CN212762851U - 一种研磨机整机专用气浮平台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及研磨技术领域，具体涉及一种研磨机整机专用气浮平台。包括：卡固装置、上止推盘、下止推盘、连接轴和驱动电机，所述上止推盘通过心轴与下止推盘固定连接，所述下止推盘轴向连接有连接轴，所述驱动电机通过气浮同步轮组件与连接轴转动连接，所述心轴外套设有轴承座，所述心轴和所述轴承座之间设有气浮石墨微孔径向轴承，所述轴承座与上止推盘之间设有第一气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座与下止推盘之间设有第二气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座上设有气压孔。在压缩空气的作用下轴承座与轴承之间会产生间隙，因此心轴、上止推盘和下止推盘均会与轴承座接触，轴承座的机械振动也不会传导到产品上，从而能够满足产品的精密加工。

Description

一种研磨机整机专用气浮平台

技术领域

本实用新型涉及研磨技术领域，具体涉及一种研磨机整机专用气浮平台。

背景技术

片工件减薄精磨传统的机械传动结构通常是使用马达带动皮带传动，或者是马达通过齿轮传动，对应的传动缺点是精度不高，容易出现轴向和径向的振动在产品(晶片)加工表面出现振纹，表面粗糙度不高，尺寸精度不高，这对于产品(晶片)精密到微米，表面粗糙度0.4的要求是不够的，所以我们研发出来硅片专用研磨机整机专用气浮平台解决了这个问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足和缺陷，提供一种减震研磨机整机专用气浮平台。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种研磨机整机专用气浮平台，包括：卡固装置、上止推盘、下止推盘、连接轴和驱动电机，所述卡固装置固定设置在上止推盘上，所述上止推盘通过心轴与下止推盘固定连接，所述下止推盘轴向连接有连接轴，所述驱动电机通过气浮同步轮组件与连接轴转动连接，所述心轴外套设有轴承座，所述心轴和所述轴承座之间设有气浮石墨微孔径向轴承，所述轴承座与上止推盘之间设有第一气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座与下止推盘之间设有第二气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座上设有气压孔，所述气压孔通过连接管与气泵连接。

具体的，所述卡固装置为真空吸盘，所述上止推盘、所述心轴、所述下止推盘、所述连接轴均设置有连通真空吸盘的通气孔，所述连接轴通过转向接头与气泵连接。

具体的，所述上止推盘的通气孔设置在上止推盘的轴线上，所述心轴的通气孔设置在心轴的轴线上，所述下止推盘的通气孔设置在下止推盘的轴线上，所述连接轴的通气孔设置在连接轴的轴线上。

具体的，气浮石墨微孔径向轴承在轴承座一侧延伸有第一卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承在轴承座一侧延伸有第二卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承在轴承座一侧延伸有第三卡圈，所述轴承座上设有卡合所述第一卡圈、所述第二卡圈、所述第三卡圈的卡槽。

具体的，还包括连接盘，所述连接盘与所述轴承座固定连接，所述连接盘设置在下止推盘及连接轴的外围。

具体的，所述轴承座外侧设有用于密封轴承座与上止推盘所形成间隙的气浮件防水圈。

本实用新型相比现有技术包括以下优点及有益效果：

(1)本实用新型通过气泵往气压孔内通入压缩空气，在压缩空气的作用下轴承座与气浮石墨微孔径向轴承之间会产生细微的间隙，轴承座与第一气浮石墨微孔轴向轴承之间会产生细微的间隙，轴承座与第二气浮石墨微孔轴向轴承之间也会产生细微的间隙，因此心轴、上止推盘和下止推盘均会与轴承座接触，轴承座的机械振动也不会通过心轴、上止推盘和下止推盘等组件传导到产品上，从而能够满足产品的精密加工。

(2)通过气浮石墨微孔径向轴承、第一气浮石墨微孔轴向轴承和第二气浮石墨微孔轴向轴承在轴承座一侧设置卡圈，轴承座设置卡槽与卡圈配合，能够使得压缩空气不会进入轴承座与气浮石墨微孔径向轴承、第一气浮石墨微孔轴向轴承、第二气浮石墨微孔轴向轴承之间，导致轴承座与气浮石墨微孔径向轴承、第一气浮石墨微孔轴向轴承、第二气浮石墨微孔轴向轴承分离。

(3)通过卡固装置为真空吸附装置，产品在真空吸附装置吸附后会与齐平平台吸附牢固，产品变形力极其微小，产品粗加工能承受大切削力效率高，精研加工表面粗糙度小可达到镜面研磨效果。

附图说明

图1为本实用新型的剖视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。

本实用新型的具体实施过程如下：

如图1所示，一种研磨机整机专用气浮平台，包括：卡固装置1、上止推盘2、下止推盘3、连接轴4和驱动电机(图中未标出)，所述卡固装置1固定设置在上止推盘2上，所述上止推盘2通过心轴10与下止推盘3固定连接，所述下止推盘3轴向连接有连接轴4，所述驱动电机(图中未标出)通过气浮同步轮组件5与连接轴4转动连接，所述心轴10外套设有轴承座6，所述心轴10和所述轴承座6之间设有气浮石墨微孔径向轴承7，所述轴承座6与上止推盘2之间设有第一气浮石墨微孔轴向轴承8，所述轴承座6与下止推盘3之间设有第二气浮石墨微孔轴向轴承9，所述轴承座6上设有气压孔，所述气压孔通过连接管与气泵连接。通过气泵往气压孔内通入压缩空气，在压缩空气的作用下轴承座6与气浮石墨微孔径向轴承7之间会产生细微的间隙，轴承座6与第一气浮石墨微孔轴向轴承8之间会产生细微的间隙，轴承座6与第二气浮石墨微孔轴向轴承9之间也会产生细微的间隙，轴承座6所产生的轴向和径向的振动不会经过上止推盘2、下止推盘3和心轴10传导到产品上，减小了产品的震动，产品运行平稳，能够满足产品的精密加工。

具体的，所述卡固装置1为真空吸盘，所述上止推盘2、所述心轴10、所述下止推盘3、所述连接轴4均设置有连通真空吸盘的通气孔，所述连接轴4通过转向接头13与气泵连接。通过设置真空吸盘，无需额外增加卡固块和卡固组件，产品被研磨机整机专用气浮平台抽真空后吸附牢固，工件变形力极其微小，产品粗加工能承受大切削力效率高，精研加工表面粗糙度小可达到镜面研磨效果。

具体的，所述上止推盘2的通气孔设置在上止推盘2的轴线上，所述心轴10的通气孔设置在心轴10的轴线上，所述下止推盘3的通气孔设置在下止推盘3的轴线上，所述连接轴4的通气孔设置在连接轴4的轴线上。通过将每个转动部件的通气孔设置在转动轴线上，当转动部件转动时能保证所有的通气孔都能在同一条直线上，能够更好的进行抽真空。

具体的，气浮石墨微孔径向轴承7在轴承座6一侧延伸有第一卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承8在轴承座6一侧延伸有第二卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承8在轴承座6一侧延伸有第三卡圈，所述轴承座6上设有卡合所述第一卡圈、所述第二卡圈、所述第三卡圈的卡槽。通过将第一卡圈、第二卡圈、第三卡圈均与轴承座6的卡槽配合时，通过往气压孔注入压缩空气由于有第一卡圈、第二卡圈、第三卡圈的存在，压缩空气难以进入轴承座6和气浮石墨微孔径向轴承之间，压缩空气难以进入轴承座6和第一气浮石墨微孔轴向轴承8之间，压缩空气难以进入轴承座6和第二气浮石墨微孔轴向轴承9之间，更加有利于轴承座6与上止推盘2、心轴10、下止推盘3之间形成间隙。

具体的，还包括连接盘11，所述连接盘11与所述轴承座6固定连接，所述连接盘11设置在下止推盘3及连接轴4的外围。通过设置连接盘11能够防止外部尘埃进入连接轴4上，导致连接轴4磨损。

具体的，所述轴承座6外侧设有用于密封轴承座6与上止推盘2所形成间隙的气浮件防水圈12。通过设置气浮件防水圈12能够防止外部液体进入轴承座6和上止推盘2之间造成上止推盘2和轴承座6腐蚀，防止通入压缩空气无法将上止推盘2与轴承座6分离。

具体的，所述连接轴4底部有延伸盘，所述气浮同步轮组件5包括：气浮同步轮和隔离轴承，所述气浮同步轮套设在连接轴4上，所述隔离轴承设置在连接轮和气浮同步轮之间，所述气浮同步轮与延伸盘通过销轴固定连接，所述气浮同步轮与驱动电机(图中未标出)传动连接，通过在连接轴4上设置气浮同步轮组件5与驱动电机(图中未标出)传动连接，能够不影响转向接头13与连接轴4的连接。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (6)

1.一种研磨机整机专用气浮平台，包括：卡固装置、上止推盘、下止推盘、连接轴和驱动电机，所述卡固装置固定设置在上止推盘上，其特征在于：所述上止推盘通过心轴与下止推盘固定连接，所述下止推盘轴向连接有连接轴，所述驱动电机通过气浮同步轮组件与连接轴转动连接，所述心轴外套设有轴承座，所述心轴和所述轴承座之间设有气浮石墨微孔径向轴承，所述轴承座与上止推盘之间设有第一气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座与下止推盘之间设有第二气浮石墨微孔轴向轴承，所述轴承座上设有气压孔，所述气压孔通过连接管与气泵连接。

2.根据权利要求1所述的一种研磨机整机专用气浮平台，其特征在于：所述卡固装置为真空吸盘，所述上止推盘、所述心轴、所述下止推盘、所述连接轴均设置有连通真空吸盘的通气孔，所述连接轴通过转向接头与气泵连接。

3.根据权利要求2所述的一种研磨机整机专用气浮平台，其特征在于：所述上止推盘的通气孔设置在上止推盘的轴线上，所述心轴的通气孔设置在心轴的轴线上，所述下止推盘的通气孔设置在下止推盘的轴线上，所述连接轴的通气孔设置在连接轴的轴线上。

4.根据权利要求1所述的一种研磨机整机专用气浮平台，其特征在于：气浮石墨微孔径向轴承在轴承座一侧延伸有第一卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承在轴承座一侧延伸有第二卡圈，所述第一气浮石墨微孔轴向轴承在轴承座一侧延伸有第三卡圈，所述轴承座上设有卡合所述第一卡圈、所述第二卡圈、所述第三卡圈的卡槽。

5.根据权利要求1所述的一种研磨机整机专用气浮平台，其特征在于，还包括连接盘，所述连接盘与所述轴承座固定连接，所述连接盘设置在下止推盘及连接轴的外围。

6.根据权利要求1所述的一种研磨机整机专用气浮平台，其特征在于，所述轴承座外侧设有用于密封轴承座与上止推盘所形成间隙的气浮件防水圈。

Images