CN112640069A - 毛细管导引装置以及打线接合装置 - Google Patents

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Abstract

毛细管导引装置40包括：导引本体部41，能够与保持于孔7h的毛细管8接触；以及驱动部42，通过使导引本体部41沿着X轴方向移动，将导引本体部41配置于能够与毛细管8接触的位置。驱动部42具有：平台46，连结于导引本体部41；驱动轴47b，在X轴方向上延伸，与平台46之间发挥摩擦阻力；以及超声波元件47a，固定于驱动轴47b的端部，并且对驱动轴47b提供超声波。

Description

毛细管导引装置以及打线接合装置
技术领域
本发明涉及一种毛细管导引装置以及打线接合装置。
背景技术
专利文献1公开一种打线接合装置。打线接合装置具有作为接合工具(bondingtool)的毛细管(capillary)。打线接合装置通过使用毛细管对打线赋予热或超声波等，而将打线连接于电极。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2018-6731号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在电子设备的制造工厂中，为了制造大量的电子设备而使多个制造装置工作。若制造装置的数量增加，则生产数增加。另一方面，制造装置需要各种维护(maintenance)作业。发生同制造装置的数量相应的维护作业。因此，生产数的增加与维护作业的负荷处于相悖的关系。因此，若可以不依赖于作业者的手而自动进行维护作业，则能够减少维护作业的负荷。
打线接合装置具有作为所述维护作业之一的毛细管更换作业。因此，所述技术领域中，期望能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的技术。
本发明的目的在于提供一种能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的毛细管导引装置以及打线接合装置。
解决问题的技术手段
本发明的一实施例是一种将毛细管导引至接合工具的保持孔的毛细管导引装置。毛细管导引装置包括：导引本体部，能够与保持于保持孔的毛细管接触；以及驱动部，通过使导引本体部沿着第二方向移动，将导引本体部配置于能够与毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向。驱动部具有：移动体，连结于导引本体部；驱动轴，在第二方向上延伸，与移动体之间发挥摩擦阻力；以及超声波产生体，固定于驱动轴的端部，并且对驱动轴提供超声波。
导引本体部能够与经接合工具保持的毛细管接触。根据所述接触，可以将经接合工具保持的毛细管的位置作为导引本体部的位置保存。此处，在使导引本体部与毛细管接触时，驱动部通过超声波产生体所提供的超声波使移动体移动，由此使导引本体部接近毛细管。而且，与毛细管接触的导引本体部的位置由移动体与驱动轴之间的摩擦阻力保持。即，在使导引本体部与毛细管接触的状态下，不存在导引本体部按压毛细管的力。其结果，在将毛细管卸除时，可靠地维持导引本体部相对于接合工具的相对位置。即，若通过所述导引本体部导引毛细管，则可以将毛细管可靠地导引至接合工具的保持孔。因此，可以可靠地进行自动的毛细管的更换作业。
所述毛细管导引装置的驱动部也可还具有振动产生部，所述振动产生部安装于移动体，并且经由移动体对导引本体部提供沿着分别与第一方向及第二方向交叉的第三方向的振动。根据所述构成，可以可靠地使导引本体部与毛细管接触。因此，可以更良好地将毛细管的位置作为导引本体部的位置保存。
所述毛细管导引装置的导引本体部可包含能够与毛细管的侧面接触的导引面及与导引面连续的锥面。导引本体部的面向接合工具的主面可包含构成导引面的开口端。相对于主面而言相反侧的导引本体部的背面可包含构成锥面的开口端。根据所述构成，自锥面侧提供新的毛细管。其结果，即使在毛细管的外周面与导引面偏移的情况下，毛细管也会沿着与导引面连续的锥面移动，由此毛细管被逐渐导向导引面。因此，可以更可靠地进行自动的毛细管的更换作业。
所述毛细管导引装置可还包括接触检测部，所述接触检测部对导引本体部与接合工具接触的情况进行检测，接触检测部可还具有：电压提供部，在接合工具与导引本体部之间产生电位差；以及信息获取部，根据由接合工具、导引本体部及电压提供部形成的电路的状态，获得表示导引本体部与接合工具接触的信息。根据所述构成，可以电性检测接合工具与导引本体部的接触。因此，可以极大地减小作用于接合工具与导引本体部之间的反作用力。于是，可以更可靠地维持导引本体部相对于接合工具的相对位置。
作为本发明的另一实施例的接合装置也可包括：接合工具，具有相对于保持孔能够装卸地保持的毛细管；以及安装部，一面通过导引部朝向保持孔导引毛细管，一面将毛细管安装于保持孔。导引部具有：导引本体部，能够与保持于保持孔的毛细管接触；以及驱动部，通过使导引本体部沿着第二方向移动，将导引本体部配置于能够与毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向。驱动部包含：移动体，连结于导引本体部；驱动轴，在第二方向上延伸，与移动体之间发挥摩擦阻力；以及超声波产生体，固定于驱动轴的端部，并且对驱动轴提供超声波。所述接合装置包括与所述毛细管导引装置为同样构成的导引部。因此，接合装置可以可靠地进行自动的毛细管的更换作业。
发明的效果
根据本发明，提供一种能够可靠地进行自动的毛细管的更换作业的毛细管导引装置以及打线接合装置。
附图说明
[图1]图1为表示实施方式的打线接合装置的立体图。
[图2]图2为将打线接合装置具有的毛细管更换装置放大表示的立体图。
[图3]图3为将毛细管保持部的一部分剖视表示的立体图。
[图4]图4为说明毛细管保持部的运行的图。
[图5]图5为表示毛细管更换装置具有的致动器的主要部分的平面图。
[图6]图6为说明致动器的运行原理的图。
[图7]图7为说明致动器的具体控制的图。
[图8]图8为说明致动器的具体控制的图。
[图9]图9为将毛细管导引装置的一部分剖视表示的立体图。
[图10]图10为毛细管导引装置的功能框图。
[图11]图12为表示毛细管更换装置的运行的图。
[图12]图12为表示继图11之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图13]图13为表示继图12之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图14]图14为表示继图13之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图15]图15为表示继图14之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图16]图16为表示继图15之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图17]图17为表示由毛细管保持部及毛细管导引装置发挥的毛细管的引导功能的图。
[图18]图18为表示由毛细管保持部及毛细管导引装置发挥的毛细管的另一引导功能的图。
[图19]图19为表示继图16之后的毛细管更换装置的运行的图。
[图20]图20为表示变形例的毛细管保持部的剖面的立体图。
具体实施方式
以下，一方面参照附图一方面对用以实施本发明的实施例进行详细说明。附图的说明中对相同部件标注相同符号，省略重复说明。
图1所示的打线接合装置1例如使用细径的金属打线将印刷基板等的电极、与设于所述印刷基板的半导体元件的电极加以电性连接。打线接合装置1对打线提供热、超声波或压力而将打线连接于电极。打线接合装置1具有基底2、用以进行所述连接作业的接合部3、及将作为被处理零件的印刷基板等搬送至接合区域的搬送部4。
接合部3包含接合工具6。在接合工具6的前端设有超声波焊头7。在超声波焊头7的前端，能够装卸地设有用以对打线提供热、超声波或压力的毛细管8。
以下的说明中，将超声波焊头7延伸的方向设为X轴(第二方向)，将由搬送部4搬送印刷基板的方向设为Y轴(第三方向)，将毛细管8进行接合动作时移动的方向(第一方向)设为Z轴。
毛细管8为定期需要更换的零件。因此，打线接合装置1具有不经由作业者的操作而自动更换毛细管8的毛细管更换装置9。
毛细管更换装置9将安装于超声波焊头7的毛细管8回收。进而，毛细管更换装置9对超声波焊头7安装新的毛细管8。即，所谓毛细管8的更换作业，包含回收毛细管8的作业及安装毛细管8的作业。所述毛细管8的更换作业在满足预先设定的条件的情况下，自动实施。例如，所述条件也可设为接合作业的次数。即，也可在每当实施规定次数的接合作业时，进行更换毛细管8的作业。
如图2所示，毛细管更换装置9具有毛细管搬送装置10(安装部)、及毛细管导引装置40(导引部)作为主要的构成部件。另外，毛细管更换装置9具有装卸夹具61及驱动装卸夹具61的夹具驱动部62作为附加的构成部件。
＜毛细管搬送装置＞
毛细管搬送装置10中，将安装于超声波焊头7的毛细管8卸除。进而，毛细管搬送装置10相对于超声波焊头7搬送毛细管8。毛细管搬送装置10具有毛细管保持部11及致动器12。
＜毛细管保持部＞
毛细管保持部11保持毛细管8。毛细管保持部11经由固持器14而安装于致动器12。毛细管保持部11呈在Z轴方向上延伸的圆柱状。毛细管保持部11的下端保持于固持器14。在毛细管保持部11的上端，能够装卸地插入毛细管8。
如图3所示，毛细管保持部11具有上插座16、螺旋弹簧17、下插座18及O形环19作为主要的构成部件。上插座16、螺旋弹簧17及下插座18配置于共同的轴线上。具体而言，自上而下依次以上插座16、螺旋弹簧17及下插座18的顺序配置。
上插座16呈大致圆筒状。上插座16具有自上端面16a到达下端面16b的贯通孔16h。上插座16保持毛细管8的锥面8a。因此，贯通孔16h的内径对应于毛细管8的锥面8a的外径。例如，贯通孔16h的内径小于毛细管本体8b的外径。在贯通孔16h的上端面16a侧，设有用于O形环19的埋头孔部16c。埋头孔部16c具有能够收纳O形环19的尺寸。埋头孔部16c的深度与O形环19的高度为相同程度。埋头孔部16c的内径与O形环19的外径为相同程度。
O形环19呈所谓圆环(torus)状的形状。O形环19与毛细管8的锥面8a直接接触。在毛细管保持部11中，O形环19保持毛细管8。所述保持是通过形成于O形环19的表面的粘着层而达成。O形环19的内径为与贯通孔16h的内径大致相同程度。在O形环19，插入有毛细管8的锥面8a。
上插座16具有设于外周面的阶差16d。因此，上端面16a的外径与下端面16b的外径不同。具体而言，下端面16b的外径略小于上端面16a的外径。在下端面16b侧的细径部16e，嵌入有螺旋弹簧17。
下插座18呈大致圆筒状。下插座18的上端面18a面向上插座16的下端面16b。下插座18的外形形状与上插座16的外形形状相同。在下插座18的外周面设有阶差18d。与上插座16相反，下插座18在上端面18a侧设有细径部18e。在细径部18e，也嵌入有螺旋弹簧17。下插座18的下端面18b侧的粗径部18f是由固持器14所夹持。
螺旋弹簧17为压缩弹簧。将螺旋弹簧17的上端侧嵌入至上插座16的细径部16e。将螺旋弹簧17的下端侧插入至下插座18的细径部18e。这些上插座16与螺旋弹簧17构成可挠部15。因此，上插座16与下插座18通过螺旋弹簧17而连结。螺旋弹簧17在轴线17A的方向及与轴线17A交叉的方向上具有弹性。其结果，上插座16可以变更相对于下插座18的相对位置。
具有所述构成的毛细管保持部11具有图4所示的保持形态。图4的(a)部表示初期形态的毛细管保持部11。图4的(b)部表示第一变形形态的毛细管保持部11。图4的(c)部表示第二变形形态的毛细管保持部11。
如图4的(a)部所示，第一保持形态的毛细管保持部11中，上插座16的轴线16A与下插座18的轴线18A重合。进而，毛细管8的轴线8A也与所述轴线16A、轴线18A重合。
如图4的(b)部所示，第二保持形态的毛细管保持部11中，上插座16的轴线16A与下插座18的轴线18A不重合。具体而言，下插座18保持于固持器14，而维持其位置。相对于所述下插座18，上插座16在X轴及Y轴的方向上移动。在所述状态下，上插座16的轴线16A相对于下插座18的轴线18A而平行。
如图4的(c)部所示，第三变形形态的毛细管保持部11中，上插座16的轴线16A与下插座18的轴线18A重合。即，它们的构成与第一保持形态相同。另一方面，毛细管8的轴线8A相对于上插座16的轴线16A而倾斜。O形环19具有圆环的形状，故而供毛细管8的锥面8a插入的内周面为曲面。例如，平行于Z轴的剖面中的O形环19的剖面形状为圆形。若将在O形环19插入有锥面8a的状态剖视，则O形环19与锥面8a以两个接触部C1、C2接触。O形环19与毛细管8为在环状的接触线CL(参照图3)上接触的线接触。根据此种接触状态，容许毛细管8相对于O形环19倾斜。
＜致动器＞
再次如图2所示，致动器12使成为更换对象的毛细管8或新颖的毛细管8移动。进而，致动器12将毛细管8保持于规定的位置及姿势。致动器12能够进行沿着规定的平移轴(Z轴)方向的往返移动。本实施方式中，平移轴沿着铅垂方向(Z轴)。因此，致动器12使毛细管8沿着铅垂方向上下移动。进而，致动器12能够进行绕旋转轴(X轴)的旋转。本实施方式中，旋转轴与铅垂方向(Z轴)正交。即，旋转轴沿着水平方向(X轴)。因此，致动器12使毛细管8绕水平方向旋转。
致动器12具有致动器基底21、一对线性马达22A、22B、线性引导件24、滑架26及控制装置27(参照图1)。
致动器基底21呈平板状。致动器基底21具有主面21a。主面21a的法线方向沿着水平方向(X轴方向)。在主面21a上配置有线性马达22A、线性马达22B、线性引导件24及滑架26。
线性马达22A使滑架26移动。线性马达22A为以所谓冲击驱动(impact drive)方式为原理的超声波马达。线性马达22A具有驱动轴28A及超声波元件29A。驱动轴28A为金属制的圆棒。驱动轴28A的轴线相对于致动器基底21的主面21a平行。滑架26沿着驱动轴28A移动。因此，驱动轴28A的长度决定滑架26的移动范围。驱动轴28A的下端固定于超声波元件29A。驱动轴28A的上端通过自致动器基底21的主面21a突出的引导件31而支撑。驱动轴28A的上端可相对于所述引导件31而固定，也可仅接触而不固定。即，驱动轴28A的下端为固定端。驱动轴28A的上端为固定端或自由端。
超声波元件29A对驱动轴28A提供超声波。具体而言，经提供有超声波的驱动轴28A沿着Z轴稍许往返移动。超声波元件29A例如也可采用作为压电元件的压电式(piezo)元件。压电式元件根据所施加的电压而变形。因此，压电式元件若被赋予高频电压，则根据电压的频率及电压的大小而反复变形，产生超声波。超声波元件29A固定于自致动器基底21突出的引导件32。
在超声波元件29A电性连接有控制装置27。超声波元件29A接受控制装置27产生的驱动电压。控制装置27控制对超声波元件29A提供的交流电压的频率及振幅。
线性马达22B的构成与线性马达22A相同。线性马达22B在与Z轴交叉的Y轴方向上分离地配置。即，线性马达22B的驱动轴28B相对于线性马达22A的驱动轴28A而平行。线性马达22B的上端配置于与线性马达22A的上端相同的高度。同样地，线性马达22B的下端配置于与线性马达22A的下端相同的高度。
滑架26为通过线性马达22A、线性马达22B而平移及旋转的移动体。滑架26呈圆盘状。滑架26架设于线性马达22A、线性马达22B之间。在致动器基底21与滑架26之间，设有在Z轴方向上引导滑架26的线性引导件24。滑架26是由线性引导件24在Z轴方向上导引。线性引导件24限制滑架26的移动方向。线性引导件24不产生朝Z轴方向的驱动力。
滑架26具有前圆盘33、加压圆盘34及后圆盘36。这些圆盘具有彼此相同的外径，沿着共同的轴线层叠。在前圆盘33与加压圆盘34之间夹入有轴体37。轴体37的外径小于前圆盘33的外径及加压圆盘34的外径。因此，在前圆盘33的外周部与加压圆盘34的外周部之间形成有间隙。同样地，在后圆盘36与加压圆盘34之间也夹入有轴体38。轴体37的外径也小于后圆盘36及加压圆盘34的外径。因此，在后圆盘36的外周部与加压圆盘34的外周部之间也形成有间隙。
后圆盘36连结于线性引导件24的平台24a。后圆盘36相对于平台24a能够旋转地连结。加压圆盘34及前圆盘33机械固定于后圆盘36。加压圆盘34及前圆盘33不相对于后圆盘36而旋转。因此，包含前圆盘33、加压圆盘34及后圆盘36的滑架26总体相对于线性引导件24的平台24a而能够旋转。
如图5所示，在加压圆盘34与后圆盘36的间隙G1中夹入有驱动轴28A、驱动轴28B。具体而言，一对驱动轴28A、28B以隔着滑架26的重心的方式配置。驱动轴28A、驱动轴28B与加压圆盘34的背面34b及后圆盘36的主面36a接触。驱动轴28A、驱动轴28B不与轴体38的外周面38a接触。间隙G1小于加压圆盘34及后圆盘36的外径，大于轴体38的外径。轴体38的外径与后圆盘36的外径之差值大于驱动轴28A、驱动轴28B的外径。轴体37的外径与加压圆盘34的外径之差值大于驱动轴28A、驱动轴28B的外径。
间隙G1的间隔略小于驱动轴28A、驱动轴28B的外径。在前圆盘33与加压圆盘34之间形成有间隙G2。其结果，在加压圆盘34与后圆盘36之间配置有驱动轴28A、驱动轴28B时，加压圆盘34稍向前圆盘33侧挠曲。所述挠曲产生将驱动轴28A、驱动轴28B按压于后圆盘36的力。
以下，参照图6一方面对致动器12的运行原理进行说明。图6的(a)部、(b)部及(c)部为说明致动器12的运行原理的图。为了方便说明，在图6中，表示其中一个线性马达22A及滑架26，省略另一个线性马达22B等的图示。
图6的(a)部表示保持滑架26的位置的形态。如上所述，对于滑架26而言，在加压圆盘34与后圆盘36之间夹入有驱动轴28A。滑架26的位置通过所述夹入所致的加压而维持。更详细而言，滑架26的位置通过以加压为垂直阻力的摩擦阻力而维持。此时，控制装置27不对超声波元件29A提供电压(电压值零，参照信号E1)。或者，控制装置27也可对超声波元件29A提供具有规定电压值的直流电流。
如上所述，滑架26的位置通过与驱动轴28A之间的摩擦阻力而维持。此处，在使驱动轴28A移动时，可能产生滑架26伴随驱动轴28A而移动的形态与滑架26不伴随驱动轴28A而通过滑架26的惯性继续维持位置的形态。关于这些形态，根据使驱动轴28A移动的速度，即超声波的频率而可以决定成为哪一形态。例如，在为相对较低的频率(15kHz～30kHz)时，滑架26伴随驱动轴28A而移动。例如，在为相对较高的频率(100kHz～150kHz)时，滑架26不伴随驱动轴28A而维持位置。
例如，如图6的(b)部所示，在使驱动轴28A向上(正方向)移动时，滑架26也伴随驱动轴28A的移动。即，驱动轴28A与滑架26的相对位置关系不变化。而且，在使驱动轴28A向下(负方向)移动时，使滑架26不伴随驱动轴28A的向下方的移动。即，驱动轴28A与滑架26的相对位置关系变化。若重复这些动作，则滑架26逐渐向上方移动。即，通过使驱动轴28A向上移动的电压(信号E2中的符号E2a)的周期长于使驱动轴28A向下移动的电压的周期(信号E2中的符号E2b)，可以使滑架26向上方移动。
反之，如图6的(c)部所示，在使驱动轴28A向下移动时，滑架26也伴随驱动轴28A的移动。即，驱动轴28A与滑架26的相对位置关系不变化。而且，在使驱动轴28A向上移动时，使滑架26不伴随驱动轴28A的向上方的移动。即，驱动轴28A与滑架26的相对位置关系变化。若重复这些动作，则滑架26逐渐向下方移动。即，通过使驱动轴28A向上移动的电压(信号E3中的符号E3a)的周期短于使驱动轴28A向下移动的电压的周期(信号E3中的符号E3b)，可以使滑架26向下方移动。
再者，在使滑架26向下移动的情况下，也可除了所述控制以外，使滑架26不追随驱动轴28A的上下移动两者。即，表面上，滑架26与驱动轴28A之间的摩擦阻力小于作用于滑架26的重力。其结果，看起来滑架26落下。在所述形态中，作为使滑架26向下移动的力，利用作用于滑架26的重力。
接下来，一方面参照图7以及图8，一方面对致动器12的具体运行进行说明。
图7的(a)部表示维持滑架26的位置的动作。如上所述，在维持滑架26的位置的情况下，控制装置27对各超声波元件29A、超声波元件29B提供一定的电压(参照图7的(a)部中的信号E4、信号E5)。或者，控制装置27不对超声波元件29A、超声波元件29B的任一者提供电压。
图7的(b)部表示使滑架26向上移动的动作。此时，控制装置27对其中一个超声波元件29A，提供使驱动轴28A向上移动的电压的周期长于使驱动轴28A向下移动的电压的周期的交流电压(参照图7的(b)部中的信号E6)。同样地，控制装置27对另一个超声波元件29B，也提供使驱动轴28B向上移动的电压的周期长于使驱动轴28B向下移动的电压的周期的交流电压(参照图7的(b)部中的信号E7)。即，控制装置27对两个超声波元件29A、29B提供相同的交流电压。而且，控制装置27令使其中一个驱动轴28A向上移动的时序与使另一个驱动轴28B向上移动的时序一致。即，控制装置27将对其中一个超声波元件29A提供的电压的相位与对另一个超声波元件29B提供的电压的相位设为彼此相同相位的关系。于是，将其中一个驱动轴28A按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P1与将另一个驱动轴28B按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P2以相同的距离逐渐向上方移动。其结果，接触部P1、接触部P2保持平行状态而向上方移动。即，滑架26不绕重心旋转，而向上平移。
图7的(c)部表示使滑架26向下移动的动作。此时，控制装置27对其中一个超声波元件29A，提供使驱动轴28A向上移动的电压的周期短于使驱动轴28A向下移动的电压的周期的交流电压(参照图7的(c)部中的信号E8)。同样地，控制装置27对另一个超声波元件29B，也提供使驱动轴28B向上移动的电压的周期短于使驱动轴28B向下移动的电压的周期的交流电压(参照图7的(c)部中的信号E9)。于是，将其中一个驱动轴28A按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P1与将另一个驱动轴28B按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P2以相同的距离逐渐向下方移动。其结果，接触部P1、接触部P2保持平行状态而向下方移动。即，滑架26不绕重心旋转，而向下平移。
根据所述控制，在使滑架26向下方移动时，在滑架26与驱动轴28A、驱动轴28B之间摩擦阻力发挥作用，各自的相对位置不改变。因此，滑架26也不绕重心旋转。其结果，例如即便在因保持于滑架26的毛细管8的姿势而产生使滑架26旋转那样的转矩的情况下，也可以抑制滑架26的旋转，并且使滑架26向下移动。
再者，在使滑架26向上及向下移动的平移时，也可以利用一个线性马达22A来实现。实施方式的致动器12具有两个线性马达22A、22B，故而与具有一个线性马达22A的构成相比可以提高推进力。
图8的(a)部表示使滑架26向顺时针方向旋转的动作。此时，控制装置27对其中一个超声波元件29A，提供使驱动轴28A向上移动的电压的周期短于使驱动轴28A向下移动的电压的周期的交流电压(参照图8的(a)部中的信号E10)。另一方面，控制装置27对另一个超声波元件29B，提供使驱动轴28B向上移动的电压的周期长于使驱动轴28B向下移动的电压的周期的交流电压(参照图8的(a)部中的信号E11)。即，控制装置27使对超声波元件29A提供的电压与对超声波元件29B提供的电压互不相同。而且，控制装置27令使其中一个驱动轴28A向上移动的时序与使另一个驱动轴28B向下方移动的时序一致。控制装置27将对其中一个超声波元件29A提供的电压的相位与对另一个超声波元件29B提供的电压的相位设为彼此相反相位的关系。于是，将其中一个驱动轴28A按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P1向下移动，将另一个驱动轴28B按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P2向上移动。即，接触部P1、接触部P2彼此向相反方向移动。若这些接触部的移动量一致，则接触部P1、接触部P2保持Z轴方向的位置而向顺时针方向旋转。
图8的(b)部表示使滑架26向逆时针方向旋转的动作。此时，控制装置27对其中一个超声波元件29A，提供使驱动轴28A向上移动的电压的周期长于使驱动轴28A向下移动的电压的周期的交流电压(参照图8的(b)部中的信号E12)。另一方面，控制装置27对另一个超声波元件29B，提供使驱动轴28B向上移动的电压的周期短于使驱动轴28B向下移动的电压的周期的交流电压(参照图8的(b)部中的信号E13)。于是，将其中一个驱动轴28A按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P1向上移动。将另一个驱动轴28B按压于加压圆盘34及后圆盘36的接触部P2向下移动。接触部P1、接触部P2彼此向相反方向移动。若这些接触部的移动量一致，则接触部P1、接触部P2保持Z轴方向的位置而向逆时针方向旋转。
＜毛细管导引装置＞
再次如图2所示，毛细管导引装置40在将毛细管8插入超声波焊头7的孔7h(毛细管保持孔)时导引毛细管8。毛细管导引装置40设于致动器12。因此，毛细管导引装置40保存与构成致动器12的零件的相对位置关系。毛细管导引装置40呈自致动器12朝向超声波焊头7延伸的单臂梁状。
图9为将毛细管导引装置40的主要部分剖视而得的立体图。图10为表示毛细管导引装置40的功能框图。毛细管导引装置40具有导引本体部41、驱动部42、及接触检测部43(参照图10)。
导引本体部41具有设于导引本体部41的自由端部的引导孔41h。引导孔41h接受毛细管8的毛细管本体8b。而且，引导孔41h将毛细管8导向超声波焊头7的孔7h。引导孔41h为自毛细管导引装置40的主面41a到达背面41b的贯通孔。再者，引导孔41h在毛细管导引装置40的前端面41c也开口。即，引导孔41h可以自背面41b及前端面41c接受毛细管8。
引导孔41h包含锥孔部41t(锥面)及平行孔部41p(导引面)。锥孔部41t的下端在背面41b开口。平行孔部41p的上端在主面41a开口。背面41b中的锥孔部41t的内径大于主面41a中的平行孔部41p的内径。所述内径大于毛细管8的上端的外径。引导孔41h的内径自背面41b朝向主面41a逐渐减小。引导孔41h的内径在将锥孔部41t与平行孔部41p连结的位置成为最小值。所述内径与毛细管8上端的外径大致相同。而且，平行孔部41p的内径一定。
驱动部42使导引本体部41相对于毛细管8接近并且分离。在不进行毛细管8的更换作业时，驱动部42使导引本体部41与毛细管8分离。在进行毛细管8的更换作业时，驱动部42使导引本体部41与毛细管8接触。在进行毛细管8的更换作业时，驱动部42使导引本体部41振动。
驱动部42具有驱动本体部44、平台46(移动体)、线性马达47A、线性马达47B、超声波元件48(振动产生部)、及连结部49。驱动本体部44固定于致动器基底21。平台46相对于驱动本体部44移动。平台46在接近毛细管8的方向及远离毛细管8的方向上移动。这些方向与X轴方向平行。平台46沿着X轴方向往返移动。驱动部42具有两个线性马达47A、47B。线性马达的数量也可为一个。
线性马达47A、线性马达47B在X轴方向上导引平台46，并且对平台46提供沿着X轴方向的驱动力。线性马达47A、线性马达47B为以所谓冲击驱动方式为原理的超声波马达。线性马达47A、线性马达47B具有超声波元件47a(超声波产生体)及驱动轴47b。驱动轴47b为金属制的圆棒。驱动轴47b的轴线相对于X轴方向平行。驱动轴47b配置于平台46上所设的槽。驱动轴47b通过板簧构件以规定的力按压于槽的壁面。在槽的壁面与驱动轴47b的外周面之间产生规定的摩擦阻力。在沿着X轴方向的外力作用于平台46时，摩擦阻力与所述外力对抗。因此，在外力小于摩擦阻力的情况下，平台46不移动。在外力大于摩擦阻力的情况下，平台46移动。
在驱动轴47b的端部设有超声波元件47a。超声波元件47a对驱动轴47b提供超声波。超声波元件29A例如可采用作为压电元件的压电式元件。超声波元件47a固定于驱动本体部44。通过对超声波元件47a所产生的超声波的频率进行控制来对平台46提供驱动力。所述驱动力的朝向为使平台46接近毛细管8的方向(以下称为“正的X轴方向”)及使平台46远离毛细管8的方向(以下称为“负的X轴方向”)。关于平台46的移动与对超声波元件47a提供的信号(例如图14所示的信号E14)的关系，将后述。
超声波元件48固定于平台46及连结部49。超声波元件48对连结部49提供超声波。超声波元件48的振动方向与驱动轴47b正交。换言之，超声波元件48使连结部49在Y轴方向上振动。所述振动经由连结部49传递至导引本体部41。超声波元件48的运行也可根据需要进行。
图10所示的接触检测部43对超声波焊头7与导引本体部41接触的情况进行检测。接触检测部43是用于不妨碍导引本体部41及驱动部42的效果的电性接点检测机构。接触检测部43包含电源51(电压提供部)及电流计52(信息获取部)。电源51的第一输出与超声波焊头7电性连接。电源51的第二输出与导引本体部41电性连接。根据所述构成，在超声波焊头7与导引本体部41之间产生规定的电位差。而且，电流计52设于将超声波焊头7与导引本体部41电性连接的路径53。在不更换毛细管8时，超声波焊头7与导引本体部41分离。因此，在路径53中不流动电流。其结果，控制装置27可以基于电流计52的输出为零而识别出超声波焊头7与导引本体部41分离。另一方面，在更换毛细管8的作业中的规定期间，超声波焊头7与导引本体部41接触。因此，在路径53中流动电流。其结果，控制装置27可以基于自电流计52输出表示电流流动的信号而识别出超声波焊头7与导引本体部41接触。
超声波焊头7与导引本体部41的接触也可基于在超声波焊头7与导引本体部41之间产生的电位差来检测。在所述情况下，接触检测部43具有电压计来代替电流计。在不接触时，电压计输出电源51提供的规定的电压值。另一方面，在接触时，在超声波焊头7与导引本体部41之间流动电流，故而电压值下降。也可基于所述电压值的变化来检测超声波焊头7与导引本体部41的接触。
＜更换动作＞
继而，对通过所述毛细管更换装置9进行的毛细管更换动作进行说明。
图11的(a)部表示即将更换安装于超声波焊头7的毛细管8U之前的状态。毛细管更换装置9不仅具有所述毛细管保持部11、毛细管导引装置40及致动器12，还具有毛细管存储部(capillary stocker)54及毛细管回收部55作为附加的构成部件。毛细管存储部54收纳多个更换用的毛细管8N。另外，毛细管回收部55收纳已使用的毛细管8U。
图11的(a)部所示的状态例如为通过安装于超声波焊头7的毛细管8U进行打线接合作业的状态。因此，毛细管更换装置9也可退避至不妨碍所述打线接合作业的位置。
图11的(b)部表示更换动作中的第一步骤。首先，毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向顺时针方向旋转。所述旋转对应于图8的(a)部所示的动作。通过所述旋转，原退避至不妨碍打线接合作业的位置的毛细管保持部11位于毛细管8U的下方。
图12的(a)部及图12的(b)部表示更换动作中的第二步骤。在第二步骤中，使导引本体部41与毛细管8接触。首先，控制装置27对超声波元件47a提供信号E14。所述信号E14用于使平台46在正的X轴方向上移动。超声波包含朝向正的X轴方向的振幅(以下称为“正的振幅”)及朝向负的X轴方向的振幅(以下称为“负的振幅”)。驱动轴47b与平台46的形态根据超声波的频率而不同。例如，在超声波的频率相对较低时(15kHz以上且30kHz以下)，平台46也伴随驱动轴47b的移动而移动。另一方面，在超声波的频率相对较高时(100kHz以上且150kHz以下)，平台46并不伴随驱动轴47b的移动而移动。换言之，驱动轴47b相对于平台46移动。
根据所述形态，如图12的(b)部的信号E14所示，控制装置27产生如下的控制信号：重复振幅为正且频率相对较低的信号成分与振幅为负且频率相对较高的信号成分。其结果，平台46在正的X轴方向上移动。而且，在导引本体部41的平行孔部41p与毛细管8接触时，控制装置27停止控制信号的提供。在导引本体部41与毛细管8接触的状态下，不自导引本体部41向毛细管8作用按压力。即，导引本体部41仅与毛细管8接触。
在第二步骤中，与使导引本体部41移动的动作并行地，也进行使导引本体部41振动的动作。控制装置27对超声波元件48提供控制信号。其结果，超声波元件48经由连结部49对导引本体部41提供超声波。根据所述振动，可以良好地将毛细管8导向平行孔部41p。
图13的(a)部表示更换动作中的第三步骤。在第三步骤中，使超声波焊头7与导引本体部41接触。控制装置27对接合部3提供控制信号。其结果，超声波焊头7下降。换言之，控制装置27使超声波焊头7在负的Z轴方向上移动。控制装置27在使超声波焊头7移动的期间，监控电流计52的输出。在电流计52的输出显现规定的变化时，控制装置27判定为超声波焊头7的下表面7a与导引本体部41的主面41a接触。所谓所述规定的变化，例如可设为电流计52的输出自零(非接触)变化为规定的值的情况。而且，控制装置27使超声波焊头7的下降停止。
图13的(b)部表示更换动作中的第四步骤的状态。在第四步骤中，将毛细管8U安装于毛细管保持部11。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向上方移动。所述移动对应于图7的(b)部所示的动作。通过所述移动，毛细管保持部11保持安装于超声波焊头7的毛细管8U。
图14的(a)部及图14的(b)部表示更换动作中的第五步骤的状态。在第五步骤中，将毛细管8U自超声波焊头7拔出。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向下方移动。所述移动对应于图7的(c)部所示的动作。通过所述移动，将经毛细管保持部11保持的毛细管8U自超声波焊头7卸除。导引本体部41仅与毛细管8U接触，导引本体部41不产生朝向毛细管8U的力。其结果，即使将毛细管8U卸除，导引本体部41也继续保持其位置。换言之，通过将毛细管8U卸除，不会产生向正的X轴方向的非偶然的移动。其结果，保存导引本体部41与超声波焊头7的相对位置关系。
图15的(a)部表示更换动作中的第六步骤的状态。在第六步骤中，搬送经卸除的毛细管8U。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向顺时针方向旋转。所述移动对应于图8的(a)部所示的动作。通过所述移动，将经毛细管保持部11保持的毛细管8U搬送至毛细管回收部55，作为已使用的毛细管8U而回收。
图15的(b)部表示更换动作中的第七步骤的状态。在第七步骤中，保持新的毛细管8N。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向逆时针方向旋转。所述移动对应于图8的(b)部所示的动作。通过所述移动，毛细管保持部11保持更换用的新颖的毛细管8N。
图16的(a)部表示更换动作中的第八步骤的状态。在第九步骤中，向孔7h的下方搬送新的毛细管8N。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向顺时针方向旋转。所述移动对应于图7(a)部所示的动作。通过所述移动，经毛细管保持部11保持的新颖的毛细管8N位于超声波焊头7的孔7h的下方。
图16的(b)部表示更换动作中的第九步骤的状态。在第九步骤中，将毛细管8N插入孔7h。毛细管更换装置9通过控制装置27使滑架26向上方移动。所述移动对应于图7的(b)部所示的动作。通过所述移动，经毛细管保持部11保持的新颖的毛细管8N插入至超声波焊头7的孔7h。在所述插入中，通过毛细管保持部11及毛细管导引装置40的作用，消除毛细管8N与毛细管导引装置40的偏移及毛细管8N与超声波焊头7的孔7h的偏移。
一方面参照图17以及图18一方面对第九步骤中的毛细管8N的安装动作进行详细说明。在图17的(a)部所示的状态下，超声波焊头7的孔7h的轴线7A、与导引本体部41的引导孔41h的轴线41A重合。另一方面，经毛细管保持部11保持的毛细管8N的轴线8A相对于轴线7A、轴线41A在X轴方向上平行地偏移。
使毛细管保持部11自图17的(a)部所示的状态在Z轴方向上移动。于是，如图17的(b)部所示，首先，毛细管8N的上端与锥孔部41t的壁面接触。若进一步使毛细管保持部11向上移动，则毛细管8N沿着壁面移动。所述移动不仅包含向上(Z轴方向)的成分，也包含水平方向(X轴方向)的成分。毛细管保持部11可以通过螺旋弹簧17使上插座16相对于下插座18移动。即，若使下插座18向上移动，则上插座16一面向上移动，一面通过螺旋弹簧17也向水平方向移动。
根据所述移动，毛细管8N的轴线8A逐渐接近孔7h的轴线7A。若毛细管8N的上端到达平行孔部41p，则毛细管8N的轴线8A与孔7h的轴线7A重合。因此，将毛细管8N插入至超声波焊头7的孔7h。
图17的(a)部所示的例子中，超声波焊头7与导引本体部41的位置关系为理想状态。另一方面，在图18的(a)部所示的例子中，相对于导引本体部41的轴线41A，超声波焊头7的孔7h的轴线7A倾斜。
对于此种状态下插入毛细管8N的动作进行说明。如图18的(b)部所示，相对于孔7h的轴线7A，毛细管8N的轴线8A相对地倾斜。因此，毛细管8N的上端与孔7h的壁面接触，故而无法将毛细管8N进一步插入孔7h。为了进一步将毛细管8N插入孔7h，需要相对于孔7h的轴线7A使毛细管8N的轴线8A平行，且使轴线8A与轴线7A重合。
如上所述，毛细管保持部11中，能够使上插座16相对于下插座18偏移，进而，毛细管8N能够相对于上插座16的轴线16A而倾斜。根据这些的作用，如图18的(c)部所示，随着使毛细管保持部11上升，毛细管8N的轴线8A可以逐渐接近孔7h的轴线7A，最终插入至孔7h。即，毛细管保持部11灵活地保持毛细管8N，故而可以消除毛细管8N与导引本体部41的偏移、及毛细管8N与超声波焊头7的孔7h的偏移。因此，根据毛细管保持部11及导引本体部41，可以可靠地安装毛细管8N。
接下来，如图19的(a)部所示，使超声波焊头7自导引本体部41分离。具体而言，控制装置27对接合部3提供控制信号。其结果，超声波焊头7向上方(正的Z轴方向)移动。
如图19的(b)部所示，使导引本体部41自毛细管8N分离。具体而言，首先，控制装置27对超声波元件47a提供信号E15。所述信号E15用于使平台46在负的X轴方向上移动。控制装置27生成如下的信号E15：重复振幅为正且频率相对较高的信号成分与振幅为负且频率相对较低的信号成分。其结果，平台46在负的X轴方向上移动。而且，在导引本体部41恢复到初始位置时，控制装置27停止控制信号的提供。
以下，对实施方式的毛细管导引装置40及打线接合装置1的作用效果进行说明。
毛细管导引装置40将毛细管8导引至接合工具6的孔7h。毛细管导引装置40包括：导引本体部41，能够与保持于孔7h的毛细管8接触；以及驱动部42，通过使导引本体部41沿着X轴方向移动，将导引本体部41配置于能够与毛细管8接触的位置，所述X轴方向为沿着孔7h的中心轴线的方向，驱动部42具有：平台46，连结于导引本体部41；驱动轴47b，在X轴方向上延伸，与平台46之间发挥摩擦阻力；以及超声波元件47a，固定于驱动轴47b的端部，并且对驱动轴47b提供超声波。
导引本体部41能够与经接合工具6保持的毛细管8接触。根据所述接触，可以将经接合工具6保持的毛细管8的位置作为导引本体部41的位置保存。在使导引本体部41与毛细管8接触时，驱动部42通过超声波元件47a所提供的超声波使平台46移动，由此使导引本体部41接近毛细管8。与毛细管8接触的导引本体部41的位置由平台46与驱动轴47b之间的摩擦阻力保持。在使导引本体部41与毛细管8接触的状态下，不存在导引本体部41按压毛细管8的力。其结果，在将毛细管8卸除时，可靠地维持导引本体部41相对于接合工具6的相对位置。若通过导引本体部41导引毛细管8，则可以可靠地将毛细管8导向接合工具6的孔7h。因此，可以可靠地进行自动的毛细管8的更换作业。
总之，以已插入的毛细管8为基准制成仿形零件，使导引本体部41与毛细管8抵接而进行定位。例如，作为使导引本体部与毛细管抵接的机构，有使用导螺杆者。但是，有时因导螺杆与螺母的松动(齿隙)，会蓄积机械应变。另外，若将导引本体部推按于毛细管，则也有可能因其按压力而在单元整体产生挠曲。例如，在使用气缸将导引本体部推按于毛细管的情况下，若将毛细管卸除，则冲程的剩余部分等被释放。其结果，会产生导引本体部的位置偏移。
对于如上所述的问题，在以超声波马达为驱动源的驱动部42不存在机械松动。另外，毛细管导引装置40通过平台46与驱动轴47b的摩擦阻力保持导引本体部41的位置。即，在毛细管导引装置40不蓄积机械应变。因此，即使将毛细管8卸除，也可靠地维持导引本体部41位置。其结果，可以最大限度地发挥毛细管导引装置40发挥的仿形效果。另外，针对每个打线接合装置1，可以不需要适合于各自的个体特性的调谐作业。
所述毛细管导引装置40的驱动部42还具有超声波元件48，所述超声波元件48安装于平台46，并且经由平台46对导引本体部41提供沿着Y轴方向的振动。根据所述构成，可以可靠地使导引本体部41与毛细管8接触。因此，可以更良好地将毛细管8的位置作为导引本体部41的位置保存。
所述毛细管导引装置40的导引本体部41包含能够与毛细管8的侧面接触的平行孔部41p及与平行孔部41p连续的锥孔部41t。导引本体部41的面向接合工具6的主面41a包含构成平行孔部41p的开口端。相对于主面41a而言相反侧的导引本体部41的背面41b包含构成锥孔部41t的开口端。根据所述构成，自锥孔部41t侧提供新的毛细管8。其结果，即使在毛细管本体8b的外周面与平行孔部41p偏移的情况下，毛细管8也沿着与平行孔部41p连续的锥孔部41t移动，由此毛细管8被导向平行孔部41p。因此，可以更可靠地进行自动的毛细管8的更换作业。
所述毛细管导引装置40还包括接触检测部43，所述接触检测部43对导引本体部41与接合工具6接触的情况进行检测。接触检测部43还具有：电源51，在接合工具6与导引本体部41之间产生电位差；以及电流计52，根据由接合工具6、导引本体部41及电源51形成的电路的状态，获得表示导引本体部41与接合工具6接触的信息。根据所述构成，可以电性检测接合工具6与导引本体部41的接触。因此，可以极大地减小作用于接合工具6与导引本体部41之间的反作用力。于是，可以更可靠地维持导引本体部41相对于接合工具6的相对位置。
打线接合装置1包括：接合工具6，具有相对于孔7h能够装卸地保持的毛细管8；以及毛细管更换装置9，一面通过毛细管导引装置40朝向孔7h导引毛细管8，一面将毛细管8安装于孔7h。毛细管导引装置40具有：导引本体部41，能够与保持于孔7h的毛细管8接触；以及驱动部42，通过使导引本体部41沿着X轴方向移动，将导引本体部41配置于能够与毛细管8接触的位置，所述X轴方向为沿着孔7h的中心轴线的方向。驱动部42包含：平台46，连结于导引本体部41；驱动轴47b，在X轴方向上延伸，与平台46之间发挥摩擦阻力；以及超声波元件47a，固定于驱动轴47b的端部，并且对驱动轴47b提供超声波。所述打线接合装置1包括所述毛细管导引装置40。因此，打线接合装置1可以可靠地进行自动的毛细管8的更换作业。
以上，对本发明的实施方式进行了说明，但不限定于所述实施方式而能以各种形态实施。
＜变形例1＞
在实施方式的毛细管更换装置9中，作为驱动源，例示了利用惯性法则的以冲击驱动方式为原理的超声波驱动马达。毛细管更换装置9的驱动源不限定于所述构成，也可适宜采用可产生沿着规定方向的力的构成。例如，作为驱动源，也可采用利用滚珠螺杆(ballscrew)的线性引导件。
＜变形例2＞
毛细管保持部只要能以可以灵活地变更毛细管8的姿势的形态保持即可。因此，不限定于所述毛细管保持部的构成，也可采用图20所示的变形例的毛细管保持部11A。
毛细管保持部11A具有金属制的管道72、硅酮(silicone)树脂制的软管73、及盖74作为主要的构成部件。管道72呈筒状，在其内部收纳软管73。管道72的一端及软管73的一端由盖74封闭。所述盖74由固持器14保持。软管73的上端73a(上端开口缘)与管道72的上端72a大致一致。另外，软管73的外径小于管道72的内径。即，在软管73的外周面与管道72的内周面之间，形成有稍许的间隙。而且，在软管73的上端73a，保持毛细管8的锥面8a。
根据所述毛细管保持部11A，软管73具有规定的可挠性。因此，以形成于软管73的外周面与管道72的内周面之间的间隙的程度，毛细管保持部11A可以容许毛细管8的姿势变更。具体而言，可以容许与管道72的轴线72A交叉的方向上的偏心及倾斜。
此处，仅软管73的情况下，视毛细管8的姿势不同而可能产生软管73的刚性不足，故而无法保持毛细管8的情况。然而，在软管73的外侧，因为存在刚性高于软管73的管道72，故而即便在软管73的刚性不足的情况下，也可以通过管道72将毛细管8的移位限制于容许范围。
在软管73中插入有毛细管8的状态下，所述上端73a的内周缘与锥面8a的接触状态成为线接触。因此，与实施方式的毛细管保持部11A同样地，也可以倾斜地保持毛细管8。
符号的说明
1：打线接合装置
2：基底
3：接合部
4：搬送部
6：接合工具
7：超声波焊头
7h：孔(保持孔)
8、8N、8U：毛细管
8a：锥面
9：毛细管更换装置
10：毛细管搬送装置
11、11A：毛细管保持部
12：致动器
14：固持器
15：可挠部
16：上插座
16c：埋头孔部
16e：细径部
16h：贯通孔
17：螺旋弹簧
18：下插座
18e：细径部
18f：粗径部
19：O形环
21：致动器基底
22A、22B：线性马达
24：线性引导件
24a：平台
26：滑架
27：控制装置
28A、28B：驱动轴
29A、29B：超声波元件
31、32：引导件
33：前圆盘
34：加压圆盘
36：后圆盘
37、38：轴体
40：毛细管导引装置(导引部)
41：导引本体部
41h：引导孔
41p：平行孔部(导引面)
41t：锥孔部(锥面)
42：驱动部
43：接触检测部
44：驱动本体部
46：平台(移动体)
47A、47B：线性马达
47a：超声波元件(超声波产生体)、
47b：驱动轴
48：超声波元件(振动产生部)
49：连结部
51：电源(电压提供部)
52：电流计(信息获取部)
54：毛细管存储部
55：毛细管回收部
61：装卸夹具
62：夹具驱动部
72：管道
73：软管
74：盖

Claims (5)

1.一种毛细管导引装置，将毛细管导引至接合工具的保持孔，且包括：
导引本体部，能够与保持于所述保持孔的所述毛细管接触；以及
驱动部，通过使所述导引本体部沿着第二方向移动，将所述导引本体部配置于能够与所述毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着所述保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向，
所述驱动部具有：
移动体，连结于所述导引本体部；
驱动轴，在所述第二方向上延伸，与所述移动体之间发挥摩擦阻力；以及
超声波产生体，固定于所述驱动轴的端部，并且对所述驱动轴提供超声波。
2.根据权利要求1所述的毛细管导引装置，其中
所述驱动部还具有振动产生部，所述振动产生部安装于所述移动体，并且经由所述移动体对所述导引本体部提供沿着分别与所述第一方向及所述第二方向交叉的第三方向的振动。
3.根据权利要求1或2所述的毛细管导引装置，其中
所述导引本体部包含能够与所述毛细管的侧面接触的导引面及与所述导引面连续的锥面，
所述导引本体部的面向所述接合工具的主面包含构成所述导引面的开口端，
相对于所述主面而言相反侧的所述导引本体部的背面包含构成所述锥面的开口端。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的毛细管导引装置，还包括：
接触检测部，对所述导引本体部与所述接合工具接触的情况进行检测，
所述接触检测部还具有：
电压提供部，在所述接合工具与所述导引本体部之间产生电位差；以及
信息获取部，根据由所述接合工具、所述导引本体部及所述电压提供部形成的电路的状态，获取表示所述导引本体部与所述接合工具接触的信息。
5.一种打线接合装置，包括：
接合工具，具有相对于保持孔能够装卸地保持的毛细管；以及
安装部，一面通过导引部朝向所述保持孔导引所述毛细管，一面将所述毛细管安装于所述保持孔，
所述导引部具有：
导引本体部，能够与保持于所述保持孔的所述毛细管接触；以及
驱动部，通过使所述导引本体部沿着第二方向移动，将所述导引本体部配置于能够与所述毛细管接触的位置，所述第二方向为与沿着所述保持孔的中心轴线的第一方向交叉的方向，
所述驱动部包含：
移动体，连结于所述导引本体部；
驱动轴，在所述第二方向上延伸，与所述移动体之间发挥摩擦阻力；以及
超声波产生体，固定于所述驱动轴的端部，并且对所述驱动轴提供超声波。
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