CN112313559B - 光学装置和激光系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于将来自至少两个激光光源(12a‑12f)的激光束(14a‑14f)转换成组合光束(18)的光学装置(16)，该装置包括光束引导系统(20)，该光束引导系统(20)被设计成使得为激光束(14a‑14c)设置至少两个单独的光通道(22a‑22c)，其中,每个光通道(22a‑22c)包括用于出射相关光通道(22a‑22c)的通道输出光束(38a‑38c)的光端接装置(36a‑36c)，其中设置仅与一个光通道(22a‑22c)相关联的至少一个偏转体(42a‑42c)，其中偏转体(42a‑42c)被设计成使得仅捕获相关光通道(22a‑22c)的通道输出光束(38a‑38c)，并且使捕获的通道输出光束(38a‑38c)在聚焦区域(44)的方向上偏转。

Description

光学装置和激光系统
技术领域
本发明描述了一种用于将来自多个激光光源的激光束转换成具有束腰的组合光束的光学装置，以及包括这种光学装置的激光系统。
背景技术
光学装置的一个可能的但并非唯一的应用领域是在激光系统中，激光系统用于产生具有线性光束轮廓的有用的光分布。这种光束轮廓用于例如TFT显示器的生产、半导体的掺杂、太阳能电池的生产或建筑目的的美学设计的玻璃表面的生产中的半导体或玻璃表面的加工。这里，在线的待加工表面上的延伸方向相垂直的方向上扫描线性光束轮廓。辐射可以触发表面转变过程(再结晶、熔化、扩散过程)，并且可以获得期望的加工结果。
在所提到的激光系统的情况下，激光束通过光学装置转换成期望的线性的有用的光分布，该光学装置特别地对激光辐射进行整形和/或均化。例如，在WO 2018/019374 A1中描述了一种用于从激光辐射产生线性有用光分布的光学装置。
由于高强度辐射和/或长的线性强度分布对于所提到的加工过程来说是通常是期望的，所以应该经常使用多个激光光源来提供所需的有用的光分布。
为了不必为每个激光光源单独设置有效的用于形成线的光学器件，希望将各种激光光源的激光束合并，并将其束成组合光束，特别是在空间上将其束成组合光束。例如，WO2018/019374 A1描述了一种光学装置，其具有通过多个反射镜和透镜折叠的光束路径，来自多个激光光源的激光束通过会聚镜而结合，同时产生的光束扩展。DE 10 2008 027 229B4描述了一种用于光束形成和集束的设备，其中多组激光束在分开的光通道中延伸其部分路径，并且通过作用于多个光束组的望远镜光学系统来组合。这种装置包括同时捕获多个分开延伸的激光束的光学元件，因此必须具有大的入口孔径。这可能与光学误差(例如透镜误差)有关，并且变得难以调整或微调各个光束。此外，大尺寸镜头组件会导致更高的成本和复杂的安装空间要求。
发明内容
本发明的目的是使多个激光束的光束合并成为可能，这在适应安装空间要求和光学调节方面提供了灵活性。
此目的通过根据权利要求1的光学装置来实现。其是一种用于将来自至少两个激光光源的激光束转换成组合光束的设备，即，从各个激光束合并的光束，特别是以空间合并光束的束(组合光束的束)的形式。该光学装置被设计成使得组合光束具有束腰。
该光学装置包括光束引导系统，该光束引导系统被设计成为激光束提供至少两个独立的光通道。在这一点，每个激光束在至少两个光通道之一中延伸。每个光通道包括光端接装置(optical terminating means)，当光学装置用激光光源操作时，相关光通道的通道输出光束通过该光端接装置出射。
为至少一个光通道设置偏转体，并与相关光通道相关联。偏转体被设计成使得仅捕获相关光通道的通道输出光束，而其他光通道的通道输出光束不被该偏转体捕获。偏转体在组合光束的聚焦区域的方向上引导或偏转被捕获的通道输出光束。
因此，在束腰前面的光束路径中的单独光通道中引导来自多个激光光源的激光束。光通道的特别之处在于，光束在光通道中引导，从而与其他光通道空间分离和/或光学分离。光通道可以包括多个光学有效部件(透镜、光阑、反射镜等)。特别地，光端接装置形成每个光通道的终端，该装置被设计为例如会聚透镜。
尤其是，将激光束引导到单独的光通道中提供了如下优点，即，每个光通道的光学有效部件只需要具有有限的尺寸，因为只有相关光通道中的光必须被该部件捕获。特别地，根据实施例，不需要具有大尺寸的透镜，因此可以节省构造空间，并且可以减少透镜误差。此外，各种激光束的光束特性可以在单独的光通道中彼此独立地形成和微调。独立的光通道还使得整体结构的可扩展性得到提高。可以添加额外的通道，而不必改变整个光学结构。
从各种光端接装置出射的光束通过至少一个偏转体合并，以形成组合光束的束腰。关于这一方面，该束腰中的光分布由多个激光光源提供。束腰定义为组合光束具有最小光束横截面的区域，即组合光束的最窄点。
偏转体特别设计成使得偏转体前面的光传播方向偏离偏转体后面的传播方向。在这方面，通过偏转体从各通道输出光束中产生会聚在束腰中的光束。偏转体优选用于影响传播方向。彼此间隔开的激光束可以在没有大尺寸透镜的情况下合并。因此，可以减少开篇概述的问题。
利用所描述的装置，还可以改变各个偏转体的位置、对准和/或设计，从而调节组合光束的特性、特别是光束腰部的特性。在这方面，在束腰之后的组合光束的有效发散角可以通过偏转体的位置、对准和/或设计来指定。
在本文中，光束(光线束、激光束、通道输出光束，...)并不表示几何光学意义上的理想化光束，而是实际光束，由于物理原因，其横截面总是有限的。例如，在激光束的情况下，光束横截面中的强度曲线受到激光光源中所涉及的激光模式的影响。
该光学装置优选设计成合并来自不同激光光源的多个(特别是>3个)激光束。特别地，该光学装置包括多个(特别是>3个)光通道。例如，该光学装置可以被设计成使得激光束在光束引导系统的输入侧区域中彼此相邻地延伸，特别是延伸成彼此相邻地成组。每个光通道都特别设计成使得每个通道仅延伸一个来自激光光源的激光束。
特别地，或者偏转体与光通道相关联，或者离开光通道的通道输出光束直接转移到组合光束的束腰中。
偏转体优选与每个光通道相关联。当各种光通道的通道输出光束在通过相关的光端接装置之后最初不在束腰方向上延伸时，这尤其有利。
例如，简化的结构得自如下事实，即，当在该装置的操作期间通过相关光端接装置出射的通道输出光束具有最初不指向聚焦区域方向的传播方向时，偏转体仅与光通道相关联。在这方面，尤其仅为光束腰不在通道输出光束的出射方向上的光通道设置偏转体。其他通道输出光束可以在没有偏转体的情况下被引导到束腰。
在本文中，光束(光线束、激光束、通道输出光束，...)表示空间平均的输出方向，特别是根据坡印亭矢量(Poynting vector)的空间平均。
光束引导系统优选地设计成使得从所有光通道(或其光端接装置)出射的通道输出光束都具有平行于主方向的传播方向。主方向尤其形成光束引导系统的光轴。在这方面，通道输出光束最初彼此平行地离开各光通道，并由偏转体组合以在聚焦区域中形成束腰。
然而，也可以想到的是，通道输出光束在离开光端接装置之后立即在不同的方向上延伸。例如，光束引导系统可以设计成使得离开光通道的一些或所有通道输出光束已经具有朝向聚焦区域的方向分量。这样减少了需要通过偏转体的偏转。
该至少一个偏转体优选设计为光学传输系统，使得捕获的通道输出光束经由光入射表面辐射到偏转体中，并且经由不同的光出射表面离开偏转体。光入射表面优选相对于光出射表面倾斜取向。光入射表面和光出射表面本身优选是平坦的。
根据有利的实施例，偏转体由对激光束透明的材料一体形成。该材料优选地对于激光束具有大于1的折射率，因此由于偏转体的边界表面处的折射效应而发生偏转。
将偏转体有利地设计成使得被捕获的通道输出光束的发散角或发散空间角在被偏转体偏转之前和之后基本上不变。在这方面，优选不将偏转体用作聚集和/或加宽光束的透镜装置，而是基本上仅用于在束腰方向上引导和偏转相关光束。用于改变光束发散特性的光学功能可以由每个光通道的透镜装置提供，特别是由光端接装置提供。在这样的实施例中，任何聚焦和必要的偏转都由不同的光学部件来执行。光学功能的这种分离可以简化光学装置的调节。
特别地，可以想到的是，将至少一个偏转体设计为光学棱镜。
在另一实施例中，光学装置特别具有透镜装置，该透镜装置设置在束腰之后的光束路径中或束腰中。将透镜装置特别设计成对组合光束进行整形，以便耦合到随后的光束变换元件中。透镜装置优选设计为准直透镜，用于在束腰之后将组合光束准直或平行化。这防止了组合光束在束腰之后不希望地再次发散。然后可以被进一步对准直光束或远心延伸光束进行光学处理，例如以便形成线性光分布。
准直透镜优选至少在一侧具有焦平面或焦直线。准直透镜可以布置成使得焦平面或焦直线延伸穿过聚焦区域，即穿过束腰。在这方面，束腰优选地相对于准直透镜布置在焦距的物侧。准直透镜设计成例如会聚透镜。特别地，准直透镜形成光学装置的实际输出孔径。然后，可选地在准直之后，组合光束通过该输出孔径出射，并且可以进行进一步处理。
在另一个实施例中，光束引导系统包括用于光束形成的变形光学系统，特别是用于光束形成的望远镜，在至少一些光通道中或者在每个光通道中，光通道的光端接装置是该光通道中变形(anamorphic)光学系统(特别是望远镜)的组件。望远镜尤其可以包括两个会聚透镜，这两个会聚透镜在光束路径上彼此跟随，并且被布置成与其附加焦距相距一段距离，使其相互面对的焦平面重合(近似以开普勒望远镜的方式)。望远镜优选地设计为至少一个光通道中的变形望远镜，使得激光束在相关光通道中失真变形。特别地，望远镜设计成沿着垂直于激光束在光通道中传播方向的轴在图像比例上产生圆柱形变化。
光束引导系统优选地在每个光通道中包括两个变形望远镜，这两个变形望远镜在光束路径中串联布置，并且相对于两个不同的变形方向(特别是相对于两个垂直方向)起作用。因此，可以相对于两个垂直轴调整光束特性。
开篇提出的目的也是通过一种用于产生具有线性光束截面的有用光分布的激光系统来实现的。该激光系统包括至少两个用于发射激光束的激光光源。激光系统还包括上述类型的光学装置，其中光学装置被布置成使得来自激光光源的激光束被转换成组合光束。组合光束通过沿着光束路径的光学整形系统进行进一步处理，并且被整形为期望的线性的有用的光分布，并且可选地被均化。光学整形系统设置在组合光束的束腰之后的光束路径中。通过光学装置产生由多个激光光源提供的组合光束，该组合光束由光学整形系统转换成期望的线性的有用的光分布。通过调节光学装置，特别是偏转体和/或光端接装置，组合光束的光束特性可以与光学整形系统相匹配。
如上所述，光学整形系统优选地布置在束腰中或者在空间上接近束腰，可选地在准直透镜之后的光束路径中。因此，可以将光学整形系统设计成具有相对较小的空间尺寸。
附图说明
下面参照附图更详细地描述本发明的更多细节和可能的实施例，
其中：
图1示出了用于在平面图中产生线性的有用的光分布的激光系统的示意图；
图2示出了根据图1的激光系统的侧视示意图；
图3示出了光学装置的平面示意图；
图4示出了另一种光学装置的平面示意图；
图5示出了另一种光学装置的侧视示意图；
图6示出了根据图5的光学装置的平面示意图；
图7示出了具有两组的激光系统的示意图，每组包括两个光通道；
图8示出了具有两个光通道的光学装置的示意图；
图9示出了对应于图6的具有两个光通道的装置的示意图。
具体实施方式
在以下描述和附图中，相同的附图标记用于相同或相应的特征。
图1示出了用于产生具有线性光束截面的有用光分布(L)的激光系统10的示意图。
在一些图中，显示了右手笛卡尔坐标系。参考坐标系的定义方向来描述几何关系，但这并不意味着限制设备的布置和对准。特别地，激光系统10的各个单元可以具有不同的方向。在所示的示例中，有用的光分布在Y方向上在X-Y平面中线性延伸。
激光系统10可以包括例如多个激光光源12a至12f，用于分别发射相关的激光束14a至14f。当然，也可以使用适于发射多个激光束(例如14a至14c或14a至14f)的激光光源。在所示的示例中，激光光源12a至12f布置成使得激光束14a至14f在激光系统10的输入侧区域中成两组延伸，每组包括三个激光束。例如，激光束14a至14f布置在公共平面中(在Y-Z平面所示的示例中)。
在每种情况下，光束14a至14f进入光学装置16，光学装置16用于将多个激光束(14a至14c和14d至14f)分别转换成组合光束18。在所示的示例中，将光学装置16设计成使得第一组激光束14a至14c合并成组合光束18，第二组激光束14d至14f合并成组合光束18'。对于进一步的描述，仅通过示例的方式参考第一组激光束14a至14c以及作用在其上的光学部件。对第二组激光束14d至14f可以相应地进行光学处理。
在光学装置16中，激光束14a至14c最初在光束引导系统20中延伸，光束引导系统20提供单独的光通道22a至22c。在所示的示例中，激光束14a至14c在每个光通道22a至22c中延伸。在光通道22a至22c中引导的激光束14a至14c转移到光束组合系统24中，并在其中合并以形成组合光束18。
然后，将组合光束18引导通过光学整形系统26，该光学整形系统26将组合光束18整形为期望的线性有用光分布L。光学整形系统26的各种实施例是可想到的。例如，光学整形系统26可以包括光束变换元件28，其最初各向异性地改变组合光束18的光束属性。在所示的示例中，光束变换元件28增加了组合光束18在Y方向上的光束参数乘积或衍射指数M2，并减少了在X方向上的光束参数乘积或衍射指数M2(参见图2)。
光学整形系统还可以包括以轮廓示出的均化器30，其设计成在优选方向(例如Y方向)上均化强度分布。
图2以侧视图示出了根据图1的示意性示出的激光系统10。在所示的示例中，激光束14a至14f都在一个平面内延伸，因此在根据图2的视图中，一个激光束在另一个之上。本发明的基本方面在于光学装置16仅相对于一个作用方向(在所示的示例中，Y方向)合并和组合激光束14a至14f。在这方面，光学装置16尤其可以设计成使得激光束14a至14f相对于垂直于优选方向的方向(在所示的示例中，X方向)上基本上保持不受影响。光束引导系统20优选地还设计成将在光通道22a至22c中引导的激光束14a至14c预成形。例如，至少一个望远镜32、32'可以设置在至少一个光通道22a至22c中，用于影响各个光通道中的光束特性。这种望远镜32、32'充当光束形成系统，并且可以特别设计成改变光通道14a至14f中的光束横截面。可以想到，望远镜有变形光学特性。例如，变形望远镜32可以设置在光通道22a至22c中，该望远镜影响相对于第一方向(在所示示例中，Y方向)的光束特性。此外，可以在光束路径的前面或后面提供另一个32'望远镜，该望远镜在与其垂直的方向上改变光束特性(在所示示例中，X方向；参见图2)。望远镜32、32'可以有各种实施例。例如，32，32'望远镜可以设计成伽利略望远镜或开普勒望远镜。特别是，可以设想将32、32'望远镜设计为至少两个会聚透镜34a、34b或34a'、34b'的布置，所设计的会聚透镜使其焦平面在光束路径中在它们之间重合。
如图3所示，光束引导系统20对于每个光通道22a至22c具有光端接装置36a至36c。独立的光端接装置36a至36c优选地与每个单独的光通道22a至22c相关联。在相关光通道22a至22c中引导的激光辐射作为相关通道输出光束38a至38c经由相关光端接装置36a至36c出射。在这方面，恰好一个通道输出光束38a至38c与每个单独的光通道22a至22c相关联。
光端接装置36a至36c可以有利地由相关光通道22a至22c中的望远镜32的透镜来提供。优选地，相关望远镜32的输出侧透镜34b在相关光通道22a至22c中形成光端接装置36a至36c。
光束引导系统22可以被设计成使得通道输出光束38a至38c在离开相关的光端接装置36a至36c之后最初均在主方向40上延伸(参见图3)。特别地，可以想到，将光通道22a至22c设计成使得通道输出光束38a至38c相对于光轴(在主方向40上延伸的光轴)对称地布置。在图3的示例中，通道输出光束38a至38c在Y-Z平面中相对于中心通道输出光束38b轴向对称地延伸。在这方面，中间通道输出光束38b在系统光轴上的主方向40上延伸。然而，这样的实施例不是强制性的。同样有利的是，通道输出光束38a至38c彼此部分倾斜地延伸，特别是使得其形成会聚光束。
光学装置16还包括多个偏转体42a至42c。每个偏转体42a至42c与光通道22a至22c之一相关联。相关偏转体42a至42c的尺寸和布置使得偏转体仅捕获每个相关光通道22a至22c的通道输出光束38a至38c。特别地，相关的偏转体42a至42c布置在每个相关的光端接装置36a至36c的区域中。
偏转体42a至42c优选设计为光学传输系统，即，具有传输效果的光学体。然而，也可以想到，将偏转体42a至42c各自设计为光学反射系统，特别是反射镜的组合布置。偏转体作用在各自相关的通道输出光束38a至38c上，使得由偏转体42a至42c捕获的通道输出光束38a至38c偏转到光学装置16的聚焦区域44，并且在那里形成组合光束18的束腰46。
特别地，相关的捕获通道输出光束38a至38c通过在偏转体42a至42c的边界表面处的折射而偏转。特别地，每个偏转体具有光入射表面48，通过该光入射表面48，每个捕获的通道输出光束38a至38c被耦合到相关联的偏转体42a至42c中。偏转体42a至42c还具有光出射表面50，通过该光出射表面50，被捕获和耦合的通道输出光束38a至38c再次离开偏转体42a至42c，然后具有朝向聚焦区域44的方向分量。这尤其可以通过将光出射表面相对于光入射表面倾斜定向来实现。
在所示的示例中，将偏转体42a至42c设计成光学棱镜形式的单块体。
如果恰好一个偏转体42a至42c与每个光通道22a至22c相关联(参见图3)，则可能是有利的。这使得可以精确地调整每个通道输出光束38a至38c的传播方向，从而影响束腰46中组合光束18的特性。
然而，也可以有利地仅为光通道22a至22c设置偏转体42a至42c，对于光通道22a至22c，出射通道输出光束38a至38c不在期望的聚焦区域44的方向上传播。通过图4中的示例描绘了相应的实施例。通过中心光通道22b的光端接装置36b出射的通道输出光束38b已经在系统的光轴上沿主方向40延伸，并且对准聚焦区域44。在这方面，不需要通过偏转体的偏转。然而，对于边缘侧光通道36a和36c，设置了相应的相关偏转体42a和42c。该实施例获得紧凑的光束组合系统24。
为了准备组合光束18以耦合到随后的光束变换元件28中，光学装置16可以包括透镜装置52。特别地，该透镜装置可以设计为准直透镜52，其用于将组合光束18准直和/或将其相对于主方向40平行化。准直透镜52优选地布置在光束腰46之后的光束路径中。准直透镜52优选完全捕获组合光束18，并且在这方面特别地与束腰46区域中的发散角相协调。
准直透镜优选设计为限定焦平面54的会聚透镜。特别地将准直透镜52布置成使得焦平面54延伸穿过束腰46。结果，可以实现组合光束18在穿过准直透镜52之后被平行化，并且在这方面，进入具有小发散角的后续光束变换元件28。还可以想到，准直透镜被设计为漫射透镜，其被布置在束腰46前面的光束路径中。
通道输出光束38a至38c原则上也可以通过单个柱面透镜56偏转，该柱面透镜56布置在光端接装置36a至36c之后的光束路径中(参见图6)。
柱面透镜56特别用于在光通道22a、22b、22c彼此相邻布置的平面中对光进行集束。在这方面，柱面透镜56优选地具有垂直于光通道22a至22c彼此相邻延伸的平面而延伸的轴线。
柱面透镜56的尺寸优选为使得所有的通道输出光束38a至38c被聚焦区域44捕获并聚集，并在那里形成束腰。这样的实施例形成了特别简单的光束组合系统24'，其中可以基本上省去柱面透镜56的附加部件(参见图6)。
特别地，当选择具有大焦距的柱面透镜56时，组合光束18在束腰46的区域中具有小的发散角，然后被直接馈送到随后的光束变换元件28。
结合图6描述的光束组合系统24'具有变形效应，因此在垂直于光束组合平面的截面中几乎不影响组合光束18的光束特性(参见图5)。
图1-6示出了光学装置16，举例来说，其将三个光通道22a-22c中的激光束合并以形成组合光束18。这个实施例不是强制性的。特别地，可以不同地选择布置中的光通道的数量。
参照图7-9对其进行说明，图7-9各示出了使用两个光通道工作的光学装置16。激光束例如分成两组延伸，每组包括两个激光束。出于说明的目的，仅描述了在光通道22a、22b中具有两个激光束14a、14b的一个组。
类似于图1中的实施例，光学装置16中的激光束14a和14b最初在光束引导系统20中延伸，光束引导系统20提供两个独立的光通道22a、22b。在光通道22a和22b中引导的激光束14a和14b转移到光束组合系统24中，并在其中被组合以形成组合光束18。然后，组合光束18又被引导通过光束变换元件28，光束变换元件28有助于将组合光束18整形为期望的线性有用光分布L。
相关的通道输出光束38a或38b通过相关光通道22a或22b的光端接装置36a或36b出射(参见图8)。在所示示例中，偏转体42a或42b与每个光通道22a或22b相关联，使得通道输出光束以所述方式合并以形成束腰46。
在图9中示出了在具有两个光通道22a和22b的布置的情况下，通过柱面透镜56偏转通道输出光束36a和36b。柱面透镜56被布置在跟随光学端接装置36a和36b的光束路径中，并且捕获两个光通道22a和22b。

Claims (13)

1.一种激光系统(10)，其用于产生具有线性光束截面的有用光分布(L)，所述激光系统(10)包括:
-至少两个激光光源(12a-12f)，其中，每个激光光源(12a-12f)被设计为发射至少一个激光束(14a-14f)；
-光学装置(16)，其用于将来自至少两个激光光源(12a-12f)的激光束(14a-14f)转换成具有光束腰(46)的组合光束(18)，
其中，所述光学装置(16)包括光束引导系统(20)，所述光束引导系统(20)被设计为使得为所述激光束(14a-14c)设置至少两个单独的光通道(22a-22c)，其中，每个光通道(22a-22c)包括用于出射相关光通道(22a-22c)的通道输出光束(38a-38c)的光端接装置(36a-36c)，
其中，设置仅与一个光通道(22a-22c)相关联的至少一个偏转体(42a-42c)，其中，所述偏转体(42a-42c)被设计为使得仅捕获所述相关光通道(22a-22c)的所述通道输出光束(38a-38c)，并且使捕获的所述通道输出光束(38a-38c)在聚焦区域(44)的方向上偏转，
其中，所述激光系统(10)被布置成使得所述激光光源(12a-12f)的所述激光束(14a-14f)被转换成组合光束(18)；
-光学整形系统(26)，其用于从所述组合光束(18)形成线性强度轮廓，
其中，所述光学整形系统(26)布置在所述组合光束(18)的所述光束腰(46)之后的光束路径中，
其中，所述光学整形系统(26)包括光束变换元件(28)，所述光束变换元件各向异性地改变所述组合光束(18)的光束属性，
其中，设置有透镜装置(52)，所述透镜装置(52)布置在跟随所述光束腰(46)的光束路径中或者布置在所述光束腰(46)中，其中，所述透镜装置被设计为至少在一侧具有焦平面(54)或焦直线的准直透镜(52)，并且其中，所述准直透镜(52)被布置成使得所述焦平面(54)或焦直线延伸穿过所述聚焦区域(44)。
2.根据权利要求1所述的激光系统(10)，其中，至多一个偏转体(42a-42c)与一个光通道(22a-22c)相关联。
3.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，为每个光通道(22a-22c)设置一个偏转体(42a-42c)。
4.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，当通过光通道(22a、22c)的所述光端接装置(36a、36c)出射的所述通道输出光束(38a、38c)具有不指向所述聚焦区域(44)的方向的传播方向时，偏转体(42a-42c)仅与该光通道(22a-22c)相关联。
5.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述光束引导系统(20)被设计为使得从所述光通道(22a-22c)出射的所述通道输出光束(38a-38c)均具有平行于公共主方向(40)的传播方向。
6.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述偏转体(42a-42c)被设计为光学传输系统，其中，所捕获的通道输出光束(38a-38c)经由所述偏转体的光入射表面(48)辐射到所述偏转体(42a-42c)中，并且通过所述偏转体的光出射表面(50)从所述偏转体(42a-42c)出射。
7.根据权利要求6所述的激光系统(10)，其中，所述光入射表面(48)相对于所述光出射表面(50)倾斜地延伸。
8.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述偏转体(42a-42c)由对于所述激光束透明的材料整体地形成。
9.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述偏转体(42a-42c)被设计为使得：在由所述偏转体(42a-42c)偏转之前和之后，所捕获的通道输出光束(38a-38c)的发散度不变。
10.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述偏转体(42a-42c)被设计为光学棱镜。
11.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，所述偏转体(42a-42c)被设计为光学反射系统。
12.根据权利要求1或2所述的激光系统(10)，其中，每个光通道(22a-22c)中的所述光束引导系统(20)包括用于光束形成的望远镜(32)，并且其中，所述光端接装置(36a-36c)是每个光通道(22a-22c)中的所述望远镜(32)的部件。
13.根据权利要求12所述的激光系统(10)，其中，所述望远镜(32)被设计为变形望远镜。
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