CN112221895A - 用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺 - Google Patents

Abstract

本发明属于LCD干刻反应腔部件领域，提供了一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，其中装置包括：烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。本发明能够使密封液的固化更加均匀，从而避免了电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象发生。

Description

用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺

技术领域

本发明涉及LCD干刻反应腔部件领域，具体涉及一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺。

背景技术

下部电极被广泛应用于诸如平板显示器件、集成电路的干法刻蚀工艺中，其主要包括母材、母材表面的氧化铝涂层、钨涂层和安装在母材上的电极棒，使用过程中主要通过电极棒引入高电压，下部电极的涂层结构为上下两个绝缘层(氧化铝)中间夹着一层电极层(钨层)，导电棒给电极层(钨层)供电并在上部绝缘层表面形成静电，通过产生的静电吸附、固定需要被加工的玻璃面板。

下部电极的位于电极层上方的绝缘涂层内有许多孔隙，这些孔隙使得电极层和铝基材之间的绝缘性降低，导致高漏电流现象和耐电压的降低。因此，在下部电极的再生工艺中，都需要在电极层上方的绝缘涂层表面涂上诸如环氧树脂和硅之类的树脂类型的密封液。目前，涂完密封液的下部电极，都是直接转运至大型干燥室中进行60℃烘烤，随着时间增加，室内的温度在各空间的温度存在一定的温差，在这种情况下，会发生密封液的固化状态不同，导致涂层的内部发生未完全固化现象，严重影响密封效果。

发明内容

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，以使密封液的固化更加均匀，避免电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象。

第一方面，本发明提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，包括：

烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；

炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；

加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；

滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；

温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及

控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。

进一步地，还包括输送装置，所述输送装置包括设置在所述烘干室前端的底座和两个设置在所述底座上的转移机构，所述转移机构包括：

行走机构，其可移动地设置在所述底座上；

立柱，其沿纵向固定设置在所述行走机构上；

升降装置，其设置在所述立柱上；

横梁，其沿横向设置在所述升降装置上；

输送辊，其沿所述横梁的延伸方向间隔设置有多个，所述输送辊与所述横梁转动连接；

传动辊，其在每个所述输送辊上分别设置有一个，所述传动辊与所述输送辊同轴连接，所述传动辊上开设有两个绳槽；

第一绳索，其套设在两个相邻的所述传动辊上的所述绳槽，其用于使两个相邻的所述传动辊同步转动；以及

第一电机，其设置在所述横梁上，其用于驱动任意一个所述传动辊转动，其与所述控制器电连接。

进一步地，所述烘干室上设置有2—3排所述烘干腔，每排所述烘干腔的数量为2个。

进一步地，所述滚动支撑装置包括多个沿横向设置在所述烘干腔的腔壁两侧的支撑辊，所述支撑辊转动设置在所述烘干腔的腔壁上。

进一步地，所述升降装置包括：

螺杆，其沿纵向可转动地设置在所述立柱上；

滑块，其在所述立柱上沿纵向滑动，其与所述螺杆螺纹连接，其与所述横梁的一端连接；以及

第二电机，其设置在所述立柱上，其用于驱动所述螺杆转动，其与所述控制器电连接。

进一步地，所述横梁的所述一端设置铰接部和抵接部，所述铰接部用于与所述滑块铰接，当所述抵接部与所述滑块抵接时，所述横梁保持在横向方向上不动，所述横梁的另一端由收展机构驱动，所述收展机构包括：

第三电机，其设置在所述立柱的顶部，其与所述控制器电连接；绳轮，其套设在所述第三电机的输出轴上；以及

第二绳索，其一端与所述横梁的另一端连接，其另一端与所述绳轮连接。

进一步地，所述行走机构包括：

轮座；

行走轮，其沿横向设置在所述轮座上，其与所述轮座转动连接；

导向轮，其在所述轮座上沿纵向设置有多个，其与所述轮座转动连接，多个所述导向轮分布在所述行走轮的前后两端；以及

第四电机，其设置在所述轮座上，其用于驱动所述行走轮转动，其与所述控制器电连接。

第二方面，本发明还提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的工艺，包括如下步骤：

S1、行走在所述底座上进行第一次移动，使得位于某一列上的炉门可以向外打开；

S2、行走机构在所述底座上进行第二次移动，并移动到已经打开的所述炉门的正前方；

S3、收展机构将所述横梁展开，使所述横梁保持在横向方向上不动；

S4、升降装置将所述横梁上升或下降至某一个位置，在这个过程中，收展机构保持工作，使得横梁始终保持在横向方向上，在所述某一个位置处，下部电极被放置到两个所述转移机构的输送辊上；

S5、升降装置将下部电极上升或下降至预设的与烘干腔相对应的高度上，使两个所述转移机构中的输送辊同步工作，以将下部电极送入到相应的烘干腔中；

S6、重复步骤S4和S5，直到某一列烘干腔中都放入了下部电极；

S7、行走机构在所述底座上进行第三次移动，使得所述某一列上的炉门可以被关上；

S8、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于另一列上的炉门可以被打开；

S9、重复步骤S4—S6，直到另一列烘干腔中都放入了下部电极；

S10、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于所述另一列上的炉门可以被关上；

S11、收展机构将所述横梁收起，使得横梁保持在纵向方向上不动；

S12、加热装置启动，对烘干腔内进行加热，当温度传感器检测到烘干腔中温度超过65℃时，加热装置暂停工作，当温度传感器检测到烘干腔中温度低于55℃时，加热装置再次进行加热；

S13、下部电极在烘干腔内被烘干的时间达到预设的值时，加热装置停止工作。

本发明的有益效果：本发明提供的一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置及固化工艺，通过在烘干室内设置多个独立的烘干腔，将1—3块下部电极放入单独的烘干腔中进行烘干，使得下部电极表面的密封液固化，这样密封液的固化更加均匀，能够避免电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象发生。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。

图1为本发明一实施例提供的用于使下部电极表面的密封液固化的装置的立体图；

图2为图1中的烘干室的一个结构示意图；

图3为图1中的部分结构示意图；

图4为图3中的一部分结构在另一个视角下的结构示意图；

图5为图3中的另一部分结构在另一个视角下的结构示意图。

附图标记：

10-烘干室、11-烘干腔、12-加热装置、13-温度传感器、14-滚动支撑装置、15-炉门、20-底座、30-转移机构、40-行走机构、41-轮座、42-行走轮、43-导向轮、44-第四电机、50-立柱、60-升降装置、61-螺杆、62-滑块、63-第二电机、70-横梁、81-输送辊、82-传动辊、83-绳槽、84-第一绳索、85-第一电机、91-第三电机、92-绳轮、93-第二绳索、100-下部电极。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本发明的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-5所示，本实施例提供一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，包括烘干室10、炉门15、加热装置12、滚动支撑装置14、温度传感器13和控制器。

烘干室10具有多个用于容纳下部电极100的烘干腔11，烘干腔11的前端敞口设置，优选烘干腔11的数量有2—3排，每排烘干腔11的数量为2个，每个烘干腔11内可以放入1—3块下部电极。在每个烘干腔11的前端敞口处都安装有一个炉门15。烘干腔11的腔壁上安装有加热装置12，加热装置12可以是加热管、加热棒、加热丝或加热片等，上述这些加热装置12至少在烘干腔11的一个腔壁上进行了安装，也可以在烘干腔11的每个腔壁上都进行安装，目的是使的烘干腔11内受热更均匀。

滚动支撑装置14设置在烘干腔11内，其用于支撑下部电极。优选地，滚动支撑装置14包括多个沿横向设置在烘干腔11的腔壁两侧的支撑辊，支撑辊转动设置在烘干腔11的腔壁上。烘干腔11内能够放入的下部电极的数量与滚动支撑装置14的数量一致。

温度传感器13安装在烘干腔11内，其用于检测烘干腔11内的温度。

控制器(附图未示出)安装在烘干室10的外壁上，其与加热装置12和温度传感器13电连接，从而接收温度传感器13的电信号以控制加热装置12工作。

在本实施例中，通过在烘干室10内设置多个独立的烘干腔11，将1—3块下部电极放入单独的烘干腔11中进行烘干，使得下部电极表面的密封液固化，这样密封液的固化更加均匀，能够避免电极层上方的绝缘涂层内部发生未完全固化现象发生。

在一个实施例中，用于使下部电极表面的密封液固化的装置还包括输送装置。输送装置包括设置在烘干室10前端的底座20和两个设置在底座20上的转移机构30，底座20固定在地面上，或者与烘干室10固定连接。转移机构30包括行走机构40、立柱50、升降装置60、横梁70、输送辊81、传动辊82、第一绳索84和第一电机85。行走机构40可移动地设置在底座20上，立柱50沿纵向固定在行走机构40上，升降装置60则安装在立柱50上，而横梁70则沿横向安装在升降装置60上。横梁70上沿自身的延伸方向间隔安装有多个输送辊81，输送辊81与横梁70转动连接。在每个输送辊81上分别安装有一个传动辊82，传动辊82与输送辊81同轴连接，传动辊82跟输送辊81一起转动，传动辊82上开设有两个绳槽83，两个绳槽83平行分布。在两个相邻的传动辊82之间分别套有一根第一绳索84，第一绳索84套设在两个相邻的传动辊82上的对应的绳槽83中，其目的是使两个相邻的传动辊82同步转动。第一电机85安装在横梁70上，其与任意一个传动辊82传动连接，第一电机85与控制器电连接，从而受到控制器的控制。

在本实施例中，由于下部电极表面的密封液未固化之前，下部电机要保持水平，因此，通过设置上述输送装置，在将下部电极送入到烘干腔11的过程中，可以保证下部电极始终保持水平，而且也方便将下部电极送入到烘干腔11中。

在一个实施例中，升降装置60包括螺杆61、滑块62和第二电机63。螺杆61沿纵向设置在立柱50上，螺杆61与立柱50转动连接。滑块62滑动设置在立柱50上，滑块62在立柱50上沿纵向滑动，螺杆61穿过滑杆并且与滑块62螺纹连接，滑块62还与横梁70的一端连接。第二电机63安装在立柱50上，其用来驱动螺杆61转动，同时，第二电机63还与控制器连接，由控制器控制第二电机63工作。上述升降装置60，结构简单、紧凑，控制精度高。

在一个实施例中，横梁70的上述一端设置有铰接部和抵接部，铰接部用于与滑块62铰接，当抵接部与滑块62抵接时，横梁70保持在横向方向上不动，横梁70的另一端由收展机构驱动，收展机构包括第三低级、绳轮92和第二绳索93。第三电机91安装在立柱50的顶部，其与控制器电连接。绳轮92套设在第三电机91的输出轴上，第二绳索93的一端与横梁70的另一端连接，第二绳索93的另一端与绳轮92连接，这样绳轮92的转动可以使得第二绳索93被收卷或者被释放。通过上述设置，当不需要使用转移机构30中的输送辊81等来转移下部电极时，可以通过收展机构来将横梁70收起，从而避免横向展开的横梁70占用过多的工作空间，影响其他设备的转移或者人员的移动。与本实施例相对应的用于对下部电极表面的密封液进行固化的工艺为：包括如下步骤：

S10、行走机构40在底座20上进行第一次移动，使得位于第一列上的多个炉门15可以向外打开；

S20、行走机构40在底座20上进行第二次移动，并移动到已经打开的炉门15的正前方；

S30、收展机构将横梁70展开，使横梁70保持在横向方向上不动；

S40、升降装置60将横梁70上升或下降至某一个位置，在这个过程中，收展机构保持工作，通过释放第二绳索93，使得第二绳索93保持松弛状态，这样横梁70始终保持在横向方向上。在上述某一个位置处，由工人将下部电极放置到两个转移机构30的输送辊81上，工人通过转运车或者起吊设备实现下部电极的转移。

S50、升降装置60将下部电极上升或下降至预设的与烘干腔11相对应的高度上，使两个转移机构30中的输送辊81同步工作，以将下部电极送入到相应的烘干腔11中；

S60、重复步骤S40和S50，直到第一列烘干腔11中都放入了下部电极；

S70、行走机构40在底座20上进行第三次移动，使得第一列上的炉门15可以被关上；

S80、行走机构40在底座20上进行第四次移动，使得位于第二列上的炉门15可以被打开；

S90、重复步骤S40—S60，直到第二列烘干腔11中都放入了下部电极；

S100、行走机构40在底座20上进行第四次移动，使得位于第二列上的炉门15可以被关上；

S110、收展机构将横梁70收起，使得横梁70保持在纵向方向上不动；

S120、加热装置12启动，对烘干腔11内进行加热，当温度传感器13检测到烘干腔11中温度超过65℃时，加热装置12暂停工作，当温度传感器13检测到烘干腔11中温度低于55℃时，加热装置12再次进行加热；

S130、下部电极在烘干腔11内被烘干的时间达到预设的值时，加热装置12停止工作。

当需要取出固化好之后的下部电极时，工艺流程如下：

S140、行走机构40在底座20上进行第五次移动，使得位于第一列上的炉门15打开，并重复步骤S30一次。

S150、升降装置60将横梁70上升或下降至某一个位置，在这个过程中，收展机构保持工作，通过释放第二绳索93，使得第二绳索93保持松弛状态，这样横梁70始终保持在横向方向上。在上述某一个位置处，由工人操作设备或者手动将下部电极向外拉出至两个转移机构30中的输送辊81上，并由转运车或者起吊设备将下部电极转移走。

S160、重复步骤S150，直到第一列上的所有烘干腔11内的下部电极都被取走。

S170、行走机构40在底座20上进行第六次移动，使得位于第二列上的炉门15打开，重复步骤S160，直到第二列上的所有烘干腔11内的下部电极都被取走，至此就将所有固化完成后的下部电极取出。

在一个实施例中，行走机构40包括轮座41、行走轮42、导向轮43和第四电机44。行走轮42和导向轮43安装在轮座41上，行走轮42在底座20的上表面滚动，行走轮42沿横向分布，行走轮42的数量至少为一个，行走轮42与轮座41转动连接。导向轮43同样转动设置在轮座41上，不过导向轮43分布在行走轮42的前后两端。第四电机44安装在轮座41上，其用于驱动行走轮42转动，同时第四电机44还与控制器电连接，从而行走机构40的工作由控制器控制。通过设置行走轮42来保证转移机构30在底座20上的移动，通过设置导向轮43来保证转移机构30移动过程中不会发生倾斜或者晃动的情况，使得移动过程平稳。

本发明的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。

Claims (8)

1.一种用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：包括：

烘干室，其具有多个用于容纳所述下部电极的烘干腔，所述烘干腔的前端敞口设置；

炉门，其可开闭地设置在所述烘干腔的前端敞口处；

加热装置，其设置在所述烘干腔的腔壁上；

滚动支撑装置，其设置在所述烘干腔内，其用于支撑所述下部电极；

温度传感器，其设置在所述烘干腔内，其用于检测所述烘干腔内的温度；以及

控制器，其与所述加热装置和所述温度传感器电连接。

2.根据权利要求1所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：还包括输送装置，所述输送装置包括设置在所述烘干室前端的底座和两个设置在所述底座上的转移机构，所述转移机构包括：

行走机构，其可移动地设置在所述底座上；

立柱，其沿纵向固定设置在所述行走机构上；

升降装置，其设置在所述立柱上；

横梁，其沿横向设置在所述升降装置上；

输送辊，其沿所述横梁的延伸方向间隔设置有多个，所述输送辊与所述横梁转动连接；

传动辊，其在每个所述输送辊上分别设置有一个，所述传动辊与所述输送辊同轴连接，所述传动辊上开设有两个绳槽；

第一绳索，其套设在两个相邻的所述传动辊上的所述绳槽，其用于使两个相邻的所述传动辊同步转动；以及

第一电机，其设置在所述横梁上，其用于驱动任意一个所述传动辊转动，其与所述控制器电连接。

3.根据权利要求2所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述烘干室上设置有2—3排所述烘干腔，每排所述烘干腔的数量为2个。

4.根据权利要求3所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述滚动支撑装置包括多个沿横向设置在所述烘干腔的腔壁两侧的支撑辊，所述支撑辊转动设置在所述烘干腔的腔壁上。

5.根据权利要求4所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述升降装置包括：

螺杆，其沿纵向可转动地设置在所述立柱上；

滑块，其在所述立柱上沿纵向滑动，其与所述螺杆螺纹连接，其与所述横梁的一端连接；以及

第二电机，其设置在所述立柱上，其用于驱动所述螺杆转动，其与所述控制器电连接。

6.根据权利要求5所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述横梁的所述一端设置铰接部和抵接部，所述铰接部用于与所述滑块铰接，当所述抵接部与所述滑块抵接时，所述横梁保持在横向方向上不动，所述横梁的另一端由收展机构驱动，所述收展机构包括：

第三电机，其设置在所述立柱的顶部，其与所述控制器电连接；

绳轮，其套设在所述第三电机的输出轴上；以及

第二绳索，其一端与所述横梁的另一端连接，其另一端与所述绳轮连接。

7.根据权利要求2-6任一项所述的用于使下部电极表面的密封液固化的装置，其特征在于：所述行走机构包括：

轮座；

行走轮，其沿横向设置在所述轮座上，其与所述轮座转动连接；

导向轮，其在所述轮座上沿纵向设置有多个，其与所述轮座转动连接，多个所述导向轮分布在所述行走轮的前后两端；以及

第四电机，其设置在所述轮座上，其用于驱动所述行走轮转动，其与所述控制器电连接。

8.一种利用如权利要求6所述的装置对下部电极表面的密封液进行固化的工艺，其特征在于：包括如下步骤：

S1、行走在所述底座上进行第一次移动，使得位于某一列上的炉门可以向外打开；

S2、行走机构在所述底座上进行第二次移动，并移动到已经打开的所述炉门的正前方；

S3、收展机构将所述横梁展开，使所述横梁保持在横向方向上不动；

S4、升降装置将所述横梁上升或下降至某一个位置，在这个过程中，收展机构保持工作，使得横梁始终保持在横向方向上，在所述某一个位置处，下部电极被放置到两个所述转移机构的输送辊上；

S5、升降装置将下部电极上升或下降至预设的与烘干腔相对应的高度上，使两个所述转移机构中的输送辊同步工作，以将下部电极送入到相应的烘干腔中；

S6、重复步骤S4和S5，直到某一列烘干腔中都放入了下部电极；

S7、行走机构在所述底座上进行第三次移动，使得所述某一列上的炉门可以被关上；

S8、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于另一列上的炉门可以被打开；

S9、重复步骤S4—S6，直到另一列烘干腔中都放入了下部电极；

S10、行走机构在所述底座上进行第四次移动，使得位于所述另一列上的炉门可以被关上；

S11、收展机构将所述横梁收起，使得横梁保持在纵向方向上不动；

S12、加热装置启动，对烘干腔内进行加热，当温度传感器检测到烘干腔中温度超过65℃时，加热装置暂停工作，当温度传感器检测到烘干腔中温度低于55℃时，加热装置再次进行加热；

S13、下部电极在烘干腔内被烘干的时间达到预设的值时，加热装置停止工作。

Images