CN215948542U

CN215948542U - 噪声防护装置

Info

Publication number: CN215948542U
Application number: CN202122394640.3U
Authority: CN
Inventors: 唐培�; 戴思雨; 陈言亭
Original assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Current assignee: Shanghai Micro Electronics Equipment Co Ltd
Priority date: 2021-09-30
Filing date: 2021-09-30
Publication date: 2022-03-04
Anticipated expiration: 2031-09-30

Abstract

本实用新型提供了一种噪声防护装置，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；所述防护板包括隔噪腔及吸声板，所述隔噪腔内填充有第一隔噪材料，所述吸声板设置于所述隔噪腔的外侧并面向所述容置腔；本实用新型提升了噪声防护装置的全频段隔噪性能。

Description

噪声防护装置

技术领域

本实用新型涉及噪声技术领域，尤其涉及一种噪声防护装置。

背景技术

随着光刻机曝光线条精度向28nm及更小尺寸发展，各种噪声对光刻机的曝光系统和测量系统的振动产生了显著影响，进而降低了曝光精度。因此，需要对光刻机的曝光和测量等系统的声致振动进行控制。结构声致振动的计算公式为：

其中，a为声致振动，单位为m/s²；ρ₀为介质的密度，单位为kg/m³；c₀为声音在介质中的传播速度，单位为m/s；H²为激励力导致的结构振动加速度的传递函数，单位为W/N²；p为结构周围的声压，单位为Pa。

显然，降低声压是减小结构声致振动最直接且有效的手段。光刻机内部世界的声压主要来源于外部厂务噪声的传入和内部控制系统、运动部件等的工作噪声，且以外部厂务噪声的传入为主。因此，需要对外部噪声进行隔声处理，同时对内部噪声进行吸声处理。

在现有技术中会采用带微孔结构的三明治防护板组成噪声防护装置，防护板的两侧采用钢板或铝板，中间层的微孔结构中填充材料，对光刻机内部进行整体或者局部的噪声防护；这种带微孔结构的三明治防护板主要针对外部低频噪声(噪声频率<60Hz)进行防护，中高频噪声衰减较少；且未涉及整机噪声防护的密封设计，存在噪声泄露。或是，采用由共振微结构组成的双层或多层防护板对光刻机内部世界的物镜等关键系统进行声学防护，达到局部降噪目的，这种防护板主要针对中高频噪声降噪，对于50Hz以下的噪声频率降噪效果差；且仅适合局部降噪，多处局部降噪结构设计和安装会导致光刻机内部空间利用困难。另外，一些局部的消声器和隔声板设计，仅能针对局部进行中高频的窄频段进行降噪，且降噪效果不够。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种噪声防护装置，提升噪声防护装置的全频段隔噪性能。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种噪声防护装置，其特征在于，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；

所述防护板包括隔噪腔及吸声板，所述隔噪腔内填充有第一隔噪材料，所述吸声板设置于所述隔噪腔的外侧并面向所述容置腔。

可选的，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、弹性薄膜及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，所述弹性薄膜固定于所述底板上且覆盖所有所述第一开口，所述弹性薄膜对应每个所述第一开口的区域上均设置有至少一个所述质量块。

可选的，所述共振结构层包括一个所述弹性薄膜，所述弹性薄膜覆盖整个所述底板；或者，所述共振结构层包括若干与所述第一开口一一对应的所述弹性薄膜，一个所述弹性薄膜覆盖对应的一个所述第一开口。

可选的，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、若干弹性连接件及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，一个所述第一开口对应至少一个所述弹性连接件，所述弹性连接件的一端连接对应的所述第一开口的顶部，所述弹性连接件的另一端连接所述质量块，以使所述质量块悬挂在所述第一开口内。

可选的，还包括锁紧件及密封件，所述锁紧件设置于所述防护框架和/或所述防护板上，用于将所述防护板固定所述固定区内，所述密封件设置于所述防护板上，以使所述防护板与所述固定区密封连接。

可选的，所述隔噪腔的外边缘与所述吸声板的外边缘之间构成台阶，所述密封件包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈及所述第二密封圈均固定在所述隔噪腔的外表面所在的台阶面。

可选的，所述第一密封圈和所述第二密封圈的间距大于或等于10mm。

可选的，所述第一密封圈及所述第二密封圈均包括连接的固定部和形变部，所述固定部用于固定在所述台阶面上，所述形变部为空心腔，所述空心腔上开设有若干排气口，将所述防护板固定在所述固定区内时，所述空心腔变形且内部的空气通过所述排气口排出。

可选的，所述隔噪腔的内壁上设有若干加固筋。

可选的，所述防护框架包括若干固定杆，所述固定杆限定出若干所述固定区，所述固定杆内填充有第二隔噪材料。

可选的，所述第一隔噪材料和所述第二隔噪材料包括橡胶及泡沫塑料，和/或，所述第一隔噪材料和所述第二隔噪材料的形状包括球形和/或多边立方形。

在本实用新型提供的噪声防护装置中，包括防护框架及若干防护板，防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个防护板密封固定在一个固定区内，防护框架与防护板限定出一容置腔；防护板包括隔噪腔及吸声板，隔噪腔内填充有第一隔噪材料，吸声板设置于隔噪腔的外侧并面向容置腔；在本实用新型中，通过在隔噪腔内填充有第一隔噪材料以及在隔噪腔的外侧设置吸声板，能够实现低频到高频的外部噪声防护，且吸声层能够吸收容置腔的内部的中高频噪声，以提升噪声防护装置的全频段隔噪性能。

附图说明

图1A为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置的示意图；

图1B为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中防护框架的示意图；

图1C为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图；

图2A及图2B为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中固定杆的示意图；

图3A及图3B为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图；

图3C为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中第一隔噪材料的示意图；

图4A为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图；

图4B为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中防护板的部分示意图；

图4C为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中密封件的示意图；

图5为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中加固筋的示意图；

图6为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中过孔密封结构的示意图；

图7～图12为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图；

图13为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中多个共振结构层的示意图；

图14为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置中多个共振结构层的消声特性曲线图；

图15为本实用新型一实施例提供的噪声防护装置的消声性能与常规噪声防护装置的消声性能的曲线对比图；

其中，附图标记为：

10-噪声防护装置；100-防护框架；110-固定杆；120-固定区；121-第二隔噪材料；122-挡板；200-防护板；210-第一盖板；220-第二盖板；230-第一隔噪材料；240-吸声板；250-第一密封圈；260-第二密封圈；270-加固筋；280-管路线束结构；281-密封垫；282-固定件；241-共振结构层；242-底板；243-第一开口；244-弹性薄膜；245-弹性连接件；246-质量块；241a-第一共振结构层；241b-第二共振结构层；241c-第三共振结构层；241d-第四共振结构层。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

图1A为本实施例提供的噪声防护装置的示意图，图1B为本实施例提供的噪声防护装置中防护框架的示意图，图1C为本实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图。请参考图1A～图1C，本实用新型提供了一种噪声防护装置10，包括：防护框架100及若干防护板200，防护框架100包括若干固定杆110，将若干固定杆110固定连接在一起构成防护框架100，固定杆110限定出若干相互拼接的固定区120，一个防护板200密封固定在一个固定区120内，防护框架100与防护板200限定出一容置腔；在防护框架100和/或防护板200上设置有锁紧件(图中未示出)，通过锁紧件将防护板200固定在固定区120内，并且在防护板200上设置有密封件，通过密封件将防护板200与固定区120密封连接。在本实施例中，容置腔中可放置光刻机，用于对光刻机进行噪声防护，也可放置其它设备。

图2A及图2B为本实施例提供的噪声防护装置中固定杆的示意图，其中图2B为图2A中固定杆沿A1-A2方向的剖面示意图。请参考图2A及图2B，固定杆110的材质可为铝合金或不锈钢，固定杆110的壁厚为1～2mm，但不限于此材质和壁厚。为了增强防护框架的低频消声性能，在固定杆110内填充有第二隔噪材料121，第二隔噪材料121为大阻尼材料具有较好的吸声性能，例如橡胶及泡沫塑料等，且第二隔噪材料121的形状包括球形和/或多边立方形。在固定杆110的两端部采用挡板122进行密封，将第二隔噪材料121密封在固定杆110内；然后将若干固定杆110固定连接构成防护框架，可以通过焊接工艺将若干固定杆110焊接在一起构成防护框架。

图3A及图3B为本实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图，图3C为本实施例提供的噪声防护装置中第一隔噪材料的示意图，其中图3B为图3A中防护板沿B1-B2方向的剖面示意图。请参考图3A～图3C，防护板200包括第一盖板210、第二盖板220、第一隔噪材料230、吸声板240、第一密封圈250及第二密封圈260，其中第一盖板210及第二盖板220限定出一隔噪腔，隔噪腔是密闭的，在隔噪腔内填充有第一隔噪材料230，第一隔噪材料230为大阻尼材料具有较好的吸声性能，例如橡胶及泡沫塑料等，且第一隔噪材料230的形状包括球形和/或多边立方形；吸声板240设置于隔噪腔的外侧并面向噪声防护装置的容置腔，即吸声板240设置于第二盖板220的一侧，第二盖板220面向噪声防护装置的容置腔。在本实施例中，第一盖板210及第二盖板220的材质可为铝合金或不锈钢，但不限于此材质。在本实施例中，密封件优选为密封圈且包括第一密封圈250及第二密封圈260，隔噪腔的外边缘与吸声板240的外边缘之间构成台阶，第一密封圈250及第二密封圈260均固定在隔噪腔的外表面所在的台阶面上即固定于第二盖板220的表面的边缘上，通过第一密封圈250及第二密封圈260使防护框架和防护板200之间没有间隙。在本实施例中，第一密封圈250的尺寸大于第二密封圈260的尺寸，第一密封圈250及第二密封圈260的形状相同且可均为环形或矩形，具体第一密封圈250及第二密封圈260的形状根据防护板200及吸声板240的形状而定。

图4A为本实施例提供的噪声防护装置中防护板的示意图，图4B为本实施例提供的噪声防护装置中防护板的部分示意图，图4C为本实施例提供的噪声防护装置中密封件的示意图，其中图4B为图4A中防护板沿C1-C2方向的部分剖面示意图，图4C为图4B中T处的放大示意图。请参考图4A～图4C，第一密封圈250及第二密封圈260均固定在第二盖板220的表面的边缘上，第一密封圈250及第二密封圈260均包括连接的固定部和形变部(图中未标示)，固定部用于固定在台阶面上即固定在第二盖板220的表面的边缘上，形变部为空心腔，在图4C中看出形变部的剖面形状为空心圆形，在空心腔上开设有若干排气口(图中未示出)，在将防护板200固定在固定区内时，空心腔发生变形且内部的空气通过排气口排出，以通过第一密封圈250及第二密封圈260将防护板200密封在固定区内。在本实施例中，排气口可为圆形孔，排气口的直径可为2mm，但不限于排气口的尺寸和形状；并且第一密封圈250及第二密封圈260的材质可为橡胶，但不限于此材质。在本实施例中，第一密封圈250及第二密封圈260的间距大于或等于10mm，以便于在防护板压紧状态在第一密封圈250及第二密封圈260之间仍有空气层存在，能够增大隔声量。

图5为本实施例提供的噪声防护装置中加固筋的示意图。请参考图5，由于防护板中的第一盖板及第二盖板为大平面结构，刚度较弱，因此通过增加加固筋270提高防护板的刚度。为了保证防护板的美观，在第一盖板及第二盖板之间限定的隔噪腔的内壁设置若干加固筋270，加固筋270可以根据第一盖板及第二盖板结构、刚度需求、空间布置等进行设计，加固筋270可以为竖筋、横和/或斜筋，加固筋270的高度、宽度、位置和数量均可以根据需求和安装空间等进行调节。

图6为本实施例提供的噪声防护装置中过孔密封结构的示意图。请参考图6，噪声防护装置的容置腔内放置的光刻机或其它设备需要通过管路线束结构280与噪声防护装置的外部的其它设备进行连接。因此在防护板200上开设有第二开口，管路线束结构280通过第二开口，由于防护板200和管路线束结构280之间一般会存在缝隙，噪声可通过缝隙直接传入噪声防护装置的内部。因此在防护板200和管路线束结构280之间设置密封垫281，并且密封垫281与管路线束结构280和防护板200之间采用过盈配合，以消除或减小防护板200和管路线束结构280之间的缝隙，避免噪声直接传入噪声防护装置的内部；并且采用固定件282将密封垫281紧固在管路线束结构280上，以减小噪声传入。

吸声板由多个共振结构层组成，具有声学超材料特性，满足：

a₀<<a<<λ

其中，a₀为共振结构层的特征尺寸，a为吸声板的宏观尺寸(吸声板的厚度)，λ为需消除声波的波长。

图7为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图7，在一个示例中，吸声板包括多个沿防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，其中共振结构层241包括底板242、弹性薄膜244及若干质量块246，底板242被分为若干尺寸相同的单元，在底板242上开设有若干第一开口243，在每个单元里分布有一个第一开口243，弹性薄膜244固定于底板242上且覆盖所有第一开口243，弹性薄膜244对应每个第一开口243的区域上均设置有至少一个质量块246，在图7中示出了弹性薄膜244对应每个第一开口243的区域上均设置有一个质量块246。在本实施例中，共振结构层241可以包括一个弹性薄膜244，弹性薄膜244覆盖整个底板242；或者，共振结构层241可以包括若干与第一开口243一一对应的弹性薄膜244，一个弹性薄膜244覆盖对应的一个第一开口243。在本实施例中，每个单元的尺寸为共振结构层241的特征尺寸，且特征尺寸可为5mm～10mm，但不限于此尺寸范围；共振结构层241的厚度可为0.2mm～0.5mm，吸声板的厚度可为10mm～20mm，但不限于此厚度范围。

图8为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图8，在另一个示例中，吸声板包括多个沿防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，其中共振结构层241包括底板242、若干弹性连接件245及若干质量块246，底板242被分为若干尺寸相同的单元，在底板242上开设有若干第一开口243，在每个单元里分布有一个第一开口243，一个第一开口243对应至少一个弹性连接件245，弹性连接件245的一端连接对应的第一开口243的顶部，弹性连接件245的另一端连接质量块246，以使质量块246悬挂在第一开口243内。在本实施例中，每个第一开口243内可以有至少一个弹性连接件245连接第一开口243的顶部，每个弹性连接件245均与一个质量块246连接，并使质量块246悬挂在第一开口243内，即第一开口243内悬挂有至少一个质量块246。

图9为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图9，共振结构层241中的至少部分质量块246的形状不同，质量块246的形状可以为圆形、矩形或条形等；并且共振结构层241中的至少部分质量块246的体积不同，质量块246的体积示实际情况而定。在图9中示出的是弹性薄膜244，质量块246设置于弹性薄膜244上，并且在图9中质量块246填充的背景不同代表质量块246的材质不同，在弹性连接件的情况下，同样共振结构层中连接在弹性连接件上的至少部分质量块的形状、体积及材质不同。

图10为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图10，共振结构层241中的至少部分第一开口243内的质量块246的数量不同，第一开口243内的质量块246的数量可以为一个、两个或三个等。在图10中示出的是弹性薄膜244，质量块246设置于弹性薄膜244上，在弹性连接件的情况下，同样共振结构层中的至少部分第一开口内的质量块的数量不同，即共振结构层中的至少部分第一开口内的弹性连接件的数量不同。

图11为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图11，当共振结构层241包括若干与第一开口243一一对应的弹性薄膜244，共振结构层241中的至少部分弹性薄膜244中的材质不同，在图11中，弹性薄膜244的材质不同所填充的背景不同。在图11中示出的是弹性薄膜244，在弹性连接件的情况下，共振结构层中的至少部分第一开口内的弹性连接件的材质不同。

图12为本实施例提供的噪声防护装置中共振结构层的示意图。请参考图12，共振结构层241中的至少部分第一开口243的形状不同，当共振结构层241包括若干与第一开口243一一对应的弹性薄膜244，共振结构层241中的至少部分弹性薄膜244中的形状不同。在图11中示出的是弹性薄膜244，在弹性连接件的情况下，共振结构层中的至少部分第一开口内的弹性连接件的形状不同，以及共振结构层中的至少部分第一开口内的弹性连接件的体积不同。

在本实施例中，每个共振结构层中的质量块的形状、体积、材质及数量均是影响质量块的质量，即每个共振结构层中的质量块的质量相同或不同，取决于每个共振结构层中的质量块的形状、体积、材质及数量。当共振结构层包括若干与第一开口一一对应的弹性薄膜，每个共振结构层中的弹性薄膜的形状及材质均是影响弹性薄膜的刚度，即每个共振结构层中的弹性薄膜的刚度相同或不同，取决于每个共振结构层中的弹性薄膜的形状及材质；每个共振结构层中的弹性连接件的形状、体积、材质及数量均是影响弹性连接件的刚度，即每个共振结构层中的弹性连接件的刚度相同或不同，取决于每个共振结构层中的弹性连接件的形状、体积、材质及数量。

图13为本实施例提供的噪声防护装置中多个共振结构层的示意图，图14为本实施例提供的噪声防护装置中多个共振结构层的消声特性曲线图。请参考图13及图14，吸声板包括多个沿防护板厚度方向堆叠的共振结构层，在图13中示出了四个共振结构层，分别为第一共振结构层241a、第二共振结构层241b、第三共振结构层241c及第四共振结构层241d。在图14中表明第一共振结构层241a、第二共振结构层241b及第三共振结构层241c的消声曲线只有一个消声峰值，但消声量较高；在第四共振结构层241d中由于第四共振结构层241d中弹性薄膜244及质量块246的多样性，使第四共振结构层241d的消声曲线存在多个消声峰值，但第四共振结构层241d的整体消声量较小，因此将第一共振结构层241a、第二共振结构层241b、第三共振结构层241c及第四共振结构层241d组合起来(241a+241b+241c+241d)构成的吸声板，从消声曲线上看，第一共振结构层241a、第二共振结构层241b、第三共振结构层241c及第四共振结构层241d组合起来(241a+241b+241c+241d)构成的吸声板能够实现较宽频段且较大的消声量。因此通过共振结构层中弹性薄膜或弹性连接件的刚度及质量块的质量的多样性构成了四个不同的共振结构层，每个共振结构层的消声峰值和频段可能不同，根据具体实际情况调节共振结构层中弹性薄膜或弹性连接件的刚度及质量块的质量以实现较宽频段的消声量。

图15为本实施例提供的噪声防护装置的消声性能与常规噪声防护装置的消声性能的曲线对比图。请参考图15，从图中能够得知在同一噪声频段下，常规的噪声防护装置的装置外部和装置内部的噪声差值低于本实施例的噪声防护装置的装置外部和装置内部的噪声差值，装置外部和装置内部的噪声差值越大表明噪声防护装置的消声性能越好，因此本实施例的噪声防护装置的消声性能优于常规的噪声防护装置的消声性能。

本实施例提供的噪声防护装置可以有效地进行全频段消声，尤其在中低频，通过密封和填充隔噪材料设计，实现低频到高频的外部噪声防护，并且可以将消声量提高10-20dB。针对噪声防护装置内部的噪声，吸声层可以吸收部分频率的内部噪声，降低声音的反射，从而降低对噪声防护装置内部的噪声干扰。

进一步地，通过将防护框架的整体尺寸增大，并增加防护板的数量，可设计成隔音房，提供消声环境。通过调节防护框架的尺寸和防护板的尺寸，可以设计成不同设备的噪声防护装置。

综上，在本实用新型提供的噪声防护装置中，包括防护框架及若干防护板，防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个防护板密封固定在一个固定区内，防护框架与防护板限定出一容置腔；防护板包括隔噪腔及吸声板，隔噪腔内填充有第一隔噪材料，吸声板设置于隔噪腔的外侧并面向容置腔；在本实用新型中，通过在隔噪腔内填充有第一隔噪材料以及在隔噪腔的外侧设置吸声板，能够实现低频到高频的外部噪声防护，且吸声层能够吸收容置腔的内部的中高频噪声，以提升噪声防护装置的全频段隔噪性能。

上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种噪声防护装置，其特征在于，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；

2.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、弹性薄膜及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，所述弹性薄膜固定于所述底板上且覆盖所有所述第一开口，所述弹性薄膜对应每个所述第一开口的区域上均设置有至少一个所述质量块。

3.如权利要求2所述的噪声防护装置，其特征在于，所述共振结构层包括一个所述弹性薄膜，所述弹性薄膜覆盖整个所述底板；或者，所述共振结构层包括若干与所述第一开口一一对应的所述弹性薄膜，一个所述弹性薄膜覆盖对应的一个所述第一开口。

4.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述吸声板包括多个沿所述防护板的厚度方向依次堆叠的共振结构层，所述共振结构层包括底板、若干弹性连接件及若干质量块，所述底板上开设有若干第一开口，一个所述第一开口对应至少一个所述弹性连接件，所述弹性连接件的一端连接对应的所述第一开口的顶部，所述弹性连接件的另一端连接所述质量块，以使所述质量块悬挂在所述第一开口内。

5.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，还包括锁紧件及密封件，所述锁紧件设置于所述防护框架和/或所述防护板上，用于将所述防护板固定所述固定区内，所述密封件设置于所述防护板上，以使所述防护板与所述固定区密封连接。

6.如权利要求5所述的噪声防护装置，其特征在于，所述隔噪腔的外边缘与所述吸声板的外边缘之间构成台阶，所述密封件包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈及所述第二密封圈均固定在所述隔噪腔的外表面所在的台阶面。

7.如权利要求6所述的噪声防护装置，其特征在于，所述第一密封圈和所述第二密封圈的间距大于或等于10mm。

8.如权利要求6所述的噪声防护装置，其特征在于，所述第一密封圈及所述第二密封圈均包括连接的固定部和形变部，所述固定部用于固定在所述台阶面上，所述形变部为空心腔，所述空心腔上开设有若干排气口，将所述防护板固定在所述固定区内时，所述空心腔变形且内部的空气通过所述排气口排出。

9.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述隔噪腔的内壁上设有若干加固筋。

10.如权利要求1所述的噪声防护装置，其特征在于，所述防护框架包括若干固定杆，所述固定杆限定出若干所述固定区，所述固定杆内填充有第二隔噪材料。

11.如权利要求10所述的噪声防护装置，其特征在于，所述第一隔噪材料和所述第二隔噪材料包括橡胶及泡沫塑料，和/或，所述第一隔噪材料和所述第二隔噪材料的形状包括球形和/或多边立方形。