CN112747029B - 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘 - Google Patents

一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘 Download PDF

Info

Publication number
CN112747029B
CN112747029B CN201911051295.4A CN201911051295A CN112747029B CN 112747029 B CN112747029 B CN 112747029B CN 201911051295 A CN201911051295 A CN 201911051295A CN 112747029 B CN112747029 B CN 112747029B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum
hole
round hole
holes
annular groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201911051295.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112747029A (zh
Inventor
王伟
周冠宇
徐敏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fudan University
Original Assignee
Fudan University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fudan University filed Critical Fudan University
Priority to CN201911051295.4A priority Critical patent/CN112747029B/zh
Publication of CN112747029A publication Critical patent/CN112747029A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112747029B publication Critical patent/CN112747029B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16BDEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B47/00Suction cups for attaching purposes; Equivalent means using adhesives

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Jigs For Machine Tools (AREA)

Abstract

本发明提供了一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,包括:真空通路部,呈圆盘状,具有设置在内部的真空腔、设置在真空腔上表面的通过圆心且沿直径方向均匀设置的第一贯通圆孔以及在设置在真空腔下表面中心的第二贯通圆孔;橡胶吸附部,设置在真空通路部的上方,呈圆盘状,具有环形槽以及设置在环形槽下方的与第一贯通圆孔相对齐的贯通孔;以及真空发生器部,设置在真空通路部的下方,呈圆盘状,其内部设有真空发生器,上表面中心处开有与第二贯通圆孔对齐的圆孔,其中,真空发生器部、橡胶吸附部以及真空通路部之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构。

Description

一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘
技术领域
本发明涉及一种真空吸盘,具体涉及一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘。
背景技术
在工业日益发达的今天,真空技术已经广泛应用于各行各业,并取得了各种重要成就。传统的真空吸盘按照性质分类可分为柔性真空吸盘和刚性真空吸盘,柔性真空吸盘在吸附物体时虽然可以与被吸附物体充分贴合,但真空吸盘的形变量较大,由此造成被吸取物件的变形也较大,尤其是被吸取对象为超薄型零件时。刚性真空吸盘则相反,虽然真空吸盘的形变量较小,但吸附刚性物体时,贴合面之间存有缝隙,会出现漏气,从而造成吸附不牢靠的情况。并且传统真空吸盘与真空发生器分开连接,占用空间位置较大,结构较为复杂。
发明内容
本发明是为了解决上述问题而进行的,目的在于提供一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘。
本发明提供了一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,具有这样的特征,包括:真空通路部,呈圆盘状,具有设置在内部的真空腔、设置在真空腔上表面的通过圆心且沿直径方向均匀设置的第一贯通圆孔以及在设置在真空腔下表面中心的第二贯通圆孔;橡胶吸附部,设置在真空通路部的上方,呈圆盘状,具有环形槽以及设置在环形槽的下端处与第一贯通圆孔相对齐的贯通孔;以及真空发生器部,设置在真空通路部的下方,呈圆盘状,其内部设有真空发生器,上表面中心处开有与第二贯通圆孔对齐的圆孔,其中,真空通路部的侧边还设有第一通孔,该第一通孔的数量为两个并对称设置在真空通路部的侧边,第一通孔中设有管螺纹,用于旋入喉塞来对真空腔进行密封,真空发生器部的侧边还设置有第二通孔,该第二通孔的数量为两个并对称设置在真空发生器部的侧边,环形槽竖直置于贯通孔中且环形槽的底端置于第一贯通圆孔处来与真空腔连接,真空发生器部、橡胶吸附部以及真空通路部之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构。
在本发明提供的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘中,还可以具有这样的特征:其中,真空通路部和真空发生器部的材料均为不锈钢,橡胶吸附部的材料为异戊橡胶。
在本发明提供的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘中,还可以具有这样的特征:其中,橡胶吸附部的厚度为8-10mm,环形槽的宽度2mm,环形槽的槽深为2mm,贯通孔的直径2mm。
在本发明提供的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘中,还可以具有这样的特征:其中,真空发生器包括进气口、拉法尔喷管、真空室、扩压管以及排气口,真空室经过第二贯通圆孔与圆孔后直接与真空腔连接,进气口和排气口分别与两个第二通孔连接。
在本发明提供的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘中,还可以具有这样的特征:其中,第二贯通圆孔的直径为10mm。
在本发明提供的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘中,还可以具有这样的特征:其中,第一通孔的直径为6mm。
发明的作用与效果
根据本发明所涉及的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,因为真空通路部和真空发生器部均使用了刚性大的不锈钢材料,所以使得部件不易变形,同时橡胶吸附部使用了弹性大,拉伸强度大,抗撕裂性强的异戊橡胶材料,从而能够在控制住变形量的同时,使得被吸附物体与真空吸盘吸附面充分的贴合;因为真空发生器部、橡胶吸附部以及真空通路部之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构,所以,结构简单,且整体结构小巧。因此,本发明的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,结构简单,安装方便,节省空间,既能与被吸附物体充分贴合、牢固吸附,又能保持被吸取零件小的变形量,保证了零件的面形精度。
附图说明
图1是本发明的实施例中的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的整体结构示意图;
图2是本发明的实施例中一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的侧面结构示意图;
图3是本发明的实施例中的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的纵向剖视图;
图4是本发明的实施例中的真空发生器的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段与功效易于明白了解,以下结合实施例及附图对本发明作具体阐述。
图1是本发明的实施例中的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的整体结构示意图。
如图1所示,本实施例的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘100,包括真空通路部10、橡胶吸附部20以及真空发生器部30。
真空发生器部10、橡胶吸附部20以及真空通路部30之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构。
真空通路部10和真空发生器部30的材料均为不锈钢,橡胶吸附部20的材料为异戊橡胶。
橡胶吸附部20的厚度为8-10mm。
图2是本发明的实施例中一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的侧面结构示意图,图3是本发明的实施例中的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的纵向剖视图。
如图2和图3所示,真空通路部10呈圆盘状,具有设置在内部的真空腔11、设置在真空腔11上表面的通过圆心且沿直径方向均匀设置的第一贯通圆孔12以及在设置在真空腔11下表面中心的第二贯通圆孔13。
第二贯通圆孔13的直径为10mm。
橡胶吸附部20设置在真空通路部10的上方,呈圆盘状,具有环形槽21以及设置在环形槽21的下端处与第一贯通圆孔12相对齐的贯通孔22。
真空发生器部30设置在真空通路部10的下方,呈圆盘状,其内部设有真空发生器,上表面中心处开有与第二贯通圆孔13对齐的圆孔32。
如图2所示,真空通路部10的侧边还设有第一通孔40,该第一通孔40的数量为两个并对称设置在真空通路部10的侧边,第一通孔40为沉孔,该第一通孔40中设有管螺纹,用于旋入喉塞来对真空腔11进行密封。
真空发生器部30的侧边还设置有第二通孔50,该第二通孔50的数量为两个并对称设置在真空发生器部30的侧边。
第一通孔40的直径为6mm。
环形槽21竖直置于贯通孔22中且环形槽21的底端置于第一贯通圆孔12处来与真空腔11连接,
环形槽21的宽度2mm,环形槽21的槽深为2mm,贯通孔22的直径2mm。
图4是本发明的实施例中的真空发生器的结构示意图。
如图4所示,真空发生器包括进气口311、拉法尔喷管312、真空室313、扩压管314以及排气口315,真空室313经过第二贯通圆孔13与圆孔32后直接与真空腔11连接。
真空室313经过第二贯通圆孔13与圆孔32后直接与真空腔11连接,进气口311和排气口315分别与两个第二通孔50连接。
本实施例中的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘的工作过程如下:首先通过进气口311往真空发生器中通入压缩空气,当气体经过拉法尔喷管312附近时,气体由于卷吸作用被抽走,从而在真空室313中形成了一定的真空度,由于真空室313与真空腔11相连,此时真空腔11也与外部形成了一定的压强差,真空腔11内部的压强小于外界压强,并通过与真空腔11连接的环形槽21,利用产生的压强差来使得物体吸附在橡胶吸附部20的表面。
实施例的作用与效果
根据本实施例所涉及的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,因为真空通路部和真空发生器部均使用了刚性大的不锈钢材料,所以使得部件不易变形,同时橡胶吸附部使用了弹性大,拉伸强度大,抗撕裂性强的异戊橡胶材料,从而能够在控制住变形量的同时,使得被吸附物体与真空吸盘吸附面充分的贴合;因为真空发生器部、橡胶吸附部以及真空通路部之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构,所以,结构简单,且整体结构小巧。因此,本实施例的一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,结构简单,安装方便,节省空间,既能与被吸附物体充分贴合、牢固吸附,又能保持被吸取零件小的变形量,保证了零件的面形精度。
上述实施方式为本发明的优选案例,并不用来限制本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于,包括:
真空通路部,呈圆盘状,具有设置在内部的真空腔、设置在所述真空腔上表面的通过圆心且沿直径方向均匀设置的第一贯通圆孔以及在设置在所述真空腔下表面中心的第二贯通圆孔;
橡胶吸附部,设置在所述真空通路部的上方,呈圆盘状,具有环形槽以及设置在所述环形槽的底端处与所述第一贯通圆孔相对齐的贯通孔;以及
真空发生器部,设置在所述真空通路部的下方,呈圆盘状,其内部设有真空发生器,上表面中心处开有与所述第二贯通圆孔对齐的圆孔,
其中,所述真空通路部的侧边还设有第一通孔,该第一通孔的数量为两个并对称设置在所述真空通路部的侧边,所述第一通孔中设有管螺纹,用于旋入喉塞来对所述真空腔进行密封,
所述真空发生器部的侧边还设置有第二通孔,该第二通孔的数量为两个并对称设置在所述真空发生器部的侧边,
所述贯通孔与所述第一贯通圆孔对应接触连接,所述环形槽通过所述贯通孔和所述第一贯通圆孔与所述真空腔连接,
所述真空发生器部、所述橡胶吸附部以及所述真空通路部之间用密封胶密封,并用螺丝和螺母旋紧固定,形成一体式结构。
2.根据权利要求1所述的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于:
其中,所述真空通路部和所述真空发生器部的材料均为不锈钢,所述橡胶吸附部的材料为异戊橡胶。
3.根据权利要求1所述的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于:
其中,所述橡胶吸附部的厚度为8-10mm,所述环形槽的宽度2mm,所述环形槽的槽深为2mm,所述贯通孔的直径2mm。
4.根据权利要求1所述的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于:
其中,所述真空发生器包括进气口、拉法尔喷管、真空室、扩压管以及排气口,所述真空室经过所述第二贯通圆孔与所述圆孔后直接与所述真空腔连接,所述进气口和所述排气口分别与两个所述第二通孔连接。
5.根据权利要求1所述的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于:
其中,所述第二贯通圆孔的直径为10mm。
6.根据权利要求1所述的面向超薄光学零件吸取的真空吸盘,其特征在于:
其中,所述第一通孔的直径为6mm。
CN201911051295.4A 2019-10-31 2019-10-31 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘 Active CN112747029B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911051295.4A CN112747029B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201911051295.4A CN112747029B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112747029A CN112747029A (zh) 2021-05-04
CN112747029B true CN112747029B (zh) 2022-03-18

Family

ID=75641255

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201911051295.4A Active CN112747029B (zh) 2019-10-31 2019-10-31 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112747029B (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09237824A (ja) * 1996-02-29 1997-09-09 Kyocera Corp 物品保持装置
CN102765601A (zh) * 2012-07-30 2012-11-07 中国人民解放军国防科学技术大学 用于kdp晶体搬运和位置调整的真空吸附装置
CN204834590U (zh) * 2015-07-21 2015-12-02 麦斯克电子材料有限公司 一种背封去边工艺用吸盘装置
CN105485144A (zh) * 2016-01-27 2016-04-13 北京工业大学 一种kdp晶体材料真空吸盘
CN209401605U (zh) * 2019-01-24 2019-09-17 安徽安芯电子科技股份有限公司 一种半导体晶圆真空定位装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2299959Y (zh) * 1997-05-23 1998-12-09 赵俊成 抽真空式吸附器
JP2000195927A (ja) * 1998-12-28 2000-07-14 Sony Corp 真空チャック装置
CN201267961Y (zh) * 2008-09-27 2009-07-08 重庆斯普瑞涂装设备有限公司 新型喷砂机喷嘴
KR20110020955A (ko) * 2009-08-24 2011-03-04 (주)굿센스 탄성 진공흡착구
CN201561039U (zh) * 2009-12-11 2010-08-25 伍坚垣 真空吸盘
CN204591973U (zh) * 2015-02-09 2015-08-26 德清晶生光电科技有限公司 一种晶体吸盘装置
CN205969088U (zh) * 2016-07-26 2017-02-22 上海飞为自动化系统有限公司 一种用于抓取pcb板的吸盘装置
CN108555729B (zh) * 2017-12-20 2020-01-10 复旦大学 光学镜片小磨头光学加工中的边缘误差控制方法
CN110124908B (zh) * 2019-06-21 2021-09-07 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) 晶片真空吸附装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09237824A (ja) * 1996-02-29 1997-09-09 Kyocera Corp 物品保持装置
CN102765601A (zh) * 2012-07-30 2012-11-07 中国人民解放军国防科学技术大学 用于kdp晶体搬运和位置调整的真空吸附装置
CN204834590U (zh) * 2015-07-21 2015-12-02 麦斯克电子材料有限公司 一种背封去边工艺用吸盘装置
CN105485144A (zh) * 2016-01-27 2016-04-13 北京工业大学 一种kdp晶体材料真空吸盘
CN209401605U (zh) * 2019-01-24 2019-09-17 安徽安芯电子科技股份有限公司 一种半导体晶圆真空定位装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN112747029A (zh) 2021-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203392511U (zh) 一种拆码垛用凹腔吸盘
CN112747029B (zh) 一种面向超薄光学零件吸取的真空吸盘
US20160288334A1 (en) Sucking disc
CN112157672A (zh) 一种环形槽真空吸盘
CN208438349U (zh) 一种真空吸盘结构
CN207018686U (zh) 核电管道用不锈钢法兰
CN208196792U (zh) 真空发生器及真空机械手
CN207879831U (zh) 一种旋转闭锁式液压减震吸盘装置
CN207373201U (zh) 一种超薄型板材抽真空吸附装置
CN108406835A (zh) 一种真空吸盘结构
CN213971259U (zh) 一种环形槽真空吸盘
CN206960316U (zh) 一种海绵透气率检测仪
CN105936017A (zh) 大吸附力吸盘
CN217394713U (zh) 高精密工业加工真空吸附系统
CN208247833U (zh) 一种带有吸盘装置的雕刻机
CN219616546U (zh) 板件吸附装置及折弯机
CN104786229A (zh) 三维吸盘
KR101621374B1 (ko) 진공흡착장치용 회전식 진공 헤드
CN216729205U (zh) 一种模具用吸附结构
CN219789257U (zh) 板件吸附组件及折弯机
CN213899855U (zh) 一种新型橡胶帽
CN215058449U (zh) 一种降噪效果好的离心风机蜗壳
CN219685091U (zh) 一种玻璃加工用吸附装置
CN111997985B (zh) 双空间吸附器
CN202165355U (zh) 一种密封性能好的脉冲阀配对法兰

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant