CN112206631A - 一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺 - Google Patents

一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺，其含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，包括液氮冷凝凝器，其用于将废气进行冷凝，液氮冷凝器的进气口与废气连通、出气口与吸附装置或压缩机的进口连通，液氮冷凝器的液体出口与存放罐的进口连通，从而将液氮冷凝器冷凝后的液态HF输入存放罐内存储。本发明流程简单，对HF、HCL的分离效率高，且能创造经济价值，降低废气处理带来的高额成本问题。

Description

一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺
技术领域
本发明涉及六氟磷酸锂生产过程中的废气处理技术，特别是涉及一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺。
背景技术
六氟磷酸锂是新能源电池的重要原料（电解液），在六氟磷酸锂生产过程中产生大量的无水氟化氢和氯化氢气体，现有的处理方法是将无水氟化氢和氯化氢气体吸收成含氟盐酸或作为废水处理，严重浪费资源，影响企业的经济效益。
发明内容
有鉴于现有技术的上述缺陷，本发明所要解决的技术问题是提供一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置及工艺，其能够对六氟磷酸锂生产过程中的废气进行回收利用。
为实现上述目的，本发明提供了一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，包括液氮冷凝凝器，其用于将废气进行冷凝，液氮冷凝器的进气口与废气连通、出气口与吸附装置或压缩机的进口连通，液氮冷凝器的液体出口与存放罐的进口连通，从而将液氮冷凝器冷凝后的液态HF输入存放罐内存储。
优选地，所述压缩机用于将气态的HCL压缩，然后通过气瓶存储，获得工业级钢瓶气。
优选地，所述吸附装置用于吸附气体中的HF，高纯度的HCL通过压缩机压缩进气瓶后获得高纯度级钢瓶气。
优选地，所述吸附装置包括两个氧化铝吸附罐，氧化铝吸附罐择一使用，所述氧化铝吸附罐包括外箱、内箱，内箱安装在外箱内部且内箱与外箱内壁之间构成保温间隙，保温间隙内安装有第一线圈；
所述内箱内固定有至少两块加热板，加热板上设置有过气孔、加热条，且内箱内部填充有氧化铝，氧化铝用于吸附VOC；所述内箱内侧顶部分别与第一副接入管、第二副接入管、第三副接入管一端连通，内箱内侧底部分别与第一接入管、第二接入管、第三接入管一端连通；
所述进气管与第一换向阀的进口连通，第一换向阀的第一出口、第二出口分别与两个氧化铝吸附罐的第一副接入管另一端连通，且使用时第一换向阀用于择一将其进口与其中一个第一副接入管连通；第一接入管与第一单向阀的进口连通、第一单向阀出口与排气管连通，从而将处理后的气体输出。
优选地，所述第二副接入管与第四单向阀的进口连通，第四单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通，冷凝器的冷凝接出口与存储罐的进口连通；所述第二接入管与第二单向阀的进口连通，第二单向阀的出口与存储罐的进口连通；所述第三副接入管与第三单向阀的进口连通，第三单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通。
优选地，两个氧化铝吸附罐的第三接入管另一端分别与第二换向阀的第一出口、第二出口连通，第二换向阀的进口与蒸汽泵的出口连通，蒸汽泵属于蒸汽系统，蒸汽系统还包括增压水泵，增压水泵的进口与水源连通、出口与雾化器的进口连通，雾化器用于将水雾化，且雾化器的出口与第三换向阀的第一进口连通，第三换向阀的第二进口与外部气源连通，第三换向阀的出口与与加热器的加热间隙一端连通，第三换向阀用于择一使其第一进口、第二进口与其出口连通；
加热器包括第二外壳、第二外壳，第一外壳与第二外壳之间构成安装间隙，安装间隙内安装有第二线圈，所述第二外壳内安装有交错设置的第一加热挡板、第二加热挡板，第一加热挡板、第二加热挡板之间构成加热间隙，加热间隙另一端与蒸汽泵的进口连通；
所述第一加热挡板、第二加热挡板采用铁质材料制成，所述第二线圈内通入交变电流，第二换向阀择一与其中一个第三接入管连通。
优选地，保温间隙内填充有保温材料；安装间隙填充隔热棉。
本发明还公开了一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，包括如下步骤：
S1、将混合油HF、HCL的废气输入液氮冷凝器中，通过液氮冷凝器将废气降温至-98℃，使得HF液化、HCL保持气态；
S2、将液相输出存储，将分离后的气体输出进行进一步处理。
优选地，S2中，分离后的气体输入压缩机内，经压缩装瓶，获得工业级HCL钢瓶气。
优选地，S2中，分离后的气体经过多级氧化铝吸附罐吸附后获得高纯度HCL，获得高纯度级HCL气体。
本发明的有益效果是：本发明流程简单，对HF、HCL的分离效率高，且能创造经济价值，降低废气处理带来的高额成本问题。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是本发明的吸附装置结构示意图。
图3是图2中F1处放大图。
图4是本发明的蒸汽系统结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
参见图1，本实施例的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，包括液氮冷凝凝器，其用于将废气进行冷凝，液氮冷凝器的进气口与废气连通、出气口与吸附装置或压缩机的进口连通，液氮冷凝器的液体出口与存放罐的进口连通，从而将液氮冷凝器冷凝后的液态HF输入存放罐内存储；
所述压缩机用于将气态的HCL压缩，然后通过气瓶存储，获得工业级钢瓶气。所述吸附装置用于吸附气体中的HF，从而提纯HCL，高纯度的气体通过压缩机压缩进气瓶后获得高纯度级钢瓶气。
具体过程如下：
由于HF的沸点19.5℃，HCL的沸点85℃，对此本发明利用两者的沸点差，用液氮冷凝器将混合气（尾气）温度降到-98℃就可以将HF和HCL分离；液相得到85.12%的氟化氢，氟化氢回收率99.9%，可用于六氟磷酸锂生产。气相99.8%HCL(含HF小于20ppm)经压缩装瓶，作为工业级HCL钢瓶气外售。
如果在液氮冷凝之后，用含有多级氧化铝吸附罐进行吸附，去除HF，可使HCL的纯度达到99.999%，并控制微量杂值在5ppm以下， 就可以达到高纯度HCL气体的标准。
参见图2-图4，虽然氧化铝吸附罐中氧化铝吸附的HF量很少，但是在不间断生产的过程中，还是需要更换氧化铝吸附罐以保证吸附效果。氧化铝吸收HF后会生成氟化铝，而氟化铝在30-400℃时可以部分水解产生氧化铝和HF，如果采用对氧化铝进行水解的循环使用方式，可以大大降低氧化铝吸附罐的更换频率，而且也降低了产生的氟化铝、氧化铝等固废，而且水解后的HF大部分还可以回收利用。而且冷凝后的气体中还有其它杂质，可以通过氧化铝吸附罐过滤这部分杂质。
但又要保证不间断生产，因此，申请人将每个吸附装置的氧化铝吸附罐设置为两个，所述吸附装置，包括两个氧化铝吸附罐，两个氧化铝吸附罐择一使用，所述氧化铝吸附罐包括外箱A110、内箱A120，内箱A120安装在外箱A110内部且内箱A120与外箱A110内壁之间构成保温间隙A111，保温间隙A111内安装有第一线圈A210，且保温间隙A111内填充有保温材料A411，所述保温材料A411为隔热材料，如隔热泡沫。
所述内箱A120内固定有至少两块加热板A130，加热板A130上设置有过气孔A131、加热条A132，且内箱A120内部填充有氧化铝A412，氧化铝A412用于吸附VOC。加热板、加热条采用铁质材料制成，所述第一线圈A210通入交变电流，从而产生交变磁场，使得加热板A130通过交变磁场生热，以加热氧化铝。
所述内箱A120内侧顶部分别与第一副接入管A151、第二副接入管A152、第三副接入管A153一端连通，内箱A120内侧底部分别与第一接入管A141、第二接入管A142、第三接入管A143一端连通；
所述进气管110与第一换向阀A211的进口连通，第一换向阀A211的第一出口、第二出口分别与两个氧化铝吸附罐的第一副接入管A151另一端连通，且使用时第一换向阀A211用于择一将其进口与其中一个第一副接入管A151连通，从而将换热器150排出的换热气体输送至其中一个氧化铝吸附罐内。
第一接入管A141与第一单向阀A221的进口连通、第一单向阀A221出口与排气管120连通，从而将处理后的气体输出。所述第二副接入管A152与第四单向阀A224的进口连通，第四单向阀A224的出口与冷凝器A250的冷凝接入口连通，冷凝器A250的冷凝接出口与存储罐A260的进口连通，从而将冷凝后的水回流至存储罐A260内存储。
所述第二接入管A142与第二单向阀A222的进口连通，第二单向阀A222的出口与存储罐A260的进口连通，从而使得水解时的液体流入存储罐A260内存储。
所述第三副接入管A153与第三单向阀A223的进口连通，第三单向阀A223的出口与冷凝器A250的冷凝接入口连通，从而将烘干时的水蒸气凝结，且凝结后的气体直接排放或输入进气管110内进行进一步处理；
两个氧化铝吸附罐的第三接入管A143另一端分别与第二换向阀A212的第一出口、第二出口连通，第二换向阀A212的进口与蒸汽泵A273的出口连通，蒸汽泵A273属于蒸汽系统，蒸汽系统还包括增压水泵A271，增压水泵A271的进口与水源连通、出口与雾化器A272的进口连通，雾化器A272用于将水雾化，且雾化器A272的出口与第三换向阀A213的第一进口连通，第三换向阀A213的第二进口与外部气源（大气）连通，第三换向阀A213的出口与与加热器A300的加热间隙A333一端连通，第三换向阀A213用于择一使其第一进口、第二进口与其出口连通；
加热器A300包括第一外壳A310、第二外壳A320，第一外壳A310与第二外壳A320之间构成安装间隙A311，安装间隙A311内安装有第二线圈A280，且安装间隙A311填充隔热棉A420，所述第二外壳A320内安装有交错设置的第一加热挡板A331、第二加热挡板A332，第一加热挡板A331、第二加热挡板A332之间构成加热间隙A333，加热间隙A333另一端与蒸汽泵A273的进口连通；
所述第一加热挡板A331、第二加热挡板A332采用铁质材料制成，所述第二线圈内通入交变电流，从而产生交变磁场，交变磁场使得第一加热挡板A331、第二加热挡板A332生热，并通过产生的热量加热雾化的水汽使其快速变成水蒸气，然后通过蒸汽泵A273输出至第二换向阀A212，第二换向阀A212择一与其中一个第三接入管A143连通。
本实施例中，使用时，第一换向阀将进气管110与左侧的氧化铝吸附罐的第一副接入管A151连通，气流进入此氧化铝吸附罐过滤后通过第一接入管A141、第一单向阀A221排出至排气管120后输送压缩机压缩。
当此氧化铝吸附罐需要水解、水解时，第一换向阀A211切断与此氧化铝吸附罐的第一副接入管A151的连通，而与另一氧化铝吸附罐的第一副接入管A151连通（右侧的氧化铝吸附罐）；然后气流通过此右侧氧化铝吸附罐处理后排出至压缩机或下一级的吸附装置。
与此同时，第二换向阀将其进口与左侧的氧化铝吸附罐的第三接入管A143连通，增压水泵A271、第二线圈A280、第一线圈A210、蒸汽泵A273、冷凝器A250均通电启动，增压泵A271将水增压后输入雾化器雾化成水雾，然后在蒸汽泵A273对加热间隙A333产生的负压下进入加热间隙A333，第一加热挡板A331、第二加热挡板A332分别被加热，然后通过自生热量加热水雾，使得水雾迅速变成高温水蒸气，然后进入蒸汽泵A273，蒸汽泵A273将高温水蒸气将氧化铝进行冲洗，充入水解其吸附的VOC，水解中产生的液体通过第二接入管A142流入存储罐A260，而水解中产生的气体分别进入冷凝器，冷凝后气体排出至废气处理装置处理、液体输入存储罐存储。在此过程中，第一线圈产生的交变磁场使加热板加热，加热板将氧化铝、氟化铝混合物迅速加热至300-400℃，从而使氟化铝能够快速被水蒸气水解。
水蒸气水解完成后，第三换向阀A213外部气源与加热间隙A333连通、将雾化器A272与加热间隙断开，然后蒸汽泵启动，将外部气体抽送至加热间隙加热成高温气体，高温气体对氧化铝进行烘干，烘干后增压水泵A271、第二线圈A280、第一线圈A210、蒸汽泵A273、冷凝器A250分别停止运行，从而完成水解，水解后的氧化铝吸附罐进入备用状态，如此往复。
这种设计使得本发明可以实现无间断工作，以提高产量，降低成本，而且氟化铝的水解可以增加氧化铝使用寿命，从而减少固废、降低使用成本。
本发明未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。
以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：包括液氮冷凝凝器，其用于将废气进行冷凝，液氮冷凝器的进气口与废气连通、出气口与吸附装置或压缩机的进口连通，液氮冷凝器的液体出口与存放罐的进口连通，从而将液氮冷凝器冷凝后的液态HF输入存放罐内存储。
2.如权利要求1所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述压缩机用于将气态的HCL压缩，然后通过气瓶存储，获得工业级钢瓶气。
3.如权利要求1所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述吸附装置用于吸附气体中的HF，高纯度的HCL通过压缩机压缩进气瓶后获得高纯度级钢瓶气。
4.如权利要求1或3所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述吸附装置包括两个氧化铝吸附罐，氧化铝吸附罐择一使用，所述氧化铝吸附罐包括外箱、内箱，内箱安装在外箱内部且内箱与外箱内壁之间构成保温间隙，保温间隙内安装有第一线圈；
所述内箱内固定有至少两块加热板，加热板上设置有过气孔、加热条，且内箱内部填充有氧化铝，氧化铝用于吸附VOC；所述内箱内侧顶部分别与第一副接入管、第二副接入管、第三副接入管一端连通，内箱内侧底部分别与第一接入管、第二接入管、第三接入管一端连通；
所述进气管与第一换向阀的进口连通，第一换向阀的第一出口、第二出口分别与两个氧化铝吸附罐的第一副接入管另一端连通，且使用时第一换向阀用于择一将其进口与其中一个第一副接入管连通；第一接入管与第一单向阀的进口连通、第一单向阀出口与排气管连通，从而将处理后的气体输出。
5.如权利要求4所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：所述第二副接入管与第四单向阀的进口连通，第四单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通，冷凝器的冷凝接出口与存储罐的进口连通；所述第二接入管与第二单向阀的进口连通，第二单向阀的出口与存储罐的进口连通；所述第三副接入管与第三单向阀的进口连通，第三单向阀的出口与冷凝器的冷凝接入口连通。
6.如权利要求5所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：两个氧化铝吸附罐的第三接入管另一端分别与第二换向阀的第一出口、第二出口连通，第二换向阀的进口与蒸汽泵的出口连通，蒸汽泵属于蒸汽系统，蒸汽系统还包括增压水泵，增压水泵的进口与水源连通、出口与雾化器的进口连通，雾化器用于将水雾化，且雾化器的出口与第三换向阀的第一进口连通，第三换向阀的第二进口与外部气源连通，第三换向阀的出口与与加热器的加热间隙一端连通，第三换向阀用于择一使其第一进口、第二进口与其出口连通；
加热器包括第二外壳、第二外壳，第一外壳与第二外壳之间构成安装间隙，安装间隙内安装有第二线圈，所述第二外壳内安装有交错设置的第一加热挡板、第二加热挡板，第一加热挡板、第二加热挡板之间构成加热间隙，加热间隙另一端与蒸汽泵的进口连通；
所述第一加热挡板、第二加热挡板采用铁质材料制成，所述第二线圈内通入交变电流，第二换向阀择一与其中一个第三接入管连通。
7.如权利要求6所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收装置，其特征是：保温间隙内填充有保温材料；安装间隙填充隔热棉。
8.一种含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：包括如下步骤：
S1、将混合油HF、HCL的废气输入液氮冷凝器中，通过液氮冷凝器将废气降温至-98℃，使得HF液化、HCL保持气态；
S2、将液相输出存储，将分离后的气体输出进行进一步处理。
9.如权利要求8所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：S2中，分离后的气体输入压缩机内，经压缩装瓶，获得工业级HCL钢瓶气。
10.如权利要求8所述的含氟化氢和氯化氢尾气冷凝回收工艺，其特征是：S2中，分离后的气体经过多级氧化铝吸附罐吸附后获得高纯度HCL，获得高纯度级HCL气体。
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CN113774460A (zh) * 2021-09-30 2021-12-10 中山大学 一种钛合金等离子体电解氧化复合涂层的制备方法
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