CN112420572A - 一种导片机 - Google Patents

一种导片机 Download PDF

Info

Publication number
CN112420572A
CN112420572A CN202011300760.6A CN202011300760A CN112420572A CN 112420572 A CN112420572 A CN 112420572A CN 202011300760 A CN202011300760 A CN 202011300760A CN 112420572 A CN112420572 A CN 112420572A
Authority
CN
China
Prior art keywords
conveying device
flower basket
buffer
basket
joint
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202011300760.6A
Other languages
English (en)
Inventor
林佳继
戴佳
裴维维
葛炜杰
安志强
马力
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Laplace Wuxi Semiconductor Technology Co Ltd
Original Assignee
Laplace Wuxi Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Laplace Wuxi Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Laplace Wuxi Semiconductor Technology Co Ltd
Priority to CN202011300760.6A priority Critical patent/CN112420572A/zh
Publication of CN112420572A publication Critical patent/CN112420572A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
    • H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及光伏组件生产设备技术领域，具体涉及一种导片机，旨在解决现有技术中花篮升降过程中容易产生堆积或缺货的情况形成的问题，其技术要点在于：包括来料对接输送装置及花篮升降装置，还包括缓存输送装置，所述缓存输送装置位于所述来料对接输送装置及所述花篮升降装置之间，在所述缓存输送装置上设置有传感器，所述传感器用于检测所述花篮的传输位置。通过位于缓存输送装置上的传感器对所述花篮的传输状况进行检测，从而保证了缓存输送机上始终有且仅有一个花篮，避免花篮堆积或缺货的情况出现。

Description

一种导片机
技术领域
本发明涉及光伏组件生产设备技术领域，具体涉及一种导片机。
背景技术
太阳能电池板生产工艺中的扩散是指：一种在硅片两面通过化学反应制备PN结的工艺，是光伏电池生产过程中最重要的工序之一；石英舟是扩散工序所使用的治具，一般是分成100个槽，但是由于对应的花篮由两组50个槽的模块构成，因此需要重复操作两次才能进行装卸片，在石英舟的每个槽内背对背放置2片硅片，即一个石英舟一次共可以扩散200片硅片；在扩散工序进行前，需要将200片硅片装载进入石英舟内。
现有技术中通常采用人工操作，依靠人工操，此方式劳动强度大，效率低，碎片率高。
发明内容
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中花篮堆积或缺失形成的缺陷，从而提供一种导片机。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
一种导片机，包括来料对接输送装置及花篮升降装置，还包括缓存输送装置，所述缓存输送装置位于所述来料对接输送装置及所述花篮升降装置之间，在所述缓存输送装置上设置有传感器，所述传感器用于检测所述花篮的传输位置。
优选的，还包括硅片输送装置及接片模组，所述硅片输送装置及接片模组位于所述花篮升降组件背离所述缓存输送装置一侧。
优选的，所述来料对接输送装置上设置有检测装置，所述检测装置用于检测所述来料对接输送装置上是否有花篮。
优选的，所述来料对接输送装置上还设置有报警装置，所述报警装置与所述检测装置连通设置。
上述所述一种导片机，其通过位于缓存输送装置上的传感器对所述花篮的传输状况进行检测，从而保证了缓存输送机上始终有且仅有一个花篮，避免花篮堆积或缺货的情况出现。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种实施方式的一种导片机的结构示意图；
图2为本发明的一种实施方式的一种导片机上缓存输送装置的结构示意图。
附图标记说明：
1、来料对接输送装置；11、检测装置；12、报警装置；2、缓存输送装置；21、传感器；3、花篮升降装置；4、硅片输送装置；5、接片模组。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参阅图1，一种导片机，包括来料对接输送装置1、缓存输送装置2、花篮升降装置3、硅片输送装置4及接片模组5，所述来料对接输送装置1、缓存输送装置2、花篮升降装置3、硅片输送装置4及接片模组5沿长度方向依次排列设置。
在一实施方式中，请参阅图1，所述来料对接输送装置1沿长度方向延伸设置，用于接收装满石英硅片的花篮，在一实施方式中，所述来料对接输送装置1上设置有自由导引小车，通过所述自由导引小车对所述花篮导向所述缓存输送装置2。在一实施方式中，所述来料对接输送装置1上设置有检测装置11，所述检测装置11用于检测所述来料对接输送装置1上是否有花篮，在一实施方式中，所述检测装置11位于所述来料对接输送装置1输送线上，在一实施方式中，所述来料对接输送装置1上还设置有报警装置12，所述报警装置12与所述检测装置11连通设置。
请参阅图2，在一实施方式中，所述缓存输送装置2上设置有若干传感器21，所述传感器21用于检测所述花篮的传送位置，所述缓存输送装置2上还设置有阻挡气缸，用于限制所述花篮。在一实施方式中，当所述传感器21检测到所述缓存输送装置2上存有花篮时，阻挡气缸升起，阻挡其余花篮，当缓存输送装置2上的花篮传输完毕，传感器21检测不到时，阻挡气缸下降，花篮继续传输。这样，保证了缓存输送装置2上仅有一个花篮，避免花篮堆积，影响正常生产。
请参阅图1，所述花篮升降装置3竖直设置，所述花篮升降装置3位于所述缓存输送装置2的上方。
本申请所提供的一种导片机，其通过位于缓存输送装置2上的传感器21对所述花篮的传输状况进行检测，从而保证了缓存输送机上始终有且仅有一个花篮，避免花篮堆积或缺货的情况出现。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (4)

1.一种导片机，包括来料对接输送装置(1)及花篮升降装置(3)，其特征在于：还包括缓存输送装置(2)，所述缓存输送装置(2)位于所述来料对接输送装置(1)及所述花篮升降装置(3)之间，在所述缓存输送装置(2)上设置有传感器(21)，所述传感器(21)用于检测所述花篮的传输位置。
2.根据权利要求1所述的导片机，其特征在于：还包括硅片输送装置(4)及接片模组(5)，所述硅片输送装置(4)及接片模组(5)位于所述花篮升降组件背离所述缓存输送装置(2)一侧。
3.根据权利要求2所述的导片机，其特征在于：所述来料对接输送装置(1)上设置有检测装置(11)，所述检测装置(11)用于检测所述来料对接输送装置(1)上是否有花篮。
4.根据权利要求3所述的导片机，其特征在于：所述来料对接输送装置(1)上还设置有报警装置(12)，所述报警装置(12)与所述检测装置(11)连通设置。
CN202011300760.6A 2020-11-19 2020-11-19 一种导片机 Pending CN112420572A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011300760.6A CN112420572A (zh) 2020-11-19 2020-11-19 一种导片机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011300760.6A CN112420572A (zh) 2020-11-19 2020-11-19 一种导片机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112420572A true CN112420572A (zh) 2021-02-26

Family

ID=74774479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011300760.6A Pending CN112420572A (zh) 2020-11-19 2020-11-19 一种导片机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112420572A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115258707A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 立川(无锡)半导体设备有限公司 一种高效的太阳能电池片发料机

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003241834A (ja) * 2002-02-19 2003-08-29 Daifuku Co Ltd ワーク搬送装置
CN204303772U (zh) * 2015-01-08 2015-04-29 北京七星华创电子股份有限公司 一种阻挡机构
CN204303784U (zh) * 2015-01-08 2015-04-29 北京七星华创电子股份有限公司 一种缓冲型阻挡装置
CN206485848U (zh) * 2017-02-04 2017-09-12 昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司 花篮导片机
CN107706135A (zh) * 2017-10-16 2018-02-16 无锡联晟光伏科技有限公司 太阳能硅片连续输送对中装置
CN210312359U (zh) * 2019-05-31 2020-04-14 帝尔激光科技(无锡)有限公司 一种通用型花篮上下料接驳装置
CN211789067U (zh) * 2020-05-12 2020-10-27 无锡尚品高自动化设备有限公司 一种去psg上下料机
CN112420571A (zh) * 2020-11-19 2021-02-26 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 一种扩散一拖一自动上下料系统

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003241834A (ja) * 2002-02-19 2003-08-29 Daifuku Co Ltd ワーク搬送装置
CN204303772U (zh) * 2015-01-08 2015-04-29 北京七星华创电子股份有限公司 一种阻挡机构
CN204303784U (zh) * 2015-01-08 2015-04-29 北京七星华创电子股份有限公司 一种缓冲型阻挡装置
CN206485848U (zh) * 2017-02-04 2017-09-12 昆山豪恩特机器人自动化科技有限公司 花篮导片机
CN107706135A (zh) * 2017-10-16 2018-02-16 无锡联晟光伏科技有限公司 太阳能硅片连续输送对中装置
CN210312359U (zh) * 2019-05-31 2020-04-14 帝尔激光科技(无锡)有限公司 一种通用型花篮上下料接驳装置
CN211789067U (zh) * 2020-05-12 2020-10-27 无锡尚品高自动化设备有限公司 一种去psg上下料机
CN112420571A (zh) * 2020-11-19 2021-02-26 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 一种扩散一拖一自动上下料系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115258707A (zh) * 2022-09-26 2022-11-01 立川(无锡)半导体设备有限公司 一种高效的太阳能电池片发料机
CN115258707B (zh) * 2022-09-26 2022-12-27 立川(无锡)半导体设备有限公司 一种高效的太阳能电池片发料机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112420571A (zh) 一种扩散一拖一自动上下料系统
CN112420572A (zh) 一种导片机
CN111621828A (zh) 一种铝型材立式氧化生产线设备
CN208225854U (zh) 一种硅片剔除机构
KR101011493B1 (ko) 태양전지 제조 공정시스템
CN105304535A (zh) 显示面板制造系统
CN109065492A (zh) 一种生产线竖向上料系统及硅片传输系统
CN215363191U (zh) 一种电池片定位装置
CN204243019U (zh) 光伏扩散工序中石英舟装载用导片机
CN211309778U (zh) 太阳能电池片生产用转角输送装置
CN207398103U (zh) 一种自动圆形硅片倒片机构
CN220208903U (zh) 厚度筛选插片机
CN107954178B (zh) 一种电池片花篮自动取料机构
CN220439639U (zh) 一种硅片Q-time动态管控装置
CN112735998A (zh) 激光掺杂设备
CN221041076U (zh) 一种用于太阳能硅片的上下料机构
CN208868963U (zh) 花篮自动上下料装置
CN217820055U (zh) 一种膜片的高效检测机构
CN219738934U (zh) 一种烘干固化装置
CN220456437U (zh) 石墨舟装卸片机
CN221157739U (zh) 一种用于硅片上料的传送装置
CN220253210U (zh) 插片机自动跑片结构
CN213240549U (zh) 一种花篮位托料错齿检测器件
CN217387108U (zh) 一种转运装置
CN217387107U (zh) 一种硅片加工设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination