CN111906053B

CN111906053B - 一种芯粒分选方法及芯粒分选结构

Info

Publication number: CN111906053B
Application number: CN201910375975.5A
Authority: CN
Inventors: 吴贵阳; 刘兴波; 王胜利
Original assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co ltd
Current assignee: Silicon Electric Semiconductor Equipment Shenzhen Co ltd
Priority date: 2019-05-07
Filing date: 2019-05-07
Publication date: 2024-05-17
Anticipated expiration: 2039-05-07
Also published as: CN111906053A

Abstract

本发明提出一种芯粒分选方法及芯粒分选结构。芯粒分选方法为，第一光源穿过第一掩膜部照射第一固定膜，使第一固定膜上需要分选芯粒粘附性减弱；第二光源穿过第二掩膜部照射第二固定膜，使第二固定膜对应第一固定膜上不需分选芯粒位置粘附性减弱；第二固定膜贴合芯粒，芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间；第二固定膜远离第一固定膜，使第一固定膜上需要分选的芯粒与第一固定膜分离且粘附于第二固定膜。

Description

一种芯粒分选方法及芯粒分选结构

技术领域

本发明涉及一种芯粒分选方法及芯粒分选结构。

背景技术

对于LED芯粒的分选有多种方式，如常规的采用吸嘴将吸附在蓝膜上的LED芯粒吸附，实现对LED芯粒的分选。

发明内容

申请人提出了一种不同于现有技术的LED芯粒分选方法及芯粒分选结构。

本发明的技术方案为：一种芯粒分选方法，

S1：第一光源穿过第一掩膜部照射第一固定膜，使第一固定膜上需要分选芯粒粘附性

减弱；

S2：第二光源穿过第二掩膜部照射第二固定膜，使第二固定膜对应第一固定膜上不需

分选芯粒位置粘附性减弱；

S3：第二固定膜贴合芯粒，芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间；

S4：第二固定膜远离第一固定膜，使第一固定膜上需要分选的芯粒与第一固定膜分离且粘附于第二固定膜。

进一步的，所述第一掩膜部和/或第二掩膜部为LCD透光屏。

进一步的，所述第一光源为UV光源，第一固定膜为UV膜。

进一步的，S3还包括，第一固定膜进行高频振荡。

进一步的，还包括，S5：视觉系统透过第一掩膜部观察第一固定膜上需分离芯粒位置透光。进一步的，所述芯粒分选方法还包括，S6：将第一固定膜和第二固定膜之间放入板光源装置，视觉系统通过第一掩膜部观察第一固定膜图像和/或视觉系统通过第二掩膜部观察第二固定膜图像。

进一步的，所述第一掩膜部对应需要分选芯粒的位置能够透光，使第一光源能够照射第一固定膜。

一种芯粒分选结构，所述芯粒分选结构包括，第一光源；第一掩膜部，能够调整透光位置，使第一光源照射的光能够穿过；第二光源；第二掩膜部，位于第一掩膜部背离第一光源的一侧，且第一掩膜部与第二掩膜部之间设置有置膜空间；第二掩膜部能够调整透光位置，使第二光源照射的光能够穿过；在分选芯粒区域，第一掩膜部透光位置正对应第二掩膜部不透光位置，第一掩膜部不透光正对应第二掩膜部透光位置。

进一步的，所述芯粒分选结构还包括，第一固定膜，待分选芯粒粘附在第一固定膜，第一固定膜为UV膜；第二固定膜，用于粘附分选的芯粒；第二固定膜为UV膜；第一光源和第二光源均为UV光源；芯粒位于第一固定膜和第二固定膜之间，所述第一固定膜和第二固定膜位于置膜空间。

进一步的，所述芯粒分选结构还包括视觉系统和板光源装置，所述板光源装置能够伸展至第一固定膜和第二固定膜之间；所述视觉系统用于观察分选后的第一固定膜。

本发明的有益效果为：采用上述技术方案将第一固定膜需要分离的芯粒进行降低粘附性处理，将第二固定膜不需要分选芯粒的位置进行降低粘附性处理，再将第一固定膜和第二固定膜贴合，从而保证不需要分选的芯粒不会与第二固定膜按照常规粘附性贴合，从而降低不需分选芯粒被第二固定膜强力粘附（未减弱粘附性处理前粘附），防止不许要分选的芯粒被第二固定膜分选。

附图说明

图1为本发明芯粒分选结构示意图一；

图2为本发明芯粒分选结构示意图二；

图3为本发明芯粒分选结构示意图三。

具体实施方式

为便于本领域技术人员理解本发明的技术方案，下面将本发明的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。

如图1和图2所示，一种芯粒分选方法，

S1：第一光源20穿过第一掩膜部30照射第一固定膜71，使第一固定膜71上需要分选芯粒粘附性减弱；便于将第一固定膜71上需要分选芯粒分离开；此处使需要分选芯粒粘附性减弱还具有防止芯粒从第一固定膜71掉落的作用；

S2：第二光源40穿过第二掩膜部50照射第二固定膜72，使第二固定膜72对应第一固定膜71上不需分选芯粒位置粘附性减弱；降低第一固定膜71上不需要分选的芯粒贴合第二固定膜72的粘附力，防止不需要分选的芯粒也被分选到第二固定膜72；

上述S1和S2的顺序可以调换，并不会影响本发明技术方案的实质性内容，将S1和S2顺序调换应该属于本发明技术方案的常规手段变换；

S3：第二固定膜72贴合芯粒，芯粒位于第一固定膜71和第二固定膜72之间；从而使粘附于第一固定膜71的芯粒同时能够接触到第二固定膜72，从而为下一步芯粒的分离做准备；

S4：第二固定膜72远离第一固定膜71，使第一固定膜71上需要分选的芯粒与第一固定膜71分离且粘附于第二固定膜72；由于需要分选的芯粒在第一固定膜71上的粘附性减弱，从而第二固定膜72能够将第一固定膜71上需要分选的芯粒分离；同时，由于不需要分选的芯粒在对应第二固定膜72的位置粘附性弱，第二固定膜72的粘附性不足以将不需要分选的芯粒分离；从而最终实现将需要分选的芯粒分选至第二固定膜72，而不需要分选的芯粒不能粘附于第二固定膜72。

采用上述技术方案将第一固定膜71需要分离的芯粒进行降低粘附性处理，将第二固定膜72不需要分选芯粒的位置进行降低粘附性处理，再将第一固定膜71和第二固定膜72贴合，从而保证不需要分选的芯粒不会与第二固定膜72按照常规粘附性贴合，从而降低不需分选芯粒被第二固定膜72强力粘附（未减弱粘附性处理前粘附），防止不许要分选的芯粒被第二固定膜72分选。

本领域技术人员能够采用将第一固定膜71和第二固定膜72贴合后，再对第一固定膜71上需要分选的芯粒进行降低粘附力的处理，对第二固定膜72上不需要分选芯粒的位置进行降低粘附性处理；此时由于不需要分选的芯粒也会先与第二固定膜72粘附而后通过降低粘附力的处理，实现防止不许分选的芯粒与第二固定膜72分离，此方法容易造成不需分选的芯粒被错误吸附于第二固定膜72，导致吸附于第二固定膜72的芯粒含有不需要分选的芯粒，影响了第二固定膜72上的芯粒进行下一步工序；而本发明的技术方案能够降低不需要分选的芯粒被错误分选至第二固定膜72的风险。

如图1和图2所示，所述第一掩膜部30和/或第二掩膜部50为LCD透光屏，LCD屏能够根据第一固定膜71上需要分选芯粒和不需要分选芯粒的位置相应设置成透光和不透光，LCD屏能够根据第二固定膜72上需要粘附芯粒和不需要粘附芯粒设置成对应的不透光和透光，便于根据不同的芯粒分布调整透光和不透光状态，使用方便。

如图1和图2所示，所述第一光源20为UV光源（紫外线光源），第一固定膜71为UV膜，所述UV膜为通过UV光源照射能够降低粘附性的膜，技术方案稳定可靠，成本低廉。

如图1、图2和图3所示，S3还包括，

第一固定膜71进行高频振荡，使需要分选的芯粒与第二固定膜72充分接触，增强需分选芯粒与第二固定膜72的粘附力，保证分选的芯粒能够粘附于第二固定膜72而与第一固定膜71分离。

如图1、图2和图3所示，还包括，

S5：视觉系统80透过第一掩膜部30观察第一固定膜71上需分离芯粒位置透光；用于观察第一固定膜71上需要分离芯粒的位置是否已经没有芯粒，从而便于验证芯粒分选的可靠性及提升分选合格率，当然本领域技术人员还能够将步骤S5生成图像与第一固定膜71上芯粒测试的图形进行比对而判断芯粒分选是否合格。

如图1、图2和图3所示，所述芯粒分选方法还包括，

S6：将第一固定膜71和第二固定膜72之间放入板光源装置90，视觉系统80通过第一掩膜部30观察第一固定膜71图像和/或视觉系统80通过第二掩膜部50观察第二固定膜72图像；所述板光源装置90是为了增强视觉系统80观察第一固定膜71而补充亮度用，当然，本领域技术人员能够采用其它光源装置用于增强亮度便于视觉系统80观察。

如图1、图2和图3所示，所述第一掩膜部30对应需要分选芯粒的位置能够透光，使第一光源20能够照射第一固定膜71，所述第一掩膜部30用于实现需分选晶粒位置透光，不需分选芯粒位置不透光的目的，从而实现对第一光源20产生的光线能否作用于第一固定膜71进行控制。

如图1所示，一种芯粒分选结构，所述芯粒分选结构100包括，

第一光源20；

第一掩膜部30，能够调整透光位置，使第一光源20照射的光能够穿过；

第二光源40；

第二掩膜部50，位于第一掩膜部30背离第一光源20的一侧，且第一掩膜部30与第二掩膜部50之间设置有置膜空间60；第二掩膜部50能够调整透光位置，使第二光源40照射的光能够穿过；在分选芯粒区域，第一掩膜部30透光位置正对应第二掩膜部50不透光位置，第一掩膜部30不透光正对应第二掩膜部50透光位置，从而实现对放置于置膜空间60中的装置能否接收第一光源20的光线进行控制。

如图1和图2所示，所述芯粒分选结构100还包括，

第一固定膜71，待分选芯粒粘附在第一固定膜71，第一固定膜71为UV膜；

第二固定膜72，用于粘附分选的芯粒；第二固定膜72为UV膜；

芯粒位于第一固定膜71和第二固定膜72之间，所述第一固定膜71和第二固定膜72位于置膜空间60；由于UV光照射到UV膜能够降低UV膜的粘附力，对于粘附有芯粒的UV膜，通过UV光照射能够降低UV膜的粘附力便于芯粒的分离；对于不需要粘附芯粒的位置，通过照射UV光降低粘附力，防止接触的芯粒粘附。

如图1、图2和图3所示，所述芯粒分选结构100还包括视觉系统80和板光源装置90，所述板光源装置90能够伸展至第一固定膜71和第二固定膜72之间；所述视觉系统80用于观察分选后的第一固定膜71；所述板光源装置90用于增强第一固定膜71和第二固定膜72分离后的亮度，视觉系统观察芯粒分选后的第一固定膜71，用于观察第一固定膜71上芯粒的分选状况，从而判断第二固定膜72上分选的芯粒是否是需要分选的芯粒；当然，本领域技术人员还能够通过用视觉系统80直接观察第二固定膜72。

以上是本发明的较佳实施例，不用于限定本发明的保护范围。应当认可，本领域技术人员在理解了本发明技术方案后所作的非创造性变形和改变，应当也属于本发明的保护和公开的范围。

Claims

1.一种芯粒分选结构，其特征在于：所述芯粒分选结构（100）包括，

第一光源（20）；

第一掩膜部（30），能够调整透光位置，使第一光源（20）照射的光能够穿过；

第二光源（40）；

第二掩膜部（50），位于第一掩膜部（30）背离第一光源（20）的一侧，且第一掩膜部（30）与第二掩膜部（50）之间设置有置膜空间（60）；第二掩膜部（50）能够调整透光位置，使第二光源（40）照射的光能够穿过；在分选芯粒区域，第一掩膜部（30）透光位置正对应第二掩膜部（50）不透光位置，第一掩膜部（30）不透光位置正对应第二掩膜部（50）透光位置；

第一固定膜（71）和第二固定膜（72），所述第一固定膜（71）和第二固定膜（72）位于置膜空间（60），芯粒位于第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之间；第一光源（20）和第一掩膜部（30）位于第一固定膜（71）背离第二固定膜（72）的一侧，第二光源（40）和第二掩膜部（50）位于第二固定膜（72）背离第一固定膜（71）的一侧；

其中，第一固定膜（71）和第二固定膜（72）均为UV膜，第一光源（20）和第二光源（40）均为UV光源，待分选芯粒粘附在第一固定膜（71），第二固定膜（72）用于粘附分选的芯粒，第一光源（20）用于穿过第一掩膜部（30）照射第一固定膜（71），使第一固定膜（71）上需要分选芯粒粘附性减弱；第二光源（40）用于穿过第二掩膜部（50）照射第二固定膜（72），使第二固定膜（72）对应第一固定膜（71）上不需分选芯粒位置粘附性减弱。

2.根据权利要求1所述的芯粒分选结构，其特征在于：所述芯粒分选结构（100）还包括视觉系统（80）和板光源装置（90），所述板光源装置（90）能够伸展至第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之间；所述视觉系统（80）用于观察分选后的第一固定膜（71）。

3.一种应用于权利要求1或2所述的芯粒分选结构的芯粒分选方法，其特征在于，所述芯粒分选方法包括：

S1：第一光源（20）穿过第一掩膜部（30）照射第一固定膜（71），使第一固定膜（71）上需要分选芯粒粘附性减弱，所述第一光源（20）为UV光源，第一固定膜（71）为UV膜；

S2：第二光源（40）穿过第二掩膜部（50）照射第二固定膜（72），使第二固定膜（72）对应第一固定膜（71）上不需分选芯粒位置粘附性减弱，所述第二光源（40）为UV光源，第二固定膜（72）为UV膜；

S3：第二固定膜（72）贴合芯粒，芯粒位于第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之间，第一固定膜（71）的芯粒同时能够接触到第二固定膜（72）；

S4：第二固定膜（72）远离第一固定膜（71），使第一固定膜（71）上需要分选的芯粒与第一固定膜（71）分离且粘附于第二固定膜（72），以及不需要分选的芯粒不能粘附于第二固定膜（72）。

4.根据权利要求3所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述第一掩膜部（30）和/或第二掩膜部（50）为LCD透光屏。

5.根据权利要求3所述的芯粒分选方法，其特征在于：S3还包括，第一固定膜（71）进行高频振荡。

6.根据权利要求3所述的芯粒分选方法，其特征在于：还包括，

S5：视觉系统（80）透过第一掩膜部（30）观察第一固定膜（71）上需分离芯粒位置透光。

7.根据权利要求6所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述芯粒分选方法还包括，

S6：将第一固定膜（71）和第二固定膜（72）之间放入板光源装置（90），视觉系统（80）通过第一掩膜部（30）观察第一固定膜（71）图像和/或视觉系统（80）通过第二掩膜部（50）观察第二固定膜（72）图像。

8.根据权利要求3所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述第一掩膜部（30）对应需要分选芯粒的位置能够透光，使第一光源（20）能够照射第一固定膜（71）。