CN102039082B - 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 - Google Patents

一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102039082B
CN102039082B CN2010101957981A CN201010195798A CN102039082B CN 102039082 B CN102039082 B CN 102039082B CN 2010101957981 A CN2010101957981 A CN 2010101957981A CN 201010195798 A CN201010195798 A CN 201010195798A CN 102039082 B CN102039082 B CN 102039082B
Authority
CN
China
Prior art keywords
hydrogen chloride
chlorosilane
storage tank
tail gas
heat exchanger
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2010101957981A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102039082A (zh
Inventor
陈朝霞
王立春
李长生
黄杨
陈喜清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xinte Energy Co Ltd
Original Assignee
TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=43905820&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=CN102039082(B) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY Co Ltd filed Critical TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY Co Ltd
Priority to CN2010101957981A priority Critical patent/CN102039082B/zh
Publication of CN102039082A publication Critical patent/CN102039082A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102039082B publication Critical patent/CN102039082B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

本发明公开了一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底输出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，高温氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。所述的装置包括依次连接的氯化氢冷凝储槽、换热器和除沫器，换热器下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽。用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省了能源。

Description

一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置
技术领域
本发明涉及工业生产多晶硅中所产生的尾气的回收处理方法，更具体地说涉及一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法。
背景技术
在多晶硅生产中，能够使多晶硅生产尾气得以循环利用的一个重要的工序就是干法尾气回收系统。尾气回收过程可以循环回收利用氢气，并且可以分离出尾气中的氯硅烷和氯化氢。
多晶硅生产中的尾气主要成分是大量氢气，其中含有少量的氯硅烷及氯化氢，其工艺过程主要是通过冷凝、压缩、吸收、解吸和吸附工艺流程实现分离并分别返回装置利用。氯化氢的分离回收，需通过氯化氢的吸收与解析工艺过程才能分离，此工艺过程需要很大的冷量来进行物料的加压深冷，尤其是解析分离氯化氢时，经过深冷使氯化氢变成液态，需要经过汽化加热变成气态，输送到下一道的工序利用。传统的方法是通过电加热器使氯化氢加热汽化，如此不仅消耗大量的电能，而且氯化氢的纯度难以稳定控制，又会使物料冷量无法回收而大量损失。
发明内容
本发明旨在克服以上现有技术的不足，提供一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，以期利用尾气回收系统中的热量和冷量进行相互转化，充分利用能量，节省能源。
一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，特点是从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，分离出的少量氯硅烷通过换热器冷凝管排至储罐收集，换热后氯硅烷温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。
为了进一步降低氯化氢气体中氯硅烷的含量，液态氯化氢被气化后进入除沫器再次去除夹带的氯硅烷。
所述的尾气中的氯化氢为经三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化、三氯氢硅合成反应生成的尾气。
一种上述的多晶硅生产汽化尾气中氯化氢的装置，包括有氯化氢冷凝储槽1和氯硅烷贮槽4，所述氯化氢冷凝储槽1与氯硅烷贮槽4之间设置有换热器2；所述氯化氢冷凝储槽1的氯化氢出口与换热器2的氯化氢进口连通；所述换热器2的氯硅烷进口与氯化氢分离塔塔底连通；所述换热器2的氯化氢出口与除沫器3连通；所述换热器2的氯硅烷出口与氯硅烷贮槽4连通。
本发明的有益效果体现在：
本发明通过塔顶输出的液体氯化氢与塔底输出的氯硅烷进行热交换，充分利用了系统能量，从而达到很好的汽化效果，并且节省了大量的冷冻介质来进行氯硅烷深冷，省去了用电加热器汽化的设备费用及用电消耗，达到了很好的节能降耗的效果。
附图说明
图1为本发明多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置图；
图中标记：1-氯化氢冷凝储槽、2-换热器、3-除沫器、4-氯硅烷贮槽。
具体实施方式
参见图1，多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的装置，包括依次连接的氯化氢冷凝储槽1、换热器2和除沫器3，换热器2下方设置有与其相连的氯硅烷贮槽4，用以储存液态氯化氢中分离出的少量氯硅烷液体。
首先，将来自氯化氢分离塔塔顶的低温氯化氢液体输送到氯化氢冷凝储槽1中，将氯化氢冷凝储槽1中的低温氯化氢液体与氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体经换热器2进行换热后，低温氯化氢液体被汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，分离出的少量氯硅烷液体输送到氯硅烷贮槽4中，汽化后的氯化氢进入除沫器3再次去除夹带的氯硅烷，得到纯度较高的氯化氢气体，输送到下一工序，高温氯硅烷液体温度降低后，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢，在此换热器中氯化氢中夹带的少量氯硅烷未被气化而与氯化氢实现分离，通过换热器冷凝管排至储罐收集。

Claims (2)

1.一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法，其特征在于：从氯化氢分离塔塔顶分离出的低温氯化氢液体，通过换热设备，与从氯化氢分离塔塔底分离出的高温氯硅烷液体进行热交换，从而使低温氯化氢液体吸收热量被完全汽化，与其中夹带的少量氯硅烷液体实现分离，高温氯硅烷液体温度降低，作为低温吸收液体进入吸收塔继续吸收尾气中的氯化氢。
2.一种用于权利要求1所述的多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法的装置，包括有氯化氢冷凝储槽(1)和氯硅烷贮槽(4)，其特征在于：所述氯化氢冷凝储槽(1)与氯硅烷贮槽(4)之间设置有换热器(2)；所述氯化氢冷凝储槽(1)的氯化氢出口与换热器(2)的氯化氢进口连通；所述换热器(2)的氯硅烷进口与氯化氢分离塔塔底连通；所述换热器(2)的氯化氢出口与除沫器(3)连通；所述换热器(2)的氯硅烷出口与氯硅烷贮槽(4)连通。
CN2010101957981A 2010-06-09 2010-06-09 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置 Active CN102039082B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101957981A CN102039082B (zh) 2010-06-09 2010-06-09 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101957981A CN102039082B (zh) 2010-06-09 2010-06-09 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102039082A CN102039082A (zh) 2011-05-04
CN102039082B true CN102039082B (zh) 2011-08-31

Family

ID=43905820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010101957981A Active CN102039082B (zh) 2010-06-09 2010-06-09 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102039082B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102512911A (zh) * 2011-12-02 2012-06-27 宜昌南玻硅材料有限公司 吸收和脱吸单元热能综合利用方法
CN102838121B (zh) * 2012-09-18 2015-03-25 新特能源股份有限公司 一种多晶硅生产尾气再回收利用的方法及其装置
CN102838119A (zh) * 2012-09-19 2012-12-26 特变电工新疆硅业有限公司 一种氢化尾气、还原尾气热能回收工艺及系统
CN104402001B (zh) * 2014-10-29 2016-08-24 新疆大全新能源有限公司 多晶硅氢化尾气回收系统及尾气利用方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4963330A (en) * 1985-04-16 1990-10-16 Flakt Ab Method and apparatus for treating contaminated gases
CN2176820Y (zh) * 1993-11-30 1994-09-14 天津市大港区振东玻璃钢厂 酸雾吸收器
CN1843569A (zh) * 2006-03-13 2006-10-11 董谊仁 一种气体净化组合吸收塔及其应用
CN201101938Y (zh) * 2007-07-31 2008-08-20 杭州中昊科技有限公司 工业气体中氯化氢的全回收系统
CN101475175A (zh) * 2009-01-21 2009-07-08 东方电气集团东方汽轮机有限公司 等离子氢化四氯化硅制备三氯氢硅的方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7846407B2 (en) * 2006-04-07 2010-12-07 Liang Hu Self-concentrating absorbent for acid gas separation

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4963330A (en) * 1985-04-16 1990-10-16 Flakt Ab Method and apparatus for treating contaminated gases
CN2176820Y (zh) * 1993-11-30 1994-09-14 天津市大港区振东玻璃钢厂 酸雾吸收器
CN1843569A (zh) * 2006-03-13 2006-10-11 董谊仁 一种气体净化组合吸收塔及其应用
CN201101938Y (zh) * 2007-07-31 2008-08-20 杭州中昊科技有限公司 工业气体中氯化氢的全回收系统
CN101475175A (zh) * 2009-01-21 2009-07-08 东方电气集团东方汽轮机有限公司 等离子氢化四氯化硅制备三氯氢硅的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102039082A (zh) 2011-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103553048B (zh) 多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统
CN104406364B (zh) 一种双塔耦合的氩气回收纯化设备及氩气回收纯化方法
CN104138713A (zh) 一种酸性气体中回收硫的方法、装置及反应器
CN103896280B (zh) 一种多晶硅冷氢化的运行方法
CN103611377A (zh) 一种气体净化预处理方法与装置
CN102039082B (zh) 一种多晶硅生产中汽化尾气中氯化氢的方法及其装置
CN102431972B (zh) 多晶硅生产中回收氯化氢的脱吸塔热能利用系统
CN106268162B (zh) 一种尾气回收系统
CN108313983A (zh) 用于高纯氟化锂制备的氢氟酸纯化及配制方法
CN103539155B (zh) 利用合成氨系统废气中氨回收利用装置的方法
CN202070276U (zh) 一种用于多晶硅尾气循环冷凝洗涤的净化装置
CN110240165B (zh) 多晶硅还原尾气中二氯二氢硅的回收方法和回收装置
CN203469766U (zh) 一种低温甲醇洗深度解析再生冷量的装置
CN101693522B (zh) 合成氨废气分离回收系统
CN202216490U (zh) 一种高纯液氖提取装置
CN204373313U (zh) 一种双塔耦合的氩气回收纯化设备
CN205709899U (zh) 一种氨气纯化装置
CN216946234U (zh) 一种制备半导体用超纯氨的装置
CN202030520U (zh) 多晶硅尾气处理回收纯氢和液态hcl的系统
CN202924742U (zh) 一种二氯二氢硅除杂设备
CN211837274U (zh) 一种天然气净化脱硫系统
CN101143807A (zh) 一种采用分离热管型反应器生产二甲醚的方法
CN101774544B (zh) 生产多晶硅所产生的尾气的回收利用方法
CN201520641U (zh) 高纯二氧化碳提取装置
CN203989925U (zh) 一种热泵蒸馏节能装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: XINTE ENERGY CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: TBEA XINJIANG SILICON INDUSTRY CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address

Address after: 830011, room 716, Mustang building, No. 158, Kunming Road, the Xinjiang Uygur Autonomous Region, Urumqi

Patentee after: Xinte Energy Co.,Ltd.

Address before: 830011 Kunming road the Xinjiang Uygur Autonomous Region Urumqi City No. 158 building seven Mustang

Patentee before: TBEA Xinjiang Silicon Industry Co., Ltd.