CN105169897A - 吸附式除湿装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种吸附式除湿装置，能够以简单的装置快速地调整供给空气的湿度，能够快速地应对干燥空气的供给端的湿负荷变动的情况。吸附式除湿装置，使外部空气经过湿气吸附转子(7)的吸附区(8)，将由此成为低露点的干燥空气供给至室内，该吸附式除湿装置设置有使从吸附区(8)出来的干燥空气的一部分绕行的旁路(19)，在旁路(19)的途中配置有加湿器(21)，在使从加湿器(21)出来的空气和从吸附区(8)出来的空气混合的管道设置有湿度传感器(23)，根据该湿度传感器(23)的输出，由电磁阀(22)来调节流入旁路(19)的空气的量。由此，供给空气(SA)的空气湿度根据流入旁路(19)的空气的量进行调整。

Description

吸附式除湿装置

技术领域

本发明涉及一种用于供给低露点干燥空气的吸附式除湿装置。手套箱(Globebox)是指将箱的内部的湿度维持在极低的状态，并从箱的外部经由被密封的橡胶手套(手套)将手插入，来利用箱中的干燥的环境进行实验等。本发明涉及一种除湿装置，在手套箱等的干燥室中，在低露点的环境下，能够将供给的空气的二氧化碳浓度控制在低的范围。

背景技术

锂电池的制造车间若不进行除湿，则锂电池的品质会产生问题。即，锂是和水强烈反应的物质，锂电池的制造车间需要将露点设定为零下40度以下(下面，温度全部为“摄氏度”)。另外，除了锂电池的制造车间以外，药品的制造车间等也存在要求将露点控制在零下10度至零下70度的范围的情况。在这样低的露点下，存在难以将露点控制在规定的范围内的问题。即，若是露点为零下的环境，则空气中的水分非常少，由此，仅供给一点点水分都会导致露点产生大的变化。因此，水分的供给量的控制变得重要。

在制造、开放锂电池或一部分的药品等而进行实验的情况下，需要在供给露点为零度以下的干燥空气的干燥室内进行。在创造这样低露点的干燥室环境时使用吸附式的除湿方式，该吸附式的除湿方式利用具有硅胶和沸石等吸湿剂的吸附转子。为了使用这样的除湿方式来控制露点，具有专利文献1所公开的对除湿转子的再生空气的温度进行控制的方法。或者，专利文献2所公开的控制除湿转子的再生风量来控制露点的方法。这是因为如上所述供给水分则难以控制露点。

为了提高性能以及品质，锂电池的生产线或药品的生产线受到各种空气条件的制约。然而，在操作者进出生产线时，因进入或离开会产生湿负荷变动。另外，由送至生产线的材料自身所带的湿气或放置材料的容器的外部附着的水分，也会产生湿负荷变动。通过该湿负荷变动会使干燥室内的湿度发生变化。于是，需要将干燥室内的湿度维持恒定，从而需用用于维持湿度的方法。

专利文献1公开的方法是通过控制除湿转子的再生空气的温度，来调整除湿能力，从而对干燥室内的湿度进行调整。另外，专利文献2公开的方法是控制除湿转子的再生风量，来调整除湿能力，从而对干燥室内的湿度进行调整。

就专利文献1公开的方法而言，在除湿能力可以变小的情况下，由于降低再生空气的温度，所以能够节能，且节能量相当于因再生空气的温度降低所产生的节能量。但是，使再生温度变化，再生区的湿气的脱附量也变化，由此，除湿能力发生变化，因此，存在除湿能力的控制花费时间，进而干燥室的湿度调整需要花费时间的问题。

就专利文献2公开的方法而言，在除湿能力可以变小的情况下，使除湿转子的再生风量减少，所以能够节能，且节能量相当于因除湿转子的再生风量减少所产生的节能量。但是，使再生风量变化，再生区的湿气的脱附量也变化，由此，除湿能力发生变化，因此，存在除湿能力的控制花费时间，进而干燥室的湿度调整花费时间的问题。

另外，在对特定的箱中的空气进行除湿的情况下，在使用冷冻机来通过结露进行除湿时，能源消耗少，但难以使箱中的空气的湿度降至零下的露点。

即，近年，锂离子电池和锂离子电容器等的开发和改良日益激化。由于锂化合物易于吸附空气中的水分而使电池和电容器的性能劣化，所以在开发进行实验时，需要用极低露点的空气或使液氮气化的氮气在净化过空气的箱中进行试验。在使用液氮的情况下，需要在实验前准备液氮，在实验中持续地消耗液氮，所以存在费用增大的问题。

另外，被用于作为代替液晶显示装置的下一代平板显示器而被期待的有机EL显示装置等的有机EL元件，具有作为固定发光型的低价且大面积全彩显示元件和写入光源阵列的用途被视为有良好的前景，进而活跃地推进研究开发。但是，用于有机EL元件的有机发光材料等的有机物质和电极等怕与水分接触，所以性能和特性会急剧地劣化。因此，在开发进行实验时，也需要用极低露点的空气或使液氮气化的氮气在净化过空气的箱中进行实验。

而且，就锂离子电池而言，在大气中存在二氧化碳时，存在专利文献3所说明的性能劣化的问题。该专利文献1所公开的装置是在制造锂离子电池的电极的工序中，除去二氧化碳的影响的装置，作为二氧化碳的除去方式为使空气在氢氧化钠溶液中起泡。但是，在完成锂离子电池的工序中，需要干燥空气，但作为二氧化碳的除去方式而在溶液中起泡时，存在空气的湿度上升的问题。

另外，作为二氧化碳吸收剂是专利文献4所公开的胺类的物质，使溶液吸收二氧化碳的物质，存在因使用而空气被加湿的问题。

另外，专利文献5公开了一种技术，其能够高精度地控制手套箱内的露点，也能够使二氧化碳浓度变低，但在使用氢氧化钠等二氧化碳吸附剂，在经过一定时间二氧化碳吸附能力降低的情况下，需要更换新的二氧化碳吸附剂。

专利文献1：日本特开2006-162131号公报

专利文献2：日本特开2000-237524号公报

专利文献3：日本特开平09-320598号公报

专利文献4：日本特开平06-343858号公报

专利文献5：日本特开2014-97437号公报

如上所述，专利文献3以及专利文献4公开的方式在二氧化碳的吸附或吸收的过程中存在空气的湿度变高的问题。因此，若要供给本发明所述的露点为零下10度至零下80度的干燥空气，难以采用专利文献3以及专利文献4公开的方式。另外，专利文献5所公开的方式在使用的二氧化碳吸附剂的吸附能力降低时，需要更换新的二氧化碳吸附剂。

发明内容

本发明鉴于解决上述问题而提出，其目的在于，提供一种湿度变化少的吸附式除湿装置，能够快速应对因以简单的装置使人进入或退出干燥室等而门被打开或关闭的情况下，以及因材料搬入所导致的湿负荷变动。

另外，本发明提供一种除湿装置，能够使干燥空气所含有的二氧化碳的浓度变低，并且能够控制二氧化碳的浓度。

本发明的一个技术方案的主要特征在于，具有用于冷却外部空气的预冷器，并且使被预冷器冷却除湿的空气经过湿气吸附转子的吸附区，使由此变为低露点的干燥空气供给至室内，并且设置有使从吸附区出来的干燥空气的一部分绕行的旁路，在旁路的途中配置有加湿器，在使从加湿器出来的空气和从吸附区出来的空气混合的管道设置有湿度传感器，并且根据该湿度传感器的输出对流入旁路的空气的量进行调节。由此，供给至干燥室内的空气的湿度根据流入旁路的空气的量进行调整。

本发明的吸附式除湿装置在旁路的途中配置有加湿器，通过该加湿器使得在旁路内存在高湿度的空气，因此，通过将旁路内的空气和经过吸附转子的吸附区的干燥空气进行混合，能够对供给空气的湿度进行调整。

并且，通过对干燥空气和加湿空气的混合比进行调整，能够得到所需的湿度的空气。另外，由于该混合比能够由阀等容易地进行调整，并且在调节混合比之后湿度立即发生变化，所以能够使湿度调整的响应速度变快。另外，作为加湿器不需要响应性快的产品等，因此，在设计时选择的自由度高，从而能够从成本或耐久性等观点出发来进行选择。

本发明的另一技术方案的主要特征在于，具有对外部空气进行冷却的预冷器，并且使被预冷器进行冷却除湿的空气经过湿气以及二氧化碳吸附转子的吸附区，并将由此变为低露点的干燥空气向室内供给，根据该供给空气的二氧化碳浓度，控制湿气以及二氧化碳吸附转子的转速。

本发明的除湿装置使用湿气以及二氧化碳吸附转子，在手套箱等的干燥室内的露点温度降低后，通过对要向干燥室内供给的空气的二氧化碳浓度进行测量，并根据该浓度对湿气以及二氧化碳吸附转子的转速进行控制，能够在比较短的时间内高精度地控制干燥室内的二氧化碳浓度。

另外，通过在不影响露点湿度的范围内对湿气以及二氧化碳吸附转子的转速进行控制，能够在恒定的露点温度下对二氧化碳浓度进行控制。

附图说明

图1是表示吸附式除湿装置的实施例1的流程图。

图2是表示由实施例1的吸附式除湿装置进行露点控制时的经过时间和露点温度的曲线图。

图3是表示本发明的除湿器的实施例2的流程图。

图4是表示用于本发明的实施例2的吸附转子的转速、处理出口二氧化碳浓度、处理出口露点温度之间的关系的曲线图。

图5是表示使用本实施例2时的供气露点和供气二氧化碳浓度随时间变化的曲线图。

附图标记说明如下：

1阀

2第一空气过滤器

3温度传感器

4第一预冷器

5温度传感器

6风扇

7除湿转子

8吸附区

9净化区

10再生区

11齿轮传动马达

12后置加热器

13第二空气过滤器

14外部供给通路

15返回通路

16阀

17第二预冷器

18温度传感器

19旁路

20电磁阀

21加湿器

22可变阀

23湿度传感器

24阀

25再生加热器

26温度传感器

27温度传感器

28风扇

219阀

220二氧化碳浓度传感器

具体实施方式

本发明的吸附式除湿装置，使经过湿气吸附转子的吸附区而成为低露点的干燥空气供给至室内，并且设置有使从吸附区出来的干燥空气的一部分绕行的旁路，在旁路的途中配置有加湿器，在使从加湿器出来的空气和从吸附区出来的空气混合的管道设置有湿度传感器，通过根据该湿度传感器的输出来调节流入旁路的空气的量，来调整供给空气的湿度。因此，能够迅速地对应干燥室内的湿度的变化。

本发明的另一主要目的在于提供一种除湿装置，使经过湿气以及二氧化碳吸附转子的吸附区而成为低露点的干燥空气供给至室内，并且根据供给空气的二氧化碳浓度对湿气以及二氧化碳吸附转子的转速进行控制，能够将干燥室内控制在固定的露点，从而能够控制干燥室内的二氧化碳浓度。

[实施例1]

首先，按照图1对实施例1进行说明。外部空气OA通过阀1进行流量调整，由第一空气过滤器2除去灰尘。该外部空气的温度由温度传感器3进行测量，被第一预冷器4冷却且利用结露进行除湿。从第一预冷器4出来的空气由温度传感器5进行温度测量。通过风扇6产生该空气的气流。

7是除湿转子，是在蜂窝式转子上合成硅胶等或搭载沸石的公知的装置。并且，除湿转子7被划分成吸附区8、净化区9、再生区10。除湿转子7被齿轮传动马达(Gearedmotors)11驱动而旋转。经过吸附区8的干燥空气由后置加热器12加热至期望的温度。通过后置加热器12使温度上升的空气，通过第二空气过滤器13除去污染物。即，除去从除湿转子7的表面脱落的吸附剂等。

经过第二空气过滤器13的空气被分流成2条通路，即外部供给通路14和返回通路15。在返回通路15上设置有阀16，由此设定返回风量。在返回通路15上设置有第二预冷器17，该第二预冷器17使空气的温度下降至规定的温度，来促进在吸附区8吸附湿气。在第二预冷器17的出口侧设置有温度传感器18，通过该温度传感器18来控制第二预冷器17的出口温度。从第二预冷器17出来的空气被吸入风扇6而送至吸附区8。即，被冷却的外部空气和经由返回通路15返回的空气混合并送至吸附区8。

另外，经过第二空气过滤器13并送至外部供给通路14的空气的一部分向旁路19分流。在旁路19上设置有电磁阀20、加湿器21、可变阀22。另外，旁路19最终和外部供给通路14汇合，在该汇合点的下游设置有湿度传感器23。根据该湿度传感器23的检测数据对可变阀22的开度进行控制。即，根据湿度传感器23的检测数据对潮湿空气的混合比进行控制。经过湿度传感器23的空气作为供给空气SA被送至外部的干燥室(未图示)。

从净化区9出来的空气经过阀24之后，由再生加热器25进行加热并被送至再生区10。经过再生区10之前之后的空气的温度由温度传感器26、27进行测量。若温度传感器26、27的测量值的差为规定值以上，则判定在再生区10充分地进行了再生。经过再生区10的空气作为排气EA由风扇28向外部排出。

本发明的实施例1如上所述那样构成，下面，对动作进行说明。首先，打开阀1使第一预冷器4、风扇6、齿轮传动马达11、第二预冷器17、再生加热器25、风扇28进行动作。由此，外部空气OA被风扇6吸入，通过第一空气过滤器2除去灰尘，由温度传感器3测量温度，被第一预冷器4冷却。伴随着该冷却，露点下降至第一预冷器4的温度。即，通过结露来除湿。

被除湿且湿度下降的空气通过温度传感器5测量温度，被风扇6经过除湿转子7的吸附区8，通过吸附使湿度进一步降低。此时，通过齿轮传动马达11使除湿转子7旋转。根据需要，利用后置加热器12按照温度传感器5测量的温度，使从吸附区8出来的空气的温度上升。经过后置加热器12的空气通过第二空气过滤器13除去从除湿转子7脱落的吸附剂等，进而被分流成外部供给通路14和返回通路15。

在此，在由第一预冷器4进行冷却后，由后置加热器12进行加热看起来无用，但第一预冷器4不仅进行冷却，还如上所述通过结露来除湿，确保期望的除湿量，而且降低温度来确保吸附区8的吸附量，由此能够将气体的温度冷却得比要向外部供给的空气的期望的温度低。

分流至返回通路15的空气由阀16决定回气量，通过第二预冷器17进行冷却，温度由温度传感器18进行测量，并且上述空气与经过第一预冷器4的外部空气OA进行混合再次经过除湿转子7的吸附区8。通过该循环，供给空气SA的露点能够下降至零下70度。此外，返回通路15也可以设置为使刚经过吸附区8的空气在后置加热器12的上游进行循环。

从风扇6出来的空气分流至净化区9，在此热被回收，然后由阀24调整清污量，被再生加热器25加热，送至再生区10。空气在被送至再生区10之前之后的温度分别由温度传感器26以及温度传感器27进行测量。在该温度差为规定值以下时，可知未确保再生区10的再生量。在该情况下，提高再生加热器25的温度来确保再生量。从再生区10出来的潮湿空气作为排气EA向外部排出。

经过第二空气过滤器13被分流至旁路19的干燥空气，在电磁阀20打开的情况下，经过加湿器21。在此干燥空气被加湿且和经过后置加热器12以及第二空气过滤器13的干燥空气进行混合。然后，混合的空气的湿度由湿度传感器23进行测量，在湿度比规定值低的情况下，进行控制，使可变阀22的开度变大，增加被加湿的空气的量，从而供给空气SA的湿度变为期望值。由此，当供给空气SA的湿度接近规定值时，进行控制，使可变阀22的开度变小。

由于可变阀22能够通过电动机自由地改变开度，所以一般来说能够使用市面上出售的产品。在这样的可变阀22中，市面上出售的产品大多是在1秒钟以内从最大开口变为闭合，在采用这样的产品时，湿度调整能够在1秒中以内进行。这样，通过响应于湿度传感器23的输出的可变阀22，来进行湿度调整，所以能够在极短时间内准确地进行湿度调整。

如上所述，由于未在外部供给通路14直接设置加湿器，而在旁路19上设置有加湿器21，所以即使是露点温度为零下10度以下的低露点，也能够高精度地控制露点。另外，在本实施例中，加湿器21使用加湿过滤构件等气化式加湿装置，所以即使是20m³/h左右的小风量且露点温度为零下10度至零下70度的低露点供给空气，也能够迅速地将露点高精度地控制在露点温度上下2度以内。在此，若使用蒸汽式或超音波式的加湿器，则在加湿器刚运转后，产生湿度比供给空气高得多的空气，所以露点控制要花费时间且不稳定。另外，在小风量的情况下，与风的流动相反，湿气从加湿器侧向供给通路侧扩散，这就是供给空气的露点急剧上升的原因。因此，通过使用作为气化式的加湿装置的加湿过滤构件，加湿空气的湿度也与经过加湿过滤构件的风量的增减成正比地增减，所以能够稳定地进行露点控制。

图2是表示由本发明的吸附式除湿装置进行露点控制时的经过时间和露点温度的关系的曲线图。在以往的吸附式除湿装置中，在露点控制温度从零下30度下降至零下60度的情况下，要花费1小时左右使露点稳定，但在本发明的吸附式除湿器中，即使将供给空气的露点控制温度从零下20度降低露点至零下30度、零下50度、零下70度的低露点，也能够在10分钟以内的短时间内将露点高精度地控制在露点温度上下2度以内。

如上所述，本发明的实施例1的吸附式除湿装置，由湿度传感器23测量供给空气的湿度，并根据上述湿度来混合加湿空气，通过可变阀22来控制该混合比，所以能够供给极高响应性且高精度地被调整的空气。

[实施例2]

下面，按照图3对本发明的实施例2进行说明。外部空气OA通过阀1进行流量调整，由第一空气过滤器2除去灰尘。该外部空气的温度由温度传感器3进行测量，被第一预冷器4冷却且利用结露进行除湿。从第一预冷器4出来的空气由温度传感器5进行温度测量。通过风扇6产生该空气的气流。

7是能够吸附湿气以及二氧化碳的吸附转子，是在蜂窝式转子上搭载有用于吸附湿气以及二氧化碳的硅胶、沸石、离子交换树脂等的公知的装置。并且，吸附转子7被划分成吸附区8、净化区9、再生区10。通过齿轮传动马达11，驱动吸附转子7进行旋转，并且控制吸附转子7的转速。经过吸附区8的干燥空气由后置加热器12加热至期望的温度。通过后置加热器12使温度上升的空气通过第二空气过滤器13除去污染物。即，除去从吸附转子7的表面脱落的吸附剂等。

经过第二空气过滤器13的空气被分流成2条通路，即外部供给通路14和返回通路15。在返回通路15上设置有阀16，通过该阀16来设定返回风量。在返回通路15上设置有第二预冷器17，该第二预冷器17使空气的温度下降至规定的温度，来促进吸附区8的湿气吸附。在第二预冷器17的出口侧设置有温度传感器18，通过该温度传感器18来控制第二预冷器17的出口温度。从第二预冷器17出来的空气被吸入风扇6而送至吸附区8。即，被冷却的外部空气和经由返回通路15返回的空气混合并送至吸附区8。

另外，经过第二空气过滤器13并送至外部供给通路14的空气，在通过二氧化碳浓度传感器20测量二氧化碳浓度之后，被供给至干燥室内。根据该二氧化碳浓度传感器20的检测数据，由齿轮传动马达11控制吸附转子7的转速。即，根据二氧化碳浓度传感器20的检测数据，控制吸附转子7的二氧化碳吸附量，从而能够将期望的二氧化碳浓度的供给空气SA送至外部的干燥室(未图示)。

从净化区9出来的空气经过阀24之后，由再生加热器25进行加热并被送至再生区10。空气在经过再生区10之前之后的温度由温度传感器26、27进行测量。若温度传感器26、27的测量值的差为规定值以上，则判定在再生区10充分地进行了再生。经过再生区10的空气作为排气EA由风扇28向外部排出。

本发明的实施例2的结构如上所述，下面，对动作进行说明。首先，打开阀1使第一预冷器4、风扇6、齿轮传动马达11、第二预冷器17、再生加热器25、风扇28进行动作。由此，外部空气OA由风扇6吸入，被第一空气过滤器2除去灰尘，通过温度传感器3测量温度，通过第一预冷器4进行冷却。伴随着该冷却，露点下降至第一预冷器4的温度。即，通过结露进行除湿。

被除湿且湿度下降的空气通过温度传感器5测量温度，借助风扇6经过吸附转子7的吸附区8，通过吸附使湿度进一步降低。此时，通过齿轮传动马达11，使吸附转子7进行旋转。根据需要，通过后置加热器12根据温度传感器5测量的温度，使从吸附区8出来的空气的温度上升。经过后置加热器12的空气通过第二空气过滤器13除去从吸附转子7脱落的吸附剂等，进而被分流成外部供给通路14和返回通路15。

在此，在通过第一预冷器4进行冷却后，通过后置加热器12进行加热看起来无用，但第一预冷器4不仅进行冷却，还如上所述，通过结露来除湿，确保期望的除湿量，而且降低温度而确保吸附区8的吸附量，由此能够将气体的温度冷却得比要向外部供给的空气的温度低。

分流至返回通路15的空气由阀16决定回气量，通过第二预冷器17进行冷却，温度通过温度传感器18进行测量，上述空气与经过第一预冷器4的外部空气OA进行混合并再次经过吸附转子7的吸附区8。通过该循环，供给空气SA的露点能够下降至零下70度。此外，返回通路15也可以设置为使刚经过吸附区8的空气在后置加热器12的上游进行循环。

从风扇6出来的空气分流至净化区9，在此热被回收，然后由阀21调整清污量，被再生加热器25加热，然后送至再生区10。空气在被送至再生区10之前之后的温度分别由温度传感器26以及温度传感器27进行测量。在该温度差为规定值以下时，可知未确保再生区10的再生量。在该情况下，提高再生加热器25的温度来确保再生量。从再生区10出来的潮湿空气作为排气EA由风扇28向外部排出。

外部供给通路14的空气由二氧化碳浓度传感器220测量二氧化碳浓度之后，供给至干燥室。通过PID(ProportionalIntegralDerivative，比例积分微分)控制等控制齿轮传动马达11来控制吸附转子7的转速，以使所测量的二氧化碳浓度为期望的二氧化碳浓度。图4是表示用于本发明的实施例2的处理出口二氧化碳浓度以及处理出口露点与吸附转子的转速之间的关系的曲线图。在吸附转子转速为7～8rph附近时，处理出口二氧化碳浓度最低约为15ppm。另外，若吸附转子转速变慢，则吸附转子的二氧化碳吸附量降低，所以处理出口二氧化碳浓度增加，在吸附转子转速为3.5rph附近时，处理出口二氧化碳浓度上升至大约100ppm。因此，通过使吸附转子的转速在3～8rph附近变化，能够将处理出口二氧化碳浓度控制为期望的浓度。在该吸附转子的转速范围内，由于处理出口露点恒定，所以即使转速发生变化，露点也不会变化。

图5是表示在本发明的实施例2中使用外径250mm、宽度450mm的吸附转子时的供气露点和供气二氧化碳浓度随时间变化的曲线图。在未对二氧化碳浓度进行控制的状态、约15ppm将二氧化碳浓度设定为30ppm的情况下，在大约50分钟后，露点温度变为零下50度，二氧化碳浓度变为30ppm±3ppm。然后，在将设定变更，将二氧化碳浓度控制为80ppm后，在大约30分钟后，露点温度变为零下50度，二氧化碳浓度变为80ppm±10ppm。而且，在将露点温度变更为零下30度后将将二氧化碳浓度控制变更为30ppm后，在大约30分钟后，露点温度变为零下30度，二氧化碳浓度变为30ppm±3ppm。

如上所述，本发明能够提供一种除湿装置，其能够通过改变吸附转子的转速，将干燥室内的二氧化碳浓度控制在20～80ppm范围内。

Claims (6)

1.一种吸附式除湿装置，其特征在于，

具有：

第一预冷器，对外部空气进行冷却和除湿，

除湿转子，进一步对被第一预冷器冷却的空气进行除湿，

返回通路，使被除湿转子除湿的空气的一部分进行循环，

旁路，使被除湿转子除湿的空气的一部分分流，

加湿器，对旁路的空气进行加湿，

湿度传感器，对旁路上的被加湿的空气与被除湿转子除湿的空气混合后的空气的湿度进行测量；

该吸附式除湿装置设置有可变阀，该可变阀根据所述湿度传感器的输出对流入所述旁路的空气量进行调整。

2.一种吸附式除湿装置，其特征在于，

除湿转子划分成吸附区、净化区、再生区，

该吸附式除湿装置设置有用于测量所述再生区的前后的温度的温度传感器和再生加热器，在所述再生区的前后的温度差为规定值以下时，为再生不足，进行控制来提高所述再生加热器的温度。

3.如权利要求1或2所述的吸附式除湿装置，其特征在于，所述加湿器为气化式的加湿装置。

4.一种吸附式除湿装置，其特征在于，

具有：

第一预冷器，对外部空气进行冷却和除湿，

吸附转子，进一步对被第一预冷器冷却的空气进行除湿，

返回通路，使被吸附转子除湿的空气的一部分进行循环，

外部供给通路，将被吸附转子除湿的空气的一部分供给至外部，

二氧化碳浓度传感器，对外部供给通路中的空气的二氧化碳浓度进行测量；

该吸附式除湿装置设置有控制单元，该控制单元根据所述二氧化碳浓度传感器的输出对所述吸附转子的转速进行控制。

5.如权利要求4所述的吸附式除湿装置，其特征在于，所述控制单元使用比例积分微分控制。

6.如权利要求4或5所述的吸附式除湿装置，其特征在于，所述吸附转子能够在使处理出口露点恒定的转子转速的范围内改变二氧化碳吸附量。