CN112768667A - 一种锂离子电池硅碳负极材料及其制备工艺和设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种锂离子电池硅碳负极材料及其制备工艺和设备，负极材料包括基材和混合沉积在基材表面的纳米硅和纳米碳，所述基材为碳材料，所述纳米硅和纳米碳通过等离子增强化学气相沉积工艺混合沉积在基材表面，所述等离子增强化学气相沉积工艺过程中，基材在沉积区为流态化运动状态，所述等离子增强化学气相沉积工艺在流态化等离子气相沉积炉内进行，所述流态化等离子气相沉积炉内设有正极板和负极板，所述正极板和负极板之间为沉积区，所述负极板具有振动输料功能，所述基材在负极板的振动作用下在沉积区作流态化运动。本发明通过在基材表面混合沉积纳米碳和纳米硅，在纳米硅表面形成碳包覆层，提升了硅碳负极材料的性能。

Description

一种锂离子电池硅碳负极材料及其制备工艺和设备
技术领域
本发明涉及锂离子电池负极材料技术领域，更具体地，涉及一种锂离子电池硅碳负极材料及其制备工艺和设备。
背景技术
锂离子电池是一种较为成熟的二次电池，随着社会不断进步和不断发展，人们对锂离子电池负极材料的要求越来越高，传统石墨类负极材料由于容量已接近372mAh/g的理论容量，已不能进一步满足电子设备小型化要求和车用电池的大功率、高能量密度要求。硅碳负极材料是一种可替代石墨负极材料的先进的锂离子电池负极材料，其市场占有率正快速增长。
现有的硅碳负极材料制备工艺普遍采用高能磨工艺制备硅碳负极材料中的硅氧化物纳米颗粒，由于纳米硅氧化物与碳材料均为游离态，纳米硅氧化物抱团现象无法解决，导致纳米硅氧化物无法均匀的分布在碳材料中，加上纳米硅氧化物颗粒与碳的结合不严密或粘接力不强，另一方面，当硅的沉积量较大时，采用单独的流态化沉积工艺，仍然不能阻止硅在基材表面形成薄膜，严重影响了锂离子电池的快充性能和使用寿命。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术中的不足，提供一种锂离子电池硅碳负极材料，该负极材料包括基体和沉积在基体表面的单质纳米硅颗粒和纳米碳，基材在沉积过程中为流态化流动状态，并采用等离子增强化学气相沉积工艺，可确保纳米硅和纳米碳均匀且牢固的分布在基材表面。
本发明通过在沉积纳米硅的过程中沉积纳米碳，纳米碳将纳米硅隔离，可防止随着硅沉积量的增加发生纳米硅形成薄膜而堵塞离子通道的现象，使基材容量得到充分发挥，另一方面，纳米碳将纳米硅隔离，可使基材表面的沉积硅始终保持纳米颗粒状态，将沉积硅的局部过度膨胀降低到最低水平，从而大幅提高纳米硅的沉积量，即在确保包括倍率、循环、高低温等重要指标在内的锂离子电池综合性能优良的前提下，大幅提高了锂离子电池的能量密度。
本发明的另一目的在于提供上述锂离子电池硅碳负极材料的制备工艺，工艺过程简单，制备的负极材料均匀一致，可大规模工业化生产，实现产业化。
本发明的目的通过以下技术方案实现：
一种锂离子电池硅碳负极材料，包括基材和混合沉积在基材表面的纳米硅和纳米碳，所述基材为碳材料，所述纳米硅和纳米碳通过等离子增强化学气相沉积工艺混合沉积在基材表面，所述等离子增强化学气相沉积工艺过程中，基材在沉积区为流态化运动状态，所述等离子增强化学气相沉积工艺在流态化等离子气相沉积炉内进行，所述流态化等离子气相沉积炉内设有正极板和负极板，所述正极板和负极板之间为沉积区，所述负极板具有振动输料功能，所述基材在负极板的振动作用下在沉积区作流态化运动。
进一步地，正极板的数量在1个以上，所述每个正极板可单独接入工作气体和等离子发生器；所述负极板的振动频率和振动幅度分别独立可调。
进一步地，所述基材为石墨烯、碳纳米片、碳纤维、碳纳米管、人造石墨、天然石墨、中间相微球、软碳、硬碳中的至少一种。
进一步地，所述纳米硅为颗粒状，粒度为1～200nm。
进一步地，所述纳米碳为颗粒状和/或薄膜状。
本发明通过在基材表面混合沉积纳米碳和纳米硅，在纳米硅表面形成碳包覆层，可用于缓冲纳米硅发生膨胀时所产生的应力，为纳米硅膨胀提供了缓冲空间，进一步降低硅的膨胀效应，从而进一步提升硅碳负极材料的循环性能。
一种上述锂离子电池硅碳负极材料的制备工艺，包括以下步骤：
S1.将基材放入流态化等离子气相沉积炉中，对沉积炉进行抽真空处理；
S2.对沉积炉进行升温，并使基材在负极板的振动作用下在沉积区作流态化运动；
S3.向沉积炉内通入稀释气体，接通等离子发生器，随后分时交替加入硅源气体和碳源气体，在基材表面沉积纳米硅和纳米碳，纳米硅沉积完毕，最后沉积碳包覆层薄膜，沉积完毕得到产品A；
S4.将产品A筛分过滤，得到锂离子电池硅碳负极材料B1。
进一步地，步骤S4中还包括对B1进行包覆处理，所述包覆处理为液相包覆，液相包覆后的B1经干燥、碳化、筛分过滤后得锂离子电池硅碳负极材料B2。
进一步地，步骤S1中流态化等离子气相沉积炉内压力为0.01～2托，步骤S2中沉积炉的温度为350～600℃。
进一步地，步骤S3中沉积纳米硅时稀释气体与硅源气体的体积比为0.2～6:1，硅源气体流量为2～50L/min，纳米硅单次沉积时间为0.1～100小时；沉积纳米碳时，稀释气体与碳源气体的体积比为0.2～6:1，碳源气体流量为2～50L/min，纳米碳单次沉积时间为0.1～100小时，所述流态化等离子气相沉积炉内压力为2～10托。
进一步地，步骤S3中硅源气体包括SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2中的至少一种，所述碳源气体包括甲烷、乙烯、乙炔中的至少一种。
进一步地，步骤S3中所述稀释气体包括氢气、氮气、氩气、氦气中的至少一种。
进一步地，所述流态化等离子气相沉积炉所用等离子发生器包括带直流偏压的电容式射频电源，即直流电源与射频电源负载电容并联连接，直流电源负极与负极板电连接，负极板与基材接触。
一种锂离子电池硅碳负极材料，由锂离子电池硅碳负极材料B1、B2以任意比例混合或勾兑形成。
一种锂离子电池硅碳负极材料，由锂离子电池硅碳负极材料B1、B2和锂离子电池碳负极材料以任意比例混合或勾兑形成。
一种锂离子电池硅碳负极材料制备工艺所用设备，所述设备为流态化等离子气相沉积炉，所述沉积炉炉体上设有进料口和出料口，在炉体内部设有正极板和负极板，正极板的数量为1个以上，每个正极板可单独接入工作气体和等离子发生器，正极板设在负极板上方，与负极板保持一定的工作距离，所述正极板与负极板之间为等离子气相沉积区；负极板与进料口和出料口之间分别连接有进料板和出料板，进料板、出料板和负极板连接振动装置，具有振动输料功能，在负极板下方设置有电热元件，基材在沉积炉内沉积一个输料周期后，从出料口出来，通过沉积炉外部的循环结构将基材再次送到入料口，实现了基材在沉积区的循环流动和沉积炉对基材的连续沉积。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本发明通过基材在沉积过程中的流态化运动，使沉积硅具有优良的纳米特征，即沉积硅以纳米颗粒形式均匀分布在基材表面，颗粒与颗粒之间设有间隙，有效抑制了沉积硅在基材表面形成薄膜而阻塞锂离子与基材的接触；另一方面，沉积硅以纳米颗粒形式均匀分布在基材表面，可有效抑制硅碳负极材料中的硅元素在锂离子电池中形成局部过度膨胀，从而提高锂离子电池的使用寿命。
本发明在纳米硅的沉积过程中混合沉积纳米碳，利用纳米碳将纳米硅隔离，防止纳米硅颗粒长大，使基材表面的沉积硅始终保持在纳米状态下，可大幅提高纳米硅的沉积比例，从而大幅提高锂离子电池的能量密度；另一方面，在基材上混合沉积纳米硅和纳米碳，纳米碳为纳米硅膨胀提供了缓冲空间，进一步提高了锂离子电池的使用寿命。
本发明采用等离子增强化学气相沉积工艺，使纳米硅和纳米碳与基材牢固结合在一起，且纳米硅、纳米碳与基材形成了相对位置关系，限制了纳米硅和纳米碳的游离，解决了纳米硅因游离而抱团的问题。本发明采用表面沉积，纳米硅分布面广，与电解液反应面积大，在确保包括倍率、循环、高低温等重要指标在内的锂离子电池综合性能优良的前提下，大幅提高了锂离子电池的能量密度。
附图说明
图1为流态化等离子气相沉积炉的结构示意图；
图2为流态化等离子气相沉积纳米硅形貌效果电镜图；
图3为流态化等离子气相沉积纳米硅分散性能谱图；
其中，1为负极板，2为电热元件，3为正极板，4为炉体，4001为进料口，4002为出料口。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下文将结合实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。
除非另有定义，下文中所使用的所有专业术语与本领域技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的专业术语只是为了描述具体实施例的目的，并不旨在限制本发明的保护范围。
除非另有特别说明，本发明中用到的各种原材料、试剂、仪器和设备等均可通过市场购买得到或者可通过现有方法制备得到。
实施例1
如图1所示，本实施例提供一种流态化等离子气相沉积炉，炉体4上设有进料口4001和出料口4002，在炉体4内部设有正极板3和负极板1，正极板3的数量在1个以上，每个正极板可单独接入工作气体和等离子发生器，正极板3设在负极板1上方，正极板3与负极板1保持一定的工作距离，正极板3与负极板1之间为等离子气相沉积区，正极板3与负极板1之间为平行空间或近似平行空间。负极板1与进料口4001和出料口4002之间分别连接有进料板和出料板，进料板、出料板和负极板1连接振动装置，具有振动输料功能，在负极板1下方设置有电热元件2。沉积炉外部设有循环机构，基材在沉积炉内沉积一个输料周期后，从出料口4002出来，通过沉积炉外部的循环机构将基材再次送到进料口4001，实现了基材在沉积区的循环流动和沉积炉对基材的连续沉积。
本实施例中沉积炉所用等离子发生器为带直流偏压的电容式射频电源，即直流电源与射频电源负载电容并联连接，直流电源正极与正极板3电连接，负极与负极板1电连接，负极板1与基材接触。在多个正极板模式下，与基材接触的负极板为公共部件，每个正极板可单独接入独立的等离子发生器，也可多个正极板共用一个等离子发生器，每个正极板可单独接入独立的工作气源，也可多个正极板共用一套工作气源。
具体地，本实施例提供的流态化等离子气相沉积炉提供了分时沉积和同时沉积两种工艺模式；
其中分时沉积模式的工作过程如下：基材从进料口4001进入沉积炉，经过进料板预热后，输送到负极板1上方，负极板1通过振动输料使基材到达沉积区，在负极板1振动作用下，基材在沉积区为流态化运动状态，随后分时加入硅源气体和碳源气体，即分时沉积纳米硅或纳米碳，在硅源气体或碳源气体加入的同时配备稀释气体，工作气体从正极板3上进入沉积炉内，硅源气体或碳源气体在定向电场、温度和真空等条件的作用下，分解成硅离子或碳离子高速冲撞到基材表面，实现对基材表面气相沉积纳米硅或纳米碳工艺，沉积过程中负极板上的基材始终与正极板保持一定距离，基材在沉积区完成一个输料周期沉积后，从出料口4002出炉，通过沉积炉外部的循环机构将基材再次送到入料口4001，实现了基材在沉积区的循环流动和沉积炉对基材的连续沉积。基材在沉积区完成沉积后，关闭沉积炉4外部的循环机构，表面沉积完纳米硅和纳米碳的基材经出料口4002出炉。
同时沉积模式的工作过程如下：同时沉积工作模式下沉积炉4内至少设有2个正极板，正极板按基材流动方向前后顺序排列，每个正极板单独接入工作气体和等离子发生器，负极板为电连接公共端，同时沉积模式可实现同时沉积纳米硅和纳米碳工艺，即前面的正极板加入硅源气体后面的正极板加入碳源气体，或前面的正极板加入碳源气体后面的正极板加入硅源气体，为了防止硅源气体与碳源气体混合形成碳化硅，硅源气体正极板与碳源气体正极板之间设有足够的安全距离，通过在正极板之间合理设置安全距离和真空通道，在同一个炉腔内的正极板之间形成了气流互不干扰的软隔离区。
基材从进料口4001进入沉积炉，经过进料板预热后，输送到负极板1上方，负极板1通过振动输料使基材到达沉积区，在负极板1振动作用下，基材在沉积区为流态化运动状态；随后同时加入硅源气体和碳源气体，即同时沉积纳米硅和纳米碳，在硅源气体和碳源气体加入的同时通入对应的稀释气体，工作气体从正极板3上进入沉积炉内，硅源气体和碳源气体在定向电场、温度和真空等条件的作用下，分别分解成硅离子、碳离子高速冲撞到基材表面，实现对基材表面气相沉积纳米硅和纳米碳工艺，沉积过程中负极板上的基材始终与正极板保持一定距离，基材在沉积区完成一个输料周期沉积后，从出料口4002出炉，通过沉积炉外部的循环机构将基材再次送到入料口4001，实现了基材在沉积区的循环流动和沉积炉对基材的连续沉积，基材在沉积炉内完成沉积后，关闭沉积炉4外部的循环机构，表面沉积完纳米硅和纳米碳的基材经出料口4002出炉。
本实施例的优点在于，沉积炉4设计成隧道式，负极板1和正极板3的面积较大，即负极板与正极板之间的沉积区域较大，以提高沉积效率；或者在一个较大面积的负极板1上方可设置多个较小面积的正极板3，实现多点同时沉积，从而提高沉积效率。
实施例2
本实施例提供了一种锂离子电池硅碳负极材料的制备工艺，硅重量占负极材料总重量的10％左右，基于实施例1中的流态化等离子气相沉积炉完成，采用分时沉积模式，具体制备工艺包括以下步骤：
S1.将85kg基材放入流态化等离子气相沉积炉进料口4001上端的料斗中，等待进料，基材为人造石墨颗粒，D50＝15μm，对沉积炉进行抽真空处理，至炉内压力为0.01～2托；
S2.电热元件通电，将沉积炉升温至500℃，使进料板、负极板1和出料板处于振动输料状态，打开进料口4001和出料口4002，基材以流量可控方式顺序输送到负极板1上，并到达正极板3下方的沉积区，在负极板振动作用下，基材在沉积区为流态化运动状态；
S3.分时交替沉积纳米硅和纳米碳，先沉积纳米硅，向炉内通入稀释气体氢气，接通等离子发生器，随后加入硅源气体硅烷，硅烷流量为20L/min，氢气流量为30L/min，氢气与硅烷的体积比为1.5:1，纳米硅单次沉积时间为20分钟，20分钟沉积时间到，顺序关闭硅烷和氢气；再顺序加入氮气和乙炔，沉积纳米碳，乙炔流量为10L/min，氮气流量为15L/min，氮气与乙炔的体积比为1.5:1，纳米碳单次沉积时间为10分钟，10分钟沉积时间到，再改为沉积纳米硅，顺序关闭乙炔和氮气；再顺序加入氢气和硅烷，流量和时间不变，20分钟沉积时间到，改为沉积纳米碳，循环上述过程，分时轮流沉积纳米硅和纳米碳，直到沉积纳米硅的累计沉积时间达到6.7小时，硅累计沉积量达到10kg；最后沉积碳包覆层薄膜，顺序关闭硅烷和氢气；再顺序加入氮气和乙炔，流量不变，沉积时间为3.3小时，即纳米碳累积沉积时间达到6.8小时，碳累计沉积量达到5kg，沉积完毕得到产品A-1；产品A-1中的硅碳比为10：90，总重量为100kg；
S4.关闭沉积炉外部的循环机构，沉积后的产品A-1从出料口4002排出，将产品A-1筛分过滤，去掉沉积过程中产生的块状物，得到100kg含硅量10％左右的锂离子电池硅碳负极材料B1-1。
本实施例制备的锂离子电池硅碳负极材料B1-1基材表面的纳米硅为颗粒状，粒度在25～80nm之间，硅碳比为10:90。
实施例3
本实施例提供了一种锂离子电池硅碳负极材料的制备工艺，硅重量占负极材料总重量的20％左右，基于实施例1中的流态化等离子气相沉积炉完成，采用同时沉积模式，具体制备工艺包括以下步骤：
S1.将70kg基材放入流态化等离子气相沉积炉进料口4001上端的料斗中，等待进料，基材为天然鳞片石墨颗粒，D50＝11μm，对沉积炉进行抽真空处理，至炉内压力为0.01～2托；
S2.电热元件通电，将沉积炉升温至500℃，使进料板、负极板1和出料板处于振动输料状态，打开进料口4001和出料口4002，基材以流量可控方式顺序输送到负极板1上，并到达正极板3下方的沉积区，在负极板振动作用下，基材在沉积区为流态化运动状态；
S3.同时混合沉积纳米硅和纳米碳，本实施例以2个正极板为例，靠近进料口一端的正极板负责沉积纳米硅，靠近出料口一端的正极板负责沉积纳米碳，向靠近进料口一端的正极板顺序通入氢气和硅烷，硅烷流量为20L/min，氢气流量为30L/min，氢气与硅烷的体积比为1.5:1；向靠近出料口一端的正极板顺序通入氮气和乙炔，乙炔流量为6L/min，氮气流量为9L/min，氮气与乙炔的体积比为1.5:1，接通等离子发生器，实现同时混合沉积纳米硅和纳米碳工艺，累计沉积时间达到13.3小时，硅累计沉积量达到20kg，顺序关闭靠近进料口一端的正极板的氢气和硅烷；再顺序加入乙炔和氮气，实现两个正极板3同时沉积纳米碳包覆层工艺，继续沉积4.5小时，使2个正极板3的纳米碳累计沉积时间达到22.3，碳累计沉积量达到10kg，沉积完毕得到产品A-2；产品A-2中的硅碳比为20：80，总重量为100kg；
S4.关闭沉积炉外部的循环机构，沉积后的产品A-2从出料口4002排出，将产品A-2筛分过滤，去掉沉积过程中产生的块状物，得到100kg含硅量20％左右的锂离子电池硅碳负极材料B1-2。
本实施例制备的锂离子电池硅碳负极材料B1-2基材表面的纳米硅为颗粒状，粒度在15～40nm之间，硅碳比为20:80。
实施例4
本实施例对实施例3中的锂离子电池硅碳负极材料B1-2再进行液相包覆，本实施例中所用液相包覆为沥青包覆，具体步骤如下：
将锂离子电池硅碳负极材料B1-2进行液相包覆处理，将沥青粉体与溶剂进行真空热搅拌混合，使沥青溶合在溶剂中，沥青与溶剂中的总碳量与B1-2的重量比为4：100，再将沥青熔合液体与B1-2真空混合均匀，经干燥、碳化、筛分过滤后得104kg锂离子电池硅碳负极材料B2。
本实施例中，液相包覆的沥青碳以薄膜形式包覆在B1-2表面，可修复等离子气相沉积的包覆漏点，使包覆层表面密实，可有效阻隔纳米硅与电解液接触而发生副反应，有利于延长电池使用寿命，本实施例制备的锂离子电池硅碳负极材料硅碳比为20:84。
将本申请实施例2～4制备的锂离子电池硅碳负极材料作为工作电极，采用锂片作对电极，1mol/L的LiPF6和体积比1:1的EC与DEC混合溶液为电解液，在氩气气氛手套箱内组装成电池，压制封口，充分静置。
本申请制备的锂离子电池硅碳负极材料用于锂离子电池时所获得的电化学性能数据如表1所示。
表1
Figure BDA0002927676160000091
由表一可知，采用本发明技术制备的硅碳负极材料用于锂离子电池中，具有较高的首效和较高的50次循环容量保持率，通过液相包覆后的实施例4硅碳负极比未经过液相包覆的实施例3硅碳负极材料在首效和50次循环容量保持率方面有所提高。
本申请中制备的锂离子电池硅碳负极材料B1、B2之间可以任意比例混合或勾兑使用，也可与碳负极材料以任意比例混合或勾兑使用，形成多品种的硅碳负极材料产品。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明的技术方案所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，包括基材和混合沉积在基材表面的纳米硅和纳米碳，所述基材为碳材料，所述纳米硅和纳米碳通过等离子增强化学气相沉积工艺混合沉积在基材表面，所述等离子增强化学气相沉积工艺过程中，基材在沉积区为流态化运动状态，所述等离子增强化学气相沉积工艺在流态化等离子气相沉积炉内进行，所述流态化等离子气相沉积炉内设有正极板和负极板，所述正极板和负极板之间为沉积区，所述负极板具有振动输料功能，所述基材在负极板的振动作用下在沉积区作流态化运动。
2.根据权利要求1所述的锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，所述正极板的数量在1个以上，所述每个正极板可单独接入工作气体和等离子发生器；所述负极板的振动频率和振动幅度分别独立可调。
3.根据权利要求1所述的锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，所述基材为石墨烯、碳纳米片、碳纤维、碳纳米管、人造石墨、天然石墨、中间相微球、软碳、硬碳中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，所述纳米硅为颗粒状，粒度为1～200nm。
5.根据权利要求1所述的锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，所述纳米碳为颗粒状和/或薄膜状。
6.一种权利要求1～5任一项所述的锂离子电池硅碳负极材料的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1.将基材放入流态化等离子气相沉积炉中，对沉积炉进行抽真空处理；
S2.对沉积炉进行升温，并使基材在负极板的振动作用下在沉积区作流态化运动；
S3.向沉积炉内通入稀释气体，接通等离子发生器，随后分时交替加入硅源气体和碳源气体，在基材表面沉积纳米硅和纳米碳，纳米硅沉积完毕，最后沉积碳包覆层薄膜，沉积完毕得到产品A；
S4.将产品A筛分过滤，得到锂离子电池硅碳负极材料B1。
7.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，步骤S4中还包括对B1进行包覆处理，所述包覆处理为液相包覆，液相包覆后的B1经干燥、碳化、筛分过滤后得锂离子电池硅碳负极材料B2。
8.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，步骤S1中流态化等离子气相沉积炉内压力为0.01～2托，步骤S2中沉积炉的温度为350～600℃。
9.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，步骤S3中沉积纳米硅时稀释气体与硅源气体的体积比为0.2～6:1，硅源气体流量为2～50L/min，纳米硅单次沉积时间为0.1～100小时；沉积纳米碳时，稀释气体与碳源气体的体积比为0.2～6:1，碳源气体流量为2～50L/min，纳米碳单次沉积时间为0.1～100小时，所述流态化等离子气相沉积炉内压力为2～10托。
10.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，步骤S3中硅源气体包括SiH4、SiHCl3、SiH2Cl2中的至少一种，所述碳源气体包括甲烷、乙烯、乙炔中的至少一种。
11.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，步骤S3中所述稀释气体包括氢气、氮气、氩气、氦气中的至少一种。
12.根据权利要求6所述的制备工艺，其特征在于，所述流态化等离子气相沉积炉所用等离子发生器包括带直流偏压的电容式射频电源，即直流电源与射频电源负载电容并联连接，直流电源负极与负极板电连接，负极板与基材接触。
13.一种锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，由锂离子电池硅碳负极材料B1、B2以任意比例混合或勾兑形成。
14.一种锂离子电池硅碳负极材料，其特征在于，由锂离子电池硅碳负极材料B1、B2和锂离子电池碳负极材料以任意比例混合或勾兑形成。
15.一种锂离子电池硅碳负极材料制备工艺所用设备，其特征在于，所述设备为流态化等离子气相沉积炉，所述沉积炉炉体上设有进料口和出料口，在炉体内部设有正极板和负极板，正极板的数量在1个以上，每个正极板可单独接入工作气体和等离子发生器，正极板设在负极板上方，与负极板保持一定的工作距离，所述正极板与负极板之间为等离子气相沉积区；负极板与进料口和出料口之间分别连接有进料板和出料板，进料板、出料板和负极板连接振动装置，具有振动输料功能，在负极板下方设置有电热元件，基材在沉积炉内沉积一个输料周期后，从出料口出来，通过沉积炉外部的循环机构将基材再次送到入料口，实现了基材在沉积区的循环流动和沉积炉对基材的连续沉积。
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CN113215533A (zh) * 2021-04-23 2021-08-06 株洲弗拉德科技有限公司 一种采用等离子气相沉积工艺制备涂层粉体的方法
CN113943174A (zh) * 2021-10-20 2022-01-18 浙江锂宸新材料科技有限公司 一种硅碳千层结构负极材料的制备方法及其产品

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