CN111984042A - 一种功率器件老化考核用加热装置 - Google Patents

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赵秋森
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    • G—PHYSICS
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Abstract

本发明实施例涉及一种功率器件老化考核用加热装置，所述装置包括：所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；被考核器件的背面设置于恒温加热器上；温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。

Description

一种功率器件老化考核用加热装置
技术领域
本发明涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种功率器件老化考核用加热装置。
背景技术
功率器件在正式投入量产之前和批量生产过程中，为了确保器件在工作条件下的寿命能够满足我们的要求，会安排进行高温高压的加速寿命模拟老化考核。目前垂直导电双扩散结构场效应管(VDMOS)的可靠性老化常规的有高温漏源电压反偏(Hightemperature reverse bias，HTRB)和高温栅源电压反偏(High temperature gate bias，HTGB)，其中HTGB是对栅极和源极之间的栅氧进行老化考核，因为它电压较低，一般不超过20V。而HTRB考核一般是在漏源电之间加上器件标称漏源工作电压的80％，并在高温下进行考核。
目前普遍使用的商业生产的老化考核设备，主要包括高温烘箱、控制电脑、电压源和老化板等及部分组成。高温烘箱是使用不锈钢发热管通电后发热，经过高效离心风机利用空气流动将发热管中的热量带到工作室内部，在工作室内与被烘烤物品进行热量交换，以达到烘烤或加温目的。当前设备通过加热环境空气温度来使被考核器件升温，实际每颗被考核器件由于考核时自生的发热，实际器件上的温度会比实际考核要求温度高，并且受器件摆放和局部散热条件影响，被考核器件之间的温度也并不一致。也就是说，现有设备存在温度控制精度低，器件之间的温度一致性差的问题，这直接影响器件考核结果的准确性。而且，现有技术的老化考核设备，耗能大，不够节能环保。
发明内容
本发明的目的是提供一种功率器件老化考核用加热装置，使用恒温加热器作为控温源，每个被考核器件都有一个独立控制的恒温加热器进行加热，并且被考核器件与加热装置之间通过直接接触传热，热效率更好；同时采用独立的温度检测闭环反馈，单独控制每个被考核器件的温度调整。
为此，本发明实施例提供了一种功率器件老化考核用加热装置，所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；
每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；
被考核器件的背面设置于恒温加热器上；
温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；
所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。
优选的，所述被考核器件的背面直接设置于恒温加热器上，或者，在所述恒温加热器与所述被考核器件的背面之间涂有导热硅脂。
优选的，所述恒温加热器为正温度系数热敏电阻PTC恒温加热器。
优选的，所述加热装置还包括：工作电源，所述恒温加热器通过所述继电器连接所述工作电源。
优选的，所述加热装置还包括：考核电源，用于与被考核器件的电极相接。
本发明实施例提供的功率器件老化考核用加热装置，使用恒温加热器作为控温源，每个被考核器件都有一个独立控制的恒温加热器进行加热，并且被考核器件与加热装置之间通过直接接触传热，热效率更好；同时采用独立的温度检测闭环反馈，单独控制每个被考核器件的温度调整，采用本发明的加热装置能够有效提高对每一器件的温度控制精度，同时提高器件之间的温度一致性。
附图说明
图1为本发明实施例提供的功率器件老化考核用加热装置示意图。
具体实施方式
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
本发明实施例提供了一种功率器件老化考核用加热装置，其方法流程如图1所示，主要包括：控制电路1和一个或多个独立控制单元2；在图1中仅以一个独立控制单元2为例。
每个独立控制单元2包括：继电器21、恒温加热器22和温度探头23；
恒温加热器22与继电器21相连接，继电器21与控制电路1相连接，温度探头23与控制电路1相连接；
被考核器件的背面设置于恒温加热器22上，具体可以直接设置于恒温加热器22上，或者，在恒温加热器22与被考核器件的背面之间涂有导热硅脂，以获得更好的热传导。在这里被考核器件的背面是指器件的衬底一侧。
温度探头23与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；
控制电路1根据每一温度探头23发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器21的通断，从而能够单独控制每个独立控制单元的恒温加热器22对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。
优选的，恒温加热器22选用正温度系数热敏电阻(PTC)恒温加热器。恒温加热器22通过继电器21连接到工作电源。
加热装置还包括考核电源，用于与被考核器件的电极相接，提供器件老化考核用电压。
在应用本实施例提供的功率器件老化考核用加热装置对多个被考核器件进行加热时，每个被考核器件按照如上所述方式装入一个独立控制单元中，通过控制单元独立控制每个独立控制单元的继电器闭合，使得恒温加热器连接工作电源对被考核器件进行加热，当某个温度探头探测到被考核器件的正面温度达到设定温度时，控制单元控制断开这个独立控制单元的继电器，并通过持续的温度监测来进一步可控制继电器的通断，从而调整整个老化时间过程中被考核器件的温度。
与现有功率器件老化设备的高温烘箱的加热方式相比，通过本发明提出的新型的老化加热装置，使用恒温加热器作为控温源，每个被考核器件都有一个独立控制的恒温加热器进行加热，并且被考核器件与加热装置之间通过直接接触传热，热效率更好；同时采用独立的温度检测闭环反馈，单独控制每个被考核器件的温度调整。采用本发明的加热装置能够有效提高对每一器件的温度控制精度，同时提高器件之间的温度一致性。此外，采用本发明的加热装置，还能降低老化考核的设备能耗。在实际实现中单个的加热装置功率仅为12W，尤其特别适用于工程开发时小批量的考核需求。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种功率器件老化考核用加热装置，其特征在于，所述装置包括：控制电路和一个或多个独立控制单元；
每个独立控制单元包括：继电器、恒温加热器和温度探头；所述恒温加热器与所述继电器相连接，所述继电器与所述控制电路相连接，所述温度探头与所述控制电路相连接；
被考核器件的背面设置于恒温加热器上；
温度探头与被考核器件的正面相接触，用以检测器件表面温度，并生成温度检测信号；
所述控制电路根据每一温度探头发送的温度检测信号，生成对相应独立控制单元的控制输出信号，用以控制各个独立控制单元的继电器的通断，从而控制恒温加热器对该独立控制单元中的被考核器件的加热时间。
2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述被考核器件的背面直接设置于恒温加热器上，或者，在所述恒温加热器与所述被考核器件的背面之间涂有导热硅脂。
3.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述恒温加热器为正温度系数热敏电阻PTC恒温加热器。
4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：工作电源，所述恒温加热器通过所述继电器连接所述工作电源。
5.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括：考核电源，用于与被考核器件的电极相接。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113625798A (zh) * 2021-07-29 2021-11-09 深圳市禹龙通电子股份有限公司 水冷老化考核控制系统

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101858957A (zh) * 2010-05-27 2010-10-13 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN201716395U (zh) * 2010-05-27 2011-01-19 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN201716330U (zh) * 2010-05-27 2011-01-19 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN102890204A (zh) * 2011-07-18 2013-01-23 神讯电脑(昆山)有限公司 恒温老化装置
CN205910219U (zh) * 2016-03-01 2017-01-25 倍科质量技术服务（东莞）有限公司 具有多个测试腔的led灯珠测试箱
CN108761312A (zh) * 2018-06-08 2018-11-06 湖州慧能机电科技有限公司 一种大功率芯片恒温老化测试系统
CN208459538U (zh) * 2018-07-31 2019-02-01 思源清能电气电子有限公司 一种用于igbt模块结温的测试装置
CN110703831A (zh) * 2019-12-01 2020-01-17 陕西三海电子科技有限公司 一种用于器件老化测试用的独立加热温控装置
CN110736918A (zh) * 2019-11-29 2020-01-31 法特迪精密科技（苏州）有限公司 用于集成电路老化测试的手动测试夹具
CN210109157U (zh) * 2019-06-04 2020-02-21 广东远方检测有限公司 一种老化测试架

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101858957A (zh) * 2010-05-27 2010-10-13 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN201716395U (zh) * 2010-05-27 2011-01-19 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN201716330U (zh) * 2010-05-27 2011-01-19 北京新润泰思特测控技术有限公司 老化测试箱
CN102890204A (zh) * 2011-07-18 2013-01-23 神讯电脑(昆山)有限公司 恒温老化装置
CN205910219U (zh) * 2016-03-01 2017-01-25 倍科质量技术服务（东莞）有限公司 具有多个测试腔的led灯珠测试箱
CN108761312A (zh) * 2018-06-08 2018-11-06 湖州慧能机电科技有限公司 一种大功率芯片恒温老化测试系统
CN208459538U (zh) * 2018-07-31 2019-02-01 思源清能电气电子有限公司 一种用于igbt模块结温的测试装置
CN210109157U (zh) * 2019-06-04 2020-02-21 广东远方检测有限公司 一种老化测试架
CN110736918A (zh) * 2019-11-29 2020-01-31 法特迪精密科技（苏州）有限公司 用于集成电路老化测试的手动测试夹具
CN110703831A (zh) * 2019-12-01 2020-01-17 陕西三海电子科技有限公司 一种用于器件老化测试用的独立加热温控装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113625798A (zh) * 2021-07-29 2021-11-09 深圳市禹龙通电子股份有限公司 水冷老化考核控制系统

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