CN112309917A - 加热组件和硅片加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种加热组件和硅片加工设备。加热组件包括：板体；加热件，设于板体的底部；板体的顶部设有应力槽，其中，应力槽为盲槽。通过本发明的技术方案，有效地提升了加热组件的温度均匀性，减少了板体变形的现象，还延长了加热件的使用寿命，提升加热件工作的稳定性。

Description

加热组件和硅片加工设备

技术领域

本发明涉及到太阳能电池生产技术领域，具体而言，涉及一种加热组件和一种硅片加工设备。

背景技术

在PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜设备中，硅片进行镀膜工艺时，载板上硅片的温度和其整体均匀性直接影响着硅片上的成膜效果，进而最终影响电池片的转化效率，而硅片的温度和均匀性主要由设备内部的加热器决定。

在PECVD镀膜设备中，为了高产能，放置硅片的载板越来越大，相应地，铝板加热器也跟着越来越大。由于铝板的热膨胀系数大，铝板加热器会因为铝板上下表面存在的温度差而膨胀大小不均，引起应力集中，导致铝板变形。同时由于铝板加热器上几个加热区间的相互干扰，铝板加热器上的整体温度均匀性越来越难得到保证。另外，由于工艺气体中存在腐蚀性气体，加热器中的加热丝会被腐蚀生锈，严重影响了加热器的加热效果。

发明内容

根据本发明的实施例旨在至少改善现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

有鉴于此，根据本发明的实施例的一个目的在于提供一种加热组件。

根据本发明的实施例的另一个目的在于提供一种硅片加工设备。

为了实现上述目的，根据本发明第一方面的实施例提供了一种加热组件，包括：板体；加热件，设于板体的底部；板体的顶部设有应力槽，其中，应力槽为盲槽。

在该技术方案中，通过在板体的顶部设置应力槽，便于通过应力阻断因温差而产生的应力进行传递和集中，从而有利于减少板体因为应力引起的变形，有利于提升板体上温度的均匀性。

具体地，在板体的底部设置加热件，可以为板体提供热源，从而实现加热的功能。加热件设置在板体的底部，而不是设置在板体的顶部，可以避免与板体顶部的待加热的硅片直接接触，从而避免温度过高导致硅片损坏。同时，加热件设置在板体的底部，还可以通过板体传递热量，提升板体本身温度的均匀性，从而确保加热组件上的多个硅片可以得到均匀的加热。应力槽设置在板体的顶部，可以阻断温度应力的集中和传递，减少板体的变形，提升板体的温度均匀性。应力槽设置为盲槽，使得板体在应力槽的位置处，厚度相对减薄，可以起到阻断应力，减少应力集中的作用，同时又使得板体依然具有一定的连续性，有利于热量的传递，提升板体温度的均匀性。

在上述技术方案中，应力槽的数量为多个，多个应力槽中，一部分应力槽在板体上横向设置，另一部分应力槽在板体上纵向设置。

在该技术方案中，将应力槽的数量设置为多个，且一部分应力槽在板体上横向设置，另一部分应力槽在板体上纵向设置，即多个应力槽中，设置的方向不完全相同。通过将多个应力槽的方向沿不同方向设置，有利于减弱板体上各个方向的应力，进一步地减小板体因温差而发生的变形。

在上述任一项技术方案中，板体的底部还设有收纳槽，加热件设于收纳槽内。

在该技术方案中，通过在板体的底部设置收纳槽，并将加热件设置在收纳槽内，可以减小板体整体占用的空间。另外，加热件设置在收纳槽内，增加了加热件与板体之间的接触面积，有利于提升加热件所产生的热量被板体吸收的数量，从而提升加热效率。

在上述任一项技术方案中，板体的底部还设有多个加热区；每个加热区上分别设有加热件；板体上还设有隔断槽，相邻的加热区之间设有隔断槽，隔断槽贯穿板体的顶部和底部。

在该技术方案中，隔断槽贯穿板体的顶部和底部，即隔断槽为通槽。通过设置隔断槽，也就是通槽，使各加热区之间仅有少量连接，减少了各加热区之间的热量传递，可以减少各加热区之间的相互干扰。另外，隔断槽的设置，有利于进一步地减少应力集中、传递现象，从而减少板体的变形。还需要指出的是，通过设置多个加热区，从而在板体上不同的位置产生不同的加热效果，提升板体上整体温度的均匀性。

在上述技术方案中，隔断槽的数量为多个，多个隔断槽间隔地分布。

在该技术方案中，通过设置多个隔断槽，且多个隔断槽间隔地分布，可以避免单个隔断槽长度过长而导致板体强度大幅减弱。另外还可以灵活设置隔断槽的位置、数量，提升板体上温度的均匀性。

在上述技术方案中，多个加热区在板体上由内向外依次分布。

在该技术方案中，多个加热区在板体上由内向外依次分布，而非左右方向或前后方向分布，有利于避免板体一端过热，而另一端过冷的现象，从而提升板体的温度均匀性。

在上述技术方案中，多个加热区中的加热件的数量，由内向外逐渐增加。

在该技术方案中，加热件的数量，由内向外逐渐增加，有利于提升板体温度的均匀性。具体而言，由于板体外部和空气接触面积更大，因此与空气所产生的热量交换更多，要保持板体温度的均匀性，就需要板体上越靠近边缘的部分，所需要的补充的热量越多。因此通过将加热件的数量由内向外地增多，有利于为板体上靠近边缘的部分补充更多的热量，从而提升板体上温度的均匀性。

在上述任一项技术方案中，加热组件还包括：隔气件，设于板体的底部，并覆盖在收纳槽上，隔气件用于防护加热件。

在该技术方案中，通过设置隔气件防护加热件，在工艺处理过程中，有利于减少加工腔体内的腐蚀性气体对加热件的侵蚀，延长加热件的使用寿命，提升加热件工作的稳定性和加热效果。隔气件覆盖在收纳槽上，有利于阻隔工艺气体，形成对隔气件的防护。

在上述技术方案中，加热组件还包括：出线密封法兰，设于板体的底部，加热件的两端从出线密封法兰处引出。

在该技术方案中，通过设置出线密封法兰，并将加热件的两端从出线密封法兰处引出，便于加热件和电源连接，以便通过电能向热能的转化实现加热件的加热功能。同时，出线密封法兰的设置，在安装加热组件到加工腔体中时，有利于密封加工腔体，避免普通的大气进入加工腔体内。

根据本发明第二方面的实施例提供了一种硅片加工设备，包括：加工腔体；如上述第一方面中任一项技术方案的加热组件，至少部分加热组件设于加工腔体内，加热组件用于在加工腔体内加热硅片。

在该技术方案中，通过采用上述任一项技术方案的加热组件，从而具有了上述技术方案的全部有益效果，在此不再赘述。通过设置加工腔体，便于在对硅片进行加热时，提供一个相对封闭的环境，减少热量的散失，提升加热效率。另外，通过加工腔体的设置，还可以在加工腔体内填充特殊的工艺气体，以实现在加热的同时，对硅片产生其它加工效果。加工腔体的设置，还可以减少外界杂质的干扰，确保加工环境符合工艺要求。

根据本发明的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根据本发明的实施例的实践了解到。

附图说明

图1是根据本发明提供的一个实施例的加热组件的局部结构示意图；

图2是图1中的A-A方向的剖视结构示意图；

图3是图2中的B部的放大结构示意图；

图4是根据本发明提供的一个实施例的加热组件的剖视结构示意图；

图5是图4中的C部的放大结构示意图；

图6是根据本发明提供的一个实施例的硅片加工设备的剖视结构示意图。

其中，图1至图6中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10加热组件，100板体，102应力槽，104收纳槽，106隔断槽，110第一加热区，112第二加热区，114第三加热区，140加热件，160隔气件，180出线密封法兰，20硅片加工设备，200加工腔体，202支撑柱。

具体实施方式

为了可以更清楚地理解根据本发明的实施例的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对根据本发明的实施例进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，根据本发明的实施例的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解根据本发明的实施例，但是，根据本发明的实施例还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，根据本发明的实施例提供的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图6描述根据本发明提供的一些实施例。

如图1至图5所示，根据本发明第一方面的实施例提供的一种加热组件10，用于加热硅片。如图4和图5所示，加热组件10包括板体100和加热件140。加热件140设于板体100的底部。板体100的顶部设有应力槽102。其中，应力槽102为盲槽。

在该实施例中，通过在板体100的顶部设置应力槽102，便于通过应力阻断因温差而产生的应力进行传递和集中，从而有利于减少板体100因为应力引起的变形，有利于提升板体100上温度的均匀性。

如图2所示，需要指出的是，板体100的顶部和底部设置在板体100的厚度方向上。

如图5所示，具体地，在板体100的底部设置加热件140，可以为板体100提供热源，从而实现加热的功能。加热件140设置在板体100的底部，而不是设置在板体100的顶部，可以避免与板体100顶部的待加热的部件直接接触，从而避免温度过高导致部件损坏。同时，加热件140设置在板体100的底部，还可以通过板体100传递热量，提升板体100本身温度的均匀性，从而确保加热组件10上的多个硅片可以得到均匀的加热。应力槽102设置在板体100的顶部，可以阻断温度应力的集中和传递，减少板体100的变形，提升板体100的温度均匀性。应力槽102设置为盲槽，使得板体100在应力槽102的位置处，厚度相对减薄，可以起到阻断应力，减少应力集中的作用，同时又使得板体100依然具有一定的连续性，有利于热量的传递，提升板体100温度的均匀性。

进一步地，应力槽102的数量为多个。多个应力槽102中，一部分应力槽102在板体100上横向设置，另一部分应力槽102在板体100上纵向设置。

在该实施例中，将应力槽102的数量设置为多个，且一部分应力槽102在板体100上横向设置，另一部分应力槽102在板体100上纵向设置，即多个应力槽102中，设置的方向各不相同。通过将多个应力槽102的方向沿不同方向设置，有利于减弱板体100上各个方向的应力，进一步地减小板体100因温差而发生的变形。

在另一些实施例中，多个应力槽102全部横向设置或全部纵向设置。

需要指出的是，横向设置和纵向设置，在根据本发明的实施例中，横向和纵向的具体方向并没有具体限定，仅仅是表示多个应力槽102的方向设置不同。

如图2和图3所示，在上述任一项实施例中，板体100的底部还设有收纳槽104。加热件140设于收纳槽104内。

在该实施例中，通过在板体100的底部设置收纳槽104，并将加热件140设置在收纳槽104内，可以减小板体100整体占用的空间。另外，加热件140设置在收纳槽104内，增加了加热件140与板体100之间的接触面积，有利于提升加热件140所产生的热量被板体100吸收的数量，从而提升加热效率。

在一些实施例中，加热件140为加热丝。如图1所示，收纳槽104在板体100上曲折迂回地设置，加热丝相应地随着收纳槽104的形状而曲折迂回地设置。通过收纳槽104曲折迂回地设置，可以仅用一根加热丝即可实现对板体100的大部分位置进行加热的目的，而采用一根加热丝，则仅需要一个电源即可实现加热丝加热的目的，有利于简化结构。

在另一些实施例中，加热件140的数量为多个，多个加热件140各自独立设置。可以理解，收纳槽104仍然可以只有一个，一个收纳槽104内设有多个加热件140。或收纳槽104的数量为多个，每个收纳槽104内设有一个加热件140。

在上述任一项实施例中，板体100的底部还设有多个加热区。每个加热区上分别设有加热件140。且相邻的加热区上设置的加热件140的数量不同。如图1和图3所示，板体100上还设有隔断槽106。相邻的加热区之间设有隔断槽106，隔断槽106贯穿板体100的顶部和底部。

在该实施例中，隔断槽106贯穿板体100的顶部和底部，即隔断槽106为通槽。通过设置隔断槽106，也就是通槽，使各加热区之间仅有少量连接，减少了各加热区之间的热量传递，可以减少各加热区之间的相互干扰。另外，隔断槽106的设置，有利于进一步地减少应力集中、传递现象，从而减少板体100的变形。还需要指出的是，通过设置多个加热区，且各加热区的加热件140数量不同，也就是说，可以根据板体100的大小、形状、材质、壁厚等因素，在板体100上不同的位置设置不同数量的加热件140，从而在板体100上不同的位置产生不同的加热效果，提升板体100上整体温度的均匀性。

需要留意的是，相邻的加热区上设置的加热件140的数量不同，此处的数量，并不能简单地理解为个数，或者说此处数量的定义，不仅限于个数，还可以是长度、面积等。

在另一些实施例中，相邻的加热区上设置的加热件140的数量相同，但是加热件140的类别可能不同，因此具有不同的加热功率，从而达到相邻加热区的加热效果不同的目的。在又一些实施例中，相邻的加热区上设置的加热件140的数量相同，但是加热件140的加热方式不同。

如图1所示，具体而言，例如加热件140为加热丝。板体100上设有第一加热区110、第二加热区112和第三加热区114。加热丝只有一根，一根加热丝在整个板块上曲折迂回地设置，且在不同的加热区，该加热丝曲折迂回的次数不同，长度也就不同，相应地加热效果不同。

在上述实施例中，隔断槽106的数量为多个。多个隔断槽106间隔地分布。间隔分布的隔断槽106，可以避免单个隔断槽106长度过长而导致板体100强度大幅减弱。另外还可以灵活设置隔断槽106的位置、数量，提升板体100上温度的均匀性。

在上述实施例中，多个加热区在板体100上由内向外依次分布。具体如图1所示，板体100上由内向外设有第一加热区110、第二加热区112和第三加热区114。

在该实施例中，多个加热区在板体100上由内向外依次分布，而非左右方向或前后方向分布，有利于避免板体100一端过热，而另一端过冷的现象，从而提升板体100的温度均匀性。

进一步地，多个加热区中的加热件140的数量，由内向外逐渐增加。具体而言，在一些实施例中，加热件140为加热丝，加热丝在板体100上迂回曲折地分布。第一加热区110中，加热丝迂回曲折的次数少，密度小，单位面积内，加热丝的长度最少。第三加热区114中，加热丝迂回曲折的次数多，单位面积内，加热丝的密度大，长度最长。

在该实施例中，加热件140的数量，由内向外逐渐增加，有利于提升板体100温度的均匀性。具体而言，由于板体100外部和空气接触面积更大，因此与空气所产生的热量交换更多，要保持板体100温度的均匀性，就需要板体100上越靠近边缘的部分，所需要的补充的热量越多。因此通过将加热件140的数量由内向外地增多，有利于为板体100上靠近边缘的部分补充更多的热量，从而提升板体100上温度的均匀性。

如图4和图5所示，在上述任一项实施例中，加热组件10还包括隔气件160。隔气件160设于板体100的底部，并覆盖在收纳槽104上。隔气件160用于防护加热件140。

在一些实施例中，隔气件160与板体100采用相同的材质体。例如板体100和隔气件160都为铝材质体。进一步地，隔气件160的面积和板体100相同，这样可以直接覆盖板体100上所有的收纳槽104，结构简单，易于生产加工。另外，隔气件160的面积与板体100相同，整块地覆盖在板体100上，起到加强的作用，有利于提升板体100的强度，减少板体100的变形。

在该实施例中，通过设置隔气件160防护加热件140，工艺处理过程中，有利于减少加工腔体200内的腐蚀性气体对加热件140的侵蚀，延长加热件140的使用寿命，提升加热件140工作的稳定性和加热效果。隔气件160覆盖在收纳槽104上，有利于阻隔工艺气体，形成对隔气件160的防护。

在另一些实施例中，隔气件160的数量为多个，每个隔气件160单独覆盖一个收纳槽104。

如图2和图4所示，在上述实施例中，加热组件10还包括出线密封法兰180。出线密封法兰180设于板体100的底部。加热件140的两端从出线密封法兰180处引出。

在该实施例中，通过设置出线密封法兰180，并将加热件140的两端从出线密封法兰180处引出，便于加热件140和电源连接，以便通过电能向热能的转化实现加热件140的加热功能。同时，出线密封法兰180的设置，在安装加热组件10到加工腔体200中时，有利于密封加工腔体200，避免普通的大气进入加工腔体200内。

如图6所示，根据本发明第二方面的实施例提供了一种硅片加工设备20，包括：加工腔体200和如上述第一方面中任一项实施例的加热组件10。至少部分加热组件10设于加工腔体200内。加热组件10用于在加工腔体200内加热硅片。

在该实施例中，通过采用上述任一项实施例的加热组件10，从而具有了上述实施例的全部有益效果，在此不再赘述。通过设置加工腔体200，便于在对硅片进行加热时，提供一个相对封闭的环境，减少热量的散失，提升加热效率。另外，通过加工腔体200的设置，还可以在加工腔体200填充特殊的工艺气体，以实现在加热的同时，对硅片产生其它加工效果。加工腔体200的设置，还可以减少外界杂质的干扰，确保加工环境符合工艺要求。

如图6所示，加热组件10的出线密封法兰180设于加工腔体200外，并用于密封加工腔体200。

根据本发明提出的一个具体实施例的加热组件10，包括板体100，板体100采用铝材质体或铁材质体或铜材质体。板体100上加工出应力槽102，防止应力集中。应力槽102为盲槽。同时板体100上按加热区分布范围加工出通穿的隔断槽106，用于减少加热区间的物理联系。在嵌装加热丝的板体100的底部贴装一块薄板作为隔气件160，用于保护加热丝，减少加热丝和腐蚀性气体的接触。

本具体实施例中，铝材质体的板体100上，背面，也就是底部根据设计的加热区分布加工出收纳槽104，收纳槽104内用于嵌装加热丝。板体100正面，也就是板体100的顶部加工出横竖交叉的应力槽102。这样，当板体100膨胀时，由于应力槽102的存在，大大减少了由于板体100上的应力集中而导致的板体100不规则上翘等变形。

本具体实施例中，铝材质体的板体100，根据加热区部分范围加工出一段段通穿的隔断槽106，使各加热区间只有少量间断的连接，从而大大减弱了不同加热区间对应板体100的热传递，使不同加热区间的干扰大大降低，整板温度均匀性更好的得到保证。

本具体实施例的加热组件10，在嵌装加热丝的板体100的面上贴装一块铝薄板，也就是在板体100的底部设置了一块隔气件160。这样，使加热丝封闭在板体100和隔气件160之间，大大减少加热丝和腐蚀性气体的接触。加热丝腐蚀情况大大减缓，保证良好加热效果的同时，板体100寿命得到延长。

如图4和图5所示，加热组件10包括加热丝(即加热件140)、隔气件160、出线密封法兰180。加热丝为热源，板体100为对外热辐射物，板体100的背面加工有一圈圈加热丝槽，也就是收纳槽104。加热丝嵌装于加热丝槽内部。

加热组件10设置在硅片加工设备20中时，硅片加工设备20包括支撑柱202、板体100通过支撑柱202支撑、并固定于加工腔体200(或其他固定物)内部。加热组件10通过出线密封法兰180实现腔体(或其他固定物)内部真空环境和大气间的隔绝。

如图3和图5所示，板体100的顶部加工有横竖交叉的应力槽102，深度为4mm～6mm，例如4mm、5mm或6mm，具体根据板厚不同而不同。加热件140嵌装于板体100的底部上的收纳槽104内，当加热件140发热时，给板体100加热。由于板体100的底部和顶部会存在温差，由于应力槽102的存在，大大减少了板体100上的应力集中而出现的板体100不规格变形。

如图1所示，板体100上，在第一加热区110和第二加热区112之间、第二加热区112和加热区之间，加工有多个隔断槽106。具体地，第一加热区110的周向上设有多个连续间断的隔断槽106。第二加热区112的周向上同样设有多个连续间断的隔断槽106。隔断槽106穿透整个板体100厚度，大大减少了各加热区之间的物理连接，大大的改善了各加热区间的相互温度干扰问题，使板体100整体上更加温度均匀，也便于调节。

如图5所示，在板体100的底部贴紧安装有隔气件160，加热件140被封闭保护于板体100和隔气件160之间。板体100为铝板，隔气件160为铝薄板，两者材质相同。通过设置隔气件160，大大降低了加热件140和工艺时出现的腐蚀性气体之间的接触，加热件140的腐蚀生锈情况得到很大改善，大大的改善了加热性能和加热组件10的寿命。

加热组件10可通过固定装置，例如支撑柱202固定在加工腔体200任一侧壁、顶面或底面上。隔断槽106为贯穿槽，贯穿板体的底部和顶部，故隔断槽106设置位置应避开加热丝槽的设置位置。

如图1所示，隔断槽106可以环形布设，板体100至少设置一道环形隔断槽106，板体100被分隔为两个加热区。或者环形隔断槽106可设置为2道，板体100被分隔成3个加热区。

以上结合附图详细说明了根据本发明提供的实施例，通过上述实施例，有效地提升了加热组件的温度均匀性，减少了板体变形的现象，还延长了加热件的使用寿命，提升加热件工作的稳定性。

在根据本发明的实施例中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在根据本发明的实施例中的具体含义。

根据本发明的实施例的描述中，需要理解的是，术语“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述根据本发明的实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对根据本发明的实施例的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于根据本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为根据本发明的优选实施例而已，并不用于限制根据本发明的实施例，对于本领域的技术人员来说，根据本发明的实施例可以有各种更改和变化。凡在根据本发明的实施例的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在根据本发明的实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种加热组件，其特征在于，包括：

板体(100)；

加热件(140)，设于所述板体(100)的底部；

所述板体(100)的顶部设有应力槽(102)，

其中，所述应力槽(102)为盲槽。

2.根据权利要求1所述的加热组件，其特征在于，

所述应力槽(102)的数量为多个，多个所述应力槽(102)中，一部分所述应力槽(102)在所述板体(100)上横向设置，另一部分所述应力槽(102)在所述板体(100)上纵向设置。

3.根据权利要求1或2所述的加热组件，其特征在于，

所述板体(100)的底部还设有收纳槽(104)，所述加热件(140)设于所述收纳槽(104)内。

4.根据权利要求1或2所述的加热组件，其特征在于，

所述板体(100)的底部还设有多个加热区；

每个所述加热区上分别设有所述加热件(140)；

所述板体(100)上还设有隔断槽(106)，相邻的所述加热区之间设有所述隔断槽(106)，所述隔断槽(106)贯穿所述板体(100)的顶部和底部。

5.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，

所述隔断槽(106)的数量为多个，多个所述隔断槽(106)间隔地分布。

6.根据权利要求4所述的加热组件，其特征在于，

多个所述加热区在所述板体(100)上由内向外依次分布。

7.根据权利要求6所述的加热组件，其特征在于，

多个所述加热区中的所述加热件(140)的数量，由内向外逐渐增加。

8.根据权利要求3所述的加热组件，其特征在于，还包括：

隔气件(160)，设于所述板体(100)的底部，并覆盖在所述收纳槽(104)上，所述隔气件(160)用于防护所述加热件(140)。

9.根据权利要求8所述的加热组件，其特征在于，还包括：

出线密封法兰(180)，设于所述板体(100)的底部，所述加热件(140)的两端从所述出线密封法兰(180)处引出。

10.一种硅片加工设备，其特征在于，包括：

加工腔体(200)；

如权利要求1至9中任一项所述的加热组件，至少部分所述加热组件设于所述加工腔体(200)内，所述加热组件(10)用于在所述加工腔体(200)内加热硅片。

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