CN112095088A - 一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，涉及真空镀膜技术领域。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。

Description

一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备。
背景技术
在真空镀膜设备中，第一道工艺完成后，切换成第二道工艺前，需要进行工艺气体切换。现有镀膜设备通常采取的做法是打开腔体抽真空管路上的阀门，把腔体及阴极内腔中的残留气体抽干净，然后气柜(Gas Box)通过阴极把新工艺气体通入到腔体中，完成工艺气体切换后再开始第二道工艺。但是阴极(showerhead)上的气体扩散孔都是微孔，流阻大，通过腔体抽真空管道抽气的情况下，残余气体比较难以抽出，抽空用的时间比较长；并且新工艺气体通过阴极(showerhead)表面的微孔扩散到腔体中的时间也长，这样就延长设备的节拍时间。
发明内容
本发明的目的在于提供一种快速切换镀膜工艺气体的方法及设备，能够快速把残留的工艺气体抽干净，极大地缩短切换工艺气体的时间。
本发明的快速切换镀膜工艺气体的方法，在一些实施例中，同时对腔体和阴极内腔抽真空，当腔体及阴极内腔气压低于0.1Torr后，同时往阴极内腔和腔体中通入新的工艺气体；在另一些实施例中，先对腔体抽真空，当阴极内腔气压高于腔体气压0.05Torr时，同时对阴极内腔抽真空，当腔体及阴极内腔气压低于0.1Torr后，同时往阴极内腔和腔体中通入新的工艺气体。
本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。
本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，通过两路抽真空管道分别对腔体、阴极内腔进行抽真空，能够快速把残留的工艺气体抽干净，为通入新的工艺气体做好准备，极大地缩短切换工艺气体的时间。
进一步，还包括腔体充气管道，该腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。所述腔体充气管道上设置有质量流量计。通过新增的腔体充气管道能够快速地往腔体内部通入新的工艺气体，大大缩短了镀膜工艺气体切换的时间。
进一步，所述阴极内腔充气管道上设置有质量流量计。
进一步，还包括真空压力计，该真空压力计用于检测阴极内腔和腔体的压力，所述阴极内腔抽真空管道上设置有角阀。当真空压力计检测阴极内腔达到一定的真空度后，角阀开启，对阴极内腔进行抽真空，可以快速把阴极内腔中的残余气体抽干净，并且为工艺气体切换是否彻底提供了衡量标准。
本发明的快速切换镀膜工艺气体的设备，包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、腔体充气管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接；所述腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。所述腔体充气管道上设置有质量流量计。
本发明与现有技术相比，具有以下优点：
(1)通过新增阴极内腔抽真空管道及真空压力计，可以快速把阴极内腔中的残余气体抽干净，通过真空压力计测量阴极内腔和腔体的真空度，也为工艺气体切换是否彻底提供了衡量标准；
(2)通过新增气柜通往腔体底部的腔体充气管道以及安装大流量的质量流量计，可以极大地缩短切换工艺气体的时间。
附图说明
图1是现有设备切换镀膜工艺气体的管路示意图；
图2是本发明的管路示意图。
附图标记：1.腔盖、2.阴极、3.阴极内腔、4.腔体、5.腔体抽真空管道、6.真空泵、7.气柜、8.阴极内腔充气管道、9.阴极内腔抽真空管道、10.角阀、11.真空压力计、12.腔体充气管道、13.质量流量计、14.质量流量计。
具体实施方式
下面结合实施例和说明书附图对本发明作进一步的说明。
如图1所示，现有设备切换镀膜工艺气体时，先打开腔体抽真空管道5上的阀门，真空泵6把腔体4及阴极内腔3中的残留气体抽干净，然后气柜7通过阴极内腔充气管道8把新工艺气体通入到阴极内腔3及腔体4中，完成工艺气体切换。
如图2所示，本发明在现有设备的管路上新增了阴极内腔抽真空管道9，其一端与阴极内腔3连接，另一端与腔体抽真空管道5连接。该阴极内腔抽真空管道9上安装有角阀10，还有检测阴极内腔3和腔体4压力的真空压力计11。切换镀膜工艺气体时，先由腔体抽真空管道5对腔体4抽真空，真空压力计11检测阴极内腔3气压高于腔体4气压0.05Torr时，角阀10开启，对阴极内腔3进行抽真空。在本发明的其他实施例中，不设置角阀10和真空压力计11，切换镀膜工艺气体时，当腔体4及阴极内腔3气压低于0.1Torr后，同时对腔体4和阴极内腔3抽真空。
如图2所示，本发明在现有设备的管路上新增了一路气柜7通往腔体4底部的气路，即腔体充气管道12，其一端与气柜7连接，另一端与腔体4底部连接。该腔体充气管道12上安装有大流量的质量流量计13，阴极内腔充气管道8上设置有质量流量计14，在气柜7往阴极内腔3通入新工艺气体的同时，通过新增的腔体充气管道12快速地往腔体4内部通入新工艺气体，大大缩短了镀膜工艺气体切换的时间。上述实施例仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和等同替换，这些对本发明权利要求进行改进和等同替换后的技术方案，均落入本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种快速切换镀膜工艺气体的方法，其特征在于：同时对腔体和阴极内腔抽真空。
2.根据权利要求1所述的快速切换镀膜工艺气体的方法，其特征在于：先对腔体抽真空，当阴极内腔气压高于腔体气压0.05Torr时，同时对阴极内腔抽真空。
3.根据权利要求1或2所述的快速切换镀膜工艺气体的方法，其特征在于：当腔体及阴极内腔气压低于0.1Torr后，同时往阴极内腔和腔体中通入新的工艺气体。
4.一种快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、阴极内腔抽真空管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔抽真空管道的一端与所述腔体抽真空管道连接，另一端与阴极内腔连接，所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接。
5.根据权利要求4所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：还包括腔体充气管道，该腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。
6.根据权利要求5所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：所述腔体充气管道上设置有质量流量计。
7.根据权利要求4-6任一项所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：所述阴极内腔充气管道上设置有质量流量计。
8.根据权利要求4-6任一项所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：还包括真空压力计，该真空压力计用于检测阴极内腔和腔体的压力，所述阴极内腔抽真空管道上设置有角阀。
9.一种快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：包括真空泵、气柜、腔体抽真空管道、阴极内腔充气管道、腔体充气管道，所述腔体抽真空管道的一端与所述真空泵连接，另一端与腔体连接，所述腔体抽真空管道上设置有阀门；所述阴极内腔充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述阴极内腔连接；所述腔体充气管道的一端与所述气柜连接，另一端与所述腔体连接。
10.根据权利要求9所述的快速切换镀膜工艺气体的设备，其特征在于：所述腔体充气管道上设置有质量流量计。
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