CN112595863B - 一种器件测试探针台仪器 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种器件测试探针台仪器，涉及测试仪器技术领域。本发明包括安装板，安装板上表面固定连接有主连接板和副连接板，主连接板和副连接板相对两侧面固定连接有横板，横板下表面开设有滑槽，滑槽内滑动连接有滑块，横板下表面还固定连接有竖板和驱动电机，驱动电机输出端转动连接有螺纹柱。本发明通过设置驱动电机，驱动电机转动带动螺纹柱转动，配合螺纹柱与移动块螺纹连接的设置，进而使移动块在螺纹柱上横向移动，最终可以带动测试头横向移动，对器件进行检测，通过设置旋钮，转动旋钮依次带动转杆、主动齿轮和从动齿轮转动，配合从动齿轮与升降柱螺纹连接的设置，进而使升降柱升降，最终可以带动测试头升降。

Description

一种器件测试探针台仪器
技术领域
本发明属于测试仪器技术领域，特别是涉及一种器件测试探针台仪器。
背景技术
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
现有市面上的探针台虽然可以完成对器件的检测，但是对不同尺寸的器件进行适应性匹配度较差，导致在使用时较为不便，较为耗时，影响测试效率。
为解决上述问题，本发明提出一种器件测试探针台仪器。
发明内容
本发明的目的在于提供一种器件测试探针台仪器，解决现有的探针台虽然可以完成对器件的检测，但是对不同尺寸的器件进行适应性匹配度较差，导致在使用时较为不便，较为耗时，影响测试效率问题。
为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明为一种器件测试探针台仪器，包括安装板，所述安装板为板体结构，所述安装板上表面固定连接有主连接板和副连接板，所述主连接板和副连接板相对两侧面固定连接有横板，所述横板下表面开设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述横板下表面还固定连接有竖板和驱动电机，通过设置驱动电机，驱动电机转动带动螺纹柱转动，配合螺纹柱与移动块螺纹连接的设置，进而使移动块在螺纹柱上横向移动，最终可以带动测试头横向移动，对器件进行检测，所述驱动电机输出端转动连接有螺纹柱，所述螺纹柱周侧面螺纹连接有移动块，所述滑块下表面与移动块固定连接，所述移动块下表面固定连接有安装块，所述安装块下表面开设有圆孔，所述圆孔内设置有升降柱，所述升降柱下表面固定连接有测试头。
进一步地，所述安装板上表面还固定连接有主固定板和副固定板，所述主固定板一侧面固定连接有连接杆，所述连接杆一端固定连接有适应板，所述副固定板一侧面开设有螺纹孔，所述螺纹孔贯穿副固定板，所述螺纹孔内螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆一端固定连接有转盘，所述螺纹杆另一端固定连接有移动板。
进一步地，所述安装块一侧面开设有凹孔，所述凹孔内转动连接有转杆，所述转杆一端固定连接有旋钮，所述转杆另一端固定连接有主动齿轮，所述主动齿轮啮合连接有从动齿轮，所述从动齿轮与升降柱螺纹连接，通过设置旋钮，转动旋钮依次带动转杆、主动齿轮和从动齿轮转动，配合从动齿轮与升降柱螺纹连接的设置，进而使升降柱升降，最终可以带动测试头升降，对器件进行检测。
进一步地，所述主连接板和副连接板通过安装板中线呈对称设置。
进一步地，所述主动齿轮和从动齿轮均设置在安装块内部，所述主动齿轮和从动齿轮呈垂直设置。
进一步地，所述竖板位置与驱动电机相适应。
进一步地，所述转盘一侧面固定连接有摇把，通过设置摇把，转动摇把带动螺纹杆转动，配合螺纹杆与螺纹孔螺纹连接的设置，进而使螺纹杆在螺纹孔内横向移动，带动移动板移动，使移动板和适应板相互配合，对器件进行固定，便于后续操作。
本发明具有以下有益效果：
本发明通过设置驱动电机，驱动电机转动带动螺纹柱转动，配合螺纹柱与移动块螺纹连接的设置，进而使移动块在螺纹柱上横向移动，最终可以带动测试头横向移动，对器件进行检测，通过设置旋钮，转动旋钮依次带动转杆、主动齿轮和从动齿轮转动，配合从动齿轮与升降柱螺纹连接的设置，进而使升降柱升降，最终可以带动测试头升降，对器件进行检测，通过设置摇把，转动摇把带动螺纹杆转动，配合螺纹杆与螺纹孔螺纹连接的设置，进而使螺纹杆在螺纹孔内横向移动，带动移动板移动，使移动板和适应板相互配合，对器件进行固定，便于后续操作。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明左侧立体结构示意图；
图2为本发明右侧立体结构示意图；
图3为本发明仰视立体结构示意图；
图4为本发明前视图；
图5为本发明图3中A处局部结构放大图；
图6为本发明安装块内部结构示意图；
图7为本发明安装块内部结构剖视示意图。
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、安装板；2、主连接板；21、副连接板；3、主固定板；31、连接杆；32、适应板；4、副固定板；41、螺纹杆；42、转盘；43、摇把；44、移动板；5、横板；51、滑槽；6、驱动电机；61、螺纹柱；62、竖板；63、移动块；7、安装块；71、转杆；72、旋钮；73、主动齿轮；74、从动齿轮；8、升降柱；9、测试头。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“左”、“右”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
请参阅图1-6所示，本发明为一种器件测试探针台仪器，包括安装板1，安装板1为板体结构，安装板1上表面固定连接有主连接板2和副连接板21，主连接板2和副连接板21相对两侧面固定连接有横板5，横板5下表面开设有滑槽51，滑槽51内滑动连接有滑块，横板5下表面还固定连接有竖板62和驱动电机6，通过设置驱动电机6，驱动电机6转动带动螺纹柱61转动，配合螺纹柱61与移动块63螺纹连接的设置，进而使移动块63在螺纹柱61上横向移动，最终可以带动测试头9横向移动，对器件进行检测，驱动电机6输出端转动连接有螺纹柱61，螺纹柱61周侧面螺纹连接有移动块63，滑块下表面与移动块63固定连接，移动块63下表面固定连接有安装块7，安装块7下表面开设有圆孔，圆孔内设置有升降柱8，升降柱8下表面固定连接有测试头9。
优选地，安装板1上表面还固定连接有主固定板3和副固定板4，主固定板3一侧面固定连接有连接杆31，连接杆31一端固定连接有适应板32，副固定板4一侧面开设有螺纹孔，螺纹孔贯穿副固定板4，螺纹孔内螺纹连接有螺纹杆41，螺纹杆41一端固定连接有转盘42，螺纹杆41另一端固定连接有移动板44。
优选地，安装块7一侧面开设有凹孔，凹孔内转动连接有转杆71，转杆71一端固定连接有旋钮72，转杆71另一端固定连接有主动齿轮73，主动齿轮73啮合连接有从动齿轮74，从动齿轮74与升降柱8螺纹连接，通过设置旋钮72，转动旋钮72依次带动转杆71、主动齿轮73和从动齿轮74转动，配合从动齿轮74与升降柱8螺纹连接的设置，进而使升降柱8升降，最终可以带动测试头9升降，对器件进行检测。
优选地，主连接板2和副连接板21通过安装板1中线呈对称设置。
优选地，主动齿轮73和从动齿轮74均设置在安装块7内部，主动齿轮73和从动齿轮74呈垂直设置。
优选地，竖板62位置与驱动电机6相适应。
优选地，转盘42一侧面固定连接有摇把43，通过设置摇把43，转动摇把43带动螺纹杆41转动，配合螺纹杆41与螺纹孔螺纹连接的设置，进而使螺纹杆41在螺纹孔内横向移动，带动移动板44移动，使移动板44和适应板32相互配合，对器件进行固定，便于后续操作。
还有，如图7所示，在从动齿轮74和安装块7的凹孔之间设有用于调节从动齿轮74竖直方向位置高度的位置调节机构，位置调节机构可以确保位置调节的精确性。具体地，该位置调节机构包括设置在凹孔下孔口孔壁上的环形外凹槽740，在从动齿轮74的下表面连接有圆形筒741，在圆形筒741的下端外壁套设有与圆形筒741周向固定连接的导向圆盘742，导向圆盘742的周向具有伸入至环形外凹槽740中的外凸导向部743并且外凸导向部743的厚度小于环形外凹槽740的槽宽度，在导向圆盘742的顶面连接有内导向筒744，在环形外凹槽740的槽宽方向上槽壁设有悬臂环745，内导向筒744伸入至悬臂环745中并且内导向筒744的外壁与悬臂环745的内壁接触，在悬臂环745下表面设有第一平面轴承，在第一平面轴承和导向圆盘742之间设有若干第一竖直压簧746，在导向圆盘742的下表面设有第二平面轴承，第二平面轴承位于环形外凹槽740中，在安装块7的下端端面上设有若干上端与所述环形外凹槽740连通的竖直螺纹孔，在每个竖直螺纹孔中分别穿设有与竖直螺纹孔螺纹连接的调节螺杆747，并且调节螺杆747的上端抵在第二平面轴承的下表面，在调节螺杆747上套设有与调节螺杆747螺纹连接的锁紧螺母748，锁紧螺母748与安装块7的下端端面接触实现调节螺杆747轴向锁紧。
调节螺杆747向上旋转从而迫使导向圆盘742位置发生向上变化，在变化的过程中，利用内导向筒744和悬臂环745形成导向从而实现从动齿轮74的位置上升，在上升过程中，第一竖直压簧746被压缩，最终利用锁紧螺母748锁定从动齿轮74的最终高度位置。从动齿轮74高度位置的调节其可以便于与主动齿轮73的啮合组装连接，同时，还可以便于调节由于齿轮的磨损而进行位置上升调节从而达到设定的啮合要求。
还有，在升降柱8的上端和凹孔的上孔底之间设有竖直导向结构，该竖直导向结构包括设置在凹孔上孔底的非圆形导向柱，在升降柱8的上端内部设有与所述非圆形导向柱匹配的非圆形导向孔，非圆形导向孔的孔长度长于非圆形导向柱的长度，以利于升降。
在环形外凹槽740的槽底设有内螺旋储油槽，在内螺旋储油槽中储存有固体润滑剂，例如，黄油等等。其次，在内导向筒744的外壁设有外螺旋槽，在外螺旋槽中储存有固体润滑剂，确保了升降调节的自润滑性能。
悬臂环745其由三片弧形金属板拼接形成，相邻的两块弧形金属板通过凹凸配合结构连接。该凹凸配合结构包括设置在弧形金属板一侧边的外凸扣部，在弧形金属板的另一侧边设有内凹扣槽，相邻两块弧形金属板通过外凸扣部和内凹扣槽固定在一起，形成一个悬臂环745后，利用焊接或者螺钉固定的方式将悬臂环745固定在环形外凹槽740的上侧槽壁上。
外凸导向部743的外圆周面为弧形凸面，在环形外凹槽740的宽度方向下槽壁设有与所述弧形凸面匹配的弧形凹面，以确保接触处的匹配性。
另外，在升降柱8的下端设有下盲孔，测试头9的上端伸入下盲孔，然后利用径向螺钉将测试头9固定在下盲孔中。优选地，在升降柱8的下端端部固定有一套在测试头9外围的环形管，环形管和高压气源软管连接，在环形管的下侧设有若干呈圆周均匀分布并且倾斜向下朝内汇聚的锥形出风孔，锥形出风孔用于测试前对测试头9和被测试器件进行吹风处理，确保测试数据的精确度和精准性。
如图1-6所示，本实施例为一种器件测试探针台仪器的使用方法：使用者首先将需要进行检测测试的器件放置于主固定板3和副固定板4之间，接着转动摇把43，使适应板32和移动板44相互配合完全固定需要检测的器件，然后打开驱动电机6，使驱动电机6转动带动测试头9横向移动，最后转动旋钮72，调节测试头9的高度，对器件进行检测即可。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (5)

1.一种器件测试探针台仪器，包括安装板(1)，其特征在于：所述安装板(1)为板体结构，所述安装板(1)上表面固定连接有主连接板(2)和副连接板(21)，所述主连接板(2)和副连接板(21)相对两侧面固定连接有横板(5)，所述横板(5)下表面开设有滑槽(51)，所述滑槽(51)内滑动连接有滑块，所述横板(5)下表面还固定连接有竖板(62)和驱动电机(6)，所述驱动电机(6)输出端转动连接有螺纹柱(61)，所述螺纹柱(61)周侧面螺纹连接有移动块(63)，所述滑块下表面与移动块(63)固定连接，所述移动块(63)下表面固定连接有安装块(7)，所述安装块(7)下表面开设有圆孔，所述圆孔内设置有升降柱(8)，所述升降柱(8)下表面固定连接有测试头(9)，所述安装块(7)一侧面开设有凹孔，所述凹孔内转动连接有转杆(71)，所述转杆(71)一端固定连接有旋钮(72)，所述转杆(71)另一端固定连接有主动齿轮(73)，所述主动齿轮(73)啮合连接有从动齿轮(74)，所述从动齿轮(74)与升降柱(8)螺纹连接，所述主动齿轮(73)和从动齿轮(74)均设置在安装块(7)内部，所述主动齿轮(73)和从动齿轮(74)呈垂直设置；
在从动齿轮(74)和安装块(7)的凹孔之间设有用于调节从动齿轮(74)竖直方向位置高度的位置调节机构，该位置调节机构包括设置在凹孔下孔口孔壁上的环形外凹槽(740)，在从动齿轮(74)的下表面连接有圆形筒(741)，在圆形筒(741)的下端外壁套设有与圆形筒(741)周向固定连接的导向圆盘(742)，导向圆盘(742)的周向具有伸入至环形外凹槽(740)中的外凸导向部(743)并且外凸导向部(743)的厚度小于环形外凹槽(740)的槽宽度，在导向圆盘(742)的顶面连接有内导向筒(744)，在环形外凹槽(740)的槽宽方向上槽壁设有悬臂环(745)，内导向筒(744)伸入至悬臂环(745)中并且内导向筒(744)的外壁与悬臂环(745)的内壁接触，在悬臂环(745)下表面设有第一平面轴承，在第一平面轴承和导向圆盘(742)之间设有若干第一竖直压簧(746)，在导向圆盘(742)的下表面设有第二平面轴承，第二平面轴承位于环形外凹槽(740)中，在安装块(7)的下端端面上设有若干上端与所述环形外凹槽(740)连通的竖直螺纹孔，在每个竖直螺纹孔中分别穿设有与竖直螺纹孔螺纹连接的调节螺杆(747)，并且调节螺杆(747)的上端抵在第二平面轴承的下表面，在调节螺杆(747)上套设有与调节螺杆(747)螺纹连接的锁紧螺母(748)，锁紧螺母(748)与安装块(7)的下端端面接触实现调节螺杆(747)轴向锁紧；
在升降柱(8)的下端设有下盲孔，测试头(9)的上端伸入下盲孔，然后利用径向螺钉将测试头(9)固定在下盲孔中，在升降柱(8)的下端端部固定有一套在测试头(9)外围的环形管，环形管和高压气源软管连接，在环形管的下侧设有若干呈圆周均匀分布并且倾斜向下朝内汇聚的锥形出风孔，锥形出风孔用于测试前对测试头(9)和被测试器件进行吹风处理。
2.根据权利要求1所述的一种器件测试探针台仪器，其特征在于，所述安装板(1)上表面还固定连接有主固定板(3)和副固定板(4)，所述主固定板(3)一侧面固定连接有连接杆(31)，所述连接杆(31)一端固定连接有适应板(32)，所述副固定板(4)一侧面开设有螺纹孔，所述螺纹孔贯穿副固定板(4)，所述螺纹孔内螺纹连接有螺纹杆(41)，所述螺纹杆(41)一端固定连接有转盘(42)，所述螺纹杆(41)另一端固定连接有移动板(44)。
3.根据权利要求1所述的一种器件测试探针台仪器，其特征在于，所述主连接板(2)和副连接板(21)通过安装板(1)中线呈对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种器件测试探针台仪器，其特征在于，所述竖板(62)位置与驱动电机(6)相适应。
5.根据权利要求2所述的一种器件测试探针台仪器，其特征在于，所述转盘(42)一侧面固定连接有摇把(43)。
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