动环、22第三丝杆、23第四正反转电机、24安装条、25第三正反转电机、26传送轮、27传动带、3晶片涂胶驱动装置、31固定台、32圆形隔离室、33第二放置座、34第一电动推杆、35固定杆、36吸盘、37抽吸泵、4上胶装置、41支撑架、42第二电动推杆、43密封板、44喷涂头、5烘干装置、51烘干台、52烘干器、53第三电动推杆、54接料框。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-6所示，本发明提供一种技术方案：一种自动硅片匀胶用涂抹装置，包括两个升降装置1，位于左侧的升降装置1的右侧固定连接有晶片涂胶驱动装置3，晶片涂胶驱动装置3的右侧固定连接有烘干装置5，烘干装置5的右侧与右侧的升降装置1固定连接，晶片涂胶驱动装置3的顶部固定连接有上胶装置4，晶片涂胶驱动装置3和烘干装置5的顶部设置有传送装置2。

升降装置1包括升降框架11，升降框架11的内腔竖直设置有第一丝杆12，升降框架11的顶部固定连接有第一正反转电机13，第一正反转电机13的输出端与第一丝杆12的顶端固定连接，第一丝杆12上套接有第一滚珠套14，两个第一滚珠套14相对一侧连接放置台，放置台的顶部固定连接有框型放置架15，框型放置架15内从上至下一侧设置有多个第一放置座16，第一放置座16内腔固定连接有吸附板17，框型放置架15的外侧固定连接有第二正反转电机18，第二正反转电机18的输出端固定连接有第二丝杆111，第二丝杆111上套接有第二滚珠套112，第二滚珠套112的一侧与第一放置座16的一侧固定连接。

两个升降装置1的设置，左侧能够连续供应硅片，右侧升降装置1与左侧的升降装置1运动方向相反，能够将硅片有序的码放，第一正反转电机13带动第一丝杆12转动，第一滚珠套14带动放置台上升，当所在的吸附板17与传送装置2平齐时，该处的第二正反转电机18转动，并将吸附板17向右侧传送。

框型放置架15位于第二正反转电机18的一侧开设有通口，通口的两侧内腔均套接有活动板19，活动板19的底部通过弹性条110与通口内壁底部弹性连接，第二滚珠套112的顶部开设有斜槽113，通口内壁的顶部靠近第二正反转电机18处固定连接有限位块114。

通过对限位块114和斜槽113的设置，当斜槽113与限位块114的底部接触后第二滚珠套112向下移动，此时活动板19向下按压弹性条110，这样第一放置座16向下移动，此时第一放置座16上硅片与传送装置2接触，被向右侧传送。

晶片涂胶驱动装置3包括有圆形隔离室32和固定台31，圆形隔离室32内套接有第二放置座33，第二放置座33的底部固定连接有固定杆35，固定杆35的底端固定连接有第一电动推杆34，固定台31内设置有抽吸泵37，第二放置座33的顶部设置有吸盘36，抽吸泵37通过吸管与吸盘36连通。

上胶装置4包括支撑架41，支撑架41上固定连接有第二电动推杆42，第二电动推杆42的自由端固定连接有密封板43，密封板43上穿插有喷涂头44，密封板43上设置有抽真空装置。

烘干装置5的顶部镶嵌有烘干台51，烘干台51顶部设置有烘干器52，烘干台51顶部左右两侧均镶嵌有第三电动推杆53，两个第三电动推杆53的自由端固定连接有接料框54。

传送装置2包括活动环21，活动环21内套接有第三丝杆22，第三丝杆22上套接有两个第三滚珠套，横向两个第三滚珠套上设置有安装条24，安装条24右侧固定连接有第三正反转电机25，两个安装条24相对一侧的左侧和第三正反转电机25的输出端均固定连接有传送轮26，两个传送轮26上传送连接有传动带27，第三丝杆22的前端固定连接有第四正反转电机23。

在传送时，第四正反转电机23带动第三丝杆22转动，第三丝杆22使得两个第三滚珠套上的安装条24朝相对一侧移动后，这样，安装条24移动至适当的位置时，第三正反转电机25启动，此时两个传送轮26带动传动带27转动，当硅片落在两个传动带27上时，能够被传送。

一种自动硅片匀胶用涂抹装置及使用方法；

步骤一：将硅片放置在框型放置架15上的吸附板17，首先，第一正反转电机13的输出端带动第一丝杆12转动，第一滚珠套14带动放置台上升，当所在的吸附板17与传送装置2平齐时，该处的第二正反转电机18转动，并将吸附板17向右侧传送；

步骤二：传送装置2将硅片移动至圆形隔离室32的正上方，第一电动推杆34带动第二放置座33上升，并由吸盘36将硅片吸附住，移动至圆形隔离室32；

步骤三：第二电动推杆42带动密封板43向下移动，密封板43将圆形隔离室32，在由喷涂头44进行喷胶；

步骤四：完成喷涂后，右侧的传送装置2将硅片传送至烘干装置5处进行烘干处理，这样烘干的硅片传送至升降装置1处被收集。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个引用结构”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种自动硅片匀胶用涂抹装置，包括两个升降装置（1），其特征在于，位于左侧的所述升降装置（1）的右侧固定连接有晶片涂胶驱动装置（3），所述晶片涂胶驱动装置（3）的右侧固定连接有烘干装置（5），所述烘干装置（5）的右侧与右侧的升降装置（1）固定连接，所述晶片涂胶驱动装置（3）的顶部固定连接有上胶装置（4），所述晶片涂胶驱动装置（3）和所述烘干装置（5）的顶部设置有传送装置（2），所述传送装置（2）包括活动环（21），所述活动环（21）内套接有第三丝杆（22），所述第三丝杆（22）上套接有两个第三滚珠套，横向两个所述第三滚珠套上设置有安装条（24），所述安装条（24）右侧固定连接有第三正反转电机（25），两个所述安装条（24）相对一侧的左侧和所述第三正反转电机（25）的输出端均固定连接有传送轮（26），两个所述传送轮（26）上传送连接有传动带（27），所述第三丝杆（22）的前端固定连接有第四正反转电机（23），所述第四正反转电机（23）带动第三丝杆（22）转动，所述第三丝杆（22）使得两个第三滚珠套上的安装条（24）朝相对一侧移动后，安装条（24）移动至适当的位置时，第三正反转电机（25）启动，此时两个传送轮（26）带动传动带（27）转动，当硅片落在两个传动带（27）上时，能够被传送，当到达指定的位置上，第四正反转电机（23）启动，使得两个第三滚珠套朝向相背方向移动，这时能够将硅片放下。

2.根据权利要求1所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置，其特征在于：所述升降装置（1）包括升降框架（11），所述升降框架（11）的内腔竖直设置有第一丝杆（12），所述升降框架（11）的顶部固定连接有第一正反转电机（13），所述第一正反转电机（13）的输出端与所述第一丝杆（12）的顶端固定连接，所述第一丝杆（12）上套接有第一滚珠套（14），两个所述第一滚珠套（14）相对一侧连接放置台，所述放置台的顶部固定连接有框型放置架（15），所述框型放置架（15）内从上至下一侧设置有多个第一放置座（16），所述第一放置座（16）内腔固定连接有吸附板（17），所述框型放置架（15）的外侧固定连接有第二正反转电机（18），所述第二正反转电机（18）的输出端固定连接有第二丝杆（111），所述第二丝杆（111）上套接有第二滚珠套（112），所述第二滚珠套（112）的一侧与所述第一放置座（16）的一侧固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置，其特征在于：所述框型放置架（15）位于第二正反转电机（18）的一侧开设有通口，所述通口的两侧内腔均套接有活动板（19），所述活动板（19）的底部通过弹性条（110）与所述通口内壁底部弹性连接，所述第二滚珠套（112）的顶部开设有斜槽（113），所述通口内壁的顶部靠近所述第二正反转电机（18）处固定连接有限位块（114）。

4.根据权利要求3所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置，其特征在于：所述晶片涂胶驱动装置（3）包括有圆形隔离室（32）和固定台（31），所述圆形隔离室（32）内套接有第二放置座（33），所述第二放置座（33）的底部固定连接有固定杆（35），所述固定杆（35）的底端固定连接有第一电动推杆（34），所述固定台（31）内设置有抽吸泵（37），所述第二放置座（33）的顶部设置有吸盘（36），所述抽吸泵（37）通过吸管与所述吸盘（36）连通。

5.根据权利要求4所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置，其特征在于：所述上胶装置（4）包括支撑架（41），所述支撑架（41）上固定连接有第二电动推杆（42），所述第二电动推杆（42）的自由端固定连接有密封板（43），所述密封板（43）上穿插有喷涂头（44），所述密封板（43）上设置有抽真空装置。

6.根据权利要求5所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置，其特征在于：所述烘干装置（5）的顶部镶嵌有烘干台（51），所述烘干台（51）顶部设置有烘干器（52），所述烘干台（51）顶部左右两侧均镶嵌有第三电动推杆（53），两个所述第三电动推杆（53）的自由端固定连接有接料框（54）。

7.根据权利要求6所述的一种自动硅片匀胶用涂抹装置的使用方法；

步骤一：将硅片放置在框型放置架（15）上的吸附板（17），首先，第一正反转电机（13）的输出端带动所述第一丝杆（12）转动，第一滚珠套（14）带动放置台上升，当所在的吸附板（17）与所述传送装置（2）平齐时，该处的第二正反转电机（18）转动，并将吸附板（17）向右侧传送；

步骤二：传送装置（2）将硅片移动至圆形隔离室（32）的正上方，第一电动推杆（34）带动第二放置座（33）上升，并由吸盘（36）将硅片吸附住，移动至圆形隔离室（32）；

步骤三：第二电动推杆（42）带动密封板（43）向下移动，密封板（43）将圆形隔离室（32），在由喷涂头（44）进行喷胶；

步骤四：完成喷涂后，右侧的传送装置（2）将硅片传送至烘干装置（5）处进行烘干处理，这样烘干的硅片传送至升降装置（1）处被收集。

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