CN112077744A - 一种旋转式桶底喷流搅拌器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及搅拌器技术领域，公开了一种旋转式桶底喷流搅拌器，包括圆柱形桶体，所述桶体的上端螺纹连接有法兰盘，桶体的下端呈倒锥形漏斗状，并且所述桶体的下端在水平方向上设有回流接头，与所述回流接头一体在竖直方向上设有流体出口，与流体出口一体成型有连接本体，所述连接本体为上下贯通的内空结构，连接本体在水平方向开设有连接回流接头的通道，所述连接本体内在与回流接头通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔，所述第二螺纹连接孔螺纹连接有转接头，所述转接头的上端与所述桶体的底端固定连接，所述转接头为内空结构。本发明形成全方位的动态喷流设计，这种无死角又能动态喷流配合桶槽的设计，改善过往桶底喷流的缺点。

Description

一种旋转式桶底喷流搅拌器

技术领域

本发明涉及搅拌器技术领域，尤其涉及一种旋转式桶底喷流搅拌器。

背景技术

微电子行业带微米及奈米级的颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)-以上简称研磨液(Slurry)，为免研磨液中颗粒的固体重力沉淀及范德瓦力(Van Der Wal Force)的聚集形成牢固不可分的巨型颗粒，此类巨型颗粒为原始设计颗粒径数倍到数百倍的尺寸，此巨型颗粒一旦供应到使用端，轻则造成研磨不稳定性的主要来源之一，即研磨率(removal rate)及不平均度(non-uniformity)的漂动。重则造成研磨/抛光(lapping,polishing)的刮痕，缺失，及破坏电路中细微的薄膜层，使得良率下降。

传统的机械搅拌器，问题是使用大型各类形式的搅拌液，及高转速的配合，在桶槽内还是会有局部的地区，尤其在桶底部分会有沉积的可能性，这种机械型搅拌器除了高能耗，且无法长期运行不维修及不损耗，金属搅拌液会有金属离子的析出，是金属离子污染的源头。即使是覆盖一层特氟龙的材质，也会与研磨液内部的颗粒长期磨损，会磨耗涂层，造成污染；最理想的方式就是用流体的搅拌装置。

流体搅拌装置常用方式除了桶外循环及在搅拌桶内做外液回流局部的喷流之外，最主要的是在桶底最容易聚积研磨液颗粒的部分做回流的喷流设计，这部分过往的固定角度喷流式的流体搅拌器仍具备许多喷流无法企及的死角，无法全面涵盖桶底的范围。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种旋转式桶底喷流搅拌器，本装置通过利用桶底“旋转”喷流的设计，旋转喷流设计的最突出的特点是流体从侧面回流到桶内，靠流体自身的压力带动旋转搅拌头旋转，形成旋转扰流，在桶底形成无死角搅拌，达到搅拌更均匀效果。与固定式喷流相比，固定式喷流无法形成旋转扰流形式，会有死角产生，旋转式喷流避开了固定式喷流的死角部分，形成全方位的动态喷流设计，这种无死角又能动态喷流配合桶槽的设计，改善过往桶底喷流的缺点。整体旋转流体喷流器安装在桶槽底部，流体是以上下循环方式整体循环，局部乱流方式做搅拌功能，最显著的是在底部，当所有的研磨液必然往底部聚集时，必然有股底部回流的反冲能力，此反冲能力因为旋转喷流方式是由不断旋转及沿着底部与桶底锥度同一斜度方式喷流回来，将所有发生的底部沉积降到最小的发生可能性。

本发明通过以下技术手段解决上述技术问题：

本发明的一种旋转式桶底喷流搅拌器包括圆柱形桶体，所述桶体的上端螺纹连接有法兰盘，桶体的下端呈倒锥形漏斗状，并且所述桶体的下端在水平方向上设有回流接头，与所述回流接头一体在竖直方向上设有流体出口，与所述流体出口一体成型有连接本体，所述连接本体为上下贯通的内空结构，连接本体在水平方向开设有连接回流接头的通道，所述连接本体内在与所述回流接头通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔，所述第二螺纹连接孔螺纹连接有转接头，所述转接头的上端与所述桶体的底端固定连接，所述转接头为内空结构，所述转接头的下端设有第二螺纹连接柱，所述第二螺纹连接柱的上方一体成型有抵接环，所述抵接环与所述转接头的外壁形成环形凹槽，所述环形凹槽与所述转接头的侧壁贯通开设有若干回流通孔，所述转接头的上端套设有旋转搅拌头，所述旋转搅拌头凸出在所述桶体内，所述旋转搅拌头的上端卡设有流体入口接头。

进一步，所述第二螺纹连接孔的上顶端面比所述回流接头通道低10mm。便于抵接环嵌入第二螺纹连接孔的上顶端面，使环形凹槽与回流接头贯通形成回流通道。

进一步，所述流体入口接头包括圆盖板，所述圆盖板的下方一体成型有中空的套接柱，所述套接柱的下端外侧上开设有第三螺纹，所述转接头上端的内壁上开设有与所述第三螺纹相匹配的第三螺纹槽，所述流体入口接头的顶面上开设有若干贯穿所述套接柱内部的流体通孔。通过第三螺纹与第三螺纹槽进行螺纹连接，使旋转搅拌头卡在流体入口接头与转接头的上端。

进一步，所述旋转搅拌头的呈中空的环套圈，所述旋转搅拌头的外侧壁上贯穿开设有若干喷孔。便于流体从回流通孔回流到桶内，靠流体自身的压力带动旋转搅拌头旋转，形成旋转扰流，在桶底形成无死角搅拌，达到搅拌更均匀效果。

进一步，所述法兰盘上固定设有管道连接盘。管道连接盘用于连接外接管道。

进一步，所述转接头的外壁与所述连接本体的内壁上卡设有密封层。液体从回流接头进入以后从环形凹槽通过回流通孔喷出时，密封层防止液体从转接头的外壁与所述连接本体的内壁之间的缝隙喷出。

本发明的有益效果：通过利用桶底“旋转”喷流的设计，旋转喷流设计的最突出的特点是流体从侧面回流到桶内，靠流体自身的压力带动旋流头旋转，形成旋转扰流，在桶底形成无死角搅拌，达到搅拌更均匀效果。与固定式喷流相比，固定式喷流无法形成旋转扰流形式，会有死角产生，旋转式喷流避开了固定式喷流的死角部分，形成全方位的动态喷流设计，这种无死角又能动态喷流配合桶槽的设计，改善过往桶底喷流的缺点。

附图说明

图1是本发明一种旋转式桶底喷流搅拌器的整体结构以及流体流入方向示意图；

图2是本发明的外壳结构示意图；

图3是本发明的桶体底部装置爆炸结构示意图；

图4是本发明的桶体底部装置爆炸剖面结构示意图；

其中：桶体1，法兰盘2，管道连接盘21，回流接头3，流体出口4，第一连接螺纹41，第二螺纹连接孔42，连接本体5，转接头6，回流通孔61，第三螺纹槽62，第二螺纹连接柱63，环形凹槽64，旋转搅拌头7，喷孔71，流体入口接头8，流体通孔81，第三螺纹82。

具体实施方式

以下将结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明：

如图1-4所示，本发明的一种旋转式桶底喷流搅拌器包括圆柱形桶体1，所述桶体1的上端螺纹连接有法兰盘2，桶体的1下端呈倒锥形漏斗状，并且所述桶体1的下端在水平方向上设有回流接头3，与所述回流接头3一体在竖直方向上设有流体出口4，与所述流体出口4一体成型有连接本体5，所述连接本体5为上下贯通的内空结构，连接本体5在水平方向开设有连接回流接头的通道，所述连接本体5内在与所述回流接头通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔42，所述第二螺纹连接孔42螺纹连接有转接头6，所述转接头6的上端与所述桶体1的底端固定连接，所述转接头6为内空结构，所述转接头6的下端设有第二螺纹连接柱63，所述第二螺纹连接柱63的上方一体成型有抵接环，所述抵接环与所述转接头的外壁形成环形凹槽64，所述环形凹槽64与所述转接头6的侧壁贯通开设有若干回流通孔61，所述转接头6的上端套设有旋转搅拌头7，所述旋转搅拌7头凸出在所述桶体1内，所述旋转搅拌头7的上端卡设有流体入口接头8。

本实施例中，所述第二螺纹连接孔42的上顶端面比所述回流接头通道低10mm。便于抵接环嵌入第二螺纹连接孔42的上顶端面，使环形凹槽64与回流接头贯通形成回流通道。

本实施例中，所述流体入口接头8包括圆盖板，所述圆盖板的下方一体成型有中空的套接柱，所述套接柱的下端外侧上开设有第三螺纹82，所述转接头6上端的内壁上开设有与所述第三螺纹82相匹配的第三螺纹槽62，所述流体入口接头8的顶面上开设有若干贯穿所述套接柱内部的流体通孔81。通过第三螺纹82与第三螺纹槽62进行螺纹连接，使旋转搅拌头7卡在流体入口接头8与转接头6的上端。

本实施例中，所述旋转搅拌头7的呈中空的环套圈，所述旋转搅拌头7的外侧壁上贯穿开设有若干喷孔71。便于流体从回流通孔回流到桶内，靠流体自身的压力带动旋转搅拌头旋转，形成旋转扰流，在桶底形成无死角搅拌，达到搅拌更均匀效果。

本实施例中，所述法兰盘2上固定设有管道连接21盘。管道连接盘用于连接外接管道。

本实施例中，所述转接头6的外壁与所述连接本体5的内壁上卡设有密封层。液体从回流接头进入以后从环形凹槽通过回流通孔喷出时，密封层防止液体从转接头的外壁与所述连接本体的内壁之间的缝隙喷出。

以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。本发明未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。

Claims (7)

1.一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：包括圆柱形桶体(1)，所述桶体(1)的上端螺纹连接有法兰盘(2)，桶体(1)的下端呈倒锥形漏斗状，并且所述桶体(1)的下端在水平方向上设有回流接头(3)，与所述回流接头(3)一体在竖直方向上设有流体出口(4)，与所述流体出口(4)一体成型有连接本体(5)，所述连接本体(5)为上下贯通的内空结构，连接本体(5)在水平方向开设有连接回流接头的通道，所述连接本体内在与所述回流接头(3)通道相邻的竖直方向开设有第二螺纹连接孔(42)，所述第二螺纹连接孔(42)螺纹连接有转接头(6)，所述转接头(6)的上端与所述桶体(1)的底端固定连接，所述转接头(6)为内空结构，所述转接头(6)的下端设有第二螺纹连接柱(63)，所述第二螺纹连接柱(63)的上方一体成型有抵接环，所述抵接环与所述转接头(6)的外壁形成环形凹槽(64)，所述环形凹槽(64)与所述转接头(6)的侧壁贯通开设有若干回流通孔(61)，所述转接头(6)的上端套设有旋转搅拌头(7)，所述旋转搅拌头(7)凸出在所述桶体(1)内，所述旋转搅拌头(7)的上端卡设有流体入口接头(8)。

2.根据权利要求1所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述第二螺纹连接孔(42)的上顶端面比所述回流接头通道低10mm。

3.根据权利要求1所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述流体入口接头(8)包括圆盖板，所述圆盖板的下方一体成型有中空的套接柱，所述套接柱的下端外侧上开设有第三螺纹(82)，所述转接头(6)上端的内壁上开设有与所述第三螺纹(82)相匹配的第三螺纹槽(62)。

4.根据权利要求1所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述旋转搅拌头(7)为呈中空的环套圈，所述旋转搅拌头(7)的外侧壁上贯穿开设有若干喷孔(71)。

5.根据权利要求3所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述流体入口接头(8)的顶面上开设有若干贯穿所述套接柱内部的流体通孔(81)。

6.根据权利要求1所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述法兰盘(2)上固定设有管道连接盘(21)。

7.根据权利要求1所述的一种旋转式桶底喷流搅拌器，其特征在于：所述转接头(6)的外壁与所述连接本体(5)的内壁上卡设有密封层。

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