CN111993615B - 单晶小硅块的拼接切割方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了单晶小硅块的拼接切割方法,将单晶边皮切割出长方体状单晶小硅块,将单晶小硅块拼接后再切片出单晶硅片。本发明将单晶小硅块拼接处理后再进行切片,可提高加工效率,提高产能。本发明将单晶小硅块拼接后再进行切片,使得无需投入大量设备的前提下,就可以满足硅片加工,同时提高产能,大大降低了固定资产的投入。本发明将加工单晶小硅块的方式由单排改进为拼接,单刀产能提升50%,设备投入数量相应降低50%,同时加工硅片过程中所使用的辅材、耗能、人工成本也降低。
Description
技术领域
本发明涉及单晶小硅块的拼接切割方法。
背景技术
“降本增效”一直是光伏制造的最大主题,单晶硅棒开方后产生单晶边皮,如果将单晶边皮料进一步加工切片,可达到废物利用的目的。
可先将单晶边皮切割出长方体状单晶小硅块,再对单晶小硅块进行切片,但目前对单晶小硅块的加工效率不高,产能低。
发明内容
为解决现有技术的缺陷,本发明提供一种单晶小硅块的拼接切割方法,将单晶边皮切割出长方体状单晶小硅块,将单晶小硅块拼接后再切片出单晶硅片。
优选的,将至少两个单晶小硅块层叠粘接后再切片。
具体的,将至少两个单晶小硅块层叠拼接,且各单晶小硅块的长度方向相互平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,便于切割,提升产能,对单晶大硅块进行切片,切片方向与各单晶小硅块的长度方向垂直,切片得到单晶硅片。
优选的,将至少两个单晶小硅块并排粘接后再切片。
具体的,将至少两个单晶小硅块水平拼接,且各单晶小硅块的长度方向相互平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,便于切割,提升产能,对单晶大硅块进行切片,切片方向与各单晶小硅块的长度方向垂直,切片得到单晶硅片。
优选的,将单晶小硅块拼接之前,先对单晶小硅块进行磨面处理。
优选的,将单晶小硅块拼接之前,先对单晶小硅块进行倒角处理。
优选的,对切片出的单晶硅片进行脱胶清洗。
优选的,单晶小硅块的拼接切割方法,包括如下步骤:
1)将单晶边皮截断成边皮小段;
2)切除边皮小段两侧的尖角部;
3)切除边皮小段的弧形凸起部,得到长方体状单晶小硅块;
4)对步骤3)所得单晶小硅块进行磨面和倒角:步骤3)所得单晶小硅块的表面并不平整,且单晶小硅块的尺寸也不够精确,通过磨面可以降低单晶小硅块表面粗糙度并获得更为精确的尺寸;并将单晶小硅块四个角税利边修整成三角形,防止切割后硅片边缘破裂及晶格缺陷产生碎片;
5)对步骤4)处理后的单晶小硅块进行粘棒切片:将至少两个单晶小硅块层叠拼接,且各单晶小硅块的长度方向都与切片机主辊的长度方向平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,单晶大硅块的长度方向与切片机主辊的长度方向平行,且单晶大硅块被胶水粘在工件板上,便于切割,提升产能,采用金刚线对单晶大硅块进行切片,切片方向与切片机主辊的长度方向垂直,切片得到单晶硅片,且单晶硅片粘在工件板上;
6)对步骤5)所得单晶硅片进行脱胶清洗:通过加热使胶水软化,使单晶硅片从工件板上脱离,然后把单晶硅片上的杂物清洗干净,再将单晶硅片烘干后装入片盒内。
优选的,单晶小硅块的拼接切割方法,包括如下步骤:
1)将单晶边皮截断成边皮小段;
2)切除边皮小段两侧的尖角部;
3)切除边皮小段的弧形凸起部,得到长方体状单晶小硅块;
4)对步骤3)所得单晶小硅块进行磨面和倒角:步骤3)所得单晶小硅块的表面并不平整,且单晶小硅块的尺寸也不够精确,通过磨面可以降低单晶小硅块表面粗糙度并获得更为精确的尺寸;并将单晶小硅块四个角税利边修整成三角形,防止切割后硅片边缘破裂及晶格缺陷产生碎片;
5)对步骤4)处理后的单晶小硅块进行粘棒切片:将至少两个单晶小硅块水平拼接,且各单晶小硅块的长度方向都与切片机主辊的长度方向平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,单晶大硅块的长度方向与切片机主辊的长度方向平行,且单晶大硅块被胶水粘在工件板上,便于切割,提升产能,采用金刚线对单晶大硅块进行切片,切片方向与切片机主辊的长度方向垂直,切片得到单晶硅片,且单晶硅片粘在工件板上;
6)对步骤5)所得单晶硅片进行脱胶清洗:通过加热使胶水软化,使单晶硅片从工件板上脱离,然后把单晶硅片上的杂物清洗干净,再将单晶硅片烘干后装入片盒内。
本发明将单晶小硅块拼接处理后再进行切片,可提高加工效率,提高产能。
本发明将单晶小硅块在粘棒工序拼接处理后再进行切片,使得无需投入大量设备的前提下,就可以满足硅片加工,同时提高产能,大大降低了固定资产的投入。
本发明将加工单晶小硅块的方式由单排改进为拼接,单刀产能提升50%,设备投入数量相应降低50%,同时加工硅片过程中所使用的辅材、耗能、人工成本也降低。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例1
一种单晶小硅块的拼接切割方法,将单晶边皮切割出长方体状单晶小硅块,将至少两个单晶小硅块层叠粘接后再切片;
具体的,将至少两个单晶小硅块层叠拼接,且各单晶小硅块的长度方向相互平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,便于切割,提升产能,对单晶大硅块进行切片,切片方向与各单晶小硅块的长度方向垂直,切片得到单晶硅片。
更优的,将单晶小硅块拼接之前,先对单晶小硅块进行磨面处理和倒角处理;对切片出的单晶硅片进行脱胶清洗。
实施例2
一种单晶小硅块的拼接切割方法,将单晶边皮切割出长方体状单晶小硅块,将至少两个单晶小硅块并排粘接后再切片;
具体的,将至少两个单晶小硅块水平拼接,且各单晶小硅块的长度方向相互平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,便于切割,提升产能,对单晶大硅块进行切片,切片方向与各单晶小硅块的长度方向垂直,切片得到单晶硅片。
更优的,将单晶小硅块拼接之前,先对单晶小硅块进行磨面处理和倒角处理;对切片出的单晶硅片进行脱胶清洗。
实施例3
一种单晶小硅块的拼接切割方法,包括如下步骤:
1)将单晶边皮截断成边皮小段;
2)切除边皮小段两侧的尖角部;
3)切除边皮小段的弧形凸起部,得到长方体状单晶小硅块;
4)对步骤3)所得单晶小硅块进行磨面和倒角:步骤3)所得单晶小硅块的表面并不平整,且单晶小硅块的尺寸也不够精确,通过磨面可以降低单晶小硅块表面粗糙度并获得更为精确的尺寸;并将单晶小硅块四个角税利边修整成三角形,防止切割后硅片边缘破裂及晶格缺陷产生碎片;
5)采用切片机对步骤4)处理后的单晶小硅块进行粘棒切片:将至少两个单晶小硅块层叠拼接,且各单晶小硅块的长度方向都与切片机主辊的长度方向平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,单晶大硅块的长度方向与切片机主辊的长度方向平行,且单晶大硅块被胶水粘在工件板上,便于切割,提升产能,采用金刚线对单晶大硅块进行切片,切片方向与切片机主辊的长度方向垂直,切片得到单晶硅片,且单晶硅片粘在工件板上;
6)对步骤5)所得单晶硅片进行脱胶清洗:通过加热使胶水软化,使单晶硅片从工件板上脱离,然后把单晶硅片上的杂物清洗干净,再将单晶硅片烘干后装入片盒内。
实施例4
一种单晶小硅块的拼接切割方法,包括如下步骤:
1)将单晶边皮截断成边皮小段;
2)切除边皮小段两侧的尖角部;
3)切除边皮小段的弧形凸起部,得到长方体状单晶小硅块;
4)对步骤3)所得单晶小硅块进行磨面和倒角:步骤3)所得单晶小硅块的表面并不平整,且单晶小硅块的尺寸也不够精确,通过磨面可以降低单晶小硅块表面粗糙度并获得更为精确的尺寸;并将单晶小硅块四个角税利边修整成三角形,防止切割后硅片边缘破裂及晶格缺陷产生碎片;
5)采用切片机对步骤4)处理后的单晶小硅块进行粘棒切片:将至少两个单晶小硅块水平拼接,且各单晶小硅块的长度方向都与切片机主辊的长度方向平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,单晶大硅块的长度方向与切片机主辊的长度方向平行,且单晶大硅块被胶水粘在工件板上,便于切割,提升产能,采用金刚线对单晶大硅块进行切片,切片方向与切片机主辊的长度方向垂直,切片得到单晶硅片,且单晶硅片粘在工件板上;
6)对步骤5)所得单晶硅片进行脱胶清洗:通过加热使胶水软化,使单晶硅片从工件板上脱离,然后把单晶硅片上的杂物清洗干净,再将单晶硅片烘干后装入片盒内。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (1)
1.单晶小硅块的拼接切割方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)将单晶边皮截断成边皮小段;
2)切除边皮小段两侧的尖角部;
3)切除边皮小段的弧形凸起部,得到长方体状单晶小硅块;
4)对步骤3)所得单晶小硅块进行磨面和倒角;
5)对步骤4)处理后的单晶小硅块进行粘棒切片:将至少两个单晶小硅块层叠拼接或水平拼接,且各单晶小硅块的长度方向都与切片机主辊的长度方向平行,相邻两单晶小硅块的接触处采用胶水粘接固定,使单晶小硅块拼接为长方体状单晶大硅块,单晶大硅块的长度方向与切片机主辊的长度方向平行,且单晶大硅块被胶水粘在工件板上,采用金刚线对单晶大硅块进行切片,切片方向与切片机主辊的长度方向垂直,切片得到单晶硅片,且单晶硅片粘在工件板上;
6)对步骤5)所得单晶硅片进行脱胶清洗:通过加热使胶水软化,使单晶硅片从工件板上脱离,然后把单晶硅片上的杂物清洗干净,再将单晶硅片烘干后装入片盒内。
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Citations (5)
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CN106183505A (zh) * | 2016-07-12 | 2016-12-07 | 桐城市凌志彩印包装有限责任公司 | 一种印刷纸张的烫金方法 |
CN110712308A (zh) * | 2019-10-23 | 2020-01-21 | 常州时创能源科技有限公司 | 边皮料的切割方法 |
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