CN112725758A - 一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，包括工作台，所述工作台上焊接有支脚，所述支脚有四个，四个所述支脚均匀分布在工作台的四个拐角，所述工作台上开设有限位孔，所述限位孔内滑动套接有螺纹杆，所述螺纹杆上焊接有转盘，所述工作台上固定安装有镀膜机，所述工作台上焊接有两个侧板，两个所述侧板对称分布在工作台上，两个所述侧板上焊接有支撑板，所述支撑板靠近工作台的一端焊接有两个支撑座，两个所述支撑座对称分布在支撑板上，两个所述支撑座内滑动套接有正反转螺纹丝杆。本发明涉及一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，具有薄膜平整度高和装置镀膜效率更高的特点。
Description
技术领域
本发明属于真空镀膜技术领域，具体为一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构。
背景技术
磁控溅射镀膜是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点，将离子引向欲被溅射的物质制成的靶电极，并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜的方法。采用磁控溅射技术镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高，因此，磁控溅射技术已经成为制备各种功能薄膜的重要手段，主要应用于光电材料、包装材料、反光材料、保温隔热材料、表面装潢材料、电气材料等。
现有技术中，多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备在使用过程中，薄膜进入设备时，不能完全展开，横向存着褶皱，对镀膜质量有影响，同时，薄膜进入设备时过于松弛，使得薄膜在设备内部容易产生相对打滑，影响镀膜效率。因此，需要对现有技术进行改进。
发明内容：
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，解决了背景技术中提到的问题。
为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：
一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，包括工作台，所述工作台上焊接有支脚，所述支脚有四个，四个所述支脚均匀分布在工作台的四个拐角，所述工作台上开设有限位孔，所述限位孔内滑动套接有螺纹杆，所述螺纹杆上焊接有转盘，所述工作台上固定安装有镀膜机，所述工作台上焊接有两个侧板，两个所述侧板对称分布在工作台上，两个所述侧板上焊接有支撑板，所述支撑板靠近工作台的一端焊接有两个支撑座，两个所述支撑座对称分布在支撑板上，两个所述支撑座内滑动套接有正反转螺纹丝杆，所述正反转螺纹丝杆的外侧设置有防滑套。
作为优选，所述转盘的一端接触连接有工作台，所述转盘远离螺纹杆的一端焊接有把手，所述螺纹杆的外侧通过螺纹连接有连接板，所述连接板上焊接有两个套筒，两个所述套筒对称分布在连接板上，所述工作台内滑动套有套筒，每个所述套筒上开设有支撑孔，每个所述支撑孔内滑动套接有伸缩杆，所述伸缩杆的下端焊接有限位块，所述套筒内设置有弹簧，所述弹簧的一端接触连接有套筒，所述弹簧的另一端接触连接有限位块，两个所述伸缩杆远离限位块的一端转动连接有支撑轴，所述支撑轴上设置有支撑辊。
作为优选，所述螺纹杆的末端焊接有挡块，所述挡块靠近工作台的一端接触连接有连接板。
作为优选，所述正反转螺纹丝杆的外侧通过螺纹连接有两个滑杆，两个所述滑杆对称分布在正反转螺纹丝杆上，所述支撑板上开设有两个滑槽，两个所述滑槽对称分布在支撑板上，每个所述滑槽内滑动连接有滑杆，所述支撑板远离工作台的一端滑动连接有两个滑板，两个所述滑板对称分布在支撑板上，每个所述滑板靠近工作台的一端开设有导向槽，所述导向槽内滑动连接有滑杆，所述导向槽内设置有导杆，所述导杆的两端焊接在滑板上，所述导杆的外侧设置有压簧，所述滑板远离支撑板的一端焊接有安装板。
作为优选，所述滑杆上开设有导向孔，所述导向孔内滑动套接有导杆。
作为优选，所述压簧的一端接触连接有滑杆，所述压簧的另一端接触连接有滑板。
作为优选，所述安装板上固定安装有电机，所述电机上设置有转轴，所述安装板内转动连接有转轴，所述转轴远离电机一端的外侧套接有连接套，所述连接套远离电机的一端焊接有带轮，所述带轮的外侧套接有第一皮带，所述安装板内转动连接有多个转动轴，多个所述转动轴成一字排列分布在安装板内，每个所述转动轴的外侧固定套接有主动轮，所述主动轮的外侧套接有第一皮带，所述转动轴的末端设置有压紧辊，所述转动轴的外侧固定套接有从动轮，所述从动轮外侧套接有第二皮带，多个所述从动轮之间通过第二皮带连接。
作为优选，所述连接套的侧壁滑动套接有限位销，所述转轴内通过螺纹连接有限位销。
本发明的有益效果是：本发明涉及一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，具有薄膜平整度高和装置镀膜效率更高的特点，在具体的使用中，与传统的多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构相比较而言，本多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构具有以下两个有益效果：
首先，通过在支撑板下端设置正反转螺纹丝杆，正反针螺纹丝杆转动使得滑杆移动，滑杆移动作用在压簧上，使得滑板在支撑板上滑动，同时，压紧辊压紧薄膜进行传输，使得薄膜在横向上被拉紧展开，进而使得薄膜整体被展平，进而使得薄膜在镀膜时更加均匀，镀膜质量更好；
其次，通过在工作台上设置螺纹杆，螺纹杆转动使得连接板移动，连接板移动使得套筒移动，使得弹簧将限位块下压，进而使得伸缩杆受到向下的作用力，使得通过支撑辊表面的薄膜被张紧，避免薄膜过于松弛，在镀膜机内部产生相对打滑，在镀膜机内部堆积，使得装置镀膜效率更高。
附图说明：
为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。
图1为本发明的整体结构示意图；
图2为本发明的图1中的支撑辊左视图；
图3为本发明的图2中的套筒局部剖视图；
图4为本发明的图1中的支撑板左视图；
图5为本发明的图4中的A处放大图；
图6为本发明的图4中的B处放大图。
图中：1、工作台；2、支脚；3、限位孔；4、螺纹杆；5、转盘；6、把手；7、挡块；8、连接板；9、套筒；10、支撑孔；11、伸缩杆；12、限位块；13、弹簧；14、支撑轴；15、支撑辊；16、镀膜机；17、侧板；18、支撑板；19、支撑座；20、正反转螺纹丝杆；21、防滑套；22、滑杆；23、滑槽；24、滑板；25、导向槽；26、导杆；27、导向孔；28、压簧；29、安装板；30、电机；31、转轴；32、连接套；33、限位销；34、带轮；35、第一皮带；36、转动轴；37、主动轮；38、压紧辊；39、从动轮；40、第二皮带。
具体实施方式：
如图1-6所示，本具体实施方式采用以下技术方案：
实施例：
一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，包括工作台1，所述工作台1上焊接有支脚2，所述支脚2有四个，四个所述支脚2均匀分布在工作台1的四个拐角，所述工作台1上开设有限位孔3，所述限位孔3内滑动套接有螺纹杆4，所述螺纹杆4上焊接有转盘5，所述工作台1上固定安装有镀膜机16，所述工作台1上焊接有两个侧板17，两个所述侧板17对称分布在工作台1上，两个所述侧板17上焊接有支撑板18，所述支撑板18靠近工作台1的一端焊接有两个支撑座19，两个所述支撑座19对称分布在支撑板18上，两个所述支撑座19内滑动套接有正反转螺纹丝杆20，所述正反转螺纹丝杆20的外侧设置有防滑套21。
其中，所述转盘5的一端接触连接有工作台1，所述转盘5远离螺纹杆4的一端焊接有把手6，所述螺纹杆4的外侧通过螺纹连接有连接板8，所述连接板8上焊接有两个套筒9，两个所述套筒9对称分布在连接板8上，工作台1内滑动套有套筒9，每个所述套筒9上开设有支撑孔10，每个所述支撑孔10内滑动套接有伸缩杆11，所述伸缩杆11的下端焊接有限位块12，所述套筒9内设置有弹簧13，所述弹簧13的一端接触连接有套筒9，所述弹簧13的另一端接触连接有限位块12，两个所述伸缩杆11远离限位块12的一端转动连接有支撑轴14，所述支撑轴14上设置有支撑辊15。
其中，所述螺纹杆4的末端焊接有挡块7，所述挡块7靠近工作台1的一端接触连接有连接板8。
其中，所述正反转螺纹丝杆20的外侧通过螺纹连接有两个滑杆22，两个所述滑杆22对称分布在正反转螺纹丝杆20上，所述支撑板18上开设有两个滑槽23，两个所述滑槽23对称分布在支撑板18上，每个所述滑槽23内滑动连接有滑杆22，所述支撑板18远离工作台1的一端滑动连接有两个滑板24，两个所述滑板24对称分布在支撑板18上，每个所述滑板24靠近工作台1的一端开设有导向槽25，所述导向槽25内滑动连接有滑杆22，所述导向槽25内设置有导杆26，所述导杆26的两端焊接在滑板24上，所述导杆26的外侧设置有压簧28，所述滑板24远离支撑板18的一端焊接有安装板29。
其中，所述滑杆22上开设有导向孔27，所述导向孔27内滑动套接有导杆26。
其中，所述压簧28的一端接触连接有滑杆22，所述压簧28的另一端接触连接有滑板24。
其中，所述安装板29上固定安装有电机30，所述电机30上设置有转轴31，所述安装板29内转动连接有转轴31，所述转轴31远离电机30一端的外侧套接有连接套32，所述连接套32远离电机30的一端焊接有带轮34，所述带轮34的外侧套接有第一皮带35，所述安装板29内转动连接有多个转动轴36，多个所述转动轴36成一字排列分布在安装板29内，每个所述转动轴36的外侧固定套接有主动轮37，所述主动轮37的外侧套接有第一皮带35，所述转动轴36的末端设置有压紧辊38，所述转动轴36的外侧固定套接有从动轮39，所述从动轮39外侧套接有第二皮带40，多个所述从动轮39之间通过第二皮带40连接。
其中，所述连接套32的侧壁滑动套接有限位销33，所述转轴31内通过螺纹连接有限位销33。
本发明的使用状态为：使用时，将薄膜放置在压紧辊38和滑板24之间，转动正反转螺纹丝杆20使得滑杆22移动，滑杆22移动作用在压簧28上，使得滑板24在支撑板18上滑动并使得压簧28被压紧，同时，电机30启动转轴31转动，转轴31带动连接套32转动，连接套32带动带轮34转动，带轮34带动第一皮带35转动，第一皮带35带动主动轮37转动，主动轮37带动转动轴36转动，转动轴36带动压紧辊38转动，压紧辊38压紧薄膜进行传输，使得薄膜在横向上被拉紧展开，进而使得薄膜整体被展平，进而使得薄膜在镀膜时更加均匀，镀膜质量更好，通过在工作台1上设置螺纹杆4，螺纹杆4转动使得连接板8移动，连接板8移动使得套筒9移动，使得弹簧13将限位块12下压，进而使得伸缩杆11受到向下的作用力，使得通过支撑辊15表面的薄膜被张紧，避免薄膜过于松弛，在镀膜机16内部产生相对打滑，在镀膜机16内部堆积，使得装置镀膜效率更高。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (8)
1.一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上焊接有支脚(2)，所述支脚(2)有四个，四个所述支脚(2)均匀分布在工作台(1)的四个拐角，所述工作台(1)上开设有限位孔(3)，所述限位孔(3)内滑动套接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)上焊接有转盘(5)，所述工作台(1)上固定安装有镀膜机(16)，所述工作台(1)上焊接有两个侧板(17)，两个所述侧板(17)对称分布在工作台(1)上，两个所述侧板(17)上焊接有支撑板(18)，所述支撑板(18)靠近工作台(1)的一端焊接有两个支撑座(19)，两个所述支撑座(19)对称分布在支撑板(18)上，两个所述支撑座(19)内滑动套接有正反转螺纹丝杆(20)，所述正反转螺纹丝杆(20)的外侧设置有防滑套(21)。
2.根据权利要求1所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述转盘(5)的一端接触连接有工作台(1)，所述转盘(5)远离螺纹杆(4)的一端焊接有把手(6)，所述螺纹杆(4)的外侧通过螺纹连接有连接板(8)，所述连接板(8)上焊接有两个套筒(9)，两个所述套筒(9)对称分布在连接板(8)上，所述工作台(1)内滑动套有套筒(9)，每个所述套筒(9)上开设有支撑孔(10)，每个所述支撑孔(10)内滑动套接有伸缩杆(11)，所述伸缩杆(11)的下端焊接有限位块(12)，所述套筒(9)内设置有弹簧(13)，所述弹簧(13)的一端接触连接有套筒(9)，所述弹簧(13)的另一端接触连接有限位块(12)，两个所述伸缩杆(11)远离限位块(12)的一端转动连接有支撑轴(14)，所述支撑轴(14)上设置有支撑辊(15)。
3.根据权利要求1所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述螺纹杆(4)的末端焊接有挡块(7)，所述挡块(7)靠近工作台(1)的一端接触连接有连接板(8)。
4.根据权利要求1所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述正反转螺纹丝杆(20)的外侧通过螺纹连接有两个滑杆(22)，两个所述滑杆(22)对称分布在正反转螺纹丝杆(20)上，所述支撑板(18)上开设有两个滑槽(23)，两个所述滑槽(23)对称分布在支撑板(18)上，每个所述滑槽(23)内滑动连接有滑杆(22)，所述支撑板(18)远离工作台(1)的一端滑动连接有两个滑板(24)，两个所述滑板(24)对称分布在支撑板(18)上，每个所述滑板(24)靠近工作台(1)的一端开设有导向槽(25)，所述导向槽(25)内滑动连接有滑杆(22)，所述导向槽(25)内设置有导杆(26)，所述导杆(26)的两端焊接在滑板(24)上，所述导杆(26)的外侧设置有压簧(28)，所述滑板(24)远离支撑板(18)的一端焊接有安装板(29)。
5.根据权利要求4所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述滑杆(22)上开设有导向孔(27)，所述导向孔(27)内滑动套接有导杆(26)。
6.根据权利要求4所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述压簧(28)的一端接触连接有滑杆(22)，所述压簧(28)的另一端接触连接有滑板(24)。
7.根据权利要求4所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述安装板(29)上固定安装有电机(30)，所述电机(30)上设置有转轴(31)，所述安装板(29)内转动连接有转轴(31)，所述转轴(31)远离电机(30)一端的外侧套接有连接套(32)，所述连接套(32)远离电机(30)的一端焊接有带轮(34)，所述带轮(34)的外侧套接有第一皮带(35)，所述安装板(29)内转动连接有多个转动轴(36)，多个所述转动轴(36)成一字排列分布在安装板(29)内，每个所述转动轴(36)的外侧固定套接有主动轮(37)，所述主动轮(37)的外侧套接有第一皮带(35)，所述转动轴(36)的末端设置有压紧辊(38)，所述转动轴(36)的外侧固定套接有从动轮(39)，所述从动轮(39)外侧套接有第二皮带(40)，多个所述从动轮(39)之间通过第二皮带(40)连接。
8.根据权利要求7所述的一种多靶材磁控溅射卷绕镀膜设备展平结构，其特征在于：所述连接套(32)的侧壁滑动套接有限位销(33)，所述转轴(31)内通过螺纹连接有限位销(33)。
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