CN112606235B - 一种用于硅片线切割的切割设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于硅片线切割的切割设备，包括机身，所述机身内设有加工腔，所述加工腔下侧壁体设有切割腔，所述加工腔左右侧的所述机身内设有用于硅棒切割的硅棒切割装置，所述硅棒切割装置包括设置于所述机身下侧的带轮腔一；本发明设有硅棒切割装置，能够通过放线轮和收线轮进行金刚丝的收放线，其中，通过导线轮转轴进行传导，然后通过导轮进行金刚线的转动缠绕，从而实现对向下运输的硅棒进行线切割，且金刚线的收放和硅棒的运输能够同步进行，从而使切割效率大大提高；本发明设有散热装置，能够通过喷头送出冷却液，然后通过导流槽倒流进行切割散热，然后通过过滤网进行冷却液的回收，从而实现冷却液的回收利用。

Description

一种用于硅片线切割的切割设备
技术领域
本发明涉及半导体相关技术领域，具体为一种用于硅片线切割的切割设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料；传统的切割硅晶片设备通常采用磨床磨削切割，而磨削加工在工业上起着重要作用，它的主要特点是产生的切屑细小，加工精度高，砂轮具有自锐性，这使磨削具有一系列优点；但是对于磨床而言，磨削不同的工件，需要更换砂轮，而置换砂轮，一方面调整繁琐，另一方面，砂轮的修整占用时间，耗费时间，所以需要设计一种用于硅片线切割的切割设备，来实现硅片的快速高效的切割。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于硅片线切割的切割设备，用于克服现有技术中的上述缺陷。
根据本发明的一种用于硅片线切割的切割设备，包括机身，所述机身内设有加工腔，所述加工腔下侧壁体设有切割腔，所述加工腔左右侧的所述机身内设有用于硅棒切割的硅棒切割装置，所述硅棒切割装置包括设置于所述机身下侧的带轮腔一，所述带轮腔一右侧设有齿轮腔一，所述齿轮腔一下侧壁体内固设有电机，所述电机动力输出轴上固设有转动安装于所述齿轮腔一上侧壁体的转轴一，所述带轮腔一上侧的所述机身内设有带轮腔二，关于所述切割腔左右侧的所述带轮腔二上侧设有对称的线轮腔一，所述线轮腔一上侧设有齿轮腔二，所述齿轮腔二与所述线轮腔一之间转动设有转轴二，位于所述切割腔左侧的所述线轮腔一与所述带轮腔一之间转动设有转轴三，位于所述切割腔右侧的所述线轮腔一与所述带轮腔二之间转动设有转轴四，所述带轮腔一内的所述转轴三上固设有带轮一，所述齿轮腔一内的所述转轴一上固设有带轮二，所述带轮二与所述带轮一之间设有同步带一，所述带轮腔二内的所述转轴三上固设有带轮一，所述带轮腔二内的所述转轴四上固设有带轮三，所述带轮三与所述带轮一之间设有同步带二，所述线轮腔一前后侧壁体上转动设有转轴五，位于所述切割腔左侧的所述转轴五上固设有用于放线的放线轮，位于所述切割腔右侧的所述转轴五上侧固设有用于收线的收线轮，所述放线轮和所述收线轮前侧的所述转轴五上固设有锥齿轮一，所述线轮腔一内的所述转轴三和所述转轴四上固设有与所述锥齿轮一啮合连接的锥齿轮二，所述线轮腔一靠近于所述加工腔一侧所述机身内设有导线轮腔一，所述导线轮腔一前后侧壁体上转动设有导线轮转轴，所述导线轮转轴上固设有导线轮腔二，所述线轮腔一靠近于所述切割腔一侧设有线轮腔二，所述线轮腔二前后侧壁体上转动设有转轴六，所述转轴六上固设有导轮，所述放线轮提供的金刚线，金刚线通过位于所述切割腔左侧的导线轮腔二缠绕到导轮上，然后与位于所述切割腔右侧的所述导轮进行缠绕，从而在位于所述切割腔左右侧的导轮上侧来回缠绕N个来回，然后通过位于所述切割腔右侧的所述导轮绕到位于所述切割腔有的所述导线轮腔二进行传导，再然后通过所述收线轮进行收回，所述加工腔左右侧设有用于硅片切割时进行降温的散热装置，所述切割腔左侧有设有用于阻隔冷却液的阻隔板装置，所述加工腔上侧的所述机身内设有用于硅块进行运送切断的运送装置。
在上述技术方案基础上，所述散热装置包括对称设置于所述加工腔左右侧的导流槽，所述导流槽固定安装于所述加工腔下侧壁体上，所述加工腔用于冷却液的导流，位于所述加工腔左侧的所述机身上侧设有冷却液箱，所述冷却液箱下侧设有转接管四，所述转接管四与所述冷却液箱之间设有流出管，所述加工腔左右侧的壁体上固设有对称的喷头，所述喷头远离于所述加工腔一侧的所述机身内固设有水泵，位于所述加工腔左侧的所述水泵与所述转接管四之间设有液体管一，所述水泵与所述齿轮腔二之间转动设有转轴七，所述齿轮腔二内的所述转轴二上固设有齿轮一，所述齿轮腔二内的所述转轴七上固设有与所述齿轮一啮合连接的齿轮二，所述线轮腔一内的所述转轴二上固设有与所述锥齿轮一啮合连接的锥齿轮三，所述切割腔下侧壁体内固设有过滤网，所述过滤网内设有电动水泵，所述电动水泵左侧设有连出管，所述转接管四左侧设有进行接头，所述连出管与所述进行接头连通，所述冷却液箱与所述进行接头之间设有液体管二。
在上述技术方案基础上，所述阻隔板装置包括对称设置于切割腔左侧的隔液板，所述隔液板下侧固定安装于切割腔下侧壁体上，所述隔液板上侧固定安装于所述导流槽下侧壁体上，所述线轮腔二与所述切割腔之间设有用于出金刚线的滑腔一，所述滑腔一上下侧壁体内设有对称的滑腔二，所述滑腔二内滑动设有滑块，所述滑块与所述滑腔二底壁之间设有能够伸缩的伸缩弹簧一，所述滑腔一内滑动设有与所述滑块固定安装的夹紧块，所述夹紧块与滑块能够防止所述切割腔内的冷却液进行到线轮腔二内。
在上述技术方案基础上，所述运送装置包括对称设置于所述齿轮腔一前后侧的带轮腔三，所述带轮腔三与所述齿轮腔一之间转动设有转轴八，所述加工腔上侧的所述机身内设有齿轮腔三，所述齿轮腔三右侧壁体内设有滑槽，所述滑槽内滑动设有齿条推杆，所述齿条推杆下侧固设有辅助卡块，所述辅助卡块下侧设有用于硅片固定固定块，所述固定块能够滑入到辅助卡块内进行卡紧安装，所述齿轮腔三前后的所述机身内设有对称的齿轮腔四，所述齿轮腔四之间转动设有转轴九，所述齿轮腔三内的所述转轴九上固设有与所述齿条推杆左侧壁体内齿条啮合连接的齿轮三，所述齿轮腔四内的所述转轴九上固设有齿轮四，所述带轮腔三与所述齿轮腔四之间转动设有转轴十，所述齿轮腔四内的所述转轴十上花键啮合连接有花键转轴，所述花键转轴远离于所述齿轮腔三一侧壁体上固设有电磁铁一，所述电磁铁一远离于所述齿轮腔三一侧的所述转轴十上固设有电磁铁二，所述电磁铁二与所述电磁铁一之间设有能够伸缩的伸缩弹簧二，所述带轮腔三内的所述转轴十上固设有大带轮，所述带轮腔三内的所述转轴八上固设有小带轮，所述大带轮与所述小带轮之间设有传动带，对所述齿轮腔三前后侧的所述电磁铁一和所述电磁铁二进行通电，能够实现所述齿轮腔三前侧或者后的齿轮四和花键转轴啮合连接或者脱离啮合连接，从而实现转轴九的正反转，从而能够实现硅棒的向下运输切割或者向上运输送出，加工腔前侧壁体上固设有用于硅棒运输进出的门。
本发明的有益效果是：本发明设有硅棒切割装置，能够通过放线轮和收线轮进行金刚丝的收放线，其中，通过导线轮转轴进行传导，然后通过导轮进行金刚线的转动缠绕，从而实现对向下运输的硅棒进行线切割，且金刚线的收放和硅棒的运输能够同步进行，从而使切割效率大大提高；本发明设有散热装置，能够通过喷头送出冷却液，然后通过导流槽倒流进行切割散热，然后通过过滤网进行冷却液的回收，从而实现冷却液的回收利用。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是一种用于硅片线切割的切割设备的整体结构示意图；
图2是本发明图1中“A-A”处的剖视图；
图3是本发明图2中B处的局部放大图；
图4是本发明图1中C处的局部放大图；
图5是本发明图1中D处的局部放大图。
具体实施方式
下面结合图1-5对本发明进行详细说明，为叙述方便，现对下文所说的方位规定如下：下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。
参照图1-5，根据本发明的实施例的一种用于硅片线切割的切割设备，包括机身10，所述机身10内设有加工腔16，所述加工腔16下侧壁体设有切割腔33，所述加工腔16左右侧的所述机身10内设有用于硅棒切割的硅棒切割装置901，所述硅棒切割装置901包括设置于所述机身10下侧的带轮腔一40，所述带轮腔一40右侧设有齿轮腔一80，所述齿轮腔一80下侧壁体内固设有电机34，所述电机34动力输出轴上固设有转动安装于所述齿轮腔一80上侧壁体的转轴一35，所述带轮腔一40上侧的所述机身10内设有带轮腔二46，关于所述切割腔33左右侧的所述带轮腔二46上侧设有对称的线轮腔一74，所述线轮腔一74上侧设有齿轮腔二75，所述齿轮腔二75与所述线轮腔一74之间转动设有转轴二78，位于所述切割腔33左侧的所述线轮腔一74与所述带轮腔一40之间转动设有转轴三69，位于所述切割腔33右侧的所述线轮腔一74与所述带轮腔二46之间转动设有转轴四81，所述带轮腔一40内的所述转轴三69上固设有带轮一68，所述齿轮腔一80内的所述转轴一35上固设有带轮二41，所述带轮二41与所述带轮一68之间设有同步带一42，所述带轮腔二46内的所述转轴三69上固设有带轮一68，所述带轮腔二46内的所述转轴四81上固设有带轮三82，所述带轮三82与所述带轮一68之间设有同步带二47，所述线轮腔一74前后侧壁体上转动设有转轴五83，位于所述切割腔33左侧的所述转轴五83上固设有用于放线的放线轮73，位于所述切割腔33右侧的所述转轴五83上侧固设有用于收线的收线轮84，所述放线轮73和所述收线轮84前侧的所述转轴五83上固设有锥齿轮一72，所述线轮腔一74内的所述转轴三69和所述转轴四81上固设有与所述锥齿轮一72啮合连接的锥齿轮二71，所述线轮腔一74靠近于所述加工腔16一侧所述机身10内设有导线轮腔一30，所述导线轮腔一30前后侧壁体上转动设有导线轮转轴32，所述导线轮转轴32上固设有导线轮腔二31，所述线轮腔一74靠近于所述切割腔33一侧设有线轮腔二85，所述线轮腔二85前后侧壁体上转动设有转轴六43，所述转轴六43上固设有导轮44，所述放线轮73提供的金刚线，金刚线通过位于所述切割腔33左侧的导线轮腔二31缠绕到导轮44上，然后与位于所述切割腔33右侧的所述导轮44进行缠绕，从而在位于所述切割腔33左右侧的导轮44上侧来回缠绕N个来回，然后通过位于所述切割腔33右侧的所述导轮44绕到位于所述切割腔33有的所述导线轮腔二31进行传导，再然后通过所述收线轮84进行收回，所述加工腔16左右侧设有用于硅片切割时进行降温的散热装置902，所述切割腔33左侧有设有用于阻隔冷却液的阻隔板装置903，所述加工腔16上侧的所述机身10内设有用于硅块进行运送切断的运送装置904。
另外，在一个实施例中，所述散热装置902包括对称设置于所述加工腔16左右侧的导流槽28，所述导流槽28固定安装于所述加工腔16下侧壁体上，所述加工腔16用于冷却液的导流，位于所述加工腔16左侧的所述机身10上侧设有冷却液箱11，所述冷却液箱11下侧设有转接管四23，所述转接管四23与所述冷却液箱11之间设有流出管22，所述加工腔16左右侧的壁体上固设有对称的喷头26，所述喷头26远离于所述加工腔16一侧的所述机身10内固设有水泵25，位于所述加工腔16左侧的所述水泵25与所述转接管四23之间设有液体管一24，所述水泵25与所述齿轮腔二75之间转动设有转轴七29，所述齿轮腔二75内的所述转轴二78上固设有齿轮一77，所述齿轮腔二75内的所述转轴七29上固设有与所述齿轮一77啮合连接的齿轮二76，所述线轮腔一74内的所述转轴二78上固设有与所述锥齿轮一72啮合连接的锥齿轮三79，所述切割腔33下侧壁体内固设有过滤网39，所述过滤网39内设有电动水泵38，所述电动水泵38左侧设有连出管37，所述转接管四23左侧设有进行接头21，所述连出管37与所述进行接头21连通，所述冷却液箱11与所述进行接头21之间设有液体管二20。
另外，在一个实施例中，所述阻隔板装置903包括对称设置于切割腔33左侧的隔液板45，所述隔液板45下侧固定安装于切割腔33下侧壁体上，所述隔液板45上侧固定安装于所述导流槽28下侧壁体上，所述线轮腔二85与所述切割腔33之间设有用于出金刚线的滑腔一86，所述滑腔一86上下侧壁体内设有对称的滑腔二67，所述滑腔二67内滑动设有滑块65，所述滑块65与所述滑腔二67底壁之间设有能够伸缩的伸缩弹簧一66，所述滑腔一86内滑动设有与所述滑块65固定安装的夹紧块64，所述夹紧块64与滑块65能够防止所述切割腔33内的冷却液进行到线轮腔二85内。
另外，在一个实施例中，所述运送装置904包括对称设置于所述齿轮腔一80前后侧的带轮腔三48，所述带轮腔三48与所述齿轮腔一80之间转动设有转轴八54，所述加工腔16上侧的所述机身10内设有齿轮腔三12，所述齿轮腔三12右侧壁体内设有滑槽14，所述滑槽14内滑动设有齿条推杆15，所述齿条推杆15下侧固设有辅助卡块17，所述辅助卡块17下侧设有用于硅片固定固定块19，所述固定块19能够滑入到辅助卡块17内进行卡紧安装，所述齿轮腔三12前后的所述机身10内设有对称的齿轮腔四57，所述齿轮腔四57之间转动设有转轴九51，所述齿轮腔三12内的所述转轴九51上固设有与所述齿条推杆15左侧壁体内齿条啮合连接的齿轮三13，所述齿轮腔四57内的所述转轴九51上固设有齿轮四63，所述带轮腔三48与所述齿轮腔四57之间转动设有转轴十50，所述齿轮腔四57内的所述转轴十50上花键啮合连接有花键转轴58，所述花键转轴58远离于所述齿轮腔三12一侧壁体上固设有电磁铁一60，所述电磁铁一60远离于所述齿轮腔三12一侧的所述转轴十50上固设有电磁铁二62，所述电磁铁二62与所述电磁铁一60之间设有能够伸缩的伸缩弹簧二61，所述带轮腔三48内的所述转轴十50上固设有大带轮49，所述带轮腔三48内的所述转轴八54上固设有小带轮53，所述大带轮49与所述小带轮53之间设有传动带52，对所述齿轮腔三12前后侧的所述电磁铁一60和所述电磁铁二62进行通电，能够实现所述齿轮腔三12前侧或者后的齿轮四63和花键转轴58啮合连接或者脱离啮合连接，从而实现转轴九51的正反转，从而能够实现硅棒的向下运输切割或者向上运输送出，加工腔16前侧壁体上固设有用于硅棒运输进出的门56。
初始状态时，伸缩弹簧二61和伸缩弹簧一66处于自然状态。
当对硅棒进行线切割时，先对齿轮腔三12前侧的所述电磁铁一60和所述电磁铁二62进行通电，从而带动电磁铁一60和花键转轴58向前移动与所述齿轮四63脱离啮连接，再启动电机34，电机34启动带动转轴一35转动，转轴一35转动带动锥齿轮四36转动，锥齿轮四36转动带动锥齿轮五55转动，锥齿轮五55转动带动小带轮53转动，小带轮53转动带动传动带52转动，传动带52转动带动大带轮49转动，大带轮49转动带动转轴十50转动，转轴十50转动带动花键转轴58转动，花键转轴58转动带动转轴九51转动，转轴九51转动带动齿轮三13转动，齿轮三13转动带动齿条推杆15向下移动，从而带动辅助卡块17向下移动，从而带动固定块19向下移动，从而使硅棒能够向下移动进行线切割；同时，转轴一35转动带动带轮二41转动，带轮二41转动带动同步带一42转动，同步带一42转动带动转轴三69转动，转轴三69转动带动带轮一68转动，带轮一68转动带动带轮四70转动，带轮四70转动带动同步带二47转动，同步带二47转动带动带轮三82转动，带轮三82转动带动转轴四81转动，从而带动锥齿轮二71转动，锥齿轮二71转动带动锥齿轮一72转动，锥齿轮一72转动带动转轴五83转动，转轴五83转动带动放线轮73进行放线，同时转轴五83转动带动收线轮84转动进行收线，从而使金刚线通过导线轮腔二31进行传导，然后通过导轮44进行硅棒的切片传动；同时，锥齿轮一72转动带动锥齿轮三79转动，锥齿轮三79转动带动转轴二78转动，转轴二78转动带动齿轮一77转动，齿轮一77转动带动齿轮二76转动，齿轮二76转动带动转轴七29转动，转轴七29转动带动水泵25启动，从而使冷却液箱11内的冷却液进行抽出，然后通过流出管22进入到转接管四23，然后从转接管四23进入到液体管一24，液体管一24进入到水泵25,水泵25进入到液体管三27内，然后从喷头26流出，通过导流槽28进行倒流，从而对切割腔33上侧的金刚切割线进行冷却，从而实现了硅棒的线切割，该切割装置能够对硅棒进行快速切割，且能够同时对切割的部位进行冷却散热，从而大大提高了切割效率。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种用于硅片线切割的切割设备，包括机身，其特征在于：所述机身内设有加工腔，所述加工腔下侧壁体设有切割腔，所述加工腔左右侧的所述机身内设有用于硅棒切割的硅棒切割装置，所述硅棒切割装置包括设置于所述机身下侧的带轮腔一，所述带轮腔一右侧设有齿轮腔一，所述齿轮腔一下侧壁体内固设有电机，所述电机动力输出轴上固设有转动安装于所述齿轮腔一上侧壁体的转轴一，所述带轮腔一上侧的所述机身内设有带轮腔二，关于所述切割腔左右侧的所述带轮腔二上侧设有对称的线轮腔一，所述线轮腔一上侧设有齿轮腔二，所述齿轮腔二与所述线轮腔一之间转动设有转轴二，位于所述切割腔左侧的所述线轮腔一与所述带轮腔一之间转动设有转轴三，位于所述切割腔右侧的所述线轮腔一与所述带轮腔二之间转动设有转轴四，所述带轮腔一内的所述转轴三上固设有带轮一，所述齿轮腔一内的所述转轴一上固设有带轮二，所述带轮二与所述带轮一之间设有同步带一，所述带轮腔二内的所述转轴三上固设有带轮一，所述带轮腔二内的所述转轴四上固设有带轮三，所述带轮三与所述带轮一之间设有同步带二，所述线轮腔一前后侧壁体上转动设有转轴五，位于所述切割腔左侧的所述转轴五上固设有用于放线的放线轮，位于所述切割腔右侧的所述转轴五上侧固设有用于收线的收线轮，所述放线轮和所述收线轮前侧的所述转轴五上固设有锥齿轮一，所述线轮腔一内的所述转轴三和所述转轴四上固设有与所述锥齿轮一啮合连接的锥齿轮二，所述线轮腔一靠近于所述加工腔一侧所述机身内设有导线轮腔一，所述导线轮腔一前后侧壁体上转动设有导线轮转轴，所述导线轮转轴上固设有导线轮腔二，所述线轮腔一靠近于所述切割腔一侧设有线轮腔二，所述线轮腔二前后侧壁体上转动设有转轴六，所述转轴六上固设有导轮，所述放线轮提供的金刚线，金刚线通过位于所述切割腔左侧的导线轮腔二缠绕到导轮上，然后与位于所述切割腔右侧的所述导轮进行缠绕，从而在位于所述切割腔左右侧的导轮上侧来回缠绕N个来回，然后通过位于所述切割腔右侧的所述导轮绕到位于所述切割腔有的所述导线轮腔二进行传导，再然后通过所述收线轮进行收回，所述加工腔左右侧设有用于硅片切割时进行降温的散热装置，所述切割腔左侧有设有用于阻隔冷却液的阻隔板装置，所述加工腔上侧的所述机身内设有用于硅块进行运送切断的运送装置；所述散热装置包括对称设置于所述加工腔左右侧的导流槽，所述导流槽固定安装于所述加工腔下侧壁体上，所述加工腔用于冷却液的导流，位于所述加工腔左侧的所述机身上侧设有冷却液箱，所述冷却液箱下侧设有转接管四，所述转接管四与所述冷却液箱之间设有流出管，所述加工腔左右侧的壁体上固设有对称的喷头，所述喷头远离于所述加工腔一侧的所述机身内固设有水泵，位于所述加工腔左侧的所述水泵与所述转接管四之间设有液体管一，所述水泵与所述齿轮腔二之间转动设有转轴七，所述齿轮腔二内的所述转轴二上固设有齿轮一，所述齿轮腔二内的所述转轴七上固设有与所述齿轮一啮合连接的齿轮二，所述线轮腔一内的所述转轴二上固设有与所述锥齿轮一啮合连接的锥齿轮三，所述切割腔下侧壁体内固设有过滤网，所述过滤网内设有电动水泵，所述电动水泵左侧设有连出管，所述转接管四左侧设有进行接头，所述连出管与所述进行接头连通，所述冷却液箱与所述进行接头之间设有液体管二；所述阻隔板装置包括对称设置于切割腔左侧的隔液板，所述隔液板下侧固定安装于切割腔下侧壁体上，所述隔液板上侧固定安装于所述导流槽下侧壁体上，所述线轮腔二与所述切割腔之间设有用于出金刚线的滑腔一，所述滑腔一上下侧壁体内设有对称的滑腔二，所述滑腔二内滑动设有滑块，所述滑块与所述滑腔二底壁之间设有能够伸缩的伸缩弹簧一，所述滑腔一内滑动设有与所述滑块固定安装的夹紧块，所述夹紧块与滑块能够防止所述切割腔内的冷却液进行到线轮腔二内。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片线切割的切割设备，其特征在于：所述运送装置包括对称设置于所述齿轮腔一前后侧的带轮腔三，所述带轮腔三与所述齿轮腔一之间转动设有转轴八，所述加工腔上侧的所述机身内设有齿轮腔三，所述齿轮腔三右侧壁体内设有滑槽，所述滑槽内滑动设有齿条推杆，所述齿条推杆下侧固设有辅助卡块，所述辅助卡块下侧设有用于硅片固定固定块，所述固定块能够滑入到辅助卡块内进行卡紧安装，所述齿轮腔三前后的所述机身内设有对称的齿轮腔四，所述齿轮腔四之间转动设有转轴九，所述齿轮腔三内的所述转轴九上固设有与所述齿条推杆左侧壁体内齿条啮合连接的齿轮三，所述齿轮腔四内的所述转轴九上固设有齿轮四，所述带轮腔三与所述齿轮腔四之间转动设有转轴十，所述齿轮腔四内的所述转轴十上花键啮合连接有花键转轴，所述花键转轴远离于所述齿轮腔三一侧壁体上固设有电磁铁一，所述电磁铁一远离于所述齿轮腔三一侧的所述转轴十上固设有电磁铁二，所述电磁铁二与所述电磁铁一之间设有能够伸缩的伸缩弹簧二，所述带轮腔三内的所述转轴十上固设有大带轮，所述带轮腔三内的所述转轴八上固设有小带轮，所述大带轮与所述小带轮之间设有传动带，对所述齿轮腔三前后侧的所述电磁铁一和所述电磁铁二进行通电，能够实现所述齿轮腔三前侧或者后的齿轮四和花键转轴啮合连接或者脱离啮合连接，从而实现转轴九的正反转，从而能够实现硅棒的向下运输切割或者向上运输送出，加工腔前侧壁体上固设有用于硅棒运输进出的门。
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