CN220218186U - 一种晶圆检测的夹具机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及测试夹具技术领域，公开了一种晶圆检测的夹具机构，包括固定座，所述固定座内部转动连接有转柱，所述固定座内侧壁开设有滑槽，所述滑槽内部滑动连接有滑块，所述滑块侧壁固定连接有齿条，所述固定座内部设置有液压杆，所述液压杆输出端固定连接在一侧齿条上，所述转柱侧壁固定连接有齿轮，所述齿轮啮合连接在齿条之间。本实用新型中，通过固定座、转柱、滑槽、滑块、齿条、液压杆、齿轮、盖板、横槽、夹板、凹孔和橡胶条之间的配合，达到了夹持的效果，解决了部分设备可能会因为结构较为单一，在进行检测时，可能会出现固定不牢固的情况发生，从而影响检测效率的问题，提高了设备的夹持效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及测试夹具技术领域，尤其涉及一种晶圆检测的夹具机构。
背景技术
晶圆是半导体芯片的重要制造基础材料，其精度和质量对芯片性能有很大影响，晶圆检测是芯片制造过程中的一个关键步骤之一，可以检查晶圆表面上的缺陷、污染和形状等信息，以保证芯片品质，而夹具机构在晶圆检测中起到了固定晶圆的作用，可以使得晶圆在检测过程中不会移动或者振动，因此，使用夹具机构可以提高晶圆检测的准确性和效率。
传统的部分晶圆检测设备，可能会因为结构较为单一，通过简单的结构对晶圆进行固定，在进行检测时，可能会出现固定不牢固的情况发生，从而影响检测效率。
实用新型内容
为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种晶圆检测的夹具机构，旨在改善部分设备可能会因为结构较为单一，在进行检测时，可能会出现固定不牢固的情况发生，从而影响检测效率的问题。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆检测的夹具机构，包括固定座，所述固定座内部转动连接有转柱，所述固定座内侧壁开设有滑槽，所述滑槽内部滑动连接有滑块，所述滑块侧壁固定连接有齿条，所述固定座内部设置有液压杆，所述液压杆输出端固定连接在一侧齿条上，所述转柱侧壁固定连接有齿轮，所述齿轮啮合连接在齿条之间，所述固定座顶壁固定连接有盖板，所述盖板内部开设有横槽，所述齿条顶壁固定连接有夹板，所述夹板滑动连接在横槽内，所述夹板内部开设有凹孔，所述凹孔内部固定连接有橡胶条。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定座侧壁固定连接有顶板，所述顶板底壁固定连接有固定板。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定板底壁固定连接有固定块一，所述固定块一侧壁转动连接有转块一。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述转块一侧壁固定连接有C型板一。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定板底壁固定连接有固定块二，所述固定块二侧壁转动连接有转块二。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述转块二侧壁固定连接有C型板二。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述固定板内部设置有转珠，所述转珠侧壁固定连接有伸缩杆的一侧，所述伸缩杆的另一侧固定连接有检测笔。
作为上述技术方案的进一步描述：
所述检测笔设置在C型板一与C型板二之间。
本实用新型具有如下有益效果：
1、本实用新型中，首先通过固定座、转柱、滑槽、滑块、齿条、液压杆、齿轮、盖板、横槽、夹板、凹孔和橡胶条之间的配合，达到了夹持的效果，解决了部分设备可能会因为结构较为单一，在进行检测时，可能会出现固定不牢固的情况发生，从而影响检测效率的问题，提高了设备的夹持效果。
2、本实用新型中，通过固定板、固定块一、转块一、C型板一、固定块二、转块二、C型板二、转珠、伸缩杆和检测笔之间的配合，达到了角度调节的效果，解决了部分设备可能会因为对检测笔的固定较为固定，导致在使用时当需要检测晶圆的其他部位时，调节起来较为麻烦的问题，提高了设备的实用性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种晶圆检测的夹具机构的立体结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种晶圆检测的夹具机构的固定座结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种晶圆检测的夹具机构的固定板结构示意图。
图例说明：
1、固定座；2、转柱；3、滑槽；4、滑块；5、齿条；6、液压杆；7、齿轮；8、盖板；9、横槽；10、夹板；11、凹孔；12、橡胶条；13、顶板；14、固定板；15、固定块一；16、转块一；17、C型板一；18、固定块二；19、转块二；20、C型板二；21、转珠；22、伸缩杆；23、检测笔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
参照图1-3，本实用新型提供的一种实施例：一种晶圆检测的夹具机构，包括固定座1，固定座1内部转动连接有转柱2，固定座1内侧壁开设有滑槽3，滑槽3内部滑动连接有滑块4，滑块4侧壁固定连接有齿条5，固定座1内部设置有液压杆6，液压杆6输出端固定连接在一侧齿条5上，转柱2侧壁固定连接有齿轮7，齿轮7啮合连接在齿条5之间，固定座1顶壁固定连接有盖板8，盖板8内部开设有横槽9，齿条5顶壁固定连接有夹板10，夹板10滑动连接在横槽9内，夹板10内部开设有凹孔11，凹孔11内部固定连接有橡胶条12。
当需要对晶圆进行夹持固定时，通过启动液压杆6带动一侧的齿条5通过滑块4在滑槽3上进行滑动，带动齿轮7进行转动，同时带动另一侧滑块4进行滑动，从而使夹板10在横槽9内进行向中滑动，将晶圆夹持在凹孔11之间，橡胶条12起到了防止在夹持的过程中对晶圆造成损坏的问题。
固定座1侧壁固定连接有顶板13，顶板13底壁固定连接有固定板14。
固定板14底壁固定连接有固定块一15，固定块一15侧壁转动连接有转块一16。
转块一16侧壁固定连接有C型板一17。
C型板一17可以通过转块一16在固定块一15上进行转动。
固定板14底壁固定连接有固定块二18，固定块二18侧壁转动连接有转块二19。
转块二19侧壁固定连接有C型板二20。
C型板二20可以通过转块二19在固定块二18上进行转动。
固定板14内部设置有转珠21，转珠21侧壁固定连接有伸缩杆22的一侧，伸缩杆22的另一侧固定连接有检测笔23。
通过拽动伸缩杆22起到了可以延长检测笔23的效果。
检测笔23设置在C型板一17与C型板二20之间。
通过移动检测笔23带动转珠21在固定板14内进行转动，从而带动C型板一17通过转块一16在固定块一15上进行转动，使C型板二20通过转块二19在固定块二18上进行转动，达到了多角度调节的效果，再通过拉动伸缩杆22进行延长，通过检测笔23对晶圆进行检测。
工作原理：当需要使用该设备进行检测工作时，首先根据晶圆的大小，放置在凹孔11之间，在启动液压杆6带动一侧的齿条5通过滑块4在滑槽3上进行滑动，带动齿轮7进行转动，同时带动另一侧滑块4进行滑动，从而使夹板10在横槽9内进行向中滑动，将晶圆夹持在凹孔11之间，这时再通过移动检测笔23带动转珠21在固定板14内进行转动，从而带动C型板一17通过转块一16在固定块一15上进行转动，使C型板二20通过转块二19在固定块二18上进行转动，达到了多角度调节的效果，再通过拉动伸缩杆22进行延长，通过检测笔23对晶圆进行检测。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆检测的夹具机构，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)内部转动连接有转柱(2)，所述固定座(1)内侧壁开设有滑槽(3)，所述滑槽(3)内部滑动连接有滑块(4)，所述滑块(4)侧壁固定连接有齿条(5)，所述固定座(1)内部设置有液压杆(6)，所述液压杆(6)输出端固定连接在一侧齿条(5)上，所述转柱(2)侧壁固定连接有齿轮(7)，所述齿轮(7)啮合连接在齿条(5)之间，所述固定座(1)顶壁固定连接有盖板(8)，所述盖板(8)内部开设有横槽(9)，所述齿条(5)顶壁固定连接有夹板(10)，所述夹板(10)滑动连接在横槽(9)内，所述夹板(10)内部开设有凹孔(11)，所述凹孔(11)内部固定连接有橡胶条(12)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述固定座(1)侧壁固定连接有顶板(13)，所述顶板(13)底壁固定连接有固定板(14)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述固定板(14)底壁固定连接有固定块一(15)，所述固定块一(15)侧壁转动连接有转块一(16)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述转块一(16)侧壁固定连接有C型板一(17)。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述固定板(14)底壁固定连接有固定块二(18)，所述固定块二(18)侧壁转动连接有转块二(19)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述转块二(19)侧壁固定连接有C型板二(20)。
7.根据权利要求2所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述固定板(14)内部设置有转珠(21)，所述转珠(21)侧壁固定连接有伸缩杆(22)的一侧，所述伸缩杆(22)的另一侧固定连接有检测笔(23)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆检测的夹具机构，其特征在于：所述检测笔(23)设置在C型板一(17)与C型板二(20)之间。
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