CN112302914B - 一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法。波纹管中包含位移传感器，检测波纹管的位置，还包含压力传感器，检测工作腔或泵腔或排液流道的压力。结合位移反馈和压力反馈，能够判断波纹管的行程是否超出设定范围以及超出设定范围的原因，在此基础上可以实现实时反馈调节。

Description

一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法
技术领域
本发明属于泵技术领域，涉及一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法。
背景技术
在半导体制造、高纯化工以及生物医药等领域中，有很多场合需要使用高纯度流体。作为一种流体动力源，波纹管泵由于其产生污染少的特点，在高纯流体系统中具有广泛应用。波纹管泵的基本原理是通过改变柔性泵腔的容积的办法将流体从管道中吸入泵腔或者从泵腔中挤入管道，从而产生周期性的流体驱动力。由于产生动力的方式来自于泵腔的形变，不会产生滑动摩擦，所以不会因为摩擦产生污染颗粒物，也不会因为滑动运动副的存在导致污染物从滑动间隙中迁移进入泵腔中，显著减少了污染物的来源，是一种特别适用于高纯流体系统中的流体部件。
常规的波纹管泵，泵壳底部设置工作流体入口，通过向一对工作腔交替导入工作流体，使得一对波纹管交替压缩和伸长，从而达到往复泵送流体的目的。泵壳外侧固定设置有接近开关，当波纹管运动到设定位置时，接近开关被触发，电磁换向阀通过接收来自接近开关的反馈信号确定换向动作的时机，从而控制工作流体的流动去向。
由于接近开关的触发、控制器接收/发射信号以及电磁换向阀的换向动作都需要时间，所以上述使用接近开关触发电磁换向阀的方案存在严重的滞后现象，波纹管的运动范围将超出设定位置。如果波纹管的运动行程过大，则波纹管的形变过大甚至与其他组件发生碰撞，会降低使波纹管的使用寿命；如果波纹管的行程过小，则泵腔内流体的更新率过低，会增加波纹管内滋生微生物的可能性，使得维护周期变短。通过位移传感器监测波纹管的位置并相应地调整压缩空气的供给量，可以一定程度上补偿波纹管超出设定范围的行程。但实际波纹管超出设定范围的行程不是固定不变的，还与工作腔的压力和负载压力等因素有关。仅采用位移传感器起到的行程补偿作用有限。
发明内容
本发明的目的就是提供一种具有行程补偿功能的波纹管泵及其行程补偿方法。本发明结合位移和压力监测手段，对波纹管的行程进行校正，避免其行程超过设定范围。
一种波纹管泵的行程补偿方法，包括校正行程步骤和连续运行步骤，具体包括：
步骤一、在运行波纹管时，首先执行校正行程步骤，校正行程步骤在波纹管每次连续运行的第一个或前几个冲程中执行，也能在工况不变的多次连续运行中的第一次运行之前执行。具体如下：
步骤1.1、设定远泵头端目标位置s1和近泵头端目标位置s2，使电磁换向阀在波纹管端面位置达到s1或s2时换向。运行波纹管泵转移流体。
步骤1.2、位移传感器记录波纹管端面的实际位置数据，计算超越行程sa。压力传感器监测标定行程中的工作腔压力。
步骤1.3、将电磁换向阀换向时波纹管的对应位置提前sr。继续运行波纹管泵。
步骤1.4、判断波纹管的实际行程是否符合期望，如果符合期望，记录校正行程sr以及波纹管位置和工作腔压力在标定行程中的变化数据，完成行程标定；如果不符合期望，则重复步骤1.1至步骤1.4，直至波纹管的实际行程符合期望。
步骤二、在设置好校正行程sr，波纹管泵进入连续运行状态后,具体运行步骤如下：
步骤2.1、按照校正行程sr运行波纹管泵转移流体，在波纹管的每个冲程中，利用位移传感器监测波纹管端面实际的行程，利用压力传感器监测工作腔的压力。
步骤2.2、判断波纹管的端面是否按照标定行程的位置变化规律运动。，如果按照标定行程运动，则保持校正行程sr不变；如果没有按照标定行程运动，则按照下述步骤2.3或步骤2.4调整。
步骤2.3、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机提前，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则增大校正行程sr。
步骤2.4、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机落后，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则减小校正行程sr。
步骤2.5、按照经过步骤2.2至步骤2.4调整后的校正行程sr继续运行波纹管泵。
在步骤二中，波纹管的每个运动周期中进行多次执行步骤2.2至步骤2.5。
在进入步骤二之前，设置步骤2.3或步骤2.4中每次调整校正行程sr的最大幅度。
一种具有行程补偿功能的波纹管泵，包括泵头、泵壳、波纹管、脉动阻尼器、泵轴、接近开关、排液阀、吸液阀和连接杆。泵头设置在波纹管泵的中央，左泵壳和右泵壳以开口侧相对的方式分别固定设置在泵头两侧；左泵壳、右泵壳与泵头之间分别形成左工作腔和右工作腔；左波纹管和右波纹管分别固定设置在左工作腔和右工作腔中，左波纹管、右波纹管与泵头之间形成左泵腔和右泵腔。泵头中设置有转移流体的吸液流道和排液流道，吸液流道和排液流道中部隔断；吸液流道入口作为吸液口，排液流道出口作为排液口；吸液流道一端设置左吸液阀和右吸液阀，排液流道一端设置左排液阀和右排液阀。左右吸液阀入口与吸液流道顶部连接，左右吸液阀出口分别置于左泵腔和右泵腔内；左右排液阀入口分别置于左泵腔和右泵腔内，左右排液阀出口与排液流道底部连接；左右泵壳底部设置左右工作流体入口；
还包括位移传感器、压力传感器和控制器，位移传感器测量波纹管端面的位置；压力传感器测量工作腔工作流体的压力，或者监测泵腔或者排液流道内的转移流体压力；位移传感器监测到的位置信号和压力传感器监测到的压力信号传递至控制器，用于计算对波纹管运动行程的补偿量。
进一步的，所述的压力传感器设置于被位移传感器监测的波纹管同侧的工作腔内，并且监测该工作腔内工作流体的压力。
进一步的，在所述的左右波纹管各自设置一个位移传感器和压力传感器，分别监测左右波纹管的位置和左右工作腔内工作流体的压力。
进一步的，所述的压力传感器设置于被位移传感器监测的波纹管异侧的工作腔内，并且监测该工作腔内工作流体的压力。
进一步的，所述的压力传感器与位移传感器的安装位置关于泵头对称。
作为优选，所述波纹管的材料是聚四氟乙烯或可熔性聚四氟乙烯。
作为优选，所述泵头接触待转移液体的部分使用高洁净度不锈钢或者聚四氟乙烯或者可熔性聚四氟乙烯材料。
本发明波纹管中包含位移传感器，检测波纹管的位置，还包含压力传感器，检测工作腔或泵腔或排液流道的压力。行程补偿方法，包括行程校正步骤，还包括连续运行步骤。位移传感器和压力传感器的多种布置形式。结合位移反馈和压力反馈，能够更准确的判断波纹管的行程是否超出设定范围以及超出设定范围的原因；可以实现实时反馈调节。
附图说明
图1为本发明实施例的整体结构示意图；
图2为现有波纹管泵中工作腔压力与波纹管端面位置的变化规律示意图；
图3为现有波纹管泵中一种超越行程改变情况的示意图；
图4为现有波纹管泵中另一种超越行程改变情况的示意图；
图5为本发明涉及的一种波纹管泵行程补偿方法的原理示意图；
图6为本发明又一实施例的整体结构示意图；
图7为本发明涉及的一种波纹管泵行程补偿方法的校正行程步骤流程图；
图8为本发明涉及的一种波纹管泵行程补偿方法的连续运行步骤流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。
如图1所示，一种具有行程补偿功能的波纹管泵包括泵头1、泵壳2a(2b)、波纹管3a(3b)、泵轴7a(7b)、压力传感器11a(11b)、排液阀12a(12b)、吸液阀13a(13b)、连接杆14和连接板10a(10b)。
泵头1配置于内置脉动阻尼器型波纹管泵的中央，一对一侧有底圆筒状左泵壳2a和右泵壳2b以开口侧相对的方式分别固定设置在泵头1两侧；左泵壳2a、右泵壳2b与泵头1之间形成左工作腔6a和右工作腔6b；左波纹管3a和右波纹管3b分别固定设置在左工作腔6a和右工作腔6b中；左波纹管3a、右波纹管3b与泵头1之间形成左泵腔5a和右泵腔5b。所述左泵轴7a一侧与左波纹管3a有底一侧固定连接，另一侧与左连接板10a固定连接；右泵轴7b一侧与左波纹管3b有底一侧固定连接，另一侧与左连接板10b固定连接，左连接板10a和右连接板10b通过一对连接杆14固定连接。
泵头1中轴线设置有转移流体的吸液流道和排液流道，吸液流道和排液流道中部隔断；吸液流道入口作为吸液口16，排液流道出口作为排液口17。吸液流道顶部设置左吸液阀13a和右吸液阀13b，排液流道底部设置左排液阀12a和右排液阀12b。左右吸液阀入口与吸液流道顶部连接，左右吸液阀出口分别置于左泵腔5a和右泵腔5b内；左右排液阀入口分别置于左泵腔5a和右泵腔5b内，左右排液阀出口与排液流道底部连接。
左右泵壳底部设置左右工作流体入口23a(23b)，本实施例中将气体作为工作流体源的工作流体。左右泵壳底部左右工作流体入口间设置换向阀19，根据需要控制换向阀19将压缩气体的流动去向在左工作腔6a与右工作腔6b之间进行切换。
在左泵壳2a上设置左位移传感器11a，检测左法兰板4a的位置；在左泵壳2a上设置左压力传感器22a，监测左工作腔6a的压力；同样地，在右泵壳2b上设置右位移传感器11b，检测右法兰板4b的位置；在右泵壳2b上设置右压力传感器22b，监测右工作腔6b的压力。位移传感器和压力传感器的电信号传递至控制器21。
工作原理如下：当压缩空气流向左工作腔时，左工作腔内的压力上升，压力作用于左泵腔，使左泵腔内的压力上升，进而使左吸液阀关闭，左排液阀打开，待转移的液体自左泵腔通过左排液阀从排液口排出。另一方面，由于上下连接杆将左右波纹管联动在一起，使右波纹管伸长，从而导致右泵腔内的压力下降，进而使右吸液阀打开，右排液阀关闭，待转移的液体通过吸液阀从吸液口导入右泵腔。如上述的，利用换向阀将压缩空气的流动方向在左右工作腔之间进行切换，使得左右波纹管反复交替伸缩，实现左右泵腔连续不断的吸液与排液动作。
参考图1和图2，波纹管在工作腔内的伸缩长度受到工作腔及其内部的位移传感器、吸液阀和排液阀等器件的约束。当波纹管泵处于待机状态时，左工作腔和右工作腔的压力相等，均为p0；如果向左工作腔供给压缩空气，左工作腔的压力将从p0上升至p2，同时压缩左波纹管，使左法兰板的位置由平衡位置s0移动至近泵头位置s2；在常规技术中，左位移传感器检测左法兰板到达位置s2时，控制器判断达到换向时机31，电磁换向阀改变方向，向右工作腔供给压缩空气，此后左工作腔的压力逐渐降低。由于从左位移传感器检测到位置信号，到电磁阀接收到换向信号并执行换向动作之间存在时间延迟；并且电磁阀换向后左工作腔和右工作腔内的相对压力不会马上逆转，因此左波纹管在左法兰板到达位置s2后仍然会继续被压缩一段距离，这段距离称为超越行程sa。类似地，当右工作腔内的压力高于左工作腔的压力，使左波纹管被拉伸至远泵头位置s1时，波纹管仍将被拉伸产生超越行程sa。
超越行程sa的存在，一方面意味着波纹管被过度压缩或拉伸，对于波纹管的寿命是不利的；另一方面，使得波纹管存在碰撞工作腔内壁以及吸液阀等器件的风险。常规地，改进波纹管的结构或材料是改善波纹管寿命的方式，但这种方式会增大波纹管的运动阻力或者增加成本；为避免碰撞波纹管，可以在设置波纹管行程时留出较大的安全行程裕量，但这种方式在工作腔和泵腔内产生了体积不发生改变的无效空间，不利于波纹管泵体积的减小，还降低了泵腔内工作流体的更新率，导致工作流体滋生细菌等污染物的概率升高。超越行程sa的大小由波纹管的驱动力和阻力的影响，由于波纹管的驱动力与排液流量有关，而波纹管被压缩的阻力受到负载压力和工作流体种类的影响，因此在不同的工况下超越行程sa的大小不一样，这也使得常规的固定安全行程裕量方案无法适应大范围工况。
在波纹管的运动过程中，存在两种干扰换向时机31判断的情形。一种情形是波纹管的驱动力或阻力发生改变，例如图3所示的，为了增大波纹管泵的排液流量，提高工作腔的稳定充气压力，会导致超越行程sa变大，并且换向时机提前。另一种情形是波纹管工作过程中受到负载波动或环境因素等干扰，例如图4所示的，使得波纹管提前到达期望位置s2，使换向时机31提前，而工作腔内的压力并没有受到长时间的干扰，超越行程sa的大小也没有改变。
如图5所示，在本发明中，结合波纹管的位置和工作腔内的压力判断换向时机31。常规的技术方案中取检测到波纹管运动到期望位置s2时为基本换向时机31a，在本发明中结合工作腔内的压力设置校正行程sr，使波纹管在运动到相对期望位置s2提前校正行程sr的位置为校正换向时机31b。通过校正行程sr补偿波纹管的超越行程sa，使波纹管正好在期望位置s2换向。
由于波纹管泵两侧的结构和波纹管运动过程是类似的，因此右位置传感器11b和右压力传感器22b的工作原理与左位置传感器11a和左压力传感器22a类似。
为了节省成本，也可以仅在一侧工作腔内设置位移传感器11和压力传感器22。如图6所示，可以在左工作腔6a中设置位移传感器11，而右工作腔6b中设置压力传感器，并且可以令位移传感器与压力传感器的位置关于泵头对称，这样可以使左右泵壳上的安装孔对称，左右泵壳可以使用相同的零件装配，有利于节约制造成本。另外，也可以在泵腔内或者排液流道内设置压力传感器。
上述波纹管泵的行程补偿方法，具体包括校正行程步骤和连续运行步骤：
步骤一、在运行波纹管时，首先执行校正行程步骤，校正行程步骤参考图7。校正行程步骤在波纹管每次连续运行的第一个或前几个冲程中执行，也能在工况不变的多次连续运行中的第一次运行之前执行。具体如下：
步骤1.1、设定远泵头端目标位置s1和近泵头端目标位置s2，使电磁换向阀在波纹管端面位置达到s1或s2时换向。运行波纹管泵转移流体。
步骤1.2、位移传感器记录波纹管端面的实际位置数据，计算超越行程sa。压力传感器监测标定行程中的工作腔压力。
步骤1.3、将电磁换向阀换向时波纹管的对应位置提前sr。继续运行波纹管泵。
步骤1.4、判断波纹管的实际行程是否符合期望，如果符合期望，记录校正行程sr以及波纹管位置和工作腔压力在标定行程中的变化数据，完成行程标定；如果不符合期望，则重复步骤1.1至步骤1.4，直至波纹管的实际行程符合期望。
步骤二、在设置好校正行程sr，波纹管泵进入连续运行状态后，按照图8所示的连续运行步骤运行波纹管泵。具体如下：
步骤2.1、按照校正行程sr运行波纹管泵转移流体，在波纹管的每个冲程中，利用位移传感器监测波纹管端面实际的行程，利用压力传感器监测工作腔的压力。
步骤2.2、判断波纹管的端面是否按照标定行程的位置变化规律运动。，如果按照标定行程运动，则保持校正行程sr不变；如果没有按照标定行程运动，则按照下述步骤2.3或步骤2.4调整。
步骤2.3、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机提前，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则增大校正行程sr。
步骤2.4、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机落后，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则减小校正行程sr。
步骤2.5、按照经过步骤2.2至步骤2.4调整后的校正行程sr继续运行波纹管泵。
在连续运行步骤中，可以于波纹管的每个运动周期中进行多次执行步骤2.2至步骤2.5。例如，在波纹管的一个压缩-拉伸运动行程中设置10个位置上等间距的判断点，每当波纹管运动到一个判断点时，执行一次步骤2.2至步骤2.5，这样可以及时发现异常的波纹管运动行程并进行相应的补偿，有利于减小波纹管输出流体的压力和流量脉动。
有时因为负载冲击等原因，在步骤2.3或步骤2.4中计算出的校正行程sr相对整个波纹管运动行程较大，为了防止校正行程计算错误或者补偿过程响应速度慢造成校正行程大幅度偏离实际需求，进而引起波纹管过度拉伸或压缩的风险，可以提前设置每个行程中最大校正行程的调整幅度，将校正行程调整的幅度分成多份在多个波纹管的运动周期内补偿。例如，提前设置每个行程中最大校正行程的调整幅度为5mm，如果波纹管的某个运动行程中判断需要将校正行程由+10mm调整至+22mm，调整幅度为+12mm，则可以在连续的3个周期内分别调整+5mm、+5mm和+2mm，使得3个周期后完成+12mm的调整幅度。由于在连续的3个周期内还可以多次重新判断和计算校正行程，可以避免因计算错误、信号干扰等原因造成的波纹管运动行程过度补偿现象。
应当指出，考虑到测量误差和信号干扰的影响，上述步骤2.2中判断波纹管的端面是否按照标定行程的位置变化规律运动时，可以容许一定误差，例如，在校正行程步骤中，波纹管在每个压缩行程开始3秒后达到压缩行程的中点位置；如果在连续运行步骤中，波纹管在某个压缩行程开始3.05秒达到压缩行程的中点，认为这个行程仍然是按照校正行程步骤中的时机运行的；而如果波纹管在某个压缩行程开始3.1秒达到压缩行程的中点，与校正行程步骤中的时机相比存在的0.1秒时间差超过了允许的误差范围，则认为这个行程相比校正行程步骤中的时机落后。类似地，在上述步骤2.3和2.4中判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等，也允许一定的误差，例如在校正行程步骤中波纹管端面运动到压缩行程的中点时的工作腔压力为3.5bar；如果在连续运行步骤中，波纹管端面在某个压缩行程中点时工作腔压力为3.52bar，认为这个行程中的工作腔压力与校正行程步骤中的工作腔压力是近似相等的；而如果波纹管端面在某个压缩行程中点时工作腔压力为3.55bar，与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相差0.05bar，超过了允许的误差范围，则认为这个行程中的工作腔压力比校正行程步骤中的工作腔压力大。
在本发明位置关系描述中，出现诸如术语“内”、“外”、“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或者位置关系的为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了方便描述实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或者元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
以上内容和结构描述了本发明产品的基本原理、主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解。上述实例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都属于要求保护的本发明范围之内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种波纹管泵的行程补偿方法，其特征在于：包括校正行程步骤和连续运行步骤，具体包括：
步骤一、在运行波纹管时，首先执行校正行程步骤，校正行程步骤在波纹管每次连续运行的第一个或前几个冲程中执行，也能在工况不变的多次连续运行中的第一次运行之前执行；具体如下：
步骤1.1、设定远泵头端目标位置s1和近泵头端目标位置s2，使电磁换向阀在波纹管端面位置达到s1或s2时换向；运行波纹管泵转移流体；
步骤1.2、位移传感器记录波纹管端面的实际位置数据，计算超越行程sa；压力传感器监测标定行程中的工作腔压力；
步骤1.3、将电磁换向阀换向时波纹管的对应位置提前sr；继续运行波纹管泵；
步骤1.4、判断波纹管的实际行程是否符合期望，如果符合期望，记录校正行程sr以及波纹管位置和工作腔压力在标定行程中的变化数据，完成行程标定；如果不符合期望，则重复步骤1.1至步骤1.4，直至波纹管的实际行程符合期望；
步骤二、在设置好校正行程sr，波纹管泵进入连续运行状态后,具体运行步骤如下：
步骤2.1、按照校正行程sr运行波纹管泵转移流体，在波纹管的每个冲程中，利用位移传感器监测波纹管端面实际的行程，利用压力传感器监测工作腔的压力；
步骤2.2、判断波纹管的端面是否按照标定行程的位置变化规律运动；如果按照标定行程运动，则保持校正行程sr不变；如果没有按照标定行程运动，则按照下述步骤2.3或步骤2.4调整；
步骤2.3、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机提前，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则增大校正行程sr；
步骤2.4、如果波纹管的端面经过运动轨迹上预定位置的时机比校正行程步骤中的时机落后，再判断工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力是否相等；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力相等，则保持校正行程sr不变；如果工作腔的压力与校正行程步骤中对应时机的工作腔压力不相等，则减小校正行程sr；
步骤2.5、按照经过步骤2.2至步骤2.4调整后的校正行程sr继续运行波纹管泵。
2.如权利要求1所述的一种波纹管泵的行程补偿方法，其特征在于：在步骤二中，波纹管的每个运动周期中进行多次执行步骤2.2至步骤2.5。
3.如权利要求1所述的一种波纹管泵的行程补偿方法，其特征在于：在进入步骤二之前，设置步骤2.3或步骤2.4中每次调整校正行程sr的最大幅度。
4.一种具有行程补偿功能的波纹管泵，包括泵头、泵壳、波纹管、脉动阻尼器、泵轴、接近开关、排液阀、吸液阀和连接杆；泵头设置在波纹管泵的中央，左泵壳和右泵壳以开口侧相对的方式分别固定设置在泵头两侧；左泵壳、右泵壳与泵头之间分别形成左工作腔和右工作腔；左波纹管和右波纹管分别固定设置在左工作腔和右工作腔中，左波纹管、右波纹管与泵头之间形成左泵腔和右泵腔；泵头中设置有转移流体的吸液流道和排液流道，吸液流道和排液流道中部隔断；吸液流道入口作为吸液口，排液流道出口作为排液口；吸液流道一端设置左吸液阀和右吸液阀，排液流道一端设置左排液阀和右排液阀；左右吸液阀入口与吸液流道顶部连接，左右吸液阀出口分别置于左泵腔和右泵腔内；左右排液阀入口分别置于左泵腔和右泵腔内，左右排液阀出口与排液流道底部连接；左右泵壳底部设置左右工作流体入口；
其特征在于：还包括位移传感器、压力传感器和控制器，位移传感器测量波纹管端面的位置；压力传感器测量工作腔工作流体的压力，或者监测泵腔或者排液流道内的转移流体压力；位移传感器监测到的位置信号和压力传感器监测到的压力信号传递至控制器，用于计算对波纹管运动行程的补偿量。
5.如权利要求4所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：所述的压力传感器设置于被位移传感器监测的波纹管同侧的工作腔内，并且监测该工作腔内工作流体的压力。
6.如权利要求4所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：在所述的左右波纹管各自设置一个位移传感器和压力传感器，分别监测左右波纹管的位置和左右工作腔内工作流体的压力。
7.如权利要求4所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：所述的压力传感器设置于被位移传感器监测的波纹管异侧的工作腔内，并且监测该工作腔内工作流体的压力。
8.如权利要求7所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：所述的压力传感器与位移传感器的安装位置关于泵头对称。
9.如权利要求4所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：所述波纹管的材料是聚四氟乙烯。
10.如权利要求4所述的具有行程补偿功能的波纹管泵，其特征在于：所述泵头接触待转移液体的部分使用高洁净度不锈钢或者聚四氟乙烯材料。
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