CN102838121B - 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 - Google Patents
一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102838121B CN102838121B CN201210346204.1A CN201210346204A CN102838121B CN 102838121 B CN102838121 B CN 102838121B CN 201210346204 A CN201210346204 A CN 201210346204A CN 102838121 B CN102838121 B CN 102838121B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- tail gas
- hydrogen
- inlet mouth
- buffer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210346204.1A CN102838121B (zh) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201210346204.1A CN102838121B (zh) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102838121A CN102838121A (zh) | 2012-12-26 |
CN102838121B true CN102838121B (zh) | 2015-03-25 |
Family
ID=47365889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201210346204.1A Active CN102838121B (zh) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102838121B (zh) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103342341A (zh) * | 2013-07-19 | 2013-10-09 | 新特能源股份有限公司 | 多晶硅生产中尾气分离工艺 |
CN103508419B (zh) * | 2013-10-22 | 2015-08-19 | 宁波巨化化工科技有限公司 | 氯化氢精制工艺 |
CN103588170B (zh) * | 2013-11-15 | 2015-12-09 | 新特能源股份有限公司 | 一种电子级多晶硅生产中回收氢气的净化处理工艺 |
CN109939532B (zh) * | 2019-04-17 | 2021-07-27 | 复旦大学 | 一种造纸废气净化回收设备 |
CN111536418B (zh) * | 2020-05-09 | 2021-09-21 | 中国船舶科学研究中心 | 一种热量自循环利用的海上合金储氢氢气补给系统及方法 |
CN113666377B (zh) * | 2021-09-30 | 2023-03-10 | 四川永祥多晶硅有限公司 | 一种多晶硅尾气的能量综合利用方法 |
CN115849383A (zh) * | 2022-11-29 | 2023-03-28 | 华陆工程科技有限责任公司 | 一种多晶硅尾气的回收方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102039082A (zh) * | 2010-06-09 | 2011-05-04 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 |
CN102249187A (zh) * | 2011-05-20 | 2011-11-23 | 四川亚连科技有限责任公司 | 多晶硅尾气处理回收纯氢和液态hcl的系统及其工艺 |
CN102574680A (zh) * | 2009-10-14 | 2012-07-11 | 信越化学工业株式会社 | 氢气回收系统以及氢气的分离回收方法 |
CN102614741A (zh) * | 2012-03-31 | 2012-08-01 | 四川新光硅业科技有限责任公司 | 多晶硅生产的尾气回收处理方法 |
CN202766304U (zh) * | 2012-09-18 | 2013-03-06 | 新特能源股份有限公司 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置 |
-
2012
- 2012-09-18 CN CN201210346204.1A patent/CN102838121B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102574680A (zh) * | 2009-10-14 | 2012-07-11 | 信越化学工业株式会社 | 氢气回收系统以及氢气的分离回收方法 |
CN102039082A (zh) * | 2010-06-09 | 2011-05-04 | 特变电工新疆硅业有限公司 | 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 |
CN102249187A (zh) * | 2011-05-20 | 2011-11-23 | 四川亚连科技有限责任公司 | 多晶硅尾气处理回收纯氢和液态hcl的系统及其工艺 |
CN102614741A (zh) * | 2012-03-31 | 2012-08-01 | 四川新光硅业科技有限责任公司 | 多晶硅生产的尾气回收处理方法 |
CN202766304U (zh) * | 2012-09-18 | 2013-03-06 | 新特能源股份有限公司 | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102838121A (zh) | 2012-12-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102838121B (zh) | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置 | |
CN101327912B (zh) | 从生产多晶硅所产生的尾气中回收氢气的方法 | |
CN102249187B (zh) | 多晶硅尾气处理回收纯氢和液态hcl的系统及其工艺 | |
CN101444681B (zh) | 三氯氢硅生产尾气回收的方法及其专用设备 | |
CN101357764B (zh) | 可回收循环利用尾气中的氯化氢的多晶硅生产方法 | |
CN105084370B (zh) | 一种冷氢化工艺中的渣浆处理方法和装置 | |
CN103553048B (zh) | 多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统 | |
CN101377376B (zh) | 回收生产多晶硅所产生的尾气的方法 | |
CN108534463B (zh) | 多晶硅还原尾气深度净化方法及系统 | |
CN202766304U (zh) | 一种多晶硅生产尾气再回收利用的装置 | |
CN104140106B (zh) | 处理多晶硅还原尾气的方法 | |
CN113277471A (zh) | 一种多晶硅生产中还原尾气的回收方法及装置 | |
CN109437234A (zh) | 一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法 | |
CN102431972A (zh) | 多晶硅生产中回收氯化氢的脱吸塔热能利用系统 | |
CN103449446B (zh) | 制备三氯氢硅的方法 | |
CN107352510B (zh) | 多晶硅还原尾气回收方法和回收系统 | |
CN101376499B (zh) | 生产多晶硅的方法 | |
CN101372336B (zh) | 一种多晶硅生产方法 | |
CN208694295U (zh) | 一种多晶硅生产线尾气回收系统 | |
CN105000582A (zh) | 一种焙烧氢氧化铝回收水蒸汽的系统及方法 | |
CN205953539U (zh) | 洗涤塔装置和三氯氢硅尾气回收系统 | |
CN116143078A (zh) | 一种多晶硅尾气中氯化氢的回收系统及回收方法 | |
CN202030520U (zh) | 多晶硅尾气处理回收纯氢和液态hcl的系统 | |
CN212299665U (zh) | 一种回收单晶硅生产中氩气尾气的装置 | |
CN104016352A (zh) | 处理多晶硅尾气的方法和系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 830011, room 716, Mustang building, No. 158, Kunming Road, the Xinjiang Uygur Autonomous Region, Urumqi Applicant after: XINTE ENERGY Co.,Ltd. Address before: 830011, room 716, Mustang building, No. 158, Kunming Road, the Xinjiang Uygur Autonomous Region, Urumqi Applicant before: TBEA Xinjiang Silicon Industry Co.,Ltd. |
|
COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: APPLICANT; FROM: TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY CO., LTD. TO: XINTE ENERGY CO., LTD. |
|
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Application publication date: 20121226 Assignee: Xinte silicon based new materials Co.,Ltd. Assignor: XINTE ENERGY Co.,Ltd. Contract record no.: X2023990000586 Denomination of invention: A method and device for recycling and utilizing tail gas from polycrystalline silicon production Granted publication date: 20150325 License type: Common License Record date: 20230605 |
|
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |