CN112007470A - 气体置换用干燥房 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种气体置换系统，其在容纳了制造装置的非活性气体浓度的干燥室中，能够在较短时间内进行大气环境或者低露点、非活性气体环境的切换。一种需要以低露点、非活性气体浓度保持室的内部清洁的气体置换用系统，在该气体置换用系统中，通过在进行维修或保养等期间，设成以单向的方式向室内引入干燥空气而将湿气向装置外排出，并且非活性气体循环管线均被阀等封闭而独立地进行循环运转，即使在具有多个室的情况下也能够大大缩短基于大气置换的停止时间。通过连接低露点气体供给装置与非活性气体精制装置而形成一体型，变得省空间并且低成本。

Description

气体置换用干燥房

技术领域

本发明有关一种气体置换系统，其包括在设置有有机EL显示器制造装置的室等的非活性气体(以下，将使活性气体浓度尽可能接近0ppm的气体的情况称为“非活性气体”)浓度的干燥室、腔室、室中，能够在较短时间内切换至低露点(以下，将露点温度为0度以下的情况称为“低露点”)的环境，以进行制造装置的维修、调整等的除湿装置及气体精制机。

背景技术

以往，用于作为代替液晶显示装置的新一代平板显示器而被期待的有机EL显示装置等中的有机EL元件作为固体发光型的廉价的大面积全彩显示元件、写入光源阵列的用途是很有前景的，从而进行了积极的研发。但是，用于有机EL元件的有机发光材料等的有机物质、电极等对水分的抵抗力较弱，因空气中的水分而性能或特性急剧劣化。因此，在进行伴随这些开发的实验时，也有在以露点极低的空气或使液氮气化而成的氮气等非活性气体净化了空气的室中进行制造或实验的必要。

并且，目前在有机EL显示器(OLED)的制造中，正在进行利用喷墨技术等的印刷技术，在基板上将液状的有机EL用材料制成均匀的薄膜，来制作提高了生产效率或性能的元件的技术开发。为了这种制造技术的开发而以氮气等非活性气体填满室内，以便将制造装置的周围环境设成水分1ppm以下、氧气1ppm以下等低露点且非活性气体浓度。但是，在室内进行制造装置的维修、调整等的情况下，也有使低露点的非活性气体环境返回到大气环境(以下，称为“大气置换”)的必要。

此时，若以通常的大气置换非活性气体环境，则位于内部的装置的各种部件吸附水分而当再次返回到非活性气体环境时，脱附部件所吸附的水分会非常耗费时间。

专利文献1中记载有如下技术，即，将气体围体组件的内部容积最小限化，以便将用于从进行了大气置换的大气环境再次返回到非活性气体环境的非活性气体量最小化且装置的停止时间最小限化。

在专利文献2中，公开有带非活性气体循环精制装置手套箱。据此，为了将手套箱内的非活性气体的气氛保持为恒定且有效去除氧气和水分，而构成为通过吸附塔供给去除了氧气和水分的循环气体，其中，该吸附塔由填充了用于去除气体中的氧气的金属催化剂的金属催化剂填充部及填充了用于吸附去除气体中的水分的分子筛(molecular sieve)干燥剂的干燥剂填充部构成，而且，利用循环泵将手套箱内的气体吸出，并在通过吸附塔内时去除氧气和水分之后再次返回到手套箱，从而进行气体循环。

专利文献1：日本专利6153539号

专利文献2：日本专利第5676521号

专利文献3：日本特开2019-52835号

在专利文献1中所公开的技术如下，通过仅使气体围体框架化且使内部容积最小化，能够以最小的气体围体内的非活性气体量使基于保养等的停止时间最小限化，并且能够使工作空间最佳化以便适用于各种OLED制造装置的设置面积中。但是，伴随装置的停止，同时进行非活性气体精制和水分去除的气体精制系统也停止，因此存在过多耗费用于使室内再次返回到低湿度且非活性气体环境的时间等问题。并且，还存在如下课题：气体精制装置及除湿装置位于同一机构内，氧气与水分的精制速度不同，与去除氧气相比去除水分会非常耗费时间，因此难以进行同时去除。

在如专利文献2那样的以往系统中，也以串列管柱进行氧气去除和水分去除，因此以水分去除能力限速(律速)进行了机器选择。如此，以往技术中大气置换后返回到非活性气体环境为止的恢复时间变长，与此同时，启动制造装置的管线也会耗费时间。

因此，如专利文献3，开发了如下气体置换用干燥房，即，通过使用干燥剂转子去除水分而供给低露点气体，由此大大缩短达到规定的水分浓度的时间。与专利文献2中用于去除水分的颗粒状分子筛相比，使用干燥剂转子来去除水分的优点如下，即，因为是蜂窝状而表面积大且压力损失低，并且蜂窝的壁非常薄而吸附水分的扩散速度快，因此在蜂窝构件整体中瞬间进行吸附和脱附。

在专利文献3的气体置换用干燥房，设成在使来自干燥空气供给装置的干燥空气循环的干燥室的内部设置气密容器，并向该气密容器内供给非活性气体及低露点气体，其中，该气密容器容纳用于OLED的制造或研发的制造装置。并且，在气密容器的循环路径上串列配置非活性气体精制装置和低露点气体供给装置，另外设置与该循环路径分开的循环路径，并相互独立地进行控制，因此能够单独调整水分去除性能和氧气去除性能。进而，通过使大气置换中另外设置的循环路径循环，能够大大缩短气密容器在大气置换后从大气环境返回到非活性气体环境的恢复时间。能够在停止了非活性气体的供给的状态下维持低露点气体的供给，因此即使在大气置换之后气密室内的露点也迅速达到低状态。

本发明省略了专利文献3中记载的包覆气密容器的干燥室及用于使干燥空气在干燥室内部进行供给循环的干燥空气供给装置，并连接低露点气体精制装置及非活性气体精制装置而构成为一体型，因此，与专利文献3的气体置换用干燥房相比，其目的在于，装置的简便化、省空间化及运转方法的简化。

发明内容

为了解决如以上那样的课题，本发明设置容纳在OLED的制造或研发中所使用的制造装置的气密室，设成向该气密室供给低露点气体及非活性气体，连接非活性气体精制装置与低露点气体供给装置并一体化，根据需要设置切换机构以便通过了低露点气体供给装置的气体通过旁通路径而不通过非活性气体精制装置，因此在因大气置换中的调整等而人进入到气密室内部的情况下，能够向气密室供给干燥空气并与向气密室的供给分离地在闭环循环中维持非活性气体，从而能够大大缩短基于大气置换的停止时间。或者，不进行闭环循环而在大气置换中运转低露点气体供给装置，由此能够减小干燥空气的供给量。水的分子为极性物质，若将大气直接导入到需要维持在低露点的气密室内，则水分子附着于气密室的壁面或过滤器内部。为了排出所附着的水分子，需要长时间供给低露点空气，但是在本发明的情况下，在停止了非活性气体的供给的状态下供给干燥空气，因此即使在大气置换之后也能够使气密室内的露点迅速达到低状态。

并且，不管是作为非活性气体进入瓶的氮气，还是使液化氮气气化而成的氮气，或者是通过低温分离或变压吸附(PSA：pressure swing adsorption)、膜分离方式等而从空气去除了氧气的氮气，其气体的价格高，若不缩短大气置换的时间或大气置换后返回到非活性气体环境的恢复时间，则成本会增加。另一方面，利用干燥剂转子制作低露点气体，通过一边维持低露点气体的供给一边停止非活性气体的供给而进行维修等，能够减少费用。

利用干燥剂除湿机进行水分去除来大大缩短水分去除时间，同时将低露点气体的一部分导入到非活性气体精制装置中来进行氧气去除，因此通过调整利用干燥剂除湿机进行处理的气体量及导入到非活性气体精制装置中的气体量，能够在最佳的运转条件下制作非活性气体浓度的干燥房。

本发明的气体置换用干燥房如前述构成，因此即使在大气置换中也从设置于容器内的上部的HEPA过滤器或ULPA过滤器等空气净化过滤器在一方向(以下，称为“单向”)上供给干燥空气而不使其循环，由此设成最易于保持水分的过滤器却不保持水分，从而实施维修或保养、设置变更等。并且，在干燥剂除湿机的后部连接非活性气体精制装置而一体化，在大气置换中使另外设置的循环路径循环，由此设成循环空气不会接近大气环境。通过如此进行，能够大大缩短从气密室的大气置换后的大气环境返回到低露点并且非活性气体环境的恢复时间。进而，通过调整从该除湿装置流向非活性气体精制装置的气体的流量，能够设为如下干燥房，即，能够容易地在短时间内使低露点并且非活性气体环境最佳化。

附图说明

图1是本发明的干燥房的实施例1中的流程图。

图2是本发明的干燥房的实施例2中的流程图。

其中，附图标记说明如下：

1-气密室，2-制造装置，3-空气净化过滤器，4-气体循环路径，5-蜂窝转子，6-处理区域，7-净化区域，8-再生区域，9-转子驱动马达，10、17-送风机，11-预冷器，12-后加热器，13-空气过滤器，14-再生加热器，15-冷却器，16-干燥剂除湿机，18、19-催化剂容器，20、21-加热器，22-泵，23-氮气精制机，24、25-流量计，26、27、28、29、30、31、32、33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48、49、50、51-阀。

具体实施方式

以下利用附图对用于实施本发明的方式进行说明。另外，本发明并不限定于以下实施例。

在本实施方式中，作为需要以低露点、非活性气体保持内部清洁的容器的气体置换除湿装置及气体置换方法，以利用了喷墨技术等印刷技术的有机EL显示器(OLED)的制造或研发装置的室为例进行说明。另外，本发明并不限于OLED的制造或者研发装置，也能够对需要以低露点、非活性气体环境保持保管空间内清洁的、用于锂离子电池材料或半导体领域的开发的手套箱等的收纳容器或者封闭空间进行使用。

[实施例1]

以下，根据图1对本发明的气体置换用干燥房的实施例1进行详细说明。气密室1以低露点、非活性气体保持内部清洁。气密室1可以为手套箱或干燥房等。在气密室1内容纳有用于OLED的制造或研发的制造装置2，在要求清洁度的情况下，设为在气密室1内的上部的供气部分具有HEPA过滤器或ULPA过滤器等空气净化过滤器3的结构。另外，关于空气净化过滤器3，也可以设为多个风机过滤器单元。在气密室1中通过配管a供给有作为效用气体(utility)的氮气或干燥空气。

在干燥剂除湿机16中，蜂窝转子5被分割为处理区域6、净化区域7及再生区域8。关于蜂窝转子5，能够一边通过齿轮传动马达(Geared motor)等转子驱动马达9进行旋转一边连续地吸附和脱附水分。被处理气体通过送风机10并通过预冷器11冷却供给到蜂窝转子5的处理区域6中。被处理气体的一部分在处理区域6的前部被分支而通过了净化区域7之后，利用再生加热器14进行加热并被送到再生区域8中。通过了再生区域8的气体利用冷却器15进行冷却，且从蜂窝脱附的再生气体中的湿气凝缩而成的水作为排水而被去除，并返回到送风机10的前部。在处理区域6中通过了蜂窝的被处理气体根据需要由加热器12进行加热，并作为供气SA供给到气密室1中。本实施例中，使用了具有净化区域7的蜂窝转子5，但是并不限定于此，也可以设为使用了被分割为处理区域及再生区域这两个区域的蜂窝转子的结构。

在氮气精制机23中，氮气精制用的催化剂容器18、19收纳有铜催化剂、铂催化剂等金属催化剂，且构成为双塔。若催化剂破裂(破过)，则使氮气和氢气流动并利用加热器20、21提高温度来再生催化剂。另外，在本实施例中，并不限定于铜催化剂、铂催化剂等，可以设为使用以铜和/或铂为主成分的催化剂或用于去除氧气的用途的其他金属催化剂的结构。金属催化剂除了颗粒状以外也可以使用粒状、粉状的催化剂、担载于载体上的金属催化剂等。在本实施例中，将催化剂容器设为双塔式，但是并不限定于此，可以为单塔式或者设置多个塔。

也可以设为如下结构，当氮气供给设备中还有余力时，将干燥剂除湿机及氮气精制机设置于具有气密性的屋内，并向该屋子供给氮气，从而抑制来自干燥剂除湿机16的活性气体侵入。

参考以上结构的本发明的气体置换用干燥房的动作，对用于进行气密室1的维修、设置变更及调整等的大气置换进行说明。

(大气置换)

通过关闭阀26、29、30并打开阀27、28，将来自干燥空气供给装置(未图示)等的干燥空气经配管a从气密室1的上部导入，从而将氮气置换成干燥空气。通过设成低露点的干燥空气从气密室1的上部以单向的方式被供给，能够安全地一次性供给大量的空气，因此能够大大缩短氮气与空气的置换速度。通过从气密室1中最易于保持湿气的空气净化过滤器3的上部以单向的方式供给干燥空气而不使其在气密室1内部循环，即使人在内部进行工作，湿气也不会残留于气密室1内而向外排出。

大气置换中存在以下(1)、(2)的情况。

(1)另一方面，非活性气体循环管线中，在大气置换期间阀29、30为关闭状态，因此非活性气体在干燥剂除湿机16、氮气精制机23中循环。此时，通过操作阀来改变在各个装置中流动的气体的流量、循环次数，从而能够调整最佳的运转环境。需要说明的是，关于阀，并不限定于此，可以使用阻尼器或VAV(Variable Air Volume：可变风量)等风量调整装置。

(2)并且，如图1，在具有一个气密室的情况下，也能够在大气置换中通过干燥剂除湿机16对气密室1内进行除湿。在此情况下，打开阀29、30、31并关闭阀33、34。来自气密室1的回气RA通过配管b与来自干燥剂除湿机16的再生区域8的返回气体混合，经由送风机10利用预冷器11进行冷却并作为被处理气体供给到蜂窝转子5的处理区域6中。并且，被处理气体的一部分在处理区域6的前部被分支而通过了净化区域7之后，利用再生加热器14进行加热并被送到再生区域8中。通过了处理区域6的低露点气体作为供气SA通过配管c供给到气密室1中。如此，通过循环运转，维持气密室1的低露点环境，并且能够减少作为效用气体的干燥空气的供给量。

接着，对气密室1的氮气置换及循环运转进行说明。

(氮气置换运转)

在大气置换后，将气密室1内置换成氮气，并将氧气浓度设成100ppm以下等规定的浓度以下。根据大气置换的情况(1)、(2)，氮气置换运转如下。

(1)首先，关闭阀27并打开阀26。通过配管a，将来自氮气瓶或氮气供给装置(未图示)等的氮气供给到气密室1中。打开阀28，将来自气密室1的回气RA经由配管b排出。通过设成氮气从气密室1的上部以单向的方式被供给，能够一次性供给大量的气体，因此将残留于气密室的空气迅速置换成氮气，能够大大缩短氮气与空气的置换速度。持续进行至气密室1内的氧气浓度降低到100ppm为止。

(2)进行与(1)相同的操作。供给到气密室1内的氮气通过阀28被排出，但是残留的气体通过蜂窝转子5的再生区域8而与被冷却器15冷却的气体进行混合，并作为被处理气体导入到蜂窝转子5的处理区域6中。被处理气体的一部分在处理区域6的前部被分支而通过了净化区域7之后，由再生加热器14加热并被送到再生区域8中。另外，此时，阀31为打开状态且阀33、34为关闭状态，因此氧气等活性气体不会流入到氮气精制机23中。在处理区域6中通过了蜂窝的被处理气体根据需要由加热器12进行加热，并作为供气SA通过配管c供给到气密室1中。如此，供给氮气来置换气密室1内的气体，并且对大气置换后滞留在气密室1内的水分进行除湿，由此缓慢降低气密室1内的水分浓度及氧气浓度。进行该循环运转直至气密室1内的氧气浓度成为100ppm以下，并将气密室1内置换成氮气。

(氧气去除·氮气精制运转)

气密室1内的氧气浓度降低到100ppm以下等规定的浓度之后，关闭阀28、31并打开阀33、34、35、36。此时，设成氮气精制机23的其他阀保持关闭状态。由此，向氮气精制机23的催化剂容器18导入通过了蜂窝转子5的净化区域7的气体，并通过催化剂容器18内的金属催化剂开始进行氧气去除。并且，通过拧阀26来减小通过配管a的氮气的供给流量，供给氮气并且保持气密室1内的正压。来自气密室1的回气RA作为被处理气体通过配管b供给到蜂窝转子5中。

干燥剂除湿机16中的气体的流动如前述。通过了净化区域7的气体因蜂窝的吸附热而升温。另一方面，金属催化剂在较高的温度条件下容易与氧气进行反应，因此将通过了净化区域的温度高的气体供给到催化剂容器中为优选。若设为在金属催化剂中例如包含铜，则如下述式，铜与氧气进行反应而被氧化，通过成为氧化铜来去除氧气。

2Cu+O₂→2CuO

通过了氮气精制机23的气体由再生加热器14加热，并导入到蜂窝转子5的再生区域8中。通过了再生区域8的气体再次通过处理区域6而作为供气SA供给到气密室1中。通过如此进行循环运转来缓慢降低氧气浓度和/或水分浓度。例如，进行循环运转直至成为水分浓度为10ppm且氧气浓度为1ppm以下等规定的浓度。之后，开始进行制造装置2的运转，并开始进行用于OLED的制造或研发的实验等。另外，在本实施例中，设为使气体在催化剂容器18中流动的结构，但是也可以设为如气体在催化剂容器19中流动的结构。即，并列设置两个催化剂容器(双塔式)，在再生一台催化剂容器的催化剂期间，利用另一台催化剂容器进行氮气精制处理。需要说明的，并不限于此，也可以由一个或者多个催化剂容器构成的一个或者多个氮气精制机构成。

在实施例1中，设成将通过了净化区域的气体送到氮气精制机中，但是也可以设成将通过了处理区域的气体或者通过了净化区域的气体与通过了处理区域的气体进行混合来进行供给。或者，也可以设为如下结构，即，连接用于供给在氮气置换时所使用的氮气的效用气体设施与氮气精制机来将氮气供给到气密室内。另外，利用蜂窝转子进行了除湿的低露点气体在催化剂容器中流通，因此水分难以滞留。

(催化剂再生运转)

在催化剂破裂而通过了催化剂容器的气体超过了例如氧气浓度1ppm等规定的浓度的情况下，开始进行催化剂的再生运转。例如，在催化剂容器18内的催化剂破裂的情况下，切换成关闭阀35、36并打开阀37、38以使通过了净化区域7的气体流入到催化剂容器19中。接着，打开阀39、40、43、44，将包含被调整为规定的浓度的氢气的氮气从包含氢气的氮气供给装置或氮气供给装置(未图示)等供给到催化剂容器18中。同时，利用加热器20进行加热。例如，在金属催化剂中例如包含铜的情况下，如下述式，氧化铜与氢进行反应而被还原，通过成为铜来去除氧气，催化剂被再生，通过真空泵22进行真空抽取并排出。

CuO+H₂→Cu+H₂O

另外，通过打开阀46，将进行反应而排出的水作为排水排出。

通过以上结构，能够成为省空间的气体置换系统，并能够抑制配管或设置工事等中花费的生产成本。

[实施例2]

图2中示出本发明的干燥房的实施例2中的流程图。在实施例1中，使用了一个气密室，但是实施例2中由多个气密室构成。另外，在图2中，设成由1A、1B、1C这三个气密室构成的结构，但是并不限于此，可以设置两个或者四个以上。实施例2的装置结构与实施例1几乎相同，因此省略重复说明。

在存在多个气密室的情况下，即使一部分的气密室在大气置换中，也能够在其他气密室中使非活性气体循环而维持氧气去除·氮气精制运转。因此，能够大大缩短从大气置换后的大气环境返回到低露点且非活性气体浓度的环境的恢复时间。并且，能够利用一台干燥剂除湿机及氮气精制机进行各气密室的气体供给，因此能够抑制成本。本发明的系统具有如下特点，即，管线规模越大，成本优点越大等。

另外，在实施例2中，构成为利用一台干燥剂除湿机及氮气精制机供给非活性气体，但是也可以构成为利用多台干燥剂除湿机和/或氮气精制机向气密室供给非活性气体。

在以下实施例2的说明中，气密室1A设为从非活性气体环境进行大气置换，进而在大气置换后从大气环境返回到低露点·非活性气体环境并进行氧气去除·氮气精制运转。在此期间，气密室1B、1C设为继续进行氧气去除·精制运转。

(大气置换)

对气密室1A通过大气置换而返回到大气环境的情况进行说明。通过关闭阀26、47B、47C、48A、51A并打开阀27、47A、50A而通过配管a从气密室1A的上部导入干燥空气，从而将氮气置换成干燥空气。通过设成低露点的干燥空气从气密室1A的上部以单向的方式被供给，能够安全地一次性供给大量的空气，因此能够大大缩短氮气与空气的置换速度。另外，在所有的气密室中，在成为大气置换的情况下，通过关闭所有阀48且打开阀49而与气密室独立地使干燥剂除湿机及氮气精制机进行循环运转，从而能够维持非活性气体，因此从大气置换到非活性气体循环运转的恢复时间变短。

(氮气置换运转)

在大气置换后，将气密室1A内置换成氮气而将氧气浓度设成规定的浓度以下。首先，关闭阀27，并打开阀26、阀47A，通过配管a将氮气供给到气密室1A中。在各气密室中通过配管a供给氮气的情况下，通过流量计24及阀47，能够分别调整供给的气体的流量。打开阀50A来排出来自气密室的回气RA。如此，以单向的方式进行氮气置换运转直至气密室1内的氧气浓度成为规定的浓度以下，并将气密室1内置换成氮气。另一方面，气密室1B、1C在氧气去除·氮气精制运转中，阀50B、50C为关闭状态且阀51B、51C为打开状态，因此回气RA经由配管b而非活性气体被导入到干燥剂除湿机16中。其中，阀48A为关闭状态，因此氧气流入到干燥剂除湿机16及氮气精制机23中而不会造成影响。并且，能够通过打开阀49并通过配管d进行旁通运转来调整流量。

将来自气密室1B、1C的回气RA与通过配管d进行旁通运转的非活性气体混合，进而混合通过了蜂窝转子5的再生区域8的气体，并作为被处理气体导入到蜂窝转子5的处理区域6中。其中，阀31为关闭状态，且与实施例1同样地，通过了净化区域7的气体被导入到氮气精制机23中来进行氧气去除·氮气精制运转。

需要说明的是，在所有的气密室从大气置换的状态进行氮气置换运转时，设成打开阀31并关闭阀33、34而活性气体不会流入到氮气精制机23中的状态，并以与实施例1相同的方式进行运转。

(氧气去除·氮气精制运转)

气密室1A内的氧气浓度降低到规定的浓度以下之后，关闭阀50A并打开阀51A。并且，拧阀26来减小通过配管a的氮气的供给流量，供给氮气并且保持气密室1内的正压。来自气密室1的回气RA作为被处理气体通过配管b供给到蜂窝转子5中。通过了蜂窝转子5的净化区域7的气体通过送风机17被导入到氮气精制机23中。

通过了氮气精制机23的非活性气体由再生加热器14加热，并导入到蜂窝转子5的再生区域8中。通过了再生区域8的气体再次通过处理区域6而作为供气SA供给到气密室1中。通过如此进行循环运转来进一步缓慢降低氧气浓度和/或水分浓度。达到规定的浓度之后，开始进行制造装置2的运转，并开始进行用于OLED的制造或研发的实验等。需要说明的是，在图2中，将催化剂容器设为双塔式，但是与实施例1同样地，并不限于此。

通过连接干燥剂除湿机与氮气精制机而形成一体型的装置，与专利文献3相比，能够成为省空间的气体置换系统，并且能够抑制配管或设置工事等中所花费的生产成本。

通过以上，能够将从气密室1的大气置换后的大气环境返回到使内部以低露点、非活性气体清洁的环境为止的恢复时间缩短成以往技术的1/5～1/10。并且，能够实现如下气体置换系统，即，能够容易使气密室1内最佳化成低露点且非活性气体环境。

产业上的可利用性

本发明也能够对需要以低露点、非活性气体浓度保持保管空间内清洁的用于开发锂离子电池材料等的手套箱等收纳容器或干燥房进行使用。

Claims (7)

1.一种气体置换用干燥房，其特征在于，

设置连接了干燥空气供给装置及非活性气体供给装置的气密室，在低露点气体供给装置的后部连接非活性气体精制装置而形成一体型，通过了所述低露点气体供给装置的气体通过所述非活性气体精制装置，在所述气密室中经由去除异物的过滤器而供给通过了所述低露点气体供给装置的低露点气体，所述气体置换用干燥房具备使所述气密室内部的气体向所述低露点气体供给装置进行再循环的管路。

2.根据权利要求1所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

设置了切换机构以便通过了所述低露点气体供给装置的气体旁通所述气密室而不通过所述非活性气体精制装置。

3.根据权利要求1或2所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

所述气密室由一个或者多个构成。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

异物去除过滤器为内置有HEPA过滤器和/或ULPA过滤器的风机过滤器。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

所述非活性气体精制装置为内置有以铜和/或铂为主成分的催化剂的氮气精制机。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

所述低露点气体供给装置为干燥剂除湿机。

7.根据权利要求6所述的气体置换用干燥房，其特征在于，

通过了所述干燥剂除湿机的净化区域的空气被供给到所述非活性气体精制装置中。

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