CN112540513A - 一种用于euv光源的熔融液滴发生装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其中所述的本体外壁设导热油输入口及导热油输出口;加热腔内填充导热油,电加热棒延伸至导热油内;内腔内安装内腔体,顶盖内腔体顶部连接,固定帽安装在内腔体内,固定帽底部固定压紧弹簧,压紧弹簧底部为过滤帽,过滤帽底部连通输出通道,输出通道与高速喷头连接,高速喷头与压紧螺母连接,压紧螺母固定在本体底部;优点为:本发明过滤帽用于去除金属杂质;密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用,内腔体实现金属的加热、熔融及传输;加热腔用于传输导热介质;电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境;高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
Description
技术领域
本发明涉及极紫外光刻机技术领域,尤其是涉及一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置。
背景技术
目前国外对于极紫外光刻机技术处于一种封锁状态,国内在光刻机领域受制约的技术方向很多,在国内多年的EUV光源的研究过程中,金属液滴的形成质量,决定着EUV光源的质量,但目前金属液滴的产生装置受制于技术原型的限制,无法长期稳定地保持金属液滴的形成质量。
发明内容
本发明的目的在于为解决现有技术的不足,而提供一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置。
本发明新的技术方案是:一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,包括压紧螺母、高速喷头、本体及内腔体,所述的本体包括导热油输入口、导热油输出口、内腔、加热腔及电加热棒,所述的本体外壁下部设有导热油输入口,与导热油输入口相对的本体一侧上部设有导热油输出口;所述的本体设有夹层,且夹层为加热腔,所述的加热腔内填充有导热油,电加热棒一端延伸至所述的加热腔的导热油内,所述的电加热棒另一端通过螺母固定在本体顶部;所述的本体内部中空,且中空处为内腔,所述的内腔内安装有内腔体;所述的内腔体包括顶盖、密封圈A、固定帽、压紧弹簧、过滤帽及输出通道,所述的顶盖通过密封圈A与内腔体顶部螺纹连接,所述的内腔体内壁设有凹槽,且固定帽安装在所述的凹槽内,所述的固定帽顶部与顶盖底部接触,固定帽底部为U型槽,所述的U型槽内固定有压紧弹簧,所述的压紧弹簧底部为过滤帽,所述的过滤帽下部与内腔体内的凹槽固定连接,过滤帽底部连通有输出通道,且输出通道设在内腔体内,所述的输出通道与高速喷头连接,所述的高速喷头通过密封圈B与压紧螺母连接,所述的压紧螺母通过螺纹固定在本体底部。
所述的密封圈A及密封圈B为金属密封圈。
所述的电加热棒为2个。
所述的过滤帽为不锈钢。
所述的过滤帽的过滤孔径在40微米以下。
所述的内腔体为不锈钢,且内腔体内壁涂敷导热纳米涂层。
所述的本体为不锈钢。
所述的本体内壁涂敷导热纳米涂层。
所述的本体外壁涂敷绝热纳米涂层。
所述的高速喷头利用压电陶瓷配合柔性毛细管实现高速开合。
本发明的有益效果为:本发明过滤帽用于去除金属杂质;密封圈及压紧弹簧维持熔融装置在高温高压环境下使用,内腔体实现金属的加热、熔融及传输;加热腔用于传输导热介质;电加热棒维持熔融装置整体的实验温度环境;高速喷头按要求喷射出实验用金属液滴。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的立体剖面图。
图3为本体的结构示意图。
图4为内腔体的结构示意图。
其中:1、本体,101、导热油输出口,102、内腔,103、加热腔,104、电加热棒,2、内腔体,201、顶盖,202、密封圈A,203、固定帽,204、压紧弹簧,205、过滤帽,206、输出通道,3、压紧螺母,4、高速喷头,5、密封圈B。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,包括压紧螺母3、高速喷头4、本体1及内腔体2,所述的本体1包括导热油输入口、导热油输出口101、内腔102、加热腔103及电加热棒104,所述的本体1外壁下部设有导热油输入口,与导热油输入口相对的本体1一侧上部设有导热油输出口101;所述的本体1设有夹层,且夹层为加热腔103,所述的加热腔103内填充有导热油,电加热棒104一端延伸至所述的加热腔103的导热油内,所述的电加热棒104另一端通过螺母固定在本体1顶部;所述的本体1内部中空,且中空处为内腔102,所述的内腔102内安装有内腔体2;所述的内腔体2包括顶盖201、密封圈A202、固定帽203、压紧弹簧204、过滤帽205及输出通道206,所述的顶盖201通过密封圈A202与内腔体2顶部螺纹连接,所述的内腔体2内壁设有凹槽,且固定帽203安装在所述的凹槽内,所述的固定帽203顶部与顶盖201底部接触,固定帽203底部为U型槽,所述的U型槽内固定有压紧弹簧204,所述的压紧弹簧204底部为过滤帽205,所述的过滤帽205下部与内腔体2内的凹槽固定连接,过滤帽205底部连通有输出通道206,且输出通道206设在内腔体2内,所述的输出通道206与高速喷头4连接,所述的高速喷头4通过密封圈B5与压紧螺母3连接,所述的压紧螺母3通过螺纹固定在本体1底部。
所述的密封圈A202及密封圈B5为金属密封圈。
所述的电加热棒104为2个。
所述的过滤帽205为不锈钢。
所述的过滤帽205的过滤孔径在40微米以下。
所述的内腔体2为不锈钢,且内腔体2内壁涂敷导热纳米涂层。
所述的本体为不锈钢。
所述的本体内壁涂敷导热纳米涂层。
所述的本体外壁涂敷绝热纳米涂层。
所述的高速喷头4利用压电陶瓷配合柔性毛细管实现高速开合。
过滤帽205采用熔融金属过滤器,利用不锈钢作为滤芯材料,保证过滤孔径在40微米以下,滤除液体金属中的杂质,同时防止大颗粒堵塞高速喷头4,熔融金属过滤帽205底部连接内腔体2的输出通道206至高速喷头4。
密封圈利用金属垫片维持实验所需的高温高压环境,压力不低于20Mpa,温度不低于300℃,同时利用压紧弹簧204保证过滤帽205滤芯与内腔体2底部的接触压力,以确保金属液体均由过滤帽205流出。顶部金属密封圈A202放置在顶盖201与内腔体2的连接处,底部金属密封圈B5放置在压紧螺母3与高速喷头4之间。
内腔体2采用不锈钢材质保证设备的耐温耐压以及抗腐蚀性,同时在内壁涂敷导热纳米材料,保证内腔体2中金属的高效和均匀加温。同时内腔体2可以单独拆卸与本体1分离,方便实验的更换和清洗。
本体1采用不锈钢加工制成,内壁涂敷导热纳米涂层,将导热介质中的热量高效均匀的传递到内腔体2,外壁涂敷绝热纳米涂层,尽可能减少热量对于外界的散失,提高系统温控效率。本体1有导热油输入口和导热油输出口101各一个,温度传感器口一个,加热口一个,配合温度控制系统稳定内腔机构温度。
温度控制系统利用微型齿轮泵控制导热油的输送量,进而精确控制装置所需热量,同时结合温度传感器的反馈,双闭环控制装置中的温度。根据加热腔103内的实时温度,利用金属材料的比热容、导热介质的比热容等热力学参数,计算出所需要的热量,调节加热温度和导热介质流量来实现双闭环温度控制。
高速喷头4利用高频信号来控制压电陶瓷的高速动作,压电陶瓷挤压柔性毛细管高速打开关闭金属液体输出通道206。采用高能信号发生器,输出设备所需的固定频率的信号波形,同时采用高功率器件,保证信号的功率强度足以驱动压电陶瓷正常工作,保证柔性毛细管开关频率。
Claims (10)
1.一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,包括压紧螺母(3)、高速喷头(4)、本体(1)及内腔体(2),其特征在于:所述的本体(1)包括导热油输入口、导热油输出口(101)、内腔(102)、加热腔(103)及电加热棒(104),所述的本体(1)外壁下部设有导热油输入口,与导热油输入口相对的本体(1)一侧上部设有导热油输出口(101);所述的本体(1)设有夹层,且夹层为加热腔(103),所述的加热腔(103)内填充有导热油,电加热棒(104)一端延伸至所述的加热腔(103)的导热油内,所述的电加热棒(104)另一端通过螺母固定在本体(1)顶部;所述的本体(1)内部中空,且中空处为内腔(102),所述的内腔(102)内安装有内腔体(2);所述的内腔体(2)包括顶盖(201)、密封圈A(202)、固定帽(203)、压紧弹簧(204)、过滤帽(205)及输出通道(206),所述的顶盖(201)通过密封圈A(202)与内腔体(2)顶部螺纹连接,所述的内腔体(2)内壁设有凹槽,且固定帽(203)安装在所述的凹槽内,所述的固定帽(203)顶部与顶盖(201)底部接触,固定帽(203)底部为U型槽,所述的U型槽内固定有压紧弹簧(204),所述的压紧弹簧(204)底部为过滤帽(205),所述的过滤帽(205)下部与内腔体(2)内的凹槽固定连接,过滤帽(205)底部连通有输出通道(206),且输出通道(206)设在内腔体(2)内,所述的输出通道(206)与高速喷头(4)连接,所述的高速喷头(4)通过密封圈B(5)与压紧螺母(3)连接,所述的压紧螺母(3)通过螺纹固定在本体(1)底部。
2.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的密封圈A(202)及密封圈B(5)为金属密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的电加热棒(104)为2个。
4.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的过滤帽(205)为不锈钢。
5.根据权利要求1或4 所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的过滤帽(205)的过滤孔径在40微米以下。
6.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的内腔体(2)为不锈钢,且内腔体(2)内壁涂敷导热纳米涂层。
7.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的本体(1)为不锈钢。
8.根据权利要求1或7所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的本体(1)内壁涂敷导热纳米涂层。
9.根据权利要求8所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的本体(1)外壁涂敷绝热纳米涂层。
10.根据权利要求1所述的一种用于EUV光源的熔融液滴发生装置,其特征在于:所述的高速喷头(4)利用压电陶瓷配合柔性毛细管实现高速开合。
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Citations (9)
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---|---|---|---|---|
CN201013650Y (zh) * | 2007-03-27 | 2008-01-30 | 胡滨 | 一种热油泵轴用机械密封件 |
CN103718654A (zh) * | 2011-08-05 | 2014-04-09 | Asml荷兰有限公司 | 辐射源和用于光刻设备的方法和器件制造方法 |
US20140151582A1 (en) * | 2011-04-05 | 2014-06-05 | Eth Zurich | Droplet Dispensing Device and Light Source Comprising Such a Droplet Dispensing Device |
CN107175181A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-09-19 | 广东工业大学 | 一种含杠杆结构的压电膜片式微喷喷射阀 |
CN109909090A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-21 | 北京理工大学 | 一种高压环境单液滴发生装置 |
CN110967937A (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 操作极紫外光产生装置的方法及极紫外辐射产生装置 |
CN211621014U (zh) * | 2019-10-21 | 2020-10-02 | 永发(江苏)模塑包装科技有限公司 | 蜂巢式电永磁快速锁模装置及其纸浆模塑成型设备 |
CN112162466A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于euv光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统 |
CN213876314U (zh) * | 2021-01-07 | 2021-08-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于euv光源的熔融液滴发生装置 |
-
2021
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201013650Y (zh) * | 2007-03-27 | 2008-01-30 | 胡滨 | 一种热油泵轴用机械密封件 |
US20140151582A1 (en) * | 2011-04-05 | 2014-06-05 | Eth Zurich | Droplet Dispensing Device and Light Source Comprising Such a Droplet Dispensing Device |
CN103718654A (zh) * | 2011-08-05 | 2014-04-09 | Asml荷兰有限公司 | 辐射源和用于光刻设备的方法和器件制造方法 |
CN107175181A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-09-19 | 广东工业大学 | 一种含杠杆结构的压电膜片式微喷喷射阀 |
CN110967937A (zh) * | 2018-09-28 | 2020-04-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 操作极紫外光产生装置的方法及极紫外辐射产生装置 |
CN109909090A (zh) * | 2019-04-02 | 2019-06-21 | 北京理工大学 | 一种高压环境单液滴发生装置 |
CN211621014U (zh) * | 2019-10-21 | 2020-10-02 | 永发(江苏)模塑包装科技有限公司 | 蜂巢式电永磁快速锁模装置及其纸浆模塑成型设备 |
CN112162466A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-01-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于euv光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统 |
CN213876314U (zh) * | 2021-01-07 | 2021-08-03 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种用于euv光源的熔融液滴发生装置 |
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