CN112139963A - 一种单面抛光机结构 - Google Patents

Abstract

本发明是一种单面抛光机结构，包括下箱体、下盘组件、顶台、上抛头组件、外导轮、刷盘组件、电气柜和液压站，所述下盘组件设置于下箱体中，下箱体通过若干个立柱连接位于其上方的顶台，外导轮均布于下箱体的上端面周边且位于立柱的一侧，刷盘组件设置于下箱体的上端面的后侧边位置处，顶台的上端面上设置上抛头组件，电气柜设置于下箱体和顶台的后端面处，液压站设置于下箱体的后端且位于电气柜的下方位置处。本发明结构提供加工所需的下盘和上抛头转动、上抛头加压、外导轮定位、水液分离和高速刷盘功能，并且上抛头加压还提供辅助加压功能，使得工件所受的压力分布均匀，水液分离功能使抛光液循环使用过程也可以保证纯净和浓度。

Description

一种单面抛光机结构

技术领域

本发明涉及抛光机技术领域，具体涉及一种单面抛光机结构。

背景技术

单面抛光机是目前单晶硅、多晶硅及电子级硅、蓝宝石等硬脆材料加工的主要设备，由于工件的尺寸越来越大，设备的尺寸也随之越来越大，因此对工件的定位准确性、加压稳定性、操作便利性有了更高的要求。

针对上述要求，本发明提供一种单面抛光机结构，来满足加工所需的下盘和上抛头转动、上抛头加压、外导轮定位、水液分离、高速刷盘功能，并提供辅助加压和水液分离功能，辅助加压使得工件所受的压力分布均匀，水液分离使抛光液循环使用过程也可以保证纯净和浓度。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种单面抛光机结构。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种单面抛光机结构，该结构包括下箱体、下盘组件、顶台、上抛头组件、外导轮、刷盘组件、电气柜和液压站，所述下盘组件设置于下箱体中，所述下箱体通过若干个立柱连接位于其上方的顶台，所述外导轮均布于下箱体的上端面周边且位于所述立柱的一侧，所述刷盘组件设置于下箱体的上端面的后侧边位置处，所述顶台的上端面上设置上抛头组件，所述电气柜设置于下箱体和顶台的后端面处，所述液压站设置于下箱体的后端且位于所述电气柜的下方位置处。

进一步的，所述下盘组件包括有电机底板、主电机、电机带轮、减速机、水冷盘、液体静压轴承、抛光盘、主轴、减速机带轮，所述所述电机底板固定于下箱体的底板上，所述主电机与电机底板相配合固定，所述抛光盘下端设有水冷盘，所述水冷盘下端设有液体静压轴承，所述液体静压轴承的下端中部通过主轴连接至减速机的输出端，所述减速机的输入端连接有减速机带轮，所述减速机带轮通过相应皮带与电机带轮配合连接，所述电机带轮连接至主电机的输出端上。

进一步的，所述减速机的下端连接有旋转接头，所述旋转接头通过防转板连接至下箱体的底板上。

进一步的，所述上抛头组件包括有支架、立式电机、主动齿轮、从动齿轮、气缸组件、防转套、旋转接头、过渡轴套、上盘轴组件、风琴罩和上盘组件，所述立式电机固定于支架上，所述主动齿轮位于支架内部并与所述立式电机的输出端固接在一起，所述从动齿轮固接于上盘轴组件上并与所述主动齿轮相啮合传动，所述气缸组件的缸体固定于支架上，气缸组件的缸杆通过连接块连接过渡轴套，所述过渡轴套上端设有防转套，所述防转套内部设有旋转接头，所述旋转接头与上盘轴组件相连接，所述上盘轴组件转动地设置于支架中，上盘轴组件的下端连接上盘组件。

进一步的，所述上盘组件位于支架下方，在所述支架与上盘组件之间设置风琴罩，所述风琴罩连接至上盘轴组件上。

进一步的，所述上盘组件包括有深沟球轴承、抛头连接块、锥形环、轴承支座、上花键轴、石墨铜套、调心球轴承、配重压块、配重块、花间联轴器、上盘护圈顶盖、上盘压环、挡边、调心轴承隔套、导套支撑架、抛头活塞、花键、下花键轴、抛头连接杆、上盘基座、定位杆、风琴罩固定板和防护盖，所述抛头连接杆设置于上盘护圈顶盖内圈侧，所述调心球轴承安装于抛头连接杆中部内侧台阶下方与石墨铜套外侧之间，所述石墨铜套内侧设有上花键轴，所述上花键轴上端安装有深沟球轴承，上花键轴下端通过花键联轴器、花键与下花键轴相连接，所述下花键轴通过螺钉固接于抛头连接杆下端，下花键轴下端内侧固定有导套支撑架，所述导套支撑架的内部导套中滑动地设有抛头活塞，所述抛头活塞下端连接有上盘基座，所述下花键轴通过管路连接相应的气缸，用以驱动抛头活塞在导套支撑架的内部导套中运动，从而带动上盘基座运动对抛头中心位置加压。

进一步的，在所述下花键轴与调心球轴承之间设有调心轴承隔套，所述花键联轴器和花键位于调心轴承隔套内侧。

进一步的，所述配重块和配重压块通过定位杆穿接定位后安装于上盘护圈顶盖的上端面，形成对抛光头的整体加压，所述深沟球轴承设置于轴承支座中，所述轴承支座的斜上方设有锥形环，所述锥形环通过相应螺钉固接在抛头连接杆上，所述轴承支座上设有与锥形环的锥面相配合的倾斜面，使得在抛光头处于非工作位置时，轴承支座与锥形环接触后，带动抛光头升降，在抛光头落下至抛光盘面时，轴承支座与锥形环脱开，不干涉抛光头的工作。

进一步的，该结构还包括有触摸屏，所述触摸屏设置于顶台前端并嵌入顶台中。

本发明的有益效果是:

本发明结构可以提供加工所需的下盘和上抛头转动、上抛头加压、外导轮定位、水液分离和高速刷盘功能，并且上抛头加压还提供辅助加压功能，使得工件所受的压力分布均匀，水液分离功能使抛光液循环使用过程也可以保证纯净和浓度。

附图说明

图1 是本发明单面抛光机的结构示意图；

图2 是本发明下盘组件结构示意图；

图3 是本发明上抛头结构示意图；

图4 是本发明上盘组件结构示意图。

图中标号说明：1、下箱体，2、下盘组件，201、电机底板，202、主电机，203、电机带轮，204、减速机，205、水冷盘，206、液体静压轴承，207、抛光盘，208、主轴，209、减速机带轮，210、旋转接头，211、防转板，3、顶台，4、立柱，5、上抛头组件，501、支架，502、立式电机，503、主动齿轮，504、从动齿轮，505、气缸组件，506、防转套，507、旋转接头，508、过渡轴套，509、上盘轴组件，510、风琴罩，511、上盘组件，1101、深沟球轴承，1102、抛头连接块，1103、锥形环，1104、轴承支座，1105、上花键轴，1106、石墨铜套，1107、调心球轴承，1108、配重压块，1109、配重块，1110、花间联轴器，1111、上盘护圈顶盖，1112、上盘压环，1113、挡边，1114、调心轴承隔套，1115、导套支撑架，1116、抛头活塞，1117、花键，1118、下花键轴，1119、抛头连接杆，1120、上盘基座，1121、定位杆，1122、风琴罩固定板，1123、防护盖，6、触摸屏，7、外导轮，8、刷盘组件，9、电气柜，10、液压站。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。

如图1所示，一种单面抛光机结构，该结构包括下箱体1、下盘组件2、顶台3、上抛头组件5、外导轮7、刷盘组件8、电气柜9和液压站10，所述下盘组件2设置于下箱体1中，所述下箱体1通过若干个立柱4连接位于其上方的顶台3，所述外导轮7均布于下箱体1的上端面周边且位于所述立柱4的一侧，在本实施例中，下箱体1的上端面为矩形结构，在下箱体1的上端面四个角的位置分别连接立柱4，四个外导轮7分别靠近对应立柱4的右侧，所述刷盘组件8设置于下箱体1的上端面的后侧边位置处，所述顶台3的上端面上设置上抛头组件5，所述电气柜9设置于下箱体1和顶台3的后端面处，所述液压站10设置于下箱体1的后端且位于所述电气柜9的下方位置处。

如图2所示，所述下盘组件2包括有电机底板201、主电机202、电机带轮203、减速机204、水冷盘205、液体静压轴承206、抛光盘207、主轴208、减速机带轮209，所述所述电机底板201固定于下箱体1的底板上，所述主电机202与电机底板201相配合固定，所述抛光盘207下端设有水冷盘205，在本实施例中，水冷盘205位于下箱体1内，所述水冷盘205下端设有液体静压轴承206，所述液体静压轴承206的下端中部通过主轴208连接至减速机204的输出端，所述减速机204的输入端连接有减速机带轮209，所述减速机带轮209通过相应皮带与电机带轮203配合连接，所述电机带轮203连接至主电机202的输出端上。

所述减速机204的下端连接有旋转接头210，所述旋转接头210通过防转板211连接至下箱体1的底板上。

如图3所示，所述上抛头组件5包括有支架501、立式电机502、主动齿轮503、从动齿轮504、气缸组件505、防转套506、旋转接头507、过渡轴套508、上盘轴组件509、风琴罩510和上盘组件511，所述立式电机502固定于支架501上，所述主动齿轮503位于支架501内部并与所述立式电机502的输出端固接在一起，所述从动齿轮504固接于上盘轴组件509上并与所述主动齿轮503相啮合传动，所述气缸组件505的缸体固定于支架501上，气缸组件505的缸杆通过连接块连接过渡轴套508，所述过渡轴套508上端设有防转套506，所述防转套506内部设有旋转接头507，所述旋转接头507与上盘轴组件509相连接，所述上盘轴组件509转动地设置于支架501中，上盘轴组件509的下端连接上盘组件511。

所述上盘组件511位于支架501下方，在所述支架501与上盘组件511之间设置风琴罩510，所述风琴罩510连接至上盘轴组件509上。

如图4所示，所述上盘组件511包括有深沟球轴承1101、抛头连接块1102、锥形环1103、轴承支座1104、上花键轴1105、石墨铜套1106、调心球轴承1107、配重压块1108、配重块1109、花间联轴器1110、上盘护圈顶盖1111、上盘压环1112、挡边1113、调心轴承隔套1114、导套支撑架1115、抛头活塞1116、花键1117、下花键轴1118、抛头连接杆1119、上盘基座1120、定位杆1121、风琴罩固定板1122和防护盖1123，所述抛头连接杆1119设置于上盘护圈顶盖1111内圈侧，所述调心球轴承1107安装于抛头连接杆1119中部内侧台阶下方与石墨铜套1106外侧之间，所述石墨铜套1106内侧设有上花键轴1105，所述上花键轴1105上端安装有深沟球轴承1101，上花键轴1105下端通过花键联轴器1110、花键1117与下花键轴1118相连接，所述下花键轴1118通过螺钉固接于抛头连接杆1119下端，下花键轴1118下端内侧固定有导套支撑架1115，所述导套支撑架1115的内部导套中滑动地设有抛头活塞1116，所述抛头活塞1116下端连接有上盘基座1120，所述下花键轴1118通过管路连接相应的气缸，用以驱动抛头活塞1116在导套支撑架1115的内部导套中运动，从而带动上盘基座1120运动对抛头中心位置加压。

在所述下花键轴1118与调心球轴承1107之间设有调心轴承隔套1114，所述花键联轴器1110和花键1117位于调心轴承隔套1114内侧。

所述配重块1109和配重压块1108通过定位杆1121穿接定位后安装于上盘护圈顶盖1111的上端面，形成对抛光头的整体加压，所述深沟球轴承1101设置于轴承支座1104中，所述轴承支座1104的上端设有抛头连接块1102，所述抛头连接块1102通过相应螺钉与其上方的风琴罩固定板1122相连接，所述轴承支座1104的斜上方设有锥形环1103，所述锥形环1103通过相应螺钉固接在抛头连接杆1119上，所述轴承支座1104上设有与锥形环1103的锥面相配合的倾斜面，使得在抛光头处于非工作位置时，轴承支座1104与锥形环1103接触后，带动抛光头升降，在抛光头落下至抛光盘面时，轴承支座1104与锥形环1103脱开，不干涉抛光头的工作。

该结构还包括有触摸屏6，所述触摸屏6设置于顶台3前端并嵌入顶台3中。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种单面抛光机结构，其特征在于，该结构包括下箱体（1）、下盘组件（2）、顶台（3）、上抛头组件（5）、外导轮（7）、刷盘组件（8）、电气柜（9）和液压站（10），所述下盘组件（2）设置于下箱体（1）中，所述下箱体（1）通过若干个立柱（4）连接位于其上方的顶台（3），所述外导轮（7）均布于下箱体（1）的上端面周边且位于所述立柱（4）的一侧，所述刷盘组件（8）设置于下箱体（1）的上端面的后侧边位置处，所述顶台（3）的上端面上设置上抛头组件（5），所述电气柜（9）设置于下箱体（1）和顶台（3）的后端面处，所述液压站（10）设置于下箱体（1）的后端且位于所述电气柜（9）的下方位置处。

2.根据权利要求1所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述下盘组件（2）包括有电机底板（201）、主电机（202）、电机带轮（203）、减速机（204）、水冷盘（205）、液体静压轴承（206）、抛光盘（207）、主轴（208）、减速机带轮（209），所述所述电机底板（201）固定于下箱体（1）的底板上，所述主电机（202）与电机底板（201）相配合固定，所述抛光盘（207）下端设有水冷盘（205），所述水冷盘（205）下端设有液体静压轴承（206），所述液体静压轴承（206）的下端中部通过主轴（208）连接至减速机（204）的输出端，所述减速机（204）的输入端连接有减速机带轮（209），所述减速机带轮（209）通过相应皮带与电机带轮（203）配合连接，所述电机带轮（203）连接至主电机（202）的输出端上。

3.根据权利要求2所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述减速机（204）的下端连接有旋转接头（210），所述旋转接头（210）通过防转板（211）连接至下箱体（1）的底板上。

4.根据权利要求1所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述上抛头组件（5）包括有支架（501）、立式电机（502）、主动齿轮（503）、从动齿轮（504）、气缸组件（505）、防转套（506）、旋转接头（507）、过渡轴套（508）、上盘轴组件（509）、风琴罩（510）和上盘组件（511），所述立式电机（502）固定于支架（501）上，所述主动齿轮（503）位于支架（501）内部并与所述立式电机（502）的输出端固接在一起，所述从动齿轮（504）固接于上盘轴组件（509）上并与所述主动齿轮（503）相啮合传动，所述气缸组件（505）的缸体固定于支架（501）上，气缸组件（505）的缸杆通过连接块连接过渡轴套（508），所述过渡轴套（508）上端设有防转套（506），所述防转套（506）内部设有旋转接头（507），所述旋转接头（507）与上盘轴组件（509）相连接，所述上盘轴组件（509）转动地设置于支架（501）中，上盘轴组件（509）的下端连接上盘组件（511）。

5.根据权利要求4所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述上盘组件（511）位于支架（501）下方，在所述支架（501）与上盘组件（511）之间设置风琴罩（510），所述风琴罩（510）连接至上盘轴组件（509）上。

6.根据权利要求4或5所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述上盘组件（511）包括有深沟球轴承（1101）、抛头连接块（1102）、锥形环（1103）、轴承支座（1104）、上花键轴（1105）、石墨铜套（1106）、调心球轴承（1107）、配重压块（1108）、配重块（1109）、花间联轴器（1110）、上盘护圈顶盖（1111）、上盘压环（1112）、挡边（1113）、调心轴承隔套（1114）、导套支撑架（1115）、抛头活塞（1116）、花键（1117）、下花键轴（1118）、抛头连接杆（1119）、上盘基座（1120）、定位杆（1121）、风琴罩固定板（1122）和防护盖（1123），所述抛头连接杆（1119）设置于上盘护圈顶盖（1111）内圈侧，所述调心球轴承（1107）安装于抛头连接杆（1119）中部内侧台阶下方与石墨铜套（1106）外侧之间，所述石墨铜套（1106）内侧设有上花键轴（1105），所述上花键轴（1105）上端安装有深沟球轴承（1101），上花键轴（1105）下端通过花键联轴器（1110）、花键（1117）与下花键轴（1118）相连接，所述下花键轴（1118）通过螺钉固接于抛头连接杆（1119）下端，下花键轴（1118）下端内侧固定有导套支撑架（1115），所述导套支撑架（1115）的内部导套中滑动地设有抛头活塞（1116），所述抛头活塞（1116）下端连接有上盘基座（1120），所述下花键轴（1118）通过管路连接相应的气缸，用以驱动抛头活塞（1116）在导套支撑架（1115）的内部导套中运动，从而带动上盘基座（1120）运动对抛头中心位置加压。

7.根据权利要求6所述的单面抛光机结构，其特征在于，在所述下花键轴（1118）与调心球轴承（1107）之间设有调心轴承隔套（1114），所述花键联轴器（1110）和花键（1117）位于调心轴承隔套（1114）内侧。

8.根据权利要求6所述的单面抛光机结构，其特征在于，所述配重块（1109）和配重压块（1108）通过定位杆（1121）穿接定位后安装于上盘护圈顶盖（1111）的上端面，形成对抛光头的整体加压，所述深沟球轴承（1101）设置于轴承支座（1104）中，所述轴承支座（1104）的斜上方设有锥形环（1103），所述锥形环（1103）通过相应螺钉固接在抛头连接杆（1119）上，所述轴承支座（1104）上设有与锥形环（1103）的锥面相配合的倾斜面，使得在抛光头处于非工作位置时，轴承支座（1104）与锥形环（1103）接触后，带动抛光头升降，在抛光头落下至抛光盘面时，轴承支座（1104）与锥形环（1103）脱开，不干涉抛光头的工作。

9.根据权利要求1所述的单面抛光机结构，其特征在于，该结构还包括有触摸屏（6），所述触摸屏（6）设置于顶台（3）前端并嵌入顶台（3）中。

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