CN112284581B - 一种传感器、显示面板及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种传感器、显示面板及电子设备，其中，传感器包括：柔性衬底；位于柔性衬底的第一侧的多个感测单元；位于柔性衬底的第一侧的至少一无机块状结构和至少一层有机层；一个感测单元与同一块状结构对应设置，且至少部分块状结构在柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元；至少一有机层填充在两个块状结构之间。本发明提供的技术方案，以解决现有柔性的应变传感器易碎裂的问题。

Description

一种传感器、显示面板及电子设备
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种传感器、显示面板及电子设备。
背景技术
应变传感器是基于测量物体受力变形所产生的应变的一种传感器。金属应变器件和半导体材料应变器件是其常采用的传感元件。它是一种能将机械构件上应变的变化转换为电阻变化的传感元件。
一般的，应变传感器主要包括传感器压头以及设置有应变传感器单元的柔性膜，外界接触致使传感器压头施加力于柔性膜，引起柔性膜产生应变，柔性膜应变引起应变传感器单元响应。
但是上述应变传感器等柔性电子器件容易因外界施力而失效，则提高柔性电子器件的可靠性成为亟待解决的问题。
发明内容
本发明实施例提供了一种传感器、显示面板及电子设备，以解决现有柔性的应变传感器易碎裂的问题。
第一方面，本发明实施例提供了一种传感器，包括：
柔性衬底；
位于所述柔性衬底的第一侧的多个感测单元；
位于所述柔性衬底的第一侧的至少一无机块状结构和至少一层有机层；
一个所述感测单元与同一块状结构对应设置，且至少部分所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的所述感测单元；
至少一有机层填充在两个所述块状结构之间。
第二方面，本发明实施例还提供了一种显示面板，包括本发明任意实施例提供的传感器。
第三方面，本发明实施例还提供了一种电子设备，所述电子设备包括本发明任意实施例提供的传感器；或者，包括本发明任意实施例提供的显示面板。
本发明中，传感器的柔性衬底上设置有多个分立的感测单元，用于实现压力检测，柔性衬底上还设置有至少一层有机层和分立的至少一无机块状结构，则即使柔性衬底上设置有多层无机材料，但是存在至少一层无机材料为分立结构，有效避免无机材料整层受力易碎裂的问题，各个分立无机块状结构之间还填充有至少一有机层，有效释放大形变情况下各个分立无机块状结构的应力，对整个传感器进行保护。此外，每个感测单元与其中一个块状结构对应设置，且该块状结构在柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元，则在传感器的柔性衬底受力产生微形变时，块状结构能够对对应的感测单元进行支撑，进一步防止感测单元碎裂或损坏，改善应变传感器的可靠性，有效延长传感器的寿命。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种传感器的平面结构示意图；
图2是图1中传感器沿直线a-a’处的一种剖面示意图；
图3是本发明实施例提供的一种传感器的剖面结构示意图；
图4是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图5是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图6是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图7是图1中传感器沿直线a-a’处的另一种剖面示意图；
图8是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图9是图8中一感测单元的放大结构示意图；
图10是图8中传感器沿直线b-b’处的一种剖面示意图；
图11是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图；
图12是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图；
图13是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图；
图14是本发明实施例提供的另一种传感器的剖面结构示意图；
图15是本发明实施例提供的另一种传感器的剖面结构示意图；
图16是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图17是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图；
图18是本发明实施例提供的另一种传感器的剖面结构示意图；
图19是本发明实施例提供的一种显示面板的平面结构示意图；
图20是本发明实施例提供的一种显示面板的剖面结构示意图；
图21是本发明实施例提供的另一种显示面板的平面结构示意图；
图22是本发明实施例提供的另一种显示面板的剖面结构示意图；
图23是本发明实施例提供的一种电子设备的结构示意图；
图24是本发明实施例提供的另一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
一般来说，柔性电子器件，例如背景技术中所述的应变传感器，能够在外界施力的作用下产生形变并对形变量进行测量，发明人在实现本发明的过程中采用柔性基材上设置多层无机层的应变传感器，发明人发现多层堆叠的无机层在大形变情况下容易碎裂，造成柔性电子器件的失效，为解决上述问题，本发明实施例提供了一种传感器，包括：
柔性衬底；
位于柔性衬底的第一侧的多个感测单元；
位于柔性衬底的第一侧的至少一无机块状结构和至少一层有机层；
一个感测单元与同一块状结构对应设置，且至少部分块状结构在柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元；
至少一有机层填充在两个块状结构之间。
本发明实施例中，传感器的柔性衬底上设置有多个分立的感测单元，用于实现压力检测，柔性衬底上还设置有至少一层有机层和分立的至少一无机块状结构，则即使柔性衬底上设置有多层无机材料，但是至少存在一层无机材料为分立结构，有效避免无机材料整层受力易碎裂的问题，各个分立无机块状结构之间还填充有至少一有机层，有效释放大形变情况下各个分立无机块状结构的应力，对整个传感器进行保护。此外，每个感测单元与其中一个块状结构对应设置，且该块状结构在柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元，则在传感器的柔性衬底受力产生微形变时，块状结构能够对对应的感测单元进行支撑，进一步防止感测单元碎裂或损坏，改善应变传感器的可靠性，有效延长传感器的寿命。
以上是本发明的核心思想，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下，所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1是本发明实施例提供的一种传感器的平面结构示意图，图2是图1中传感器沿直线a-a’处的一种剖面示意图，图3是本发明实施例提供的一种传感器的剖面结构示意图，参考图1和图3，传感器可以包括传感器基底18’、柔性衬底11、承载基板16’以及承载基板16’上的传感器压头161’，柔性衬底11上分布有多个感测单元13，外界按压承载基板16’致使传感器压头161’施加力于柔性衬底11，引起柔性衬底11产生应变，感测单元13响应，最终可根据不同感测单元13的响应强度，确定施力位置。参考图1和图2，柔性衬底11可以包括相对设置的第一侧F1和第二侧F2的平面。柔性衬底11的材料例如可以包括聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯或聚萘二甲酸乙二醇酯等，以保证柔性衬底11具有较好的柔性。当然，柔性衬底11的材料也不限于以上几种，其他适用于弯折变形且适用于作为传感器的柔性基板的材料也可以选择。
感测单元13设置于柔性衬底11的第一侧F1，与此同时，至少一无机块状结构12和至少一层有机层14也设置于柔性衬底11的第一侧F1，也即，块状结构12、有机层14和感测单元13均设置于柔性衬底11的同一侧。本发明实施例中提供的无机材料可以包含分立的块状结构12，能够在传感器的柔性衬底11接受应力产生形变时，有效分散无机材料上的应力，相对于整层设置的无机材料，每个块状结构12受到应力大幅度降低，避免产生碎裂，提高传感器可靠性。如图1所示，一个感测单元13与同一块块状结构12对应设置，使得该块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元13，从而使得块状结构12对对应感测单元13起到一定的支撑作用，对感测单元进行保护。图1中示出了每个块状结构12对应一个感测单元13的情况，每个块状结构12形成一个个均匀的“孤岛”结构，能够在很大程度上分散弯折应力，对传感器进行保护，此外，如图4所示，图4是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，每个块状结构12可对应两个感测单元13或三个感测单元13，各个块状结构12形成一个个大小不一的“孤岛”结构，同样能够分散弯折应力，避免无机膜层碎裂。
在平行于柔性衬底11所在平面，各自分立的块状结构12之间形成有间隙，参考图2，至少一有机层14设置于各个块状结构12之间，在有效填充各个间隙保持传感器的膜层平整的同时，能够承受柔性衬底11和块状结构12分散的应力，提高整个传感器的强度，延长传感器的寿命。此外，块状结构12上还可以设置走线15，走线15与感测单元13连接，用于输入偏置电压至感测单元13以驱动感测单元13进行应变检测，还能够用于接收感测单元13输出的应变电压，从而便于后续进行应变量的计算。
可选的，继续参考图2，传感器可以包括至少一层无机层；每层无机层包括多个块状结构12；块状结构12与感测单元13一一对应设置。
本实施例传感器一般包括至少一层有机层和至少一层无机层，有机层、无机层，以及金属层或半导体层相互层叠形成感测单元，需要注意的是，传感器包括至少一层无机层，并且本实施例中至少一层无机层形成块状结构12以分散弯折应力，优选的，本实施例传感器可以包括至少一层无机层，每层无机层包括至少一块状结构12，示例性的，如图2所示，图2中示出了三层无机层，每个无机层均设置块状结构12，在垂直于柔性衬底11的方向上，多个块状结构12层叠设置，能够进一步分散弯折应力。此外，如图2所示，本实施例中每层无机层的块状结构12均与感测单元13一一对应设置，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖对应的感测单元13，每层无机层划分的独立块状结构12较多，每个块状结构12所受应力极小，能够进一步避免感测单元13发生碎裂，改善器件可靠性。如图2所示，无机材料的块状结构12强度较高，可以与对应的感测单元13直接接触，能够对对应的感测单元13起到一定的支撑和保护作用，防止在柔性衬底11在发生形变时感测单元13的失效问题。优选的，感测单元13靠近柔性衬底11的一侧需要设置块状结构12，在一定程度上隔开柔性衬底11和感测单元13，进一步防止感测单元13的失效。进一步的，如图2所示，本实施例中的每层无机层仅在感测单元13所处位置处设置块状结构12，也即每个块状结构12对应一个感测单元13，恰好能够覆盖对应的感测单元13，既能够对感测单元13进行保护和支撑，又能够有效降低每层无机层中块状结构的设置面积，降低柔性衬底11的弯折应力。
可选的，继续参考图2，传感器可以包括：沿远离柔性衬底11方向依次层叠的第一块状结构121、第二有机结构122、第三块状结构123；第一块状结构121位于感测单元13靠近柔性衬底11的一侧，且面积大于感测单元13；第二有机结构122面积小于第一块状结构121；第三块状结构123位于感测单元13远离柔性衬底11的一侧，且面积大于第一块状结构121。
若柔性衬底11上设置有多层无机层和多层有机层，每层无机层均设置有块状结构12，有机层可设置为与块状结构12对应的有机结构，则在垂直于柔性衬底11的方向上，多个块状结构12和多个有机结构层叠设置，在进一步分散弯折应力的同时，层叠结构对感测单元13进行有效支撑，并且有机结构隔绝感测单元13与水氧环境，有效防止水氧入侵感测单元13。例如，传感器可以包括沿远离柔性衬底11方向依次层叠的第一块状结构121、第二有机结构122、第三块状结构123，其中，第一块状结构121位于感测单元13靠近柔性衬底11的一侧，且面积大于感测单元13，使得第一块状结构121对整个感测单元13进行支撑，第二有机结构122的面积可小于第一块状结构121，则第一块状结构121的边缘和第二有机结构122的边缘不是对齐的，而是存在段差，使得第一块状结构121的边缘和第二有机结构122错落设置，使得第一块状结构121的边缘侧面和第二有机结构122的边缘侧面形成坡度角α，而不是形成直角，当膜层侧面形成直角时，膜层边缘容易碎裂，上述坡度角α能够避免上述坡度角α过大造成传感器制作过程中无机膜层边缘碎裂的问题。可选的，第二有机结构122可以设置于感测单元13靠近所述柔性衬底11的一侧，也可以设置于感测单元13远离所述柔性衬底11的一侧，本实施例对第二有机结构122与感测单元13先后设置关系不进行限定，如图2所示，第二有机结构122可以设置于感测单元13远离所述柔性衬底11的一侧，则第一块状结构121和第二有机结构122对感测单元13进行包覆，在支撑感测单元13的基础上避免水氧入侵至感测单元13。最后，第三块状结构123位于感测单元13远离柔性衬底11的一侧，且面积大于第一块状结构121和第二有机结构122，第三块状结构123可对第一块状结构121和第二有机结构122进行包覆，则第三块状结构123可对第一块状结构121和第二有机结构122进行保护，进而能够对第一块状结构121和第三块状结构123之间的感测单元13进行保护，此外，第三块状结构123包覆了第一块状结构121和第二有机结构122的接触位置，进一步防止水氧入侵至感测单元13，对感测单元13进行保护，并且能够增强第一块状结构121和第二有机结构122的强度，增强第一块状结构121和第二有机结构122对感测单元13的支撑作用。
图5是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，可选的，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影形成的形状可以为矩形、圆形、椭圆形以及其他不规则形状。示例性的，如图1和图4所示，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影可以为矩形，此外，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影还可以为图5所示的圆形、椭圆形等。甚至，块状结构12在柔性衬底11上的垂直投影还可以为覆盖感测单元13的其他规则或不规则的形状，本实施例对块状结构12的具体形状进行限定。优选的，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影可依照感测单元13的形状制定，例如，如图6所示，图6是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，感测单元13除了为图5中示出的矩形，还可以为其他规则或不规则形状，图6示出了十字型的感测单元13，则块状结构12在柔性衬底11上的垂直投影也可以为尺寸稍大于感测单元13的十字型结构，示例性的，在柔性衬底11所在平面内，块状结构12的边缘与感测单元13的边缘距离L1为几微米，使得块状结构12与感测单元13近似相同，从而进一步降低块状结构12的尺寸，从而避免传感器的膜层断裂。
图7是图1中传感器沿直线a-a’处的另一种剖面示意图，可选的，存在相邻两层块状结构12之间可设置有至少一层有机层14。相邻两层块状结构12之间设置有至少一层有机层14有效分散两层块状结构12之间的应力，防止相邻两层块状结构12相互挤压产生断裂，也可以防止裂纹在相邻层的块状结构12之间传递。并且采用无机材料和有机材料相互层叠的设计能够有效防止膜层之间产生剥落情况，提高传感器器件性能。
可选的，继续参考图7，对于相邻两层块状结构12之间设置的有机层14，有机层14可以被其两侧块状结构12包封，使得在垂直于柔性衬底11的方向上，各个膜层的边缘之间存在段差，交互错落，有利于进行膜层布置，防止各膜层边缘倾斜坡度较陡，产生膜层边缘碎裂的情况。与此同时，采用无机材料和有机材料相互层叠的设计，能够有效防止水氧入侵至感测单元13中，对感测单元13进行保护，延长整个传感器的寿命。
图8是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，可选的，传感器还可以包括：多条走线15，以及多个与感测单元13电连接的控制单元T1；传感器包括感应区域A1和围绕感应区域A1的外围区域A2；感应区域A1设置有感测单元13；外围区域A2设置有控制单元T1；存在块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖控制单元T1；和/或，块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖走线15。
本实施例中传感器可以包括感应区域A1和围绕感测区域A1的外围区域A2，感测单元13设置于感应区域A1，如图1所示，感测单元13可围绕感应区域A1的中心均匀地呈规则阵列排布，也可以如图8所示进行不规则的排布，示例性的，感测区域A1的中心位置可用于设置传感器压头161’，感测单元13可围绕传感器压头161’不规则设置，本实施例对感测单元13在柔性衬底11上的排布形状不进行具体限定。传感器的外围区域A2还可以设置有控制单元T1，控制单元T1与感测单元13电连接，用于输入偏置电压至感测单元13以驱动感测单元13进行应变检测，还能够用于接收感测单元13输出的应变电压，从而便于后续进行应变量的计算。本实施例还设置有与控制单元T1相对应的块状结构12，该块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖控制单元T1，则在传感器受力产生形变时，块状结构12还能够对控制单元T1进行支撑，防止控制单元T1碎裂，从而对传感器的控制电路进行保护，提高传感器整个器件的可靠性。此外，传感器还可以包括多条走线15，走线15可以建立感测单元13与对应的控制单元T1的连接，本实施例中为了防止柔性衬底11弯折过程中折断走线15，还可以设置部分块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖走线15，以对走线15进行强度支撑。
图9是图8中一感测单元的放大结构示意图，具体的，图9为图8中感测单元13a的放大结构，参考图8和图9，可选的，传感器还可以包括多条走线15；走线15包括多条第一走线151和多条第二走线152；控制单元T1通过第一走线151连接感测单元13；第二走线152设置于外围区域A2；感测单元13包括感测应变片；感测应变片的边缘依次设置有四个连接端：第一偏置电压输入端IN1、第一应变电压输出端OUT1、第二偏置电压输入端IN2和第二应变电压输出端OUT2；第一走线151与连接端一一对应连接；所有感测单元13的第一偏置电压输入端IN1通过第一走线151连接第一电平输出端U1；所有感测单元13的第二偏置电压输入端IN2通过第一走线151连接第二电平输出端U2；控制单元T1包括有源层(图8中未示出)、栅极G1和源漏极；部分控制单元T1的源极S1通过第一走线151与对应感测单元13的第一应变电压输出端OUT1连接；部分控制单元T1的源极S1通过第一走线151与对应感测单元13的第二应变电压输出端OUT2连接；多个控制单元T1的漏极D1连接同一条第二走线152；连接同一条第二走线152的多个控制单元T1的栅极G1分时导通；存在块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖第二走线152和/或第一走线151。
如图9所示，感测单元13可以由一感测应变片组成，该感测应变片可以为矩形、十字型等形状，并且优选为规则且对称的形状。图9中仅以矩形为例进行示意，但本实施例中感测应变片不限于矩形。该感测应变片包括沿边缘依次设置的四个连接端：第一偏置电压输入端IN1、第一应变电压输出端OUT1、第二偏置电压输入端IN2和第二应变电压输出端OUT2，优选的，第一偏置电压输入端IN1和第二偏置电压输入端IN2在一方向上可以相对设置，第一应变电压输出端OUT1和第二应变电压输出端OUT2在另一方向上可以相对设置。在传感器工作过程中，需要向第一偏置电压输入端IN1输入第一电平，向第二偏置电压输入端IN2输入第二电平，在上述第一电平和第二电平的压差驱动下，若感测单元13所处位置出现形变，则使得第一应变电压输出端OUT1输出的第一应变电压和第二应变电压输出端OUT2输出的第二应变电压不同，通过检测第一应变电压和第二应变电压的差值可对感测单元13所处位置的形变量进行获取。
本实施例传感器还包括多条走线15，具体的，走线15可以包括多条第一走线151和多条第二走线152。第一走线15可以连接控制单元T1和感测单元13。具体的，第一走线151与感测应变片的连接端一一对应设置，所有感测单元13的第一偏置电压输入端IN1通过第一走线151连接第一电平输出端U1，所有感测单元13的第二偏置电压输入端IN2通过第一走线151连接第二电平输出端U2，从而使得所有感测单元13获得相同的驱动压差，提高各个感测单元13的形变检测精准性。继续参考图8，控制单元T1包括有源层(图8中未示出)、栅极G1、源极S1和漏极D1，存在部分控制单元T1的源极S1通过第一走线151与对应感测单元13的第一应变电压输出端OUT1连接，用于检测对应感测单元13的第一应变电压，部分控制单元T1的源极S1通过第一走线151与对应感测单元13的第二应变电压输出端OUT2连接，用于检测对应感测单元13的第二应变电压。多个控制单元T1的漏极D1连接同一条第二走线152，也即，控制单元T1将多个感测单元13输出的第一应变电压通过一条第二走线152输出，控制单元T1将多个感测单元13输出的第二应变电压通过一条第二走线152输出，从而达到节省第二走线152的布线的目的。并且连接同一条第二走线152的多个控制单元T1分时导通，使得多个控制单元T1分时输出第一应变电压或第二应变电压，本实施例通过分时输出的方式从而减少线路的空间布置。本实施例中，第二走线152位于外围区域A2，第二走线152可以为连接绑定芯片的扇出走线，减少第二走线152的走线条数，可有效降低传感器的外围区域A2的宽度，提高感应区域A1的面积。
需要注意的是，如图8所示，可以存在块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖第二走线152，以对第二走线152进行刚性支撑，避免相对密集的第二走线152发生断裂，进一步提高传感器的可靠性，当然，也可以存在块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖第一走线151，以防止第一走线151断裂。
图10是图8中传感器沿直线b-b’处的一种剖面示意图，可选的，控制单元T1可以包括依次远离柔性衬底11设置有源层P1、栅极G1和源漏极；传感器包括间隔在有源层P1、栅极G1和源漏极中任意两者之间的第一绝缘层12a；第一绝缘层12a为块状结构12。
本实施例中传感器同时集成有感测单元13，以及对感测单元13进行分时控制的控制单元T1，控制单元T1设置于柔性衬底11上，并依次包括有源层P1，栅极G1和源漏极三个膜层，有源层P1分别与源极S1和漏极D1连接，而栅极G1需要分别与源极S1和漏极D1绝缘设置，所以控制单元T1中膜层结构之间需要设置绝缘层。传感器可以包括间隔在控制单元T1中相邻两个膜层之间的第一绝缘层12a，例如，该第一绝缘层12a可以设置于栅极G1与源漏极之间，当然，该第一绝缘层12a还可以设置于有源层P1和栅极G1之间，作为栅极绝缘层。该第一绝缘层12a可以为无机材料，则第一绝缘层12a为块状结构12，在分散弯折应力的同时，对控制单元T1整个器件进行支撑和保护。第一绝缘层12a可以为一层，可以为多层，本实施中至少存在一处相邻两个膜层之间设置第一绝缘层12a，也可以在每相邻两个膜层之间均设置第一绝缘层12a，本实施对此不进行限定。
可选的，继续参考图10，控制单元T1可以包括依次远离柔性衬底11设置的支撑绝缘层121a、有源层P1、栅极绝缘层122a、栅极G1、层间绝缘层123a和源漏极；其中，支撑绝缘层121a、栅极绝缘层122a和层间绝缘层123a为块状结构12。
本实施例控制单元T1可以包括三层无机材料的绝缘层，如图10所示，具体如下：第一，控制单元T1的有源层P1和柔性衬底11之间设置有支撑绝缘层121a，支撑绝缘层121a能够对有源层P1进行支撑，防止传感器发生形变时有源层P1发生断裂；第二，有源层P1和栅极G1之间设置有栅极绝缘层122a，有效避免有源层P1和栅极G1的直接接触；第三，栅极G1和源漏极之间设置有层间绝缘层123a，上述支撑绝缘层121a、栅极绝缘层122a和层间绝缘层123a均为与感测单元13对应的块状结构12，且在远离柔性衬底11的方向上，支撑绝缘层121a、栅极绝缘层122a和层间绝缘层123a依次层叠设置，形成包覆控制单元T1的块状结构12，从而对控制单元T1进行支撑和保护，防止控制单元T1受力出现断裂。
需要注意的是，在本实施例中，对于与感测单元13对应的块状结构12，同时也保留与支撑绝缘层121a同层设置的第一块状结构121，与栅极绝缘层122a同层设置的第二块状结构122’，以及与层间绝缘层123a同层设置的第三块状结构123，以实现第一块状结构121、第二块状结构122’和第三块状结构123对感测单元13的支撑和保护。
继续参考图10，可选的，支撑绝缘层121a在柔性衬底11所在平面的垂直投影可以覆盖栅极绝缘层122a；层间绝缘层123a在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖支撑绝缘层121a。
其中，支撑绝缘层121a面积大于感测单元13，使得支撑绝缘层121a对控制单元T1的有源层P1进行支撑，栅极绝缘层122a设置于栅极G1远离柔性衬底11的一侧，且面积小于支撑绝缘层121a，实现支撑绝缘层121a的边缘和栅极绝缘层122a的边缘错落设置，使得支撑绝缘层121a的边缘和栅极绝缘层122a的边缘形成角度较小的坡度角α，避免上述坡度角α过大造成传感器制作过程中无机膜层边缘碎裂的问题。层间绝缘层123a位于栅极绝缘层122a远离柔性衬底11的一侧，且面积大于支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a，层间绝缘层123a可对支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a进行包覆，层间绝缘层123a包覆了支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a的接触位置，则层间绝缘层123a可对支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a进行保护，并且能够增强支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a的强度，增强支撑绝缘层121a和栅极绝缘层122a对有源层P1的支撑作用。
图11是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图，本实施例中，层间绝缘层123a在柔性衬底11所在平面的垂直投影可不覆盖支撑绝缘层121a，还可以略小于支撑绝缘层121a。如图11所示，在形成层间绝缘层123a时，层间绝缘层123a可包覆栅极绝缘层122a，但是层间绝缘层123a的端面F3可接触支撑绝缘层121a的顶面F4(支撑绝缘层121a与有层P1的接触面)，则支撑绝缘层121a的边缘和层间绝缘层123a的边缘能够形成平缓的坡度角θ，有效避免支撑绝缘层121a和层间绝缘层123a在制作和工作过程中出现边缘碎裂的问题。
继续参考图10，可选的，感测单元13可以与有源层P1同层设置；第一走线151与源漏极同层设置；第一走线151通过穿过层间绝缘层123a和栅极绝缘层122a的第一通孔K1与感测单元13电连接。
感测单元13的感测应变片可以为多晶硅等半导体材料或者为金属材料，当感测应变片为半导体材料时，在同时集成了感测单元13和控制单元T1的传感器内，感测单元13可以与有源层P1采用同一材料同层设置，从而节省制作工艺。第一走线151可与源漏极同层设置，使得第一走线151阻值较小，提高传感器的压力检测精度。则第一走线151则需要穿过层间绝缘层123a和栅极绝缘层122a连接感测单元13，具体可通过穿过层间绝缘层123a和栅极绝缘层122a的第一通孔K1与感测单元13电连接。
图12是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图，可选的，感测单元13和第一走线151可均与源漏极同层设置。
由上述示例可知，感测单元13的感测应变片可以为金属材料，则感测单元13可以与源漏极同层设置，如图12所示，第一走线151也可以与源漏极同层设置，则感测单元13和第一走线151同层设置，感测单元13、第一走线151和源漏极通过同一工艺制作，节省工艺成本，加快传感器的制作进程。
图13是图8中传感器沿直线b-b’处的另一种剖面示意图，可选的，感测单元13与栅极G1可以同层设置；第一走线151与源漏极同层设置；第一走线151通过穿过层间绝缘层123a的第二通孔K2与感测单元13电连接。
感测单元13的感测应变片为金属材料时，感测单元13还可以与栅极G1同层设置，以节约制作工艺，第一走线151可以与源漏极同层设置，以减小第一走线151的阻抗值，第一走线151通过穿过层间绝缘层123a的第二通孔K2与感测单元13电连接。
继续参考图13，可选的，第二走线(图13中未示出)可以与栅极G1同层设置；或者，第二走线与源漏极同层设置。第二走线用于输入第一偏置电压和第二偏置电压至感测单元13，并能够输出第一应变电压和第二应变电压至绑定芯片进行压力检测。第二走线可以与栅极G1同层设置，或与源漏极同层设置，以节省制作工艺，提高传感器制作效率。
继续参考图13，可选的，继续参考图2，传感器还可以包括：第一平坦化层141和第二平坦化层142；第一平坦化层141设置于层间绝缘层123a和源漏极之间，填充块状结构之间的间隙；第二平坦化层设置于源漏极远离柔性衬底11的一侧。
平坦化层14为有机材料，平坦化层14具体可以包括第一平坦化层141和第二平坦化层142，第一平坦化层141可以设置于层间绝缘层123a和源漏极之间，则当刻蚀出块状的层间绝缘层123a后，在层间绝缘层123a上形成一层平坦化层，并对该层平坦化层进行抛光等工艺露出层间绝缘层123a远离柔性衬底11的上表面，最终形成第一平坦化层141，便于形成的源漏极能够与层间绝缘层123a远离柔性衬底11的上表面接触。如图13所示，最终形成的第一平坦化层141填充块状结构12之间的间隙，有机材料的第一平坦化层141柔韧性较强，能够有效分散块状结构12释放的应力。此后，在源漏极远离柔性衬底11的一侧形成整层的第二平坦化层142，对控制单元T1和感测单元13进行保护，并在传感器平行于柔性衬底11的整个平面内进一步释放传感器的弯折应力，避免传感器的失效问题。
图14是本发明实施例提供的一种传感器的剖面结构示意图，可选的，传感器还可以包括：第一承载基板16，设置于感测单元13远离柔性衬底11的一侧；第一承载基板16靠近感测单元13的一侧设置有至少一个凸起结构161；凸起结构161在柔性衬底11所在平面的垂直投影与感测单元13不交叠。
第一承载基板16与柔性衬底11相对且间隔感测单元13设置，第一承载基板16靠近柔性衬底11的一侧设置至少一个凸起结构161，凸起结构161作为传感器压头，第一承载基板16远离凸起结构161的一侧为按压面，用户按压第一承载基板16使得凸起结构161能够施力于柔性衬底11，柔性衬底11带动附着于其上的感测单元13产生形变或移动，感测单元13能够通过输出应变电压对上述形变进行表征。在平行于柔性衬底11所在平面内，多个感测单元13围绕凸起结构161。示例性的，如图1所示，多个感测单元13可围绕凸起结构161均匀排布，凸起结构161在柔性衬底11所在平面的垂直投影与感测单元13不交叠。凸起结构161使得压力在传感器的按压面上得到集中体现，便于获取某个位置的明显形变，使得感测单元13能够输出信号较强的应变电压，提高压力测量的准确性，当传感器未接触到物体时，凸起结构161不与柔性衬底11接触；或者，凸起结构161与柔性衬底11恰好接触，但是不会使柔性衬底11产生应变，即此时感测单元13不会输出应变电压。
凸起结构161的数量可以为一个，如图14所示，凸起结构161的数量也可以为多个，当凸起结构161的数量为多个时，每个凸起结构161的周围都会有其相对应的多个感测单元40，当传感器接触到物体时，凸起结构161与柔性衬底11接触，并使柔性衬底11产生应变，柔性衬底11应变引起感测单元13响应，即感测单元13输出应变电压至绑定芯片，后续处理器基于该应变电压确定传感器与物体之间的压力的大小。凸起结构161不仅能够感测受力大小，还能够判断受力方向，例如，当施加至传感器表面的力的方向并非垂直于柔性衬底11，而是与柔性衬底11具有一定的夹角β时，凸起结构161与柔性衬底11接触而引起柔性衬底11形变时，此时，凸起结构161不同位置的形变量不同，使得凸起结构161周围的感测单元13输出的应变电压不同，如此，可确定压力的方向。本实施例通过设置凸起结构161不仅可以确定物体接触传感器时的压力大小，同时还可以精确的感测压力的方向，进一步提高受力检测精准性。
图15是本发明实施例提供的另一种传感器的剖面结构示意图，图16是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，可选的，传感器还可以包括：屏蔽结构17，屏蔽结构17至少部分围绕凸起结构161设置，且屏蔽结构17在柔性衬底11所在平面的垂直投影位于感测单元13在柔性衬底11所在平面的垂直投影和凸起结构161在柔性衬底11所在平面的垂直投影之间。
发明人进一步研究发现一部分干扰信号来自按压面的接触物体，例如人的手指，而凸起结构161的材料一般为硅基材料，且经MEMS制造工艺(并不限于此材料和此工艺)制成，所以当人的手指触摸应变传感器时，人体的静电会随着凸起结构161与柔性衬底11接触时对感测单元13产生静电干扰，所以进一步的，如图16所示，在平行于柔性衬底11所在平面上，本实施例在凸起结构161和感测单元13之间设置屏蔽结构17，为了清楚的示出屏蔽结构17与凸起结构161以及感测单元13的相对位置关系，传感器的俯视结构示意图中未示出第一承载基板16。通过屏蔽结构17屏蔽外界信号对感测单元13的信号干扰，避免了当传感器与物体接触时，物体上静电通过凸起结构161感应到感测单元13，避免感测单元13对上述静电产生响应进而影响检测精度的问题，提高了传感器的检测性能。
图17是本发明实施例提供的另一种传感器的平面结构示意图，屏蔽结构17可如图16中所示，围绕屏蔽结构17形成环形，也可以如图17所示，多个块状的屏蔽结构17围绕凸起结构161设置，本实施例不做具体限定。
继续参考图16，可选的，在平行于柔性衬底11所在平面内，屏蔽结构17可以与块状结构12之间间隙处的有机层14交叠。在平行于柔性衬底11所在平面内，屏蔽结构17与块状结构12不交叠，而与块状结构12之间间隙处的有机层14交叠，能够对传感器起到一定的支撑作用，避免柔性衬底11在发生弯折时块状结构12之间间隙处的有机层14褶皱或膜层剥离。
图18是本发明实施例提供的另一种传感器的剖面结构示意图，可选的，传感器还可以包括：第二承载基板18，设置于柔性衬底11远离感测单元13的一侧；支撑部19，设置于第二承载基板18和柔性衬底11之间；第二承载基板18和支撑部19形成腔体结构20；感测单元13在柔性衬底11所在平面的垂直投影位于腔体结构20内。
支撑部19和第二承载基板18可以为相互独立的结构，也可以第二承载基板18和支撑部19为一体结构，第二承载基板18和支撑部19构成腔体结构20，柔性衬底11设置于腔体结构20上，感测单元13在柔性衬底11所在平面的垂直投影位于腔体结构20在柔性衬底11所在平面的垂直投影内。可选的，凸起结构161在柔性衬底11所在平面的垂直投影也位于腔体结构20在柔性衬底11所在平面的垂直投影内，也就是说，柔性衬底11对应凸起结构161和感测单元13的位置是悬空的，因此可以为按压提供变形空间，提高检测灵敏度和精度。由于按压变形更容易传导静电，通过本案的屏蔽结构17可以屏蔽静电对感测单元13的影响。此外，第二承载基板18、支撑部19和腔体结构20的设置，避免了柔性衬底11形变过大而损坏的问题，提高了传感器的可靠性。
基于同一构思，本发明实施例还提供一种显示面板，如图19所示，图19是本发明实施例提供的一种显示面板的平面结构示意图，包括本发明任意实施例提供的传感器1。本发明实施例提供的显示面板可以为有机发光显示面板、液晶显示面板等，本实施例对显示面板的具体种类不进行限定。本发明实施例的显示面板包括本发明人任意实施例提供的传感器的技术特征，具备本发明任意实施例提供的传感器的有益效果，本实施例不再赘述。
在上述实施例的基础上，如图20所示，图20是本发明实施例提供的一种显示面板的剖面结构示意图，显示面板可以包括：衬底基板21；位于衬底基板21一侧的驱动电路层22；其中，衬底基板21复用为传感器的柔性衬底11；传感器的感测单元、至少一无机块状结构和至少一层有机层设置于驱动电路层22。则当显示面板上集成有传感器时，传感器的柔性衬底11与衬底基板21为同一结构，结构简单，节约制作成本。感测单元内的结构可以与有机发光显示面板内部的驱动电路层22同层设置，进一步节省显示面板的制作工艺，当然，感测单元也可以单独设置，例如，感测单元可以位于衬底基板21背离驱动电路层22的一侧，本实施例对此不做具体限定。
图21是本发明实施例提供的另一种显示面板的平面结构示意图，图22是本发明实施例提供的另一种显示面板的剖面结构示意图，可选的，传感器可以包括多个控制单元T1和多条走线15；控制单元T1与感测单元13通过走线15连接；控制单元T1包括依次远离柔性衬底11设置的支撑绝缘层121a、有源层源层P1、栅极绝缘层122a、栅极G1、层间绝缘层123a和源漏极；驱动电路层包括多个薄膜晶体管T2、多条数据线(图22中未示出)和多条扫描线(图22中未示出)；薄膜晶体管T2的支撑绝缘层221与控制单元T1的支撑绝缘层121a同层设置；薄膜晶体管T2的有源层P2、控制单元T1的有源层P1以及感测单元13同层设置；薄膜晶体管T2的栅极绝缘层222与控制单元T1的栅极绝缘层122a同层设置；薄膜晶体管T2的栅极G2、控制单元T1的栅极G1以及扫描线同层设置；薄膜晶体管T2的层间绝缘层223与控制单元T1的层间绝缘层123a同层设置；薄膜晶体管T2的源漏极、控制单元T1的源漏极、走线15以及数据线同层设置；其中，支撑绝缘层221、栅极绝缘层222和层间绝缘层223为块状结构12；块状结构12在柔性衬底11所在平面的垂直投影覆盖对应的薄膜晶体管T2、控制单元T1和/或走线15。
本实施例中，传感器集成于显示面板上，参考图8，传感器可以包括多个控制单元T1和多条走线15，控制单元T1与感测单元13通过走线15连接，并且参考图10，控制单元T1包括依次远离柔性衬底11设置的支撑绝缘层121a、有源层P1、栅极绝缘层122a、栅极G1、层间绝缘层123a和源漏极(源极S1和漏极D1)，具体特征和连接关系请参考图附图8和附图10对应的文字叙述部分，此处不再赘述。本实施例中控制单元T1和多条走线15均设置于驱动电路层，驱动电路层包括阵列设置的多个薄膜晶体管T2，薄膜晶体管T2包括依次远离衬底基板21设置的支撑绝缘层221、有源层源层P2、栅极绝缘层222、栅极G2、层间绝缘层223和源漏极(源极S1和漏极D1)。控制单元T1的支撑绝缘层121a和薄膜晶体管T2的有源层P2同层设置，控制单元T1的有源层P1和薄膜晶体管T2的支撑绝缘层221同层设置，控制单元T1的栅极绝缘层122’a和薄膜晶体管T2的栅极绝缘层222同层设置，控制单元T1的栅极G1和薄膜晶体管T2的栅极G2同层设置，控制单元T1的层间绝缘层123a和薄膜晶体管T2的层间绝缘层223同层设置，控制单元T1的源漏极和薄膜晶体管T2的源漏极同层设置，则不需要加入多余的工序来将传感器集成于显示面板上，仅需要牺牲几个像素单元26的分辨率来设置感测单元13即可。需要注意的是，薄膜晶体管T2的支撑绝缘层221、栅极绝缘层222和层间绝缘层223为块状结构12，从而对对应像素单元26的薄膜晶体管T2进行支撑，防止衬底基板21过于柔软造成薄膜晶体管T2的损坏。同样的，控制单元T1和/或走线15也对应设置有块状结构12以对控制单元T1和/或走线15进行保护。
可选的，显示面板还设置有平坦化层14，具体包括第一平坦化层141和第二平坦化层142，第一平坦化层141和第二平坦化层142均为有机材料，控制单元T1和感应单元13的块状结构12之间的间隙，感应单元13和薄膜晶体管T2的块状结构12之间的间隙，以及控制单元T1和薄膜晶体管T2的块状结构12之间的间隙，均填充有第一平坦化层141，有机材料的第一平坦化层141柔韧性较强，用于分散各个块状结构12之间的应力，第二平坦化层142整层设置于源漏极层上，在传感器平行于柔性衬底11的整个平面内进一步释放传感器的弯折应力，避免传感器的失效问题。需要注意的是，图22以有机发光显示面板为例进行膜层对比，在第二平坦化层142依次形成像素单元26的第一电极261、有机发光层262以及第二电极263。但是本实施例中不限于上述有机发光显示面板，还可以为液晶面板等。此外，传感器还包括第一承载基板16，设置于像素单元第一承载基板16靠近感测单元13的一侧设置有至少一个凸起结构161。当触摸主体(例如手指)触摸显示面板时，传感器内部的凸起结构161与显示面板接触，并使柔性衬底11产生应变，柔性衬底11应变引起感测单元13响应，即感测单元13输出应变电压至驱动芯片，驱动芯片基于该应变电压确定压力的大小、方向以及触摸的位置。
可选的，继续参考图8和图21，传感器可以包括感应区域A1和外围区域A2；感应区域A1与显示面板的显示区A3完全重合；控制单元T1设置于外围区域A2；感测单元13设置于感应区域A2。也即，控制单元T1与显示面板的demux电路、静电防护电路等一同设置在非显示区A4，示例性的，可设置在下台阶区。感测单元13设置于显示区A3。则该显示面板既可以进行图像显示，也能够检测显示面板所受应力，有利于提高显示面板的既定功能，例如可以通过不同的受力或不同的受力方向触发不同的显示功能，例如，当显示面板检测到受力大于设定阈值时，可触发显示面板的黑屏功能，防止他人偷窥，有利于对显示面板的特殊化功能进行开发和拓展。
可选的，继续参考图8和图21，走线15可以包括第一走线151和第二走线152；第二走线152设置于外围区域A2；控制单元T1与感测单元13通过第一走线151连接；每个控制单元T1连接多个第二走线152；第二走线152与数据线同层设置，且与数据线相互平行。控制单元T1和第二走线152设置于显示面板的非显示区A4内，与显示面板的扇出线一同设置于显示面板的下台阶区，并且第二走线152与数据线DA同层设置，与数据线DA相互平行，便于显示面板和传感器的器件集成，结构简单，不增设其他工序。
本发明实施例还提供一种电子设备。图23是本发明实施例提供的一种电子设备的结构示意图，如图23所示，电子设备可以包括本发明任意实施例提供的显示面板，本发明实施例提供的电子设备包括本发明任意实施例的有机发光显示面板2。电子设备可以为如图23中所示的手机，也可以为电脑、电视机、车载显示屏、智能穿戴设备(特别是柔性可穿戴设备)等，本实施例对此不作特殊限定。
图24是本发明实施例提供的另一种电子设备的结构示意图，如图24所示，电子设备可以包括本发明任意实施例提供的传感器1，传感器1可集成于电子设备的体表，以实现外部压力感测，例如，可以为图24所示的机器人设备，传感器设置于机器人体表。示例性的，传感器1可以设置于机器人的手臂、掌心或指端，若机器人为送餐机器人或运料机器人，则可以通过机器人掌心所受压力判断物体的重量，并根据重量判断物体种类，提高服务业和工业的自动化进程。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (24)

1.一种传感器，其特征在于，包括：
柔性衬底；
位于所述柔性衬底的第一侧的多个感测单元；
位于所述柔性衬底的第一侧的至少两个无机块状结构和至少一层有机层；
一个所述感测单元与同一块状结构对应设置，且至少部分所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的所述感测单元；
至少一有机层填充在两个所述块状结构之间；
所述传感器是应变传感器。
2.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器包括至少一层无机层；每层无机层包括多个所述块状结构；
所述块状结构与所述感测单元一一对应设置。
3.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影形成的形状为矩形、圆形、椭圆形以及其他不规则形状。
4.根据权利要求2所述的传感器，其特征在于，存在相邻两层所述块状结构之间设置有至少一层有机层。
5.根据权利要求4所述的传感器，其特征在于，所述有机层被其两侧所述块状结构包封。
6.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，还包括：多条走线，以及多个与所述感测单元电连接的控制单元；
所述传感器包括感应区域和围绕所述感应区域的外围区域；所述感应区域设置有所述感测单元；所述外围区域设置有所述控制单元；
存在所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖所述控制单元；和/或，
所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖所述走线。
7.根据权利要求6所述的传感器，其特征在于，所述走线包括多条第一走线和多条第二走线；所述控制单元通过所述第一走线连接所述感测单元；所述第二走线设置于所述外围区域；
所述感测单元包括感测应变片；所述感测应变片的边缘依次设置有四个连接端：第一偏置电压输入端、第一应变电压输出端、第二偏置电压输入端和第二应变电压输出端；所述第一走线与所述连接端一一对应连接；所有感测单元的第一偏置电压输入端通过所述第一走线连接第一电平输出端；所有感测单元的第二偏置电压输入端通过所述第一走线连接第二电平输出端；
所述控制单元包括有源层、栅极和源漏极；部分所述控制单元的源极通过所述第一走线与对应感测单元的第一应变电压输出端连接；另一部分所述控制单元的源极通过所述第一走线与对应感测单元的第二应变电压输出端连接；多个所述控制单元的漏极连接同一条所述第二走线；连接同一条所述第二走线的多个所述控制单元的栅极分时导通；
存在所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖所述第二走线和/或所述第一走线。
8.根据权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述控制单元包括依次远离所述柔性衬底设置的有源层、栅极和源漏极；
所述传感器包括间隔在所述有源层、所述栅极和所述源漏极中任意两者之间的第一绝缘层；所述第一绝缘层为所述块状结构。
9.根据权利要求7所述的传感器，其特征在于，所述控制单元包括依次远离所述柔性衬底设置的支撑绝缘层、有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层和源漏极；
其中，所述支撑绝缘层、所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层为所述块状结构。
10.根据权利要求9所述的传感器，其特征在于，
所述感测单元与所述有源层同层设置；所述第一走线与所述源漏极同层设置；所述第一走线通过穿过所述层间绝缘层和所述栅极绝缘层的第一通孔与所述感测单元电连接；或者，
所述感测单元和所述第一走线均与所述源漏极同层设置；或者，
所述感测单元与所述栅极同层设置；所述第一走线与所述源漏极同层设置；所述第一走线通过穿过所述层间绝缘层的第二通孔与所述感测单元电连接。
11.根据权利要求9所述的传感器，其特征在于，所述第二走线与所述栅极同层设置；或者，
所述第二走线与所述源漏极同层设置。
12.根据权利要求9所述的传感器，其特征在于，所述支撑绝缘层在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖所述栅极绝缘层；
所述层间绝缘层在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖所述支撑绝缘层。
13.根据权利要求9所述的传感器，其特征在于，还包括：第一平坦化层和第二平坦化层；
所述第一平坦化层设置于所述层间绝缘层和所述源漏极之间，填充所述块状结构之间的间隙；
所述第二平坦化层设置于所述源漏极远离所述柔性衬底的一侧。
14.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，所述传感器包括：
沿远离所述柔性衬底方向依次层叠的第一块状结构、第二有机结构、第三块状结构；第一块状结构位于所述感测单元靠近所述柔性衬底的一侧，且面积大于所述感测单元；所述第二有机结构面积小于第一块状结构；第三块状结构位于所述感测单元远离所述柔性衬底的一侧，且面积大于所述第一块状结构。
15.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，还包括：第一承载基板，设置于所述感测单元远离所述柔性衬底的一侧；
所述第一承载基板靠近所述感测单元的一侧设置有至少一个凸起结构；所述凸起结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影与所述感测单元不交叠。
16.根据权利要求15所述的传感器，其特征在于，还包括：
屏蔽结构，所述屏蔽结构至少部分围绕所述凸起结构设置，且所述屏蔽结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影位于所述感测单元在所述柔性衬底所在平面的垂直投影和所述凸起结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影之间。
17.根据权利要求16所述的传感器，其特征在于，在平行于所述柔性衬底所在平面内，所述屏蔽结构与所述块状结构之间间隙处的所述有机层交叠。
18.根据权利要求1所述的传感器，其特征在于，还包括：
第二承载基板，设置于所述柔性衬底远离所述感测单元的一侧；
支撑部，设置于所述第二承载基板和所述柔性衬底之间；所述第二承载基板和所述支撑部形成腔体结构；所述感测单元在所述柔性衬底所在平面的垂直投影位于所述腔体结构内。
19.一种显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-18任一项所述的传感器。
20.根据权利要求19所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：
衬底基板；
位于衬底基板一侧的驱动电路层；
其中，所述衬底基板复用为所述传感器的柔性衬底；所述传感器的感测单元、至少两个无机块状结构和至少一层有机层设置于所述驱动电路层。
21.根据权利要求20所述的显示面板，其特征在于，所述传感器包括多个控制单元和多条走线；所述控制单元与所述感测单元通过所述走线连接；所述控制单元包括依次远离所述柔性衬底设置的支撑绝缘层、有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层和源漏极；
所述驱动电路层包括多个薄膜晶体管、多条数据线和多条扫描线；
所述薄膜晶体管的支撑绝缘层与所述控制单元的支撑绝缘层同层设置；所述薄膜晶体管的有源层、所述控制单元的有源层以及所述感测单元同层设置；所述薄膜晶体管的栅极绝缘层与所述控制单元的栅极绝缘层同层设置；所述薄膜晶体管的栅极、所述控制单元的栅极以及所述扫描线同层设置；所述薄膜晶体管的层间绝缘层与所述控制单元的层间绝缘层同层设置；所述薄膜晶体管的源漏极、所述控制单元的源漏极、所述走线以及所述数据线同层设置；其中，所述支撑绝缘层、所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层为所述块状结构；
所述块状结构在所述柔性衬底所在平面的垂直投影覆盖对应的所述薄膜晶体管、所述控制单元和/或所述走线。
22.根据权利要求21所述的显示面板，其特征在于，所述传感器包括感应区域和外围区域；所述感应区域与所述显示面板的显示区完全重合；所述控制单元设置于所述外围区域；所述感测单元设置于所述感应区域。
23.根据权利要求22所述的显示面板，其特征在于，所述走线包括第一走线和第二走线；所述第二走线设置于所述外围区域；
所述控制单元与所述感测单元通过所述第一走线连接；每个所述控制单元连接多个第二走线；所述第二走线与所述数据线同层设置，且与所述数据线相互平行。
24.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1-18中任一项所述的传感器；或者，
包括权利要求19-23任一项所述的显示面板。
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