CN111957647A - 喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能。喷嘴清洗装置包括：第一槽体，冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽沿第一方向排列，第一驱动机构和第二驱动机构传动连接，第二驱动机构与盖合部传动连接，第一驱动机构用于驱动第二驱动机构沿第一方向运动，第二驱动机构驱动盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中的任意一个；控制器根据预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构移动信息，控制第一驱动机构、第二驱动机构运动。

Description

喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法

技术领域

本发明涉及清洗技术领域，尤其涉及一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法。

背景技术

靶材作为高速荷能粒子轰击的目标材料，在微电子领域、显示器领域和存储器等领域被广泛应用。靶材在制备过程中，需要对衬管进行喷涂形成靶材，这就需要用到喷嘴，喷嘴在完成一次喷涂或在喷涂过程中出现堵塞时，需要将喷嘴拿去酸洗，通过酸洗将喷嘴内壁的残留物酸洗干净，以保证喷涂过程中喷嘴内壁不干净而发生粉末堵塞现象。

目前清洗主要靠操作者用夹钳夹持待清洗喷嘴放入清洗液中进行清洗，清洗后喷嘴自然吹干，操作较不方便，且由于酸性清洗液有腐蚀性，清洗过程中容易溅起对操作者造成危害。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种喷嘴清洗装置和喷嘴清洗方法，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。

本发明提供了一种喷嘴清洗装置，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：

所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；

所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。

本发明提供的喷嘴清洗装置，通过在控制器内预先存储的第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息，控制第一驱动机构和第二驱动机构运动，进而可以带动待清洗喷嘴在第一槽体、第一清洗槽以及第二清洗槽中进行降温和清洗，该移动信息包括：第一驱动机构开始移动信息，第一驱动机构停止移动信息，第一驱动机构移动距离和方向信息，第一驱动机构停止运动的时长信息，第二驱动机构开始移动信息，第二驱动机构停止移动信息，第二驱动机构移动距离和方向信息，第二驱动机构停止运动的时长信息，第一驱动机构和第二驱动机构配合运动信息；在开始清洗时，第一槽体上的冷却装置可以对刚使用后的待清洗喷嘴进行降温处理，盖合部可以盖合每个槽的开口，防止清洗时清洗液溅射出来的现象发生。整个操作过程不需要操作者参与，控制器可以自动控制第一驱动机构和第二驱动机构。

故，本发明提供的喷嘴清洗装置，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。

本发明还提供了一种应用于上述喷嘴清洗装置的喷嘴清洗方法，包括：

确定第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息；

根据所述移动信息控制第一驱动机构和第二驱动机构移动，以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽、第二清洗槽内进行清洗。

本发明提供的喷嘴清洗方法，可以实现自动化清洗，清洗较方便。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明提供的喷嘴清洗装置的立体结构示意图；

图2为图1所示的喷嘴清洗装置的A向结构示意图；

图3为图1所示的喷嘴清洗装置的B向结构示意图；

图4为图1所示的喷嘴清洗装置的C向结构示意图；

图5为图1所示的喷嘴清洗装置的D向结构示意图；

图6为本发明提供的喷嘴清洗方法流程图。

附图标记：11-第一槽体 12-第一清洗槽 13-第二清洗槽 14-第三清洗槽15-第四清洗槽 16-第二槽体 17-喷嘴放置架 18-支架 181-立柱 182-横梁 2-冷却装置 3-盖合部 31-盖板 32-安装板 41-浓度测量仪 42-刻度线 43-控制面板44-控制器 45-待清洗喷嘴 5-超声波震荡器 61-进液管道 611-第一控制阀 62-输液管道 621-第二控制阀 63-酸液排出管道 7-烘干器 81-第一驱动机构 811-滑轨812-活塞 82-第二驱动机构 821-缸体 822-活塞杆 91-第一位置传感器 92-第二位置传感器 93-第三位置传感器 10-支撑平台 F-第一方向 G-第二方向

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1、图2、图3所示，本发明提供了一种喷嘴清洗装置，包括：第一槽体11，设置于所述第一槽体11上的冷却装置2，第一清洗槽12，第二清洗槽13，盖合部3，第一驱动机构81，第二驱动机构82，控制器44；其中：

所述盖合部3包括用于安装待清洗喷嘴45的安装部，所述第一槽体11、所述第一清洗槽12以及所述第二清洗槽13沿第一方向F排列，所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82传动连接，所述第二驱动机构82与所述盖合部3传动连接，所述第一驱动机构81用于驱动所述第二驱动机构82沿所述第一方向F运动，所述第二驱动机构82驱动所述盖合部3沿第二方向G往复移动、以带动待清洗喷嘴45插入所述第一槽体11、所述第一清洗槽12以及所述第二清洗槽13中的任意一个；

所述控制器44与所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构81和所述第二驱动机构82的移动信息，控制所述第一驱动机构81、所述第二驱动机构82运动。

本发明提供的喷嘴清洗装置，通过在控制器44内预先存储的第一驱动机构81和第二驱动机构82的移动信息，控制第一驱动机构81和第二驱动机构82运动，进而可以带动待清洗喷嘴45在第一槽体11、第一清洗槽12以及第二清洗槽13中进行降温和清洗，该预先存储的移动信息包括：第一驱动机构81开始移动信息，第一驱动机构81停止移动信息，第一驱动机构81移动距离和方向信息，第一驱动机构81停止运动的时长信息，第二驱动机构82开始移动信息，第二驱动机构82停止移动信息，第二驱动机构82移动方向和距离信息，第二驱动机构82停止运动的时长信息，第一驱动机构81和第二驱动机构82配合运动信息；在开始清洗时，第一槽体11上的冷却装置可2以对刚使用后的待清洗喷嘴45进行降温处理，盖合部3可以盖合每个槽的开口，防止清洗时清洗液溅射出来的现象发生。整个操作过程不需要操作者参与，控制器可以自动控制第一驱动机构和第二驱动机构。

故，本发明提供的喷嘴清洗装置，结构简单且可以自动完成清洗喷嘴功能，操作方便。

需要说明的是：第一驱动机构81开始移动信息可以包括多个开始移动信息，第一驱动机构81停止移动信息可以包括多个停止移动信息，第一驱动机构81移动距离和方向信息包含多个，第一驱动机构81停止运动的时长信息包括多个时长信息，第二驱动机构82开始移动信息可以包括多个开始移动信息，第二驱动机构82停止移动信息可以包括多个停止移动信息，第二驱动机构82移动距离和方向信息包含多个，第二驱动机构82停止运动的时长信息包括多个时长信息，第一驱动机构81和第二驱动机构82配合运动信息。

为了便于操作人员操作，可以如图1所示，在喷嘴清洗装置上设置一控制面板43，该控制面板43上设置有输入区域，便于操作输入一些操作参数，清洗时，输入的移动信息包括：第一移动信息、第二移动信息、第三移动信息、第四移动信息、第五移动信息、第六移动信息、第七移动信息以及第八移动信息。将待清洗喷嘴45安装在安装部上，控制器44根据预先存储的第一移动信息，控制第一驱动机构81带动第二驱动机构82移动设定距离后停止运动，此时清洗喷嘴45位于第一槽体11的上方，控制器根据预先存储的第二移动信息，控制第二驱动机构沿着第二方向G移动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45插入第一槽体11内且盖合部3盖合第一槽体11，第一槽体11内的冷却装置对待清洗喷嘴45进行冷却，一段时间后，控制器44再次启动对第二驱动机构82的运动控制，控制器44按照预先存储的第三移动信息，控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，控制器44按照预先存储的第四移动信息控制第一驱动机构81运动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45位于第一清洗槽12上方，控制器44按照预先存储的第五移动信息控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，第一清洗槽12对待清洗喷嘴45进行清洗，一段时间后，控制器44再次启动对第二驱动机构82的运动控制，控制器44按照预先存储的第六移动信息，控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，控制器44按照预先存储的第七移动信息控制第一驱动机构81运动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45位于第二清洗槽13上方，控制器44按照预先存储的第八移动信息控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，第二清洗槽13对待清洗喷嘴45进行清洗，第一清洗槽12内的液体可以根据需要设定，本发明提供的一实施方式中，第一清洗槽12内放置的液体为酸性液体，第二清洗槽13的清洗液体可以为水。

再需要说明的是，上述第一方向F和第二方向G可以如图1所述相互垂直，也可以不垂直。

本发明提供的第一槽体11上设有的冷却装置2的具体结构可以有多种，可选的，冷却装置2为设置在第一槽体11外周或内周或内壁内的冷却管路，该冷却管路内设有冷却液；可选的，冷却装置2为风扇，第一槽体11设有通口，风扇设置在通口处，通过风扇吹出的风对待清洗喷嘴45进行冷却。当然上述冷却装置2不限于所列举的冷却结构，只要可以对待清洗喷嘴45进行冷却，且不会对待清洗喷嘴45造成损伤和污染的冷却结构均可。

如图1和图2所示，喷嘴清洗装置还包括：超声波震荡器5，所述超声波震荡器5设置于所述第一清洗槽12，所述超声波震荡器5用于对所述第一清洗槽12内的清洗液进行震荡。通过对清洗液进行震荡，可以加快清洗液的流动速度，进而提高对待清洗喷嘴45的清洗效果。超声波震荡器5是利用超声波的高频声波产生振荡，从而对清洗产生震荡，第一清洗槽12的槽底或者侧壁上可以设有通孔，该第一清洗槽12通过通孔与超声波震荡器5连通。

为了提高喷嘴的清洗效果，如图2和图3所示，本发明提供的喷嘴清洗装置还包括：

位于所述第二清洗槽13背离所述一清洗槽12一侧的第三清洗槽14；第三清洗槽14内的液体可以与第二清洗槽13内的液体相同；位于所述第三清洗槽14背离所述第二清洗槽13一侧的第四清洗槽15，所述第四清洗槽15内设有喷淋头；进液管道51，所述进液管道51与所述喷淋头连通；输液管道62，所述输液管道62连通所述第四清洗槽15，用于将所述第四清洗槽15内的液体排出；设置于所述进液管道51上的第一控制阀611；设置于所述输液管道62上的第二控制阀621，设置于所述第四清洗槽15内的高度传感器，所述高度传感器用于检测所述第四清洗槽内液体的高度值，所述控制器与所述第一控制阀611、所述第二控制阀621以及高度传感器电连接，所述控制器用于根据所述高度传感器检测的所述高度值与预先存储的设定高度值的差值、控制所述第一控制阀开启或控制所述第二控制阀开启。第四清洗槽15采用流动清洗液的方式对待清洗喷嘴45进行清洗，喷淋头可以对待清洗喷嘴45进行喷淋清洗，待第四清洗槽15内的清洗液液位较高时，控制器44可以根据高度传感器检测到的信号控制第二开关阀621和第一开关阀611。上述设定高度值本领域技术人员可以根据经验设定。上述高度传感器检测的所述高度值与预先存储的设定高度值的差值为大于多少或小于多少时才控制所述第一控制阀开启或控制所述第二控制阀开启。本领域技术人员可以根据实际需要设定。

如图1所述，输液管道的数量可以与喷淋头的数量一一对应。

优选的实施方式中，如图1和图2所示，喷嘴清洗装置还包括：设置于所述第四清洗槽15背离所述第三清洗槽14一侧的第二槽体16以及设置于所述第二槽体16上的烘干器7，所述烘干器7用于对位于所述第二槽体16内的待清洗的喷嘴进行烘干。烘干器7的具体结构可以有多种，可选的，烘干器7为可以吹出热风的风扇，相应的第二槽体16上也设有通孔，风扇可以设置在该通孔处。

本发明提供的实施方式中，第一驱动机构81和第二驱动机构82的具体结构可以有多种，可选的第一驱动机构81可以为电机和丝杠副，第二驱动机构82可以为伸缩缸，伸缩缸与丝杠副的螺母连接，可选的，第一驱动机构81可以包括：滑杆，与滑杆滑动配合的滑块，以及用于驱动滑块沿着滑杆移动的驱动部件，第二驱动机构82可以为电动伸缩杆，电动伸缩杆的一端与滑块固定连接。

本发明提供的实施方式中，所述第一驱动机构81为无杆气缸，所述第二伸缩机构为伸缩缸，所述伸缩缸的缸体821与所述无杆气缸的活塞812连接，所述伸缩缸的活塞杆822与所述盖合部3传动连接。通过控制无杆气缸运动，活塞812会带着伸缩缸沿着滑轨811移动，无杆气缸体积较小，其操作较方便。

为了便于第一驱动机构81的安装固定，上述喷嘴清洗装置还包括：支架18，所述无杆气缸的滑轨811设置于所述支架18上，所述伸缩缸的缸体821与所述无杆气缸的活塞812连接，所述伸缩缸的活塞杆822与所述盖合部3连接。

本发明提供的支架18的具体结构可以有多种，可选的，如图3和图5所示，支架18可以包括对向设置的两个立柱181，连接两个立柱181的横梁182，第一驱动机构81固定在两个立柱181之间，例如第一驱动机构81为无杆气缸时，无杆气缸的滑轨811固定在两个立柱181之间。

本发明提供的盖合部3的具体结构可以有多种，一种可选实施方式中，如图1所示，所述盖合部3还包括：盖板31，位于所述盖板31背离所述第二驱动机构82一侧的安装板32，所述安装板32上设有安装孔以形成所述安装部。即当第二驱动机构82为伸缩缸时，盖板31和安装板32与伸缩缸的活塞杆822传动连接。上述安装孔可以为腰型孔。

为了便于待清洗喷嘴45的安装，可以将第二驱动机构82和第一驱动机构81设置为铰接，第二驱动机构82可以带动盖合部3翻转，这样安装板32就位于盖板31的上方，从上部操作操作空间较大，便于操控。

可选的实施方式中，可以设置一翻转机构，翻转机构可以控制第二驱动机构82翻转。也或者，可以将盖板31和安装板32之间的间距设置的可调，当需要安装待清洗喷嘴45时，可以将盖板31和安装板32之间的距离调大，安装后再将盖板31和安装板32的间距调小，可选的，可以在盖板31和安装板32之间再设置一伸缩机构。

如图2所示，为了便于操作人员操作，沿所述第一方向F上，所述支架18上设有多个第一位置传感器91，所述第一位置传感器91用于检测所述第二驱动机构82沿所述第一方向F运动移动至的位置，所述第一位置传感器91用于检测所述第二驱动机构82的位置信息，所述控制器44与每个所述第一位置传感器91、所述超声波震荡器5、所述冷却装置2、所述烘干器7电连接，所述控制器44用于根据所述第一位置传感器91检测到的所述位置信息，控制所述超声波震荡器5、所述冷却装置2、所述第一开关阀611、所述第二开关阀621以及所述烘干器7的开启或关闭。即控制器44检测第二驱动机构82是否位于对应的槽内，再控制对应槽内的一些装置工作，例如，控制器44检测到第二驱动机构82带动待清洗喷嘴45已经插入第一槽体11内时，才将冷却装置开启，检测到待清洗喷嘴45不在第一槽体11内，控制冷却装置关闭，这样设计可以节省能源。

可选的，如图5所示，所述支架18上设有第二位置传感器92，所述第二位置传感器92用于检测所述第二驱动机构82驱动所述安装部移动至的位置。第二位置传感器92用于限定第二驱动机构82移动的距离，进而限定待清洗喷嘴45插入的深度。可选的第二位置传感器92可以为限位开关等。

进一步的，可以在第二驱动机构82上设置第三位置传感器93，用于进一步限定第二驱动机构82的移动位置。

为了便于清洗后的喷嘴放置，上述喷嘴清洗装置还包括：

设置于所述第二槽体16背离所述第四清洗槽15一侧的喷嘴放置架17，所述喷嘴放置架17用于放置清洗后的喷嘴；支撑平台10，所述第一槽体11、第一清洗槽12、第二清洗槽13、第三清洗槽14、第四清洗槽15、第二槽体16以及喷嘴放置架17设置于所述支撑平台10。喷嘴放置架17的具体结构可以根据需要设定，可以为六面体框架结构。

为了方便槽体内的液体排放，可选的，第一清洗槽12上设有酸液排出管道63，第二清洗槽13以及第四清洗槽15上设有液体排出管道，便于液体更换排出。为了减少污染，设置单独的酸液存储箱和清水存储箱，用于存储用过的酸以及水。

如图1所示，所述第一清洗槽12内设有液体浓度测量仪41，喷嘴清洗装置还包括报警器，所述控制器44与所述液体浓度测量仪41和所述报警器电连接，用于根据所述液体浓度测量仪检测的浓度值小于预先存储的浓度值时，控制报警器报警。以便操作人员可以及时更换第一清洗槽12内的液体。提高清洗效率。

当然也可以在第一清洗槽12、第二清洗槽13、第三清洗槽14、第四清洗槽15内设置刻度线42。

本发明提供的喷嘴清洗装置外侧还可以设置工作指示灯，以方便操作者观察喷嘴清洗装置工作状态。

如图6所示，一种应用于上述喷嘴清洗装置的喷嘴清洗方法，包括：

步骤S601；确定第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息；可以操作人员根据需要设定控制参数，例如可以根据喷嘴的堵塞程度设定清洗时间。

步骤S602：根据所述移动信息控制第一驱动机构和第二驱动机构移动，以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽、第二清洗槽内进行清洗。

清洗时，将待清洗喷嘴45安装在安装部上，控制器44根据预先存储的第一驱动机构的第一移动信息，控制第一驱动机构81带动第二驱动机构82移动设定距离后停止运动，此时清洗喷嘴45位于第一槽体11的上方，控制器根据预先存储的第二驱动机构82的第二移动信息，控制第二驱动机构沿着第二方向G移动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45插入第一槽体11内且盖合部3盖合第一槽体11，第一槽体11内的冷却装置对待清洗喷嘴45进行冷却，一段时间后，控制器44再次启动对第二驱动机构82的运动控制，控制器44按照预先存储的第三移动信息，控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，控制器44按照预先存储的第四移动信息控制第一驱动机构81运动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45位于第一清洗槽12上方，控制器44按照预先存储的第五移动信息控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，第一清洗槽12对待清洗喷嘴45进行清洗，一段时间后，控制器44再次启动对第二驱动机构82的运动控制，控制器44按照预先存储的第六移动信息，控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，控制器44按照预先存储的第七移动信息控制第一驱动机构81运动设定距离后停止运动，此时待清洗喷嘴45位于第二清洗槽13上方，控制器44按照预先存储的第八移动信息控制第二驱动机构82移动设定距离后停止，第二清洗槽13对待清洗喷嘴45进行清洗，第一清洗槽12内的液体可以根据需要设定，本发明提供的一实施方式中，第一清洗槽12内放置的液体为酸性液体，第二清洗槽13的清洗液体可以为水。

为了提高清洗效果，上述第一清洗槽用于对待清洗喷嘴进行酸性清洗。该酸性液体可以为硝酸，硝酸的浓度可以根据实际需要选择。

本发明提供的喷嘴清洗装置外侧还可以设置工作指示灯，以方便操作者观察喷嘴清洗装置工作状态。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种喷嘴清洗装置，其特征在于，包括：第一槽体，设置于所述第一槽体上的冷却装置，第一清洗槽，第二清洗槽，盖合部，第一驱动机构，第二驱动机构，控制器；其中：

所述盖合部包括用于安装待清洗喷嘴的安装部，所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽沿第一方向排列，所述第一驱动机构和所述第二驱动机构传动连接，所述第二驱动机构与所述盖合部传动连接，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿所述第一方向运动，所述第二驱动机构驱动所述盖合部沿第二方向往复移动、以带动待清洗喷嘴插入所述第一槽体、所述第一清洗槽以及所述第二清洗槽中的任意一个；

所述控制器与所述第一驱动机构和所述第二驱动机构电连接，根据预先存储的所述第一驱动机构和所述第二驱动机构的移动信息，控制所述第一驱动机构、所述第二驱动机构运动。

2.根据权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：与所述控制器电连接的超声波震荡器，所述超声波震荡器设置于所述第一清洗槽，所述超声波震荡器用于对所述第一清洗槽内的清洗液进行震荡。

3.根据权利要求2所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：

位于所述第二清洗槽背离所述第一清洗槽一侧的第三清洗槽；

位于所述第三清洗槽背离所述第二清洗槽一侧的第四清洗槽，所述第四清洗槽内设有喷淋头；

进液管道，所述进液管道与所述喷淋头连通；

输液管道，所述输液管道连通所述第四清洗槽，用于将所述第四清洗槽内的液体排出；

设置于所述进液管道上的第一控制阀；

设置于所述输液管道上的第二控制阀；

设置于所述第四清洗槽内的高度传感器，所述高度传感器用于检测所述第四清洗槽内液体的高度值，所述控制器与所述第一控制阀、所述第二控制阀以及高度传感器电连接，所述控制器用于根据所述高度传感器检测的所述高度值与预先存储的设定高度值的差值、控制所述第一控制阀开启或控制所述第二控制阀开启。

4.根据权利要求3所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：设置于所述第四清洗槽背离所述第三清洗槽一侧的第二槽体以及设置于所述第二槽体上的烘干器，所述烘干器用于对位于所述第二槽体内的待清洗喷嘴进行烘干。

5.根据权利要求4所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括：支架，所述第一驱动机构为无杆气缸，所述无杆气缸的滑轨设置于所述支架上，所述第二伸缩机构为伸缩缸，所述伸缩缸的缸体与所述无杆气缸的活塞连接，所述伸缩缸的活塞杆与所述盖合部连接。

6.根据权利要求1所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，所述盖合部还包括：盖板，位于所述盖板背离所述第二伸缩机构一侧的安装板，所述安装板上设有安装孔以形成所述安装部。

7.根据权利要求5所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，沿所述第一方向上，所述支架上设有多个第一位置传感器，所述第一位置传感器用于检测所述第二驱动机构的位置信息，所述控制器与每个所述第一位置传感器、所述超声波震荡器、所述冷却装置、所述烘干器电连接，所述控制器用于根据所述第一位置传感器检测到的所述位置信息，控制所述超声波震荡器、所述冷却装置、所述第一开关阀、所述第二开关阀以及所述烘干器的开启或关闭。

8.根据权利要求1～7任一项所述的喷嘴清洗装置，其特征在于，还包括报警器，所述第一清洗槽内设有液体浓度测量仪，所述控制器与所述液体浓度测量仪和所述报警器电连接，用于根据所述液体浓度测量仪检测的浓度值小于预先存储的浓度值时，控制报警器报警。

9.一种应用于如权利要求1所述的喷嘴清洗装置的喷嘴清洗方法，其特征在于，包括：

确定第一驱动机构和第二驱动机构的移动信息；

根据所述移动信息控制第一驱动机构和第二驱动机构移动，以带动待清洗喷嘴插入第一槽体、第一清洗槽、第二清洗槽内进行清洗。

10.根据权利要求9所述的喷嘴清洗方法，其特征在于，所述第一清洗槽用于对待清洗喷嘴进行酸性清洗。

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