CN102039082A - 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，高温氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省了能源。

Description

一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置
技术领域
本发明涉及工业生产多晶硅中所产生的尾气的回收处理方法，更具体地说涉及一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法。
背景技术
在多晶硅生产中，能够使多晶硅生产尾气得以循环利用的一个重要的工序就是干法尾气回收系统。尾气回收过程可以循环回收利用氢气，并且可以分离出尾气中的氯硅烷和氯化氢。
多晶硅生产中的尾气主要成分是大量氢气，其中含有少量的氯硅烷及氯化氢，其工艺过程主要是通过冷凝、压缩、吸收、解吸和吸附工艺流程实现分离并分别返回装置利用。氯化氢的分离回收，需通过氯化氢的吸收与解析工艺过程才能分离，此工艺过程需要很大的冷量来进行物料的加压深冷，尤其是解析分离氯化氢时，经过深冷使氯化氢变成液态，需要经过汽化加热变成气态，输送到下一道的工序利用。传统的方法是通过电加热器使氯化氢加热汽化，如此不仅消耗大量的电能，而且氯化氢的纯度难以稳定控制，又会使物料冷量无法回收而大量损失。
发明内容
本发明旨在克服以上现有技术的不足，提供一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，以期利用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省能源。
一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，分离出的少量氯硅烷通过换热器冷凝管排至储罐收集，换热后氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。
为了进一步降低氯化氢气体中氯硅烷的含量，液态氯化氢被气化后进入除沫器再次去除夹带的氯硅烷。
所述的尾气中的氯化氢为经三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化、三氯氢硅合成反应生成的尾气。
一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置，其特点是：包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。
本发明的有益效果体现在：
本发明通过塔顶输出的液体氯化氢与塔底输出的氯硅烷进行热交换，充分利用了系统能量，从而达到很好的汽化效果，并且节省了大量的冷冻介质来进行氯硅烷深冷，省去了用电加热器汽化的设备费用及用电消耗，达到了很好的节能降耗的效果。
附图说明
图1为本发明多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置图；
图中标记：1-氯化氢冷凝储槽、2-换热器、3-除沫器、4-氯硅烷贮槽。
具体实施方式
参见图1，多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置，包括依次连接的氯化氢冷凝储槽1、换热器2和除沫器3，换热器2下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽4，用以储存液态氯化氢中分离出的少量氯硅烷液体。
首先，将来自氯化氢分离塔塔顶的低温氯化氢液体输送到氯化氢冷凝储槽1中，将氯化氢冷凝储槽1中的低温氯化氢液体与氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体经换热器2进行换热后，低温氯化氢液体被汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，分离出的少量氯硅烷液体输送到氯硅烷贮槽4中，汽化后的氯化氢进入除沫器3再次去除夹带的氯硅烷，得到纯度较高的氯化氢气体，输送到下一工序，高温氯硅烷液体温度降低后，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢，在此换热器中氯化氢中夹带的少量氯硅烷未被气化而与氯化氢实现分离，通过换热器冷凝管排至储罐收集。

Claims (2)

1.一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，其特征在于：从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，高温氯硅烷液体温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。
2.权利要求1所述的多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置，其特征在于：包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。
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