CN112760630A - 散热装置的制作方法及散热装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种散热装置的制作方法及散热装置。散热装置的制作方法包括：盖板获取步骤：获取由钢板制成的第一盖板和第二盖板；盖板钝化步骤：通过钝化液对所述第一盖板和/或所述第二盖板进行钝化处理，以在所述第一盖板和/或所述第二盖板表面形成钝化膜，其中，所述钝化液包括2～10g/L的稀土化合物、30～100ml的30％过氧化氢、8～15ml/L乙醇以及10～50g/L柠檬酸；毛细结构获取步骤：在所述第一盖板的钝化膜表面或所述第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构；盖板固定步骤：将所述第一盖板与所述第二盖板盖合并固定连接，以形成封闭内腔，所述封闭内腔中填充有冷却介质。本发明提供的散热装置的制作方法可以满足均温板轻薄化的需求。

Description

散热装置的制作方法及散热装置

【技术领域】

本发明涉及散热技术领域，特别涉及一种散热装置的制作方法及散热装置。

【背景技术】

随着电子电气技术的发展和用户需求的提高，日常生活、科研科教中的各种电子产品的功率越来越大，电子产品的发热越来越严重，均温板(Vapor Chamber，VC)是目前解决各类电子产品散热问题的理想方案。但是相关技术中，均温板通常包括两个相盖合的铜板或铜合金，支撑能力较差，若要满足均温板的支撑需求，则需要将铜板或铜合金的厚度增大，无法满足均温板轻薄化的需求。而钢材作为高强度的支撑材料用于均温板在使用过程中会产生非凝结性气体，无法直接使用，必须在盖板内侧进行化学或物理覆盖，目前在盖板内侧覆盖铜层能改善这一问题，但由于铜和钢材之间会形成原电池而加速钢材与水的反应，须镀覆一层无孔厚铜才能有效防御。操作相对复杂、成本较高、钝化膜稳定性较差、耐蚀性较差。

因此，有必要提供一种散热装置的制作方法以及散热装置以解决上述技术问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种散热装置的制作方法和散热装置，满足均散热装置对于轻薄化的需求，并且钝化膜致密性好，结合力好，无须电镀的情况下有效弥补了钢材类均温板的应用缺陷。

本发明的技术方案如下：一种散热装置的制作方法，所述方法包括：

盖板获取步骤：获取由钢板制成的第一盖板和第二盖板；

盖板钝化步骤：通过钝化液对所述第一盖板和/或所述第二盖板进行钝化处理，以在所述第一盖板和/或所述第二盖板表面形成钝化膜，其中，所述钝化液包括2～10g/L的稀土化合物、30～100ml的30％过氧化氢、8～15ml/L乙醇以及10～50g/L柠檬酸；

毛细结构获取步骤：在所述第一盖板的钝化膜表面或所述第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构；

盖板固定步骤：将所述第一盖板与所述第二盖板盖合并固定连接，以形成封闭内腔，所述毛细结构收容于所述封闭内腔中，所述封闭内腔中填充有冷却介质。

优选的，所述钝化液的溶液温度为60℃～90℃；PH值保持在2～3；所述钝化处理的时间为10min～60min。

优选的，所述稀土化合物包括铈盐，镧盐、镨盐以及钕盐中的至少一种。

优选的，所述稀土化合物包括硫酸铈、硝酸铈以及氯化铈中的至少一种。

优选的，所述第一盖板和所述第二盖板的厚度为0.05mm～0.4mm。

优选的，在所述盖板钝化步骤之后还包括：将钝化处理后的所述第一盖板和/或所述第二盖板在80℃～100℃的温度下干燥处理10min～30min。

优选的，在所述盖板钝化步骤之前，还包括：对所述第一盖板和/或和所述第二盖板进行除油处理、酸洗处理以及活化处理中的一种或多种处理。

优选的，所述除油处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于70℃～80℃的除油溶液中浸泡，所述除油溶液包括10～50g/L氢氧化钠、10～50g/L碳酸钠以及1～5mL/L乳化剂；所述酸洗处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于20℃～40℃的酸性溶液中浸泡，所述酸性溶液包括20～30％体积分数的盐酸和3～5g/L的若丁；所述活化处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于15℃～30℃的活化溶液中浸泡，所述活化溶液包括10～20％体积分数的盐酸和5～10g/L的乙酸。

优选的，所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述除油溶液中的浸泡时间为20min～30min；所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述酸性溶液中的浸泡时间为1min～2min；所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述活化溶液中的浸泡时间为0.5min～1min。

一种散热装置，所述散热装置采用如上所述的散热装置的制作方法制作形成。

本发明的有益效果在于：通过钢材形成散热装置的第一盖板和第二盖板，以满足散热装置对于轻薄化和支撑强度的需求。在对散热装置的第一盖板和/或第二盖板进行钝化处理后，在第一盖板和/或第二盖板表面形成一层结合力良好的致密的稀土化合物钝化膜，在散热装置应用过程中能够降低钢材与水的反应，延长其使用寿命。

【附图说明】

图1为本发明实施例提供的散热装置的制作方法的第一流程示意图。

图2为本发明实施例提供的散热装置的制作方法的第二流程示意图。

图3为本发明实施例提供的散热装置的结构示意图。

图4为图3所示的散热装置的爆炸结构示意图。

图5为图3所示的散热装置沿A-A方向的剖面图。

【具体实施方式】

下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，图1为本发明实施例提供的散热装置的制作方法的第一流程示意图。一种散热装置的制作方法包括以下步骤：

201，盖板获取步骤：获取由钢板制成的第一盖板和第二盖板。

可以通过切割、蚀刻或压铸等的方式对钢板进行加工形成第一盖板和第二盖板，其中，第一盖板和第二盖板的材料为钢材，具体的，第一盖板和第二盖板的材料可以为不锈钢材料。

第一盖板和第二盖板的形状可以根据需求设置，例如，第一盖板和/或第二盖板可以设置有凹槽，第一盖板设置有凹槽，第二盖板可以盖合于第一盖板的槽口，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔；或者第二盖板设置有凹槽，第一盖板可以盖合于第二盖板的槽口，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔；又或者，第一盖板和第二盖板均设置有凹槽，第一盖板的凹槽和第二盖板的凹槽尺寸不同，其中一个凹槽槽口的尺寸大于另一个凹槽槽口的尺寸，以使第一盖板和第二盖板盖合时，槽口尺寸大的盖板的凹槽槽壁与槽口尺寸小的盖板的外侧抵接，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔。

202，盖板钝化步骤：通过钝化液对第一盖板和/或第二盖板进行钝化处理，以在第一盖板和/或第二盖板表面形成钝化膜，其中，钝化液包括2～10g/L的稀土化合物、30～100ml的30％过氧化氢、8～15ml/L乙醇以及10～50g/L柠檬酸。

在一些实施例中，所述钝化液包括稀土化合物、过氧化氢、乙醇以及酸性溶液，其中，稀土化合物可以为2～10g/L的稀土化合物，30～100ml的30％的过氧化氢，乙醇为8～15ml/L的乙醇，酸性溶液为10～50g/L的柠檬酸，通过一定配比形成所述钝化液。

在一些实施例中，盖板钝化步骤包括：所述钝化液的溶液温度为60℃～90℃，PH值保持在2～3，钝化处理的时间为10min～60min。

在一些实施例中，稀土化合物包括铈盐，镧盐、镨盐以及钕盐中的至少一种。

203，毛细结构获取步骤：在第一盖板的钝化膜表面或第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构。

通过上述的钝化方式，第一盖板和/或第二盖板在可以形成封闭内腔的表面形成有钝化膜，例如，在第一盖板钝化膜的表面设置毛细结构，可以通过金属丝编织、金属粉烧结、表面电化学沉积的方式在第一盖板钝化膜的表面设置毛细结构，还可以通过其他的方式在第一盖板的钝化膜的表面设置毛细结构，毛细结构的材料可以为铜或者铜合金。

可以理解的是，为了满足散热需求，毛细结构也可以设置于第二盖板，或同时设置于第一盖板和第二盖板。

204，盖板固定步骤：将第一盖板与第二盖板盖合并固定连接，以形成封闭内腔，封闭内腔中填充有冷却介质。第一盖板与第二盖板固定连接的方式也可以为粘接，第一盖板与第二盖板固定连接的方式还可以为螺接，第一盖板与第二盖板还可以通过多种连接方式相组合的方式实现固定连接，以使第一盖板和第二盖板形成封闭内腔，毛细结构收容于封闭内腔中，封闭内腔用于填充冷却介质，其中，冷却介质可以在盖板盖合前填充于第一盖板或第二盖板内的凹槽内。冷却介质可以为液体，在散热装置使用的过程中，散热装置热端的冷却介质汽化吸热，将热源的热量带走，汽化后的冷却介质通过封闭内腔自热端流向冷端并在冷端液化放热，之后液化后的冷却介质自毛细结构再次从冷端流向热端，如此往复循环，实现散热作用。由于第一盖板和/或第二盖板形成封闭内腔的表面设置有一层稀土化合物钝化膜，可以避免冷却介质直接合钢材发生反应生成难以凝结的非凝结性气体，影响散热装置的散热效果。

在一些实施例中，通过在不锈钢第一盖板和不锈钢第二盖板可以形成封闭内腔的表面覆盖一层铜板，用于避免冷却介质直接和不锈钢发生反应，但是铜和钢材之间会形成原电池而加速钢材与冷却介质的反应，无法较大程度的减少钢材的冷却介质之间的反应，本发明实施例提供的散热装置的制作方法，通过在钢材形成的第一盖板和/或第二盖板的表面形成稀土化合物钝化膜，在可以满足散热装置对于散热功能的需求的同时还可以满足对于轻薄化的需求，并且钝化膜致密性好，结合力好，无须电镀的情况下有效弥补了钢材类均温板的应用缺陷。

请参阅图2，图2为本发明实施例提供的散热装置的制作方法的第二流程示意图。

301，盖板获取步骤：获取由钢板制成的第一盖板和第二盖板；

可以通过切割、蚀刻或压铸等的方式对钢板进行加工形成第一盖板和第二盖板，其中，第一盖板和第二盖板的材料为钢材，具体的，第一盖板和第二盖板的材料可以为不锈钢材料，为了满足散热装置轻薄化和结构强度的需求，第一盖板和第二盖板的厚度可以为0.05mm～0.4mm。

第一盖板和第二盖板的形状可以根据需求设置，例如，第一盖板和/或第二盖板可以设置有凹槽，第一盖板设置有凹槽，第二盖板可以盖合于第一盖板的槽口，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔；或者第二盖板设置有凹槽，第一盖板可以盖合于第二盖板的槽口，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔；又或者，第一盖板和第二盖板均设置有凹槽，第一盖板的凹槽和第二盖板的凹槽尺寸不同，其中一个凹槽槽口的尺寸大于另一个凹槽槽口的尺寸，以使第一盖板和第二盖板盖合时，槽口尺寸大的盖板的凹槽槽壁与槽口尺寸小的盖板的外侧抵接，以使第一盖板和第二盖板之间可以形成有封闭内腔。

302，对第一盖板和/或第二盖板进行除油处理、酸洗处理和活化处理中一种或多种处理。

其中，除油处理包括：将第一盖板和/或第二盖板放置于70℃～80℃的除油溶液中浸泡，除油溶液包括10～50g/L氢氧化钠、10～50g/L碳酸钠以及1～5mL/L乳化剂。

酸洗处理包括：将第一盖板和/或第二盖板放置于20℃～40℃的酸性溶液中浸泡，酸性溶液包括20～30％体积分数的盐酸和3～5g/L若丁。

活化处理包括：将第一盖板和/或第二盖板放置于15℃～30℃的活化溶液中浸泡，活化溶液包括10～20％体积分数的盐酸的5～10g/L的乙酸。

以对第一盖板和第二盖板均进行除油处理，然后进行酸洗处理，最后进行活化处理示例：

除油处理：使用溶液浓度为10～50g/L的氢氧化钠、10～50g/L的碳酸钠、1～5ml/L的OP乳化剂按照预设的比例混合得到除油溶液，除油溶液温度可以保持在70℃～80℃，将第一盖板和第二盖板放入除油溶液浸泡20min～30min，浸泡后立即用纯水清洗干净，除油处理目的在于去除第一盖板和第二盖板的表面油污，使表面完全亲水化。除油溶液成分中的氢氧化钠和碳酸钠浓度不宜过低，过低时脱脂力度不够，难以将油污完全去除，影响后期钝化膜形成的均匀性和结合力，导致表面不均等缺陷，氢氧化钠和碳酸钠的浓度过高时润湿性差，且会对第一盖板和第二盖板造成损耗，OP乳化剂作为表面活性剂，提高除油溶液的分散性和润湿性，有利于增强脱脂能力，过低时效果不佳，过高时易残留表面难以清洗。

使用溶液体积分数为20～30％的盐酸和3～5g/L的若丁混合，形成酸洗溶液，溶液温度为保持在20℃～40℃，将除油处理后的第一盖板和第二盖板放入酸洗溶液中浸泡1min～2min，浸泡后立即用纯水清洗干净，酸洗处理是为了去除第一盖板和第二盖板表面的氧化层。盐酸对不锈钢氧化层的清除能力较强，浓度过低时需要较长的浸泡时间，效率低下，浓度过高时会导致不锈钢表面过渡腐蚀，温度过高时也会加速腐蚀，因此不宜高于40℃，为了避免过腐蚀和形成酸雾，可在其中加入适量的若丁等缓蚀剂，缓蚀剂含量过低过高都会影响酸洗效率。

使用溶液为体积分数为10～20％的盐酸和5～10g/L的乙酸混合形成活化溶液，在室温(15℃～30℃)下进行，将酸洗过的第一盖板和第二盖板放入活化溶液中浸泡0.5min～1min后取出，快速冲洗干净，立即进行钝化的步骤，活化处理目的是为了提高不锈钢表面活性，保证钝化层和不锈钢的结合力。活化液的酸度不宜过高时间不宜过长，因为经过酸洗后氧化层已经被去掉或很薄，酸度过高或时间过长会导致过腐蚀，影响盖板性能，最好保持在较低浓度(<20％)并辅以一定的乙酸，降低氯离子的侵蚀，但为了保证效果浓度也不宜过低(<10％)，尤其当酸洗处理和钝化处理之间需要间隔时间较长时。

在一些实施例中，首先，将所述第一盖板和所述第二盖板放置于除油溶液中，所述除油溶液包括氢氧化钠15g/L、碳酸钠30g/L以及OP乳化剂5ml/L，所述除油溶液温度保持在80，处理时间为30min，在室温下将除油后的第一盖板和第二盖板放置于酸性溶液中，酸性溶液包括20％盐酸和5g/L若丁，处理时间为2min，在室温下将酸洗后的第一盖板和第二盖板放置于活化溶液中，活化溶液包括15％盐酸和乙酸5g/L，处理时间为30秒。

303，通过钝化液对第一盖板和/或第二盖板进行钝化处理，以在第一盖板和/或第二盖板表面形成钝化膜，其中，钝化液包括2～10g/L的稀土化合物、30～100ml的30％过氧化氢、8～15ml/L乙醇以及10～50g/L柠檬酸；

其中，稀土化合物可以包括铈盐，镧盐、镨盐以及钕盐中的至少一种，以铈盐示例，铈盐可以包括硫酸铈、硝酸铈以及氯化铈中的至少一种。可以理解的是，由于稀土元素具有填充孔隙的性质，不论是以主要成膜物质还是以添加剂方式加入钝化液中，其形成钝化膜都具备较好的致密性、防腐效果优良，在过氧化氢的辅助成膜作用下，稀土化合物浓度在2～10g/L可得到紧密的钝化膜，稀土盐浓度过高溶解性不好、成本较高，过低则不足以成膜或成膜过薄，乙醇和柠檬酸可以作为添加剂，适量可提高钝化液稳定性和钝化膜均匀性。

示例一，钝化液包括硫酸铈10g/L、过氧化氢100ml/L、乙醇12ml/L以及柠檬酸25g/L，钝化液的溶液温度为75℃，PH值为3，将上述除油处理、酸洗处理以及活化处理后的第一盖板和/或第二盖板放置于该钝化液中浸泡进行钝化处理，钝化处理30min。通过该方式在第一盖板和/或第二盖板表面可以形成厚度在90nm～100nm的钝化膜，

示例二，钝化液包括硫酸铈2g/L、过氧化氢50ml/L、乙醇8ml/L以及柠檬酸10g/L，钝化液的溶液温度为90℃，PH值为2.3，将上述除油处理、酸洗处理以及活化处理后的第一盖板和/或第二盖板放置于该钝化液中浸泡进行钝化处理，钝化处理60min。通过该方式得到在第一盖板和/或第二盖板表面可以形成厚度在50-60nm的钝化膜。

示例三，钝化液包括氯化铈5g/L、过氧化氢30ml/L、乙醇10ml/L以及柠檬酸50g/L，钝化液的溶液温度为60℃，PH值为2，将上述除油处理、酸洗处理以及活化处理后的第一盖板和/或第二盖板放置于该钝化液中浸泡进行钝化处理，钝化处理40min。通过该方式得到在第一盖板和/或第二盖板表面可以形成厚度在60-70nm的钝化膜。

通过阴极试验和耐点蚀性实验联合测试对上述示例一、示例二和示例三中的钝化后的盖板进行评估检测，具体检测结论如下表：

示例	钝化膜厚度	结合力	耐点蚀性能
				一	90-100nm	合格	5-7h
二	50-60nm	合格	8-10h
				三	60-70nm	合格	3.5-4h
空白(未处理)	/	/	1h

关于阴极试验和耐点蚀性实验可以通过：

将上述示例一、示例二或示例三中钝化后的盖板放在5％的氢氧化钠溶液中作为阴极，不锈钢板作为阳极，操作温度为90℃，使用10A/dm²的电流进行15min的电解处理，采用的是铁氰化钾10g/L和氯化钠20g/L的混合液对阴极实验后的钝化膜进行耐点蚀性实验，用滴管将溶液滴在待测阴极实验后的钝化膜表面，记录溶液颜色完全变透明的时间作为耐点蚀性能的一种表征。

由上表可知，示例一的钝化膜不但可以将厚度控制在90-100nm，在阴极实验中并未出现钝化膜剥离脱落的现象，在耐点蚀性实验中没有迅速(5min内)出现蓝点，在5-7小时后溶液颜色完全变透明。示例二的钝化膜不但可以将厚度控制在50-60nm，在阴极实验中并未出现钝化膜剥离脱落的现象，在耐点蚀性实验中没有迅速(5min内)出现蓝点，在8-10小时后溶液颜色完全变透明。示例三的钝化膜不但可以将厚度控制在60-70nm，在阴极实验中并未出现钝化膜剥离脱落的现象，在耐点蚀性实验中没有迅速(5min内)出现蓝点，在5-7小时后溶液颜色完全变透明，说明钝化膜与盖板结合紧密，不易分离。

由此可见，上述钝化膜大幅提升了盖板的耐蚀性，使易受水蒸气侵蚀的铁元素被完全覆盖，有利于抑制铁-水反应以及铁-铜之间所引发的原电池反应，从而提高均温板的使用寿命。

在一些实施例中，为了提高钝化膜成膜的可靠性，在钝化处理后，钝化后用纯水清洗残留在第一盖板和/或第二盖板上多余的钝化液，然后在80℃～100℃的温度下进行干燥处理，干燥处理时间为10min～30min,得到钝化处理后的第一盖板和第二盖板,在上述示例一中，形成钝化膜后，将第一盖板和第二盖板在80℃的温度下进行干燥处理，干燥处理时间15min，在上述示例二中，形成钝化膜后，将第二盖板和第二盖板在100℃的温度下进行干燥处理，干燥时间为15min，在上述示例三中，形成钝化膜后，将第二盖板和第二盖板在100℃的温度下进行干燥处理，干燥时间为15min。

304，毛细结构获取步骤：在第一盖板的钝化膜表面或第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构。

通过上述的钝化方式，第一盖板和第二盖板可以形成封闭内腔的表面形成有钝化膜，在第一盖板钝化膜或第二盖板的表面设置毛细结构，毛细结构可以如上所述的毛细结构，在此不再赘述。

在一些实施例中，为了提高散热装置的结构强度，当在第一盖板设置有毛细结构时，可以在第二盖板没有形成钝化膜之前还可以设置有支撑结构，支撑结构可以包括多个间隔设置的支撑柱，第二盖板设置有容纳槽，容纳槽内设置有多个间隔设置的支撑柱，支撑柱自容纳槽槽底向槽口延伸，在第一盖板和第二盖板盖合后可以与第一盖板的毛细结构抵接，多个支撑柱均收容于容纳槽内，通过多个支撑柱，可以保证散热装置的结构强度。第二盖板的容纳槽和支撑柱可以通过蚀刻或冲压形成于第二盖板上。在一些实施例中，多个支撑柱还可以通过粘接的方式固定在容纳槽的槽底上。支撑柱可以呈阵列排布且相邻支撑柱间隔设置。当然，支撑柱也可以是不规则排布。在第二盖板设置支撑结构后，在支撑结构以及第二盖板容纳槽的槽壁和槽底均设置有钝化膜。

305，盖板固定步骤：将第一盖板与第二盖板盖合并固定连接，以形成封闭内腔，封闭内腔中填充有冷却介质。

第一盖板与第二盖板固定连接的方式也可以为粘接，第一盖板与第二盖板固定连接的方式还可以为螺接，第一盖板与第二盖板还可以通过多种连接方式相组合的方式实现固定连接，以使第一盖板和第二盖板形成封闭内腔，封闭内腔用于填充冷却介质，其中，冷却介质可以在盖板盖合前填充于第一盖板或第二盖板内的凹槽内。冷却介质可以为液体，在散热装置使用的过程中，散热装置热端的冷却介质汽化吸热，将热源的热量带走，汽化后的冷却介质通过封闭内腔自热端流向冷端并在冷端液化放热，之后液化后的冷却介质自毛细结构再次从冷端流向热端，如此往复循环，实现散热作用。由于第一盖板形成封闭内腔的表面设置有一层钝化膜，可以避免冷却介质直接合钢材发生反应生成难以凝结的非凝结性气体，影响散热装置的散热效果。

本发明实施例提供的散热装置的制作方法，通过上述钝化方式在由钢材形成的第一盖板和/或第二盖板的表面形成稀土化合物钝化膜，且该钝化方式操作简单、成本低廉、环境友好，钝化膜的稳定性较高耐腐蚀性强。在可以满足散热装置对于散热功能的需求的同时还可以满足对于轻薄化的需求。

为了说明散热装置的结构，请参阅图3至图5，图3为本发明提供的散热装置的结构示意图，图4为图3所示散热装置的爆炸结构图。图5为图3所示散热装置沿A-A方向的剖面图。

散热装置100可以包括由钢板制成的第一盖板11、由钢板制成的第二盖板12以及毛细结构15，第一盖板11和第二盖板12相对设置且固定连接以形成封闭内腔13，毛细结构14设置在封闭内腔13内，封闭内腔13填充有冷却介质(图中未示出)，第一盖板11和第二盖板12形成封闭内腔13的表面均设置有钝化膜14。

其中，第一盖板11与第二盖板12可以相对设置且固定连接形成板体，第一盖板11设置有第一凹槽131，和第二盖板12设置有第二凹槽132，以使第一盖板11和第二盖板12盖合后可形成具有封闭内腔13的板体，第一凹槽131可以用于容纳毛细结构15，第二凹槽132可以用于填充冷却介质。

在一些实施例中，第一盖板11可以为直板结构，第二盖板12设置有凹槽，以使第一盖板11和第二盖板12盖合可以形成封闭内腔；或者第二盖板12为直板结构，第一盖板11设置有凹槽，以使第一盖板11和第二盖板12盖合可以形成封闭内腔；或者第一盖板11和第二盖板12均为直板结构，通过粘接件使得第一盖板11和第二盖板12之间可以形成封闭内腔。

其中，第一盖板11与第二盖板12固定连接的方式也可以为粘接，第一盖板11与第二盖板12固定连接的方式还可以为螺接，第一盖板11与第二盖板12还可以通过多种连接方式相组合的方式实现固定连接，本发明对第一盖板11与第二盖板12之间具体的连接方式不做限制。

第一盖板11和第二盖板12形成的板体可以为矩形结构，也可以为圆角矩形结构，还可以为其他不规则的形状结构。

第一盖板11和第二盖板12的材料为钢材，诸如不锈钢材料，第一盖板11和第二盖板12形成封闭内腔的表面形成有钝化膜14，例如，可以通过化学或物理的方法对不锈钢材料的第一盖板11和/或第二盖板12的表面进行钝化处理，以使第一盖板11和/或第二盖板12的表面形成钝化膜，特别的，在第一盖板11和第二盖板12形成封闭内腔的表面形成钝化膜14，可以通过上述钝化方法在第一盖板11和第二盖板12形成封闭内腔的表面形成钝化膜14。

钝化膜14包第一盖板的钝化膜141和第二盖板的钝化膜142，第一盖板的钝化膜141的表面设置有毛细结构15，可以通过金属丝编织、金属粉烧结、表面电化学沉积的方式在第一盖板的钝化膜141的表面设置毛细结构，还可以通过其他的方式在第一盖板的钝化膜141的表面设置毛细结构，毛细结构15的材料可以包括铜或者铜合金。

在一些实施例中，还可以将毛细结构15设置于第二盖板的钝化膜142表面，或者在第一盖板的钝化膜141的表面和第二盖板的钝化膜142的表面均设置有毛细结构15。

相关技术中，散热装置的第一盖板和第二盖板的材料一般为铜或铜合金，材料强度和支撑效果较差，若为了满足散热装置对于强度的要求，需要增大铜或铜合金的厚度，无法满足散热装置对于轻薄化的需求。基于此，本发明将钢材作为散热装置的板体的材料，并在板体表面形成钝化膜，可以避免将钢材用作板体在散热装置使用过程中会产生非凝结性气体的现象，基于此，本发明提供一种散热装置，满足散热装置对于轻薄化的需求。

在一些实施例中，为了增加散热装置的结构强度，散热装置还可以设置有支撑结构，具体的，第二凹槽132内设置有支撑结构，其中，支撑结构可以包括多个间隔设置的支撑柱121，支撑柱121自第二盖板12朝向第一盖板11延伸并抵接设置在第一盖板11的毛细结构15上。多个支撑柱121均收容于封闭内腔中，通过多个支撑柱121，可以保证本实施例中的散热装置的结构强度。第二盖板12的第二凹槽132和支撑柱121可以通过蚀刻或冲压形成于第二盖板12上。在一些实施例中，多个支撑柱121可以通过粘接的方式固定在第二凹槽132的槽底上。本实施例中的支撑柱121呈阵列排布且相邻支撑柱121间隔设置。当然，支撑柱121也可以是不规则排布。在第二凹槽132的槽底以及多个支撑柱121的表面设置第二盖板的钝化膜142。

在一些实施例中，支撑结构还可以为其他不规则形态的具有支撑作用的结构，此处不作具体限制，以实际需求为准。

相关技术中，散热装置的第一盖板和第二盖板的材料一般为铜或铜合金，材料强度和支撑效果较差，若为了满足散热装置对于强度的要求，需要增大铜或铜合金的厚度，无法满足散热装置对于轻薄化的需求。基于此，本发明将钢材作为散热装置的板体的材料，并在板体表面形成稀土化合物钝化膜，并在第二盖板上设置有支撑结构，可以避免将钢材用作板体在散热装置使用过程中会产生非凝结性气体的现象的同时，还可以提高散热装置的结构强度，满足散热装置对于轻薄化以及结构强度的需求。

以上的仅是本发明的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种散热装置的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

盖板获取步骤：获取由钢板制成的第一盖板和第二盖板；

盖板钝化步骤：通过钝化液对所述第一盖板和/或所述第二盖板进行钝化处理，以在所述第一盖板和/或所述第二盖板表面形成钝化膜，其中，所述钝化液包括2～10g/L的稀土化合物、30～100ml的30％过氧化氢、8～15ml/L乙醇以及10～50g/L柠檬酸；

毛细结构获取步骤：在所述第一盖板的钝化膜表面或所述第二盖板的钝化膜表面设置毛细结构；

盖板固定步骤：将所述第一盖板与所述第二盖板盖合并固定连接，以形成封闭内腔，所述毛细结构收容于所述封闭内腔中，所述封闭内腔中填充有冷却介质。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述盖板钝化步骤中：所述钝化液的溶液温度为60℃～90℃；PH值保持在2～3；所述钝化处理的时间为10min～60min。

3.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述稀土化合物包括铈盐，镧盐、镨盐以及钕盐中的至少一种。

4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述稀土化合物包括硫酸铈、硝酸铈以及氯化铈中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述第一盖板和所述第二盖板的厚度为0.05mm～0.4mm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的制作方法，其特征在于，在所述盖板钝化步骤之后还包括：将钝化处理后的所述第一盖板和/或所述第二盖板在80℃～100℃的温度下干燥处理10min～30min。

7.根据权利要求1-5任一项所述的制作方法，其特征在于，在所述盖板钝化步骤之前，还包括：

对所述第一盖板和/或和所述第二盖板进行除油处理、酸洗处理以及活化处理中的一种或多种处理。

8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述除油处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于70℃～80℃的除油溶液中浸泡，所述除油溶液包括10～50g/L氢氧化钠、10～50g/L碳酸钠以及1～5mL/L乳化剂；

所述酸洗处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于20℃～40℃的酸性溶液中浸泡，所述酸性溶液包括20～30％体积分数的盐酸和3～5g/L的若丁；

所述活化处理包括：将所述第一盖板和/或所述第二盖板放置于15℃～30℃的活化溶液中浸泡，所述活化溶液包括10～20％体积分数的盐酸和5～10g/L的乙酸。

9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述除油溶液中的浸泡时间为20min～30min；所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述酸性溶液中的浸泡时间为1min～2min；所述第一盖板和/或所述第二盖板在所述活化溶液中的浸泡时间为0.5min～1min。

10.一种散热装置，其特征在于，所述散热装置采用权利要求1-9任一项所述的散热装置的制作方法制作形成。

Images