CN112346307B - 一种掩膜版自动辅助夹具 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体生产技术领域，尤其是涉及一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座，连接座的侧壁上固定连接有多根支撑柱，支撑柱上设有夹紧机构，连接座与支撑柱内均设有空腔且相互连通，连接座上固定连接有连接柱，连接柱内设有用于配合夹紧机构的往复机构，连接柱上设有转动机构，连接柱的一侧设有用于配合转动机构的升降机构。优点在于：本发明可在对掩膜版就行清洗时具有良好的夹紧作用，同时不会使其出现受力不均匀或夹持过度而导致损伤的效果，同时可在完成清洗后将其自动的提升出清洗的区域，方便操作人员拿取，进一步降低其出现误操作的可能性。

Description

一种掩膜版自动辅助夹具

技术领域

本发明属于半导体生产技术领域，尤其是涉及一种掩膜版自动辅助夹具。

背景技术

光罩，业内又称掩膜版，材质：石英玻璃、金属铬和感光胶，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。

掩膜版的制造十分麻烦，造价更是十分昂贵，通常需要重复使用，在产线切换产品或者连续生产达到一定数量时，为了防止光罩被污染而产生MASK共通缺陷，需要对光罩进行清洗，主要是因为液晶生产中所使用的光阻特性，有的光阻比较容易挥发产生升华物滴落在基板的表面，在基板进入曝光机曝光时由于曝光的GAP较小，从而部分升华物会接触到光罩表面，产生MASK共通缺陷，而使生产出的产品在相同的位置有着同样的不良缺陷，现有的清洗机在使用时通常需要将其进行夹持，进而高速旋转，再通过各种清洗剂等对其进行清洁冲洗，但由于其材质特殊，导致夹具如果夹持的过紧或受力点不均匀则易导致掩膜版直接损坏，同时操作步骤也较为繁琐，操作人员在取放的过程中较为不便，易导致掩膜版容易暴露在高风险环境中。

为此，我们提出一种掩膜版自动辅助夹具来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是针对上述问题，提供一种高稳定性及安全性的掩膜版自动辅助夹具。

为达到上述目的，本发明采用了下列技术方案：一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座，所述连接座的侧壁上固定连接有多根支撑柱，所述支撑柱上设有夹紧机构，所述连接座与支撑柱内均设有空腔且相互连通，所述连接座上固定连接有连接柱，所述连接柱内设有用于配合夹紧机构的往复机构，所述连接柱上设有转动机构，所述连接柱的一侧设有用于配合转动机构的升降机构。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述夹紧机构包括设置于支撑柱空腔内壁上的多条条形滑槽，所述条形滑槽的内滑动连接有与之相匹配的第一滑块，所述支撑柱空腔密封滑动连接有滑板，所述滑板的侧壁与多块第一滑块均固定连接，所述滑板的一端固定连接有第一连接杆，所述第一连接杆的一端贯穿支撑柱的空腔并延伸至其外部，所述第一连接杆远离滑板的一端转动连接有第二连接杆，所述第二连接杆呈弧形弯曲状，所述第二连接杆远离第一连接杆的一端固定连接有夹头，所述夹头的下方设有按压机构，所述第二连接杆的中段还转动连接有第三连接杆，所述第三连接杆的一端与支撑柱的外侧壁边缘转动连接。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述按压机构包括设置于夹头下方的第一压块，所述第一压块与支撑柱的外侧壁固定连接，所述第一压块上设有嵌槽，所述嵌槽内底部固定连接有多根第一伸缩杆，多根所述第一伸缩杆的一端固定连接有同一块第二压块，所述第二压块与夹头相对的一端端面上均设有橡胶层，所述第一伸缩杆上套设有第一弹簧。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述往复机构包括设置于连接柱内的活动腔，所述活动腔与连接座内的腔室连通设置，所述活动腔的内底部固定连接有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有推块，所述推块与活动腔的内壁滑动密封连接，所述活动腔内填充有填充液，所述填充液位于滑板和推块之间。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述转动机构包括设置于连接柱上的连接块，所述连接块内设有操作室，所述连接柱贯穿操作室并与其内底部转动连接，所述连接柱上同轴固定连接有齿轮环，所述操作室的底部转动连接有用于与齿轮环啮合的第一齿轮，所述操作室的底部还转动连接第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮分设于连接柱两端，所述第二齿轮上同轴固定连接有收卷辊，所述收卷辊上设有槽道，所述连接块上还设有用于配合第一齿轮和第二齿轮的活动机构。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述活动机构包括设置于连接柱内的放置腔，所述放置腔的内底部固定连接有第一驱动电机，所述第一驱动电机的驱动轴上同轴固定连接有转动板，所述放置腔的内顶面设有与操作室贯通的弧形槽，所述弧形槽内滑动连接有与之相匹配的第二滑块，所述第二滑块与转动板固定连接，所述第二滑块远离转动板的一端固定连接有垫板，所述垫板上固定连接有第二驱动电机，所述第二驱动电机的驱动轴上同轴固定连接有第三齿轮，所述第三齿轮与第一齿轮或第二齿轮活动啮合，所述弧形槽内还设有用于配合第二齿轮的限位机构。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述限位机构包括设置于弧形槽内的第三滑块，所述第三滑块上固定连接有第四齿轮，所述第四齿轮与第二齿轮活动啮合，所述第三滑块远离第二滑块的一端侧壁上固定连接有橡胶块。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述升降机构包括固定连接于连接块远离连接座一端的多根第二伸缩杆，多根所述第二伸缩杆上均套设有第二弹簧，所述第二伸缩杆远离连接块的一端固定连接有台座，所述台座的一端侧壁上固定连接有用于配合收卷辊的导向机构。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述导向机构包括固定连接于台座上的支块，所述支块上设有门型架，所述门型架上转动连接有导向轮，所述导向轮上绕设有连接绳，所述连接绳的一端与连接块的外底部固定连接，所述连接绳的另一端贯穿至操作室内并缠绕于收卷辊的槽道内。

在上述的掩膜版自动辅助夹具中，所述掩膜版自动辅助夹具的工作原理为：

1)操作人员先将需要清洁的掩膜版直接放置在多个第二压块上，待放置完毕后液压杆启动上推挤压填充液，填充液分散在多个支撑柱的腔室内对多块滑板进行推动，滑板移动带动第一连接杆，第一连接杆联合第二连接杆和第三连接杆来使得夹头下压，来对承载的掩膜版边缘进行夹持效果，挤压的压力调节线性度大，也较为灵活，方便掩膜版始终处于一个较为合理的夹紧范围，同时过大的压力会通过第一弹簧进行一定的溃缩，提高使用时的容错率，且夹头和第二压块上覆盖的带有细小绒毛的橡胶层具有良好的贴合力，防止掩膜版在旋转时脱落；

2)随后第一驱动电机转动带动转动板转动使得第三齿轮与第二齿轮开始啮合，此时第二驱动电机转动带动第三齿轮和第二齿轮转动，使得收卷辊转动将连接绳逐渐收卷，连接块会在连接绳的牵扯下逐渐下降到一定的位置，随后第一驱动电机再次转动将第三齿轮与第一齿轮啮合，此时第二滑块滑动取消对第三滑块的挤压，使得橡胶块回弹促使第四齿轮卡合第二齿轮限定其转动，从而固定现有下降的位置，当第三齿轮与第一齿轮啮合后，第二驱动电机启动使得第一齿轮带动齿轮环转动，从而使得连接柱可以转动，连接柱转动继而带动承载的掩膜版转动，随后即可对其进行清洁清洗；

3)待清洁操作完成后，第二驱动电机再次转动使得第三齿轮与第二齿轮再次啮合，啮合时第二滑块滑动到位置后挤压第三齿轮，使得橡胶块被压缩解除第四齿轮对第二齿轮的卡合限制，随后收卷辊反向转动将连接绳持续放出，此时在第二弹簧的作用下连接块开始抬升，将掩膜版回位到初始放置的状态，随后液压杆复位解除对第二压块上的掩膜版的夹紧，方便操作人员将清洁完毕的掩膜版取出进行下一轮的操作。

与现有的技术相比，本掩膜版自动辅助夹具的优点在于：

1、本发明通过设置的液压杆、填充液和夹头及按压机构的配合，以达到利用填充液的液压原理配合按压机构内的第二压块及夹头，来对承载的掩膜版边缘进行夹持效果，挤压的压力调节线性度大，也较为灵活，方便掩膜版始终处于一个较为合理的夹紧范围，同时过大的压力会通过第一弹簧进行一定的溃缩，提高使用时的容错率，且夹头和第二压块上覆盖的带有细小绒毛的橡胶层具有良好的贴合力，防止掩膜版在旋转时脱落，提高了设备的实际操作效果。

2、本发明通过设置的第一驱动电机和第二驱动电机及导向机构、活动机构的配合，以达到利用第一驱动电机带动第三齿轮与第一齿轮、第二齿轮交替连接，使得掩膜版在清洗时和清洗后完成自动旋转和升降的效果，可在完成清洗后将其自动的提升出清洗的区域，方便操作人员拿取，进一步降低其出现误操作的可能性。

附图说明

图1是本发明提供的一种掩膜版自动辅助夹具的外部结构示意图；

图2是图1的内部结构剖视图；

图3是图1中往复机构的结构示意图；

图4是图1中按压机构的剖视图；

图5是图1中连接块的剖视图；

图6是图5中转动板的结构示意图；

图7是图5中限位机构的结构示意图；

图8是图2中A处的局部放大图；

图9是图2中B处的局部放大图；

图10是图2中C处的局部放大图。

图中，1连接座、2支撑柱、3夹紧机构、4连接柱、5往复机构、6转动机构、7升降机构、8条形滑槽、9第一滑块、10滑板、11第一连接杆、12第二连接杆、13夹头、14按压机构、15第三连接杆、16第一压块、17第一伸缩杆、18第二压块、19第一弹簧、20液压杆、21推块、22连接块、23齿轮环、24第一齿轮、25第二齿轮、26收卷辊、27活动机构、28第一驱动电机、29转动板、30弧形槽、31第二滑块、32垫板、33第二驱动电机、34第三齿轮、35限位机构、36第三滑块、37第四齿轮、38橡胶块、39第二伸缩杆、40第二弹簧、41台座、42导向机构、43支块、44导向轮、45连接绳、46填充液。

具体实施方式

以下实施例仅处于说明性目的，而不是想要限制本发明的范围。

实施例

如图1-10所示，一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座1，连接座1呈圆柱状，连接座1的侧壁上固定连接有多根支撑柱2，连接座1与支撑柱2内均设有空腔且相互连通，支撑柱2内的空腔贯通整个支撑柱2，支撑柱2上设有夹紧机构3，夹紧机构3包括设置于支撑柱2空腔内壁上的多条条形滑槽8，条形滑槽8的内滑动连接有与之相匹配的第一滑块9，第一滑块9与条形滑槽8之间为密封滑动连接，支撑柱2空腔密封滑动连接有滑板10，滑板10将支撑柱2分为互不相交的两部分，滑板10的侧壁与多块第一滑块9均固定连接。

滑板10的一端固定连接有第一连接杆11，第一连接杆11的一端贯穿支撑柱2的空腔并延伸至其外部，第一连接杆11远离滑板10的一端转动连接有第二连接杆12，第一连接杆11和第二连接杆12均为刚性杆，第二连接杆12呈弧形弯曲状，第二连接杆12远离第一连接杆11的一端固定连接有夹头13，夹头13在第二连接杆12的直接作用下可完成下压动作，夹头13的下方设有按压机构14。

按压机构14包括设置于夹头13下方的第一压块16，第一压块16与支撑柱2的外侧壁固定连接，第一压块16上设有嵌槽，嵌槽内底部固定连接有多根第一伸缩杆17，多根第一伸缩杆17的一端固定连接有同一块第二压块18，第二压块18与夹头13相对的一端端面上均设有橡胶层，橡胶层上设有细小的绒毛结构，帮助其具有更好的静摩擦力，第一伸缩杆17上套设有第一弹簧19用于帮助第二压块18回弹压缩，第二连接杆12的中段还转动连接有第三连接杆15，第三连接杆15的一端与支撑柱2的外侧壁边缘转动连接，第三连接杆15为柔性杆。

连接座1上固定连接有连接柱4，连接柱4内设有用于配合夹紧机构3的往复机构5，往复机构5包括设置于连接柱4内的活动腔，活动腔与连接座1内的腔室连通设置，活动腔的内底部固定连接有液压杆20，液压杆20的输出端固定连接有推块21，液压杆20可带动推块21上下运动，推块21与活动腔的内壁滑动密封连接，活动腔内填充有填充液46，填充液46位于滑板10和推块21之间，填充液46可在推块21的作用下联动多块滑板10，使其可正常的滑动移动，连接柱4上设有转动机构6。

转动机构6包括设置于连接柱4上的连接块22，连接块22靠近连接柱4远离连接座1的一端设置，连接块22内设有操作室，连接柱4贯穿操作室并与其内底部转动连接，连接柱4上同轴固定连接有齿轮环23，齿轮环23设置于操作室内，操作室的底部转动连接有用于与齿轮环23啮合的第一齿轮24，第一齿轮24的下端与操作室的底部摩擦接触，操作室的底部还转动连接第二齿轮25，第二齿轮25与第一齿轮24分设于连接柱4两端，第二齿轮25上同轴固定连接有收卷辊26，收卷辊26上设有槽道用于更好的收卷线缆等，连接块22上还设有用于配合第一齿轮24和第二齿轮25的活动机构27。

活动机构27包括设置于连接柱4内的放置腔，放置腔的内底部固定连接有第一驱动电机28，第一驱动电机28的驱动轴上同轴固定连接有转动板29，放置腔的内顶面设有与操作室贯通的弧形槽30，弧形槽30内滑动连接有与之相匹配的第二滑块31，第二滑块31与转动板29固定连接，第二滑块31远离转动板29的一端固定连接有垫板32，垫板32上固定连接有第二驱动电机33，第二驱动电机33与第一驱动电机28均为伺服驱动电机，第二驱动电机33的驱动轴上同轴固定连接有第三齿轮34，第三齿轮34可在第一驱动电机28的作用下与第一齿轮24或第二齿轮25活动啮合。

弧形槽30内还设有用于配合第二齿轮25的限位机构35，限位机构35包括设置于弧形槽30内的第三滑块36，第三滑块36上固定连接有第四齿轮37，第四齿轮37与第二齿轮25活动啮合，第四齿轮37用于对第二齿轮25进行卡紧限位，使其在不与第三齿轮34连接时也不会转动，第三滑块36远离第二滑块31的一端侧壁上固定连接有橡胶块38，橡胶块38具有可压缩性，第二滑块31的移动会挤压第三滑块36从而压缩橡胶块38，使得第四齿轮37与第二齿轮25脱离接触。

连接柱4的一侧设有用于配合转动机构6的升降机构7，升降机构7包括固定连接于连接块22远离连接座1一端的多根第二伸缩杆39，多根第二伸缩杆39上均套设有第二弹簧40，第二伸缩杆39远离连接块22的一端固定连接有台座41，第二弹簧40用于抬升台座41，台座41与外部清洗设备的底部固定连接，台座41的一端侧壁上固定连接有用于配合收卷辊26的导向机构42，导向机构42包括固定连接于台座41上的支块43，支块43上设有门型架，门型架中间转动连接有导向轮44，导向轮44上绕设有连接绳45，连接绳45的一端与连接块22的外底部固定连接，连接绳45的另一端贯穿至操作室内并缠绕于收卷辊26的槽道内，通过连接绳45的拉扯、变换长度可带动连接块22形成自动升降功能。

本发明在使用时，操作人员先将需要清洁的掩膜版直接放置在多个第二压块18上，待放置完毕后液压杆20启动上推挤压填充液46，填充液46分散在多个支撑柱2的腔室内对多块滑板10进行推动，滑板10移动带动第一连接杆11，第一连接杆11联合第二连接杆12和第三连接杆15来使得夹头13下压，来对承载的掩膜版边缘进行夹持效果，挤压的压力调节线性度大，也较为灵活，方便掩膜版始终处于一个较为合理的夹紧范围，同时过大的压力会通过第一弹簧19进行一定的溃缩，提高使用时的容错率，且夹头和第二压块18上覆盖的带有细小绒毛的橡胶层具有良好的贴合力，防止掩膜版在旋转时脱落，随后第一驱动电机28转动带动转动板29转动使得第三齿轮34与第二齿轮25开始啮合，此时第二驱动电机33转动带动第三齿轮34和第二齿轮25转动，使得收卷辊26转动将连接绳45逐渐收卷，连接块22会在连接绳45的牵扯下逐渐下降到一定的位置，随后第一驱动电机28再次转动将第三齿轮34与第一齿轮24啮合，此时第二滑块31滑动取消对第三滑块36的挤压，使得橡胶块38回弹促使第四齿轮37卡合第二齿轮25限定其转动，从而固定现有下降的位置，当第三齿轮34与第一齿轮24啮合后，第二驱动电机33启动使得第一齿轮24带动齿轮环23转动，从而使得连接柱4可以转动，连接柱4转动继而带动承载的掩膜版转动，随后即可对其进行清洁清洗，待清洁操作完成后，第二驱动电机33再次转动使得第三齿轮34与第二齿轮25再次啮合，啮合时第二滑块31滑动到位置后挤压第三齿轮34，使得橡胶块38被压缩解除第四齿轮37对第二齿轮25的卡合限制，随后收卷辊26反向转动将连接绳45持续放出，此时在第二弹簧40的作用下连接块22开始抬升，将掩膜版回位到初始放置的状态，随后液压杆20复位解除对第二压块18上的掩膜版的夹紧，方便操作人员将清洁完毕的掩膜版取出进行下一轮的操作。

尽管本文较多地使用了连接座1、支撑柱2、夹紧机构3、连接柱4、往复机构5、转动机构6、升降机构7、条形滑槽8、第一滑块9、滑板10、第一连接杆11、第二连接杆12、夹头13、按压机构14、第三连接杆15、第一压块16、第一伸缩杆17、第二压块18、第一弹簧19、液压杆20、推块21、连接块22、齿轮环23、第一齿轮24、第二齿轮25、收卷辊26、活动机构27、第一驱动电机28、转动板29、弧形槽30、第二滑块31、垫板32、第二驱动电机33、第三齿轮34、限位机构35、第三滑块36、第四齿轮37、橡胶块38、第二伸缩杆39、第二弹簧40、台座41、导向机构42、支块43、导向轮44、连接绳45、填充液46等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本发明的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本发明精神相违背的。

Claims (5)

1.一种掩膜版自动辅助夹具，包括连接座(1)，其特征在于，所述连接座(1)的侧壁上固定连接有多根支撑柱(2)，所述支撑柱(2)上设有夹紧机构(3)，所述连接座(1)与支撑柱(2)内均设有空腔且相互连通，所述连接座(1)上固定连接有连接柱(4)，所述连接柱(4)内设有用于配合夹紧机构(3)的往复机构(5)，所述连接柱(4)上设有转动机构(6)，所述连接柱(4)的一侧设有用于配合转动机构(6)的升降机构(7)；

所述夹紧机构(3)包括设置于支撑柱(2)空腔内壁上的多条条形滑槽(8)，所述条形滑槽(8)的内滑动连接有与之相匹配的第一滑块(9)，所述支撑柱(2)空腔密封滑动连接有滑板(10)，所述滑板(10)的侧壁与多块第一滑块(9)均固定连接，所述滑板(10)的一端固定连接有第一连接杆(11)，所述第一连接杆(11)的一端贯穿支撑柱(2)的空腔并延伸至其外部，所述第一连接杆(11)远离滑板(10)的一端转动连接有第二连接杆(12)，所述第二连接杆(12)呈弧形弯曲状，所述第二连接杆(12)远离第一连接杆(11)的一端固定连接有夹头(13)，所述夹头(13)的下方设有按压机构(14)，所述第二连接杆(12)的中段还转动连接有第三连接杆(15)，所述第三连接杆(15)的一端与支撑柱(2)的外侧壁边缘转动连接；

所述按压机构(14)包括设置于夹头(13)下方的第一压块(16)，所述第一压块(16)与支撑柱(2)的外侧壁固定连接，所述第一压块(16)上设有嵌槽，所述嵌槽内底部固定连接有多根第一伸缩杆(17)，多根所述第一伸缩杆(17)的一端固定连接有同一块第二压块(18)，所述第二压块(18)与夹头(13)相对的一端端面上均设有橡胶层，所述第一伸缩杆(17)上套设有第一弹簧(19)；

所述往复机构(5)包括设置于连接柱(4)内的活动腔，所述活动腔与连接座(1)内的腔室连通设置，所述活动腔的内底部固定连接有液压杆(20) ，所述液压杆(20)的输出端固定连接有推块(21) ，所述推块(21)与活动腔的内壁滑动密封连接，所述活动腔内填充有填充液(46)，所述填充液(46)位于滑板(10)和推块(21)之间；

所述转动机构(6)包括设置于连接柱(4)上的连接块(22)，所述连接块(22)内设有操作室，所述连接柱(4)贯穿操作室并与其内底部转动连接，所述连接柱(4)上同轴固定连接有齿轮环(23)，所述操作室的底部转动连接有用于与齿轮环(23)啮合的第一齿轮(24)，所述操作室的底部还转动连接第二齿轮(25)，所述第二齿轮(25)与第一齿轮(24)分设于连接柱(4)两端，所述第二齿轮(25)上同轴固定连接有收卷辊(26)，所述收卷辊(26)上设有槽道，所述连接块(22)上还设有用于配合第一齿轮(24)和第二齿轮(25)的活动机构(27)；

所述升降机构(7)包括固定连接于连接块(22)远离连接座(1)一端的多根第二伸缩杆(39) ，多根所述第二伸缩杆(39)上均套设有第二弹簧(40)，所述第二伸缩杆(39)远离连接块(22)的一端固定连接有台座(41)，所述台座(41)的一端侧壁上固定连接有用于配合收卷辊(26)的导向机构(42)。

2.根据权利要求1所述的掩膜版自动辅助夹具，其特征在于，所述活动机构(27)包括设置于连接柱(4)内的放置腔，所述放置腔的内底部固定连接有第一驱动电机(28)，所述第一驱动电机(28)的驱动轴上同轴固定连接有转动板(29)，所述放置腔的内顶面设有与操作室贯通的弧形槽(30)，所述弧形槽(30)内滑动连接有与之相匹配的第二滑块(31)，所述第二滑块(31)与转动板(29)固定连接，所述第二滑块(31)远离转动板(29)的一端固定连接有垫板(32)，所述垫板(32)上固定连接有第二驱动电机(33)，所述第二驱动电机(33)的驱动轴上同轴固定连接有第三齿轮(34)，所述第三齿轮(34)与第一齿轮(24)或第二齿轮(25)活动啮合，所述弧形槽(30)内还设有用于配合第二齿轮(25)的限位机构(35)。

3.根据权利要求2所述的掩膜版自动辅助夹具，其特征在于，所述限位机构(35)包括设置于弧形槽(30)内的第三滑块(36)，所述第三滑块(36)上固定连接有第四齿轮(37)，所述第四齿轮(37)与第二齿轮(25)活动啮合，所述第三滑块(36)远离第二滑块(31)的一端侧壁上固定连接有橡胶块(38)。

4.根据权利要求1所述的掩膜版自动辅助夹具，其特征在于，所述导向机构(42)包括固定连接于台座(41)上的支块(43)，所述支块(43)上设有门型架，所述门型架上转动连接有导向轮(44)，所述导向轮(44)上绕设有连接绳(45)，所述连接绳(45)的一端与连接块(22)的外底部固定连接，所述连接绳(45)的另一端贯穿至操作室内并缠绕于收卷辊(26)的槽道内。

5.根据权利要求1所述的掩膜版自动辅助夹具，其特征在于，所述掩膜版自动辅助夹具的工作原理为：

1)操作人员先将需要清洁的掩膜版直接放置在多个第二压块(18)上，待放置完毕后液压杆(20)启动上推挤压填充液(46)，填充液(46)分散在多个支撑柱(2)的腔室内对多块滑板(10)进行推动，滑板(10)移动带动第一连接杆(11) ，第一连接杆(11)联合第二连接杆(12)和第三连接杆(15)来使得夹头(13)下压，来对承载的掩膜版边缘进行夹持效果，挤压的压力调节线性度大，也较为灵活，方便掩膜版始终处于一个较为合理的夹紧范围，同时过大的压力会通过第一弹簧(19)进行一定的溃缩，提高使用时的容错率，且夹头和第二压块(18)上覆盖的带有细小绒毛的橡胶层具有良好的贴合力，防止掩膜版在旋转时脱落；

2)随后第一驱动电机(28)转动带动转动板(29)转动使得第三齿轮(34)与第二齿轮(25)开始啮合，此时第二驱动电机(33)转动带动第三齿轮(34)和第二齿轮(25)转动，使得收卷辊(26)转动将连接绳(45)逐渐收卷，连接块(22)会在连接绳(45)的牵扯下逐渐下降到一定的位置，随后第一驱动电机(28)再次转动将第三齿轮(34)与第一齿轮(24)啮合，此时第二滑块(31)滑动取消对第三滑块(36)的挤压，使得橡胶块(38)回弹促使第四齿轮(37)卡合第二齿轮(25)限定其转动，从而固定现有下降的位置，当第三齿轮(34)与第一齿轮(24)啮合后，第二驱动电机(33)启动使得第一齿轮(24)带动齿轮环(23)转动，从而使得连接柱(4)可以转动，连接柱(4)转动继而带动承载的掩膜版转动，随后即可对其进行清洁清洗；

3)待清洁操作完成后，第二驱动电机(33)再次转动使得第三齿轮(34)与第二齿轮(25)再次啮合，啮合时第二滑块(31)滑动到位置后挤压第三齿轮(34)，使得橡胶块(38)被压缩解除第四齿轮(37)对第二齿轮(25)的卡合限制，随后收卷辊(26)反向转动将连接绳(45)持续放出，此时在第二弹簧(40)的作用下连接块(22)开始抬升，将掩膜版回位到初始放置的状态，随后液压杆(20)复位解除对第二压块(18)上的掩膜版的夹紧，方便操作人员将清洁完毕的掩膜版取出进行下一轮的操作。

Images