CN112445073B - 噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，第一腔体、第一防护板、第二防护板和隔板构成一薄板吸声器，第二腔体具有一个开口，开口设置在第一防护板和/或第二防护板上，每个第二腔体、与第二腔体对应的开口、与第二腔体对应的隔板、与第二腔体对应的第一防护板和与第二腔体对应的第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。通过设置薄板吸声器和亥姆霍兹共振器，可有效吸收噪声，进而改善噪声防护装置的噪声防护功能。

Description

噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法。

背景技术

光刻机是半导体产业中的关键设备，光刻机对振动的要求极为苛刻。随着光刻精度的快速发展和提高，噪声引起的光刻机内部振动越来越受到重视。其中，噪声易影响物镜、干涉仪等高精度部件的精度和稳定性，从而影响光刻机的测量精度及光刻精度。

光刻机的防护系统对于隔离环境噪声起着关键作用，光刻机现有的防护系统主要由多个防护装置拼接而成。如图1所示，图1是现有的防护装置的结构示意图，所述防护装置包括面板110和加强筋120，所述面板110多为单层面板110，所述加强筋120固定设置在所述面板110上。根据光刻机的现有工况，在开启和关闭噪声源的情况下，分别对光刻机的主基板进行振动测试，并对比振动测试结果。测试结果如图2所示，图2是在开启和关闭噪声源的情况下光刻机主基板的振动情况示意图，由图2显示的振动测试结果可知，主基板的振动在开启噪声源的情况下较关闭噪声源的情况下强，其中，当噪声位于低频噪声范围内(30-500Hz)时，主基板的振动较未开启噪声源时明显增强，当噪声位于高频范围内(大于500Hz)时，主基板的振动较未开启噪声源时变化不明显。

因此，需要对现有的防护系统进行改进，以改善防护系统的噪声防护效果，尤其是低频噪声的防护效果，从而降低低频噪声引起的光刻机的主基板、物镜、干涉仪等部件的振动，影响物镜、干涉仪等高精度部件的精度和稳定性，进而影响光刻机的精度和稳定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法，以解决现有的噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法噪声防护效果差的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种噪声防护装置，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述第一防护板和所述第二防护板相对设置，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，所述第一腔体、与所述第一腔体对应的所述第一防护板、与所述第一腔体对应的所述第二防护板和与所述第一腔体对应的所述隔板构成一薄板吸声器，所述第二腔体具有一个开口，所述开口设置在所述第一防护板和/或所述第二防护板上，每个所述第二腔体、与所述第二腔体对应的所述开口、与所述第二腔体对应的所述隔板、与所述第二腔体对应的所述第一防护板和与所述第二腔体对应的所述第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。

可选的，所述噪声防护装置包括相对设置的外表面和内表面，以及连接所述外表面和所述内表面的侧面，所述外表面设置在所述第一防护板上，所述内表面设置在所述第二防护板上。

可选的，所述开口设置在所述噪声防护装置的侧面上。

可选的，所述第一防护板包括第一部分和第二部分，所述第二部分沿所述第一部分的边缘设置且与所述第一部分固定连接，所述第二部分向所述第二防护板的方向翻折，并与所述第二防护板固定连接，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，且分别与所述第一防护板和所述第二防护板固定连接，所述第一防护板和所述第二防护板围成一空腔，所述隔板用于将所述空腔分割呈一个所述第一腔体和至少一个所述第二腔体。

可选的，所述开口具体设置在所述第一防护板的第二部分上，每个所述开口与一个所述第二腔体连通。

可选的，还包括套管，所述套管的一端固定设置在所述开口中，且所述套管的另一端设置在所述第二腔体中。

本发明还提供一种噪声防护系统，包括至少两个上述的噪声防护装置，所述噪声防护装置相互连接且围成一防护腔。

可选的，所述噪声防护装置的第一防护板位于所述防护腔的外部，所述噪声防护装置的第二防护板位于所述防护腔的内部。

可选的，至少两个所述噪声防护装置可防护的噪声的频率不相同。

可选的，所述噪声防护系统用于对光刻装置进行噪声防护，所述光刻装置包括至少一个光刻组件，所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。

本发明还提供一种光刻机，所述光刻机包括光刻装置和上述的噪声防护系统，所述光刻装置用于光刻，所述光刻装置设置在所述噪声防护系统的防护腔内。

本发明还提供一种噪声防护方法，包括：检测光刻机中各光刻组件的敏感噪声；设置噪声防护装置，且使噪声防护装置可防护的噪声的频率与光刻组件的敏感噪声的频率相近；将噪声防护装置安装到光刻机中或作为光刻机外壳，且使防护光刻机中各光刻组件的噪声防护装置可防护的噪声的频率与所述光刻组件的敏感噪声的频率相近。

可选的，所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。

本发明提供的一种噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法，具有以下有益效果：

首先，通过设置薄板吸声器和亥姆霍兹共振器，可有效吸收噪声，进而改善噪声防护装置的噪声防护功能。

其次，通过将开口设置在所述噪声防护装置的侧面上，可避免污染物聚集在第二腔体中，难以清理且影响整机洁净度。

附图说明

图1是现有的防护装置的结构示意图；

图2是在开启和关闭噪声源的情况下光刻机主基板的振动情况示意图；

图3是本发明一种实施例中的噪声防护装置在一个方向的轴侧图；

图4是本发明一种实施例中的噪声防护装置在另一个方向的轴侧图；

图5是本发明一种实施例中的噪声防护装置的俯视图；

图6是图5中的噪声防护装置沿A-A方向的截面图；

图7是本发明一种实施例中的噪声防护装置的后视图；

图8是图7中的噪声防护装置沿B-B方向的截面图；

图9是本发明一种实施例中的噪声防护系统的结构示意图。

附图标记说明：

110-面板；120-加强筋；

200-噪声防护装置；

210-第一防护板；211-第一部分；212-第二部分；220-第二防护板；230-隔板；240-第一腔体；250-第二腔体；260-开口；

271-外表面；272-内表面；273-侧面；

280-套管。

具体实施方式

现有的噪声防护装置多包括具有吸声功能的吸声材料和共振吸声结构。常用的吸声材料为多孔吸声材料。对于500Hz以上的中高频噪声，采用多孔吸声材料即可以实现较好的吸声效果；对于(30-500Hz)的低频噪声，降噪较为困难，一般需采用共振吸声结构。

常用的共振吸声结构主要有以下几种：共振吸声器(又称亥姆霍兹共振器)、穿孔板、薄板吸声器、空间吸声体。

具体的，亥姆霍兹共振器通常包括一共振主体，所述共振主体具有一防护腔和一气道，所述气道的一端与所述防护腔连通，所述气道的另一端与外部空气连通，其中，所述气道的截面积小于所述防护腔的截面积。所述防护腔和所述气道共同组成共振结构，用于对特定频率的噪声进行消声。

其中，所述亥姆霍兹共振器可以消声的噪声的频率f₀可采用如下公式进行计算：

其中，f₀为亥姆霍兹共振器的共振频率，单位为Hz。

C为空气中声速，单位为m/s。

S为气道的截面积，单位为m²。

d为颈或开口的直径，单位为m。

l为颈的长度，单位为m。

V为容器的容积，单位为m³。

薄板吸声器通常包括第一面板、第二面板，所述第一面板、第二面板相对设置，且围成一板腔，通过所述第一面板、所述第二面板和设置在所述板腔内的空气，可有效吸收低频噪声。

其中，所述薄板吸声器可以消声的噪声的频率f₀可采用如下公式进行计算：

f₀，为薄板吸声器的共振频率，单位为Hz。

ρ₀为空气密度，单位为K_g/m³。

C为空气中声速，单位为m/s。

M₀为第一面板、第二面板的单位面积质量，单位为K_g/m²。

L为第一面板和第二面板板之间的空气厚度，单位为m。

K为薄板吸声器的刚性因素，单位为K_g/(m²*S²)。

如背景技术所述，现有的防护系统的噪声防护效果需要改善，尤其是需要改善对低频噪声的防护效果。结合光刻机的洁净度要求和防护维修维护等使用要求，以及需要改善低频噪声的防护效果的要求，申请人发现将共振吸声结构中的亥姆霍兹共振器和薄板吸声器结合起来，进行噪声防护，具有较强的可行性和降噪效果。

基于此，申请人提出了一种噪声防护装置，所述噪声防护装置呈板状，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述第一防护板和所述第二防护板相对设置，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，所述第一腔体、与所述第一腔体对应的所述第一防护板、与所述第一腔体对应的所述第二防护板和与所述第一腔体对应的所述隔板构成一薄板吸声器，所述第二腔体具有一个开口，所述第一防护板和/或所述第二防护板上开设有所述开口，每个所述第二腔体、与所述第二腔体对应的所述开口、与所述第二腔体对应的所述隔板、与所述第二腔体对应的所述第一防护板和与所述第二腔体对应的所述第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。通过设置薄板吸声器和亥姆霍兹共振器，可有效吸收噪声，进而改善噪声防护装置的噪声防护功能。

相应的，申请人还提出了一种噪声防护系统，所述噪声防护系统包括至少两个噪声防护装置，所述噪声防护装置相互连接且围成一防护腔。所述噪声防护装置的第一防护板位于所述防护腔的外部，所述噪声防护装置的第二防护板位于所述防护腔的内部。通过设置噪声防护系统可有效减少噪声的干扰。

相应的，申请人还提出了一种光刻机，所述光刻机包括光刻装置和上述的噪声防护系统，所述光刻装置用于光刻，所述光刻装置设置在所述噪声防护系统的防护腔内。

相应的，申请人还提出一种噪声防护方法，首先，检测光刻机各部位的噪声，其次，设置噪声防护装置，且使噪声防护装置可防护的噪声的频率与光刻机不同部位的噪声的频率相近，再次，将噪声防护装置安装到光刻机中，且使防护光刻机各部位的噪声防护装置可防护的噪声的频率与该部位的噪声的频率相近。通过使防护光刻机各部位的噪声防护装置可防护的噪声的频率与该部位的噪声的频率相近，可有效改善对光刻机的噪声防护效果。

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的噪声防护装置、防护系统、光刻机和噪声防护方法作进一步详细说明。根据下面说明，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

本实施例提供一种噪声防护装置200。参考图3，图3是本发明一种实施例中的噪声防护装置200在一个方向的轴侧图，图4是本发明一种实施例中的噪声防护装置200在另一个方向的轴侧图，图5是本发明一种实施例中的噪声防护装置200的俯视图，图6是图5中的噪声防护装置200沿A-A方向的截面图，图7是本发明一种实施例中的噪声防护装置200的后视图，图8是图7中的噪声防护装置200沿B-B方向的截面图，所述噪声防护装置200包括第一防护板210、第二防护板220和至少一个隔板230，所述第一防护板210和所述第二防护板220相对设置，所述隔板230设置在所述第一防护板210和所述第二防护板220之间，所述第一防护板210、所述第二防护板220和所述隔板230围成一第一腔体240和至少一个第二腔体250，所述第一腔体240、与所述第一腔体240对应的所述第一防护板210、与所述第一腔体240对应的所述第二防护板220和与所述第一腔体240对应的所述隔板230构成一薄板吸声器，所述第二腔体250具有一个开口260，所述开口260设置在所述第一防护板210和/或所述第二防护板220上，每个所述第二腔体250、与所述第二腔体250对应的所述开口260、与所述第二腔体250对应的所述隔板230、与所述第二腔体250对应的所述第一防护板210和与所述第二腔体250对应的所述第二防护板220构成一亥姆霍兹共振器。通过设置薄板吸声器和亥姆霍兹共振器，可有效吸收噪声，进而改善噪声防护装置200的噪声防护功能。

所述噪声防护装置200包括相对设置的外表面271和内表面272，以及连接所述外表面271和所述内表面272的侧面273。所述外表面271设置在所述第一防护板210上，所述内表面272设置在所述第二防护板220上，所述侧面273设置在所述外表面271和所述内表面272之间。可以是设置在部分所述第一防护板210上，也可以是设置在部分所述第二防护板220上，还可以设置在所述隔板230上，也可以是设置在部分所述第一防护板210上、部分所述第二防护板220上以及部分所述隔板230上。

所述开口260优选设置在所述噪声防护装置200的侧面273上。相较于将所述开口260设置在所述外表面271和/或所述内表面272上，可避免污染物聚集在第二腔体250中，难以清理且影响整机洁净度。此外，当多个噪声防护装置200相互组装形成一个噪声防护系统时，通常将多个噪声防护装置200的侧面273连接起来，如此，即可使开口260设置在相邻的噪声防护装置200之间的缝隙中。而对于整个噪声防护系统而言，相邻的噪声防护装置200之间的缝隙通常对噪声的防护较为薄弱，通过将开口260设置在相邻的噪声防护装置200之间的缝隙中可改善噪声防护系统缝隙处的噪声防护效果，进一步改善噪声防护系统的噪声防护效果。

具体的，参考图3、图4、图5和图6，所述第一防护板210包括第一部分211和第二部分212，所述第二部分212沿所述第一部分211的边缘设置且与所述第一部分211固定连接。所述第二部分212向所述第二防护板220的方向翻折，并与所述第二防护板220固定连接。所述隔板230设置在所述第一防护板210和所述第二防护板220之间，且分别与所述第一防护板210和所述第二防护板220固定连接。所述第一防护板210和所述第二防护板220围成一空腔，所述隔板230用于将所述空腔分割成一个第一腔体240和至少一个第二腔体250。即如图2和图3所示，所述第一防护板210的第一部分211和所述第二防护板220构成所述防护装置的外表面271和内表面272，所述第一防护板210的第二部分212构成所述防护装置的侧面273。

在其他的实施例中，所述空腔还可由所述第一防护板210、所述第二防护板220和所述隔板230围成，仅部分的所述第二部分212沿所述第一部分211的边缘设置且与所述第一部分211固定连接，并且仅部分的所述第二部分212向所述第二防护板220的方向翻折并与所述第二防护板220固定连接，部分隔板230与所述第一部分211固定连接，并与所述第二防护板220固定连接，且其中部分所述隔板230与所述第二部分212固定连接，部分所述隔板230将所述空腔分割呈一个第一腔体240和至少一个第二腔体250，也就是说所述第一防护板210的第一部分211构成所述防护装置的外表面271，所述第二防护板220构成所述防护装置的内表面272，所述第一防护板210的第二部分212和部分的所述隔板230构成所述防护装置的侧面273。或者，所述腔体还可由所述第一防护板210、所述第二防护板220和所述隔板230围成，所述第一防护板210仅包括第一部分211，所述隔板230与所述第一部分211和所述第二防护板220固定连接，部分所述隔板230用于将所述空腔分割成一个第一腔体240和多个第二腔体250，也就是说所述第一防护板210的第一部分211构成所述防护装置的外表面271，所述第二防护板220构成所述防护装置的内表面272，部分的所述隔板230构成所述防护装置的侧面273。

所述开口260具体设置在所述第一防护板210的第二部分212上，每个所述开口260与一个所述第二腔体250连通。相较于将所述开口260设置在所述第一防护板210的第一部分211上或者设置在所述第二防护板220上，可避免污染物聚集在第二腔体250中，难以清理且影响整机洁净度。

如图6所示，多个所述亥姆霍兹共振器沿着所述噪声防护装置200的侧面273设置，多个所述亥姆霍兹共振器可构成对不同的噪声进行防护的并联结构。

当然，在其他的实施例中，所述开口260还可设置在所述第一防护板210的第一部分211上，也可将所述开口260设置在所述第二防护板220上，还可将所述开口260设置在所述第一防护板210的第一部分211和第二部分212上，或者将所述开口260设置在所述第二防护板220以及所述第一防护板210的第一部分211和第二部分212上，或者将所述开口260设置在所述第二防护板220以及所述第一防护板210的第一部分211上，又或者将所述开口260设置在所述第二防护板220以及所述第一防护板210的第二部分212上，只要使一个所述开口260与一个所述第二腔体250连通即可。

优选的，所述噪声防护装置200还包括套管280，所述套管280的一端固定设置在所述开口260中，且所述套管280的另一端设置在所述第二腔体250中。通过设置所述套管280可调整所述开口260的长度，从而可方便对所述亥姆霍兹共振器的共振频率进行调节。

本实施例中，所述第一防护板210、所述第二防护板220和所述隔板230可通过焊接或者螺纹连接的方式固定连接，具体连接方式本发明对此不作限制。

具体的，本实施例中，所述第二腔体250的数量可为多个，且每个所述第二腔体250的数量可各不相同。所述第二腔体250的体积V＝2*E^-5～2*E^-4m³，如此可使由第二腔体250构成的亥姆霍兹共振器的共振频率各不相同，从而可拓宽噪声防护装置200可防护的噪声的频率。

另外，本实施例中，所述开口260的截面积S＝2E^-5～3.2E^-4m²，通过使第二腔体250的体积不同、开口260的截面积不同、开口260的长度不同，可对不同频率的噪声进行有效防护。例如，当使开口260的截面积S＝2E^-5～3.2E^-4m²，开口260的长度l＝E^-3～8E^-2m时，可对30～600Hz内的不同频率的噪声进行良好的防护。

所述第一防护板210、所述第二防护板220和所述隔板230和所述第一腔体240共同构成薄板吸声结构。

所述第一防护板210、所述第二防护板220可为铝板或者不锈钢板。通过使第一防护板210和第二防护板220的厚度不同，使第一防护板210和第二防护板220的距离不同可对不同频率的噪声进行有效防护，例如，使所述第一防护板210和所述第二防护板220的板厚t＝0.8mm、1mm、1.2mm、1.5mm，所述第一防护板210和所述第二防护板220之间的距离L＝5E^-3～3E^-2m，可对30～600Hz内的不同频率的噪声进行良好的防护。

如图3和图4所示，本实施例中，所述噪声防护装置200呈板状，且所述第一防护板210呈长方形。在其他的实施例中，所述第一防护板210还可呈三角形、五边形等形状，只要在同一平面上的所述噪声防护装置200的侧边可以相互连接即可。

本实施例还提供一种噪声防护系统。参考图9，图9是本发明一种实施例中的噪声防护系统的结构示意图，所述噪声防护系统包括至少两个噪声防护装置200，所述噪声防护装置200相互连接且围成一防护腔。所述噪声防护装置200的第一防护板210位于所述防护腔的外部，所述噪声防护装置200的第二防护板220位于所述防护腔的内部。

具体的，多个噪声防护装置200的侧面273相连。如此，即可使噪声防护装置200的开口260设置在相邻的噪声防护装置200之间的缝隙中。

如图9所示，所述噪声防护系统呈六面体型。

具体的，所述噪声防护系统包括50～60个噪声防护装置200。

本实施例还提供一种光刻机，所述光刻机包括光刻装置和上述的噪声防护系统，所述光刻装置用于光刻，所述光刻装置设置在所述噪声防护系统的防护腔内。

具体的，所述光刻装置包括至少一个光刻组件，防护各光刻组件的噪声防护装置200可防护的噪声的频率与该光刻组件的敏感噪声的频率相近。例如，所述光刻组件可为曝光组件、测量组件、传输组件、照明组件、环境和控制组件，噪声防护装置200可防护的噪声的频率与该光刻组件的敏感噪声的频率相近，从而使光刻装置的各光刻组件得到较好的防护，进而减小环境中的低频噪声对光刻装置的影响，改善光刻装置的光刻精度和稳定性。其中，光刻组件的敏感噪声指对光刻组件稳定性影响大的噪声。

本实施例还提供一种噪声防护方法。所述噪声防护方法包括：首先，检测光刻机中各光刻组件的敏感噪声；其次，设置噪声防护装置200，且使噪声防护装置200可防护的噪声的频率与光刻机不同光刻组件的敏感噪声的频率相近；再次，将噪声防护装置200安装到光刻机中或作为光刻机外壳，且使防护光刻机中各光刻组件的噪声防护装置200可防护的噪声的频率与该光刻组件的敏感噪声的频率相近。通过使防护光刻机各部位的噪声防护装置200可防护的噪声的频率与该部位的敏感噪声的频率相近，可有效改善对光刻机的噪声防护效果。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (13)

1.一种噪声防护装置，其特征在于，包括第一防护板、第二防护板和至少一个隔板，所述第一防护板和所述第二防护板相对设置，所述第一防护板和所述第二防护板为铝板或者不锈钢板，所述隔板设置在所述第一防护板和所述第二防护板之间，且分别与所述第一防护板和所述第二防护板固定连接，所述第一防护板、所述第二防护板和所述隔板围成一第一腔体和至少一个第二腔体，所述第一腔体、与所述第一腔体对应的所述第一防护板、与所述第一腔体对应的所述第二防护板和与所述第一腔体对应的所述隔板构成一薄板吸声器，所述第二腔体具有一个开口，所述开口设置在所述第一防护板和/或所述第二防护板上，每个所述第二腔体、与所述第二腔体对应的所述开口、与所述第二腔体对应的所述隔板、与所述第二腔体对应的所述第一防护板和与所述第二腔体对应的所述第二防护板构成一亥姆霍兹共振器。

2.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述噪声防护装置包括相对设置的外表面和内表面，以及连接所述外表面和所述内表面的侧面，所述外表面设置在所述第一防护板上，所述内表面设置在所述第二防护板上。

3.如权利要求2所述的噪声防护装置，其特征在于，所述开口设置在所述噪声防护装置的侧面上。

4.如权利要求2所述的噪声防护装置，其特征在于，所述第一防护板包括第一部分和第二部分，所述第二部分沿所述第一部分的边缘设置且与所述第一部分固定连接，所述第二部分向所述第二防护板的方向翻折，并与所述第二防护板固定连接，所述第一防护板和所述第二防护板围成一空腔，所述隔板用于将所述空腔分割呈一个所述第一腔体和至少一个所述第二腔体。

5.如权利要求4所述的噪声防护装置，其特征在于，所述开口具体设置在所述第一防护板的第二部分上，每个所述开口与一个所述第二腔体连通。

6.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，还包括套管，所述套管的一端固定设置在所述开口中，且所述套管的另一端设置在所述第二腔体中。

7.一种噪声防护系统，其特征在于，包括至少两个如权利要求1至6任一项所述的噪声防护装置，所述噪声防护装置相互连接且围成一防护腔。

8.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，所述噪声防护装置的第一防护板位于所述防护腔的外部，所述噪声防护装置的第二防护板位于所述防护腔的内部。

9.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，至少两个所述噪声防护装置可防护的噪声的频率不相同。

10.如权利要求7所述的噪声防护系统，其特征在于，所述噪声防护系统用于对光刻装置进行噪声防护，所述光刻装置包括至少一个光刻组件，所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。

11.一种光刻机，其特征在于，所述光刻机包括光刻装置和如权利要求7至10任一项所述的噪声防护系统，所述光刻装置用于光刻，所述光刻装置设置在所述噪声防护系统的防护腔内。

12.一种噪声防护方法，其特征在于，包括：

检测光刻机中各光刻组件的敏感噪声；

设置如权利要求1至6任一项所述的噪声防护装置，且使噪声防护装置可防护的噪声的频率与光刻组件的敏感噪声的频率相近；

将噪声防护装置安装到光刻机中或作为光刻机外壳，且使防护光刻机中各光刻组件的噪声防护装置可防护的噪声的频率与所述光刻组件的敏感噪声的频率相近。

13.如权利要求12所述的噪声防护方法，其特征在于，

所述噪声防护装置可防护的噪声的频率根据距离所述噪声防护装置最近的光刻组件的敏感噪声的频率设定。

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