CN111854600B - 一种定位装置及其定位方法、基板加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种定位装置，所述定位装置包括：托盘，用于承载待定位件，所述待定位件上设有定位标记；取料组件，用于从所述托盘中取出所述待定位件；第一图像传感组件，用于获取所述定位标记的当前位置信息；驱动组件，与所述取料组件连接，以根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异驱动所述取料组件运动，进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态；第二图像传感组件，用于在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息。本发明实施例提供的一种定位装置能够为无基板的材料提供定位，不会造成材料的刮伤和折曲，降低宕机率，提高生产效率。

Description

一种定位装置及其定位方法、基板加工设备

技术领域

本发明的技术方案材料加工领域，尤其涉及一种定位装置及其定位方法、基板加工设备。

背景技术

在一些材料加工过程中，需要对的材料进行获取其标记信息，并对其进行定位。现有技术中，采用在基板上先机械接触式预定位，然后再进行下一步定位。但是针对一些无基板的材料则无法完成定位，而且在基板上的材料，采用机械接触式定位容易造成材料的刮伤和折曲。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种定位装置、基板加工设备及定位方法，能够解决现有的技术针对一些无基板的材料，无法完成定位，而且在基板上的材料，采用机械接触式定位容易造成材料的刮伤和折曲的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是提供一种定位装置，所述定位装置包括：托盘，用于承载待定位件，所述待定位件上设有定位标记；取料组件，用于从所述托盘中取出所述待定位件；第一图像传感组件，用于获取所述定位标记的当前位置信息；驱动组件，与所述取料组件连接，以根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异驱动所述取料组件运动，进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态；第二图像传感组件，用于在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息。

可选地，所述当前位置信息与标准位置信息的差异包括距离差异及角度差异，所述取料组件包括上料机构及载台，所述上料机构用于从所述托盘中取出所述待定位件，所述载台用于接收所述上料机构放置的所述待定位件，所述驱动组件包括第一驱动机构及第二驱动机构，所述第一驱动机构与所述上料机构连接，以根据所述距离差异驱动所述上料机构移动，所述第二驱动机构与所述载台连接，以根据所述角度差异驱动所述载台转动。

可选地，所述距离差异包括第一方向上的距离差异及垂直于所述第一方向的第二方向上的距离差异，所述第一方向与所述第二方向为水平方向，所述第一驱动机构包括第一子驱动机构及第二子驱动机构，所述第一子驱动机构与所述第二子驱动机构分别用于驱动所述上料机构在所述第一方向与所述第二方向上移动。

可选地，所述上料机构包括上料件及上料驱动机构，所述上料件用于吸附所述待定位件，所述上料驱动机构与所述上料件连接以在竖直方向上驱动所述待定位件远离所述托盘。

可选地，所述定位装置还包括底座，所述第一图像传感组件包括第一支架及第一图像传感模组，所述第二图像传感组件包括第二支架及第二图像传感模组，所述第一图像传感模组及所述第二图像传感模组分别与所述第一支架及所述第二支架连接，所述第一支架及所述第二支架分别与所述底座可拆卸连接。

可选地，所述第一图像传感模组的视野范围大于所述第二图像传感模组的视野范围。

可选地，所述托盘、所述取料组件及所述驱动组件承载于所述底座上。

为实现上述目的，本发明还提供一种基板加工设备，所述基板加工设备包括上述任一项所述的定位装置。

可选地，所述基板加工设备还包括控制器，所述控制器与所述第一图像传感器及与驱动组件连接，以接收所述当前位置信息，并所述当前位置信息与标准位置信息的差异向所述驱动组件发出控制指令。

为实现上述目的，本发明提供一种定位装置的定位方法，所述定位方法包括：通过所述取料组件从所述托盘中取出所述待定位件，所述待定位件上设有定位标记；通过所述第一图像传感组件获取所述定位标记的当前位置信息；根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异通过所述驱动组件驱动所述取料组件运动，进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态；通过所述第二图像传感组件在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息。

本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请通过第一图像传感组件获取待定位件上定位标记的当前位置信息，以使得驱动组件根据该当前位置信息与标准位置信息的差异驱动取料组件运动，从而使得待定位件呈与标准位置信息对于的标准姿态，进而使得第二图像传感组件能够在待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息，以对待定位件进行定位；这样可以完成对一些无基板的材料进行定位，且采用的都是无接触式定位，不会造成材料的刮伤和折曲。

附图说明

为了更清楚地说明本申请的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一实施例中的一种定位装置的立体结构示意图；

图2为图1实施例中的一种定位装置的另一角度立体结构示意图；

图3是图1实施例中的第一图像传感组件结构示意图；

图4是图1实施例中的第二图像传感组件结构示意图；

图5为本发明实施例中的一种定位装置的定位方法的流程图。

附图标记：11-底座；12-托盘；13-取料组件；14-驱动组件；15-第一图像传感组件；16-第二图像传感组件；17-固定架；18-运动模组；131-上料机构；132-载台；1311-取料吸盘；1312-上下运动模组；141-第一驱动机构；142-第二驱动机构；1411-第一子驱动机构；1412-第二子驱动机构；151-第一支架；152-第一图像传感模组；161-第二支架；162-第二图像传感模组。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反的，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本发明的权利要求书、说明书以及说明书附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。

为了使本领域技术人员更好地理解本申请技术方案，下面将结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1及图2，本实施例定位装置包括：托盘12、取料组件13、驱动组件14、第一图像传感组件15和第二图像传感组件16。托盘12用于承载待定位件，待定位件上设有定位标记；取料组件13用于从所述托盘12中取出待定位件；第一图像传感组件15用于获取定位标记的当前位置信息；驱动组件14与取料组件13连接，以根据当前位置信息与标准位置信息的差异驱动取料组件13运动，进而使得待定位件呈与标准位置信息相对应的标准姿态；第二图像传感组件16用于在待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息。通过定位装置能够调整待定位件位置，使待定位件呈现所要的标准位置信息相对应的标准姿态，从而获得待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息，最终实现定位成功。

托盘12位于取料组件13之下，用于承载待定位件，待定位件上设有定位标记，由于托盘12是用于承载待定位件的，其大小是大于待定位件或者和待定位件一样大。取料组件13用来从托盘12取出待定位件，取料组件13包括：上料机构131和载台132。上料机构131和载台132分开设置，上料机构131设置于托盘12上方，用于从托盘12取走待定位件，并将待定位件运送到第一次定位的工作位。第一次定位的工作位位于第一图像传感组件15前，使第一图像传感组件15能够扫描带定位件上的定位标记。上料机构131包括：取料吸盘1311和上下运动模组1312。取料吸盘1311连接在上下运动模组1312下端，并位于托盘12正上方，取料吸盘1311用来从托盘12吸取带定位件。取料吸盘1311上开设有若干的小孔构造，可以用来取放待定位件。载台132用来从第一次定位的工作位定位完后接收取料吸盘1311放置的待定位件。上下运动模组1312由气缸、加强筋和固定块组成，通过加强筋和固定块固定气缸，气缸可以为普通的单作用和双作用气缸、缓冲气缸、气-液阻尼缸、摆动气缸和冲击气缸等等，气缸下端的活塞杆和取料吸盘1311相连接，气缸为取料吸盘1311上下运动提供动力。由于取料吸盘1311位于托盘12正上方，气缸通过带动活塞杆往下运动，将取料吸盘1311下降，进而取料吸盘1311从托盘12中吸取待定位件，接着气缸带动取料吸盘1311上升，到达第一次定位的工作位，从而能进行第一次定位工作。

驱动组件14包括：第一驱动机构141和第二驱动机构142，第一驱动机构141和上下运动模组1312连接，第二驱动机构142和载台132连接。第一驱动机构141用来调整距离差异，距离差异为当前位置信息与标准位置信息的差异的一种，距离差异包括第一方向上的距离差异及垂直于第一方向的第二方向上的距离差异，第一方向与第二方向为水平方向。第一驱动机构141包括：第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412，第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412分别可以在第一方向的第二方向上移动。第一子驱动机构1411包括有电机、滑轨、滑块和固定块，滑块设置于滑轨之上，滑块与滑轨滑动连接，滑块与上下运动模组1312连接，滑块的在第一方向上的移动可以带动取料组件13在第一方向上的移动。固定块将电机固定，电机可以为直流电动机、异步电动机、同步电动机等，电机用来驱动第一子驱动机构1411运动，第一子驱动机构1411在第一方向上移动以调整第一方向的距离差异。第二子驱动机构1412包括有电机、滑轨和滑块，滑动与滑轨滑动连接，滑块于第一子驱动机构1411的固定块连接，电机可以驱动滑块在滑轨上移动，进而带动第一子驱动机构1411和取料组件13的移动。由于第二子驱动机构1412是在第二方向上的移动，从而可以调整取料组件13在第二方向上的距离差异。第二驱动机构142用来调整角度差异，角度差异为当前位置信息与标准位置信息的差异的一种。第二驱动机构142有电机和旋转平台组成，电机用来根据所需旋转角度旋转旋转平台。电机设置于旋转平台之下，并与旋转平台相固定，电机可以为同步电机和异步电机旋转电机或者为旋转气缸，电机为旋转提供动力。旋转平台用来承载载台132，并为旋转提供平台。当第二驱动机构142的电机根据所需的旋转角度旋转，进而带动旋转平台和载台132旋转，此时载台132承载着待定位件，从而实现载台132调整角度差异，最终实现第二图像传感组16能够读取到待定位件的位置，定位成功。

参阅图3，第一图像传感组件15包括：第一支架151和第一图像传感模组152，第一支架151和第一图像传感模组152相连接。第一支架151用来固定第一图像传感模组152，第一图像传感模组152用来识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。第一图像传感模组152优选CCD图像传感器，可以准确的获取识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。

参阅图4，第二图像传感组件16包括：第二支架161和第二图像传感模组162，第二支架161和第二图像传感模组162相连接。第二支架161用来固定第二图像传感模组162，第二图像传感模组162用来识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。第二图像传感模组162优选CCD图像传感器，可以准确的定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息。第一图像传感模组152的视野范围大于所述第二图像传感模组162的视野范围，第二图像传感模组162能够获取更为精准的位置标记。

通过托盘12、取料组件13、驱动组件14、第一图像传感组件15和第二图像传感组件16能够调整待定位件位置，使待定位件呈现所要的标准位置信息相对应的标准姿态，从而获得待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息，最终实现定位成功。以下提供一种定位实施例：

托盘12取放着待定位件，待定位件上设置有定位标记，取料组件13的上料机构131通过上下运动模组1312控制取料吸盘1311下降，取料吸盘1311从托盘12吸取待定位件，接着上下运动模组1312控制取料吸盘1311上升，取料吸盘1311带着待定位件达到第一次定位工位，即第一图像传感组件15能够扫描到待定位件定位标记处。第一图像传感组件15的第一图像传感模组152识别和获取待定位件的当前位置信息，当前位置信息与标准位置信息是否存在差异，决定着下一步工作流程，差异包括距离差异及角度差异，标准位置信息是指第一图像传感组件15或者第二图像传感组件16能够准确获得待定位标记的标记信息，如果第一图像传感组件15或者第二图像传感组件16能够准确获得定位标记的标记信息，则获取定位信息结束，定位成功。

当不存在距离差异及角度差异时，第一图像传感组件15的第一图像传感模组152能够准确的识别和获取定位标记的标记信息，此时获取定位信息成功，不需要定位；

当存在距离差异而不存在角度差异时，此时的距离差异包括于第一方向上差异或者第二方向上差异，再或者于第一方向上和第二方向上都存在差异，通过第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412的工作，带动上料机构131在第一方向上、第二方向上移动，从而带动取料吸盘1311的待定位件在第一方向上、第二方向上移动，从而实现调整距离差异，使第一图像传感模组152能够获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功；

当存在距离差异和存在角度差异时，驱动组件13通过第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412的工作调整待定位件在第一方向上、第二方向上的距离差异，消除距离差异。接着载台132从取料吸盘1311取走待定位件，第二驱动机构142开始工作，电机用来根据所需旋转角度旋转旋转平台，载台132上的待定位件也跟着旋转，从而达到消除角度差异，进而使二图像传感组件16的二图像传感组件16能够识别和获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功；

当不存在距离差异和存在角度差异时，第一驱动机构141无需工作，接着载台132从取料吸盘1311取走待定位件，第二驱动机构142开始工作，电机用来根据所需旋转角度旋转旋转平台，载台132上的待定位件也跟着旋转，从而达到消除角度差异，进而使第二图像传感组件16的二图像模组162能够识别和获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功。

可选的，一种定位装置还包括底座11，托盘12、取料组件13、驱动组件14、第一图像传感组件15均设置于底座11之上。

可选的，一种定位装置还包括固定架17，固定架17固定于底座11之上，第二图像传感组件16固定于固定架17之上。

可选的，一种定位装置还包括两条运动模组18，两条运动模组18固定于底座11之上，第二驱动机构142设置于两条运动模组18之上，两条运动模组18包括滑轨、滑块和电机，滑轨与滑块滑动连接，电机可以驱动滑块在滑轨上滑动，电机可以为直流电动机、异步电动机、同步电动机等，两条运动模组18用于承载和驱动第二驱动机构142的载台132移动去接去待定位件和将载台132的待定位件移动到下一工位。

本发明还提供一种基板加工设备，基板加工设备还还包括控制器，控制器与第一图像传感器15及与驱动组件13连接，以接收当前位置信息，并根据当前位置信息与标准位置信息的差异向驱动组件14发出控制指令。

参阅图5，本发明提供一种定位装置的定位方法，本发明实施例的定位装置的定位方法包括以下步骤：

S101：通过取料组件13从托盘12中取出待定位件，待定位件上设有定位标记；

S102：通过取料组件13从托盘12中取出所述待定位件；

S103：通过第一图像传感组件15获取定位标记的当前位置信息；

S104：根据当前位置信息与标准位置信息的差异通过驱动组件14驱动取料组件13运动，进而使得待定位件呈与标准位置信息相对应的标准姿态；

S105：通过第二图像传感组件16在待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息。

各个步骤的具体细节如下：

S101：通过取料组件13从托盘12中取出待定位件，待定位件上设有定位标记；托盘12存放着待定位件，此待定位件可以是有基板的需要定位材料，也可以是无基板的需要定位材料；这些待定位件表面设置有定位标记，这些定位标记可以被各种传感组件识别和扫描，只要这些定位标记能够呈现这些传感组件所需要的姿态，就可以被传感组件识别和扫描。

S102：通过取料组件13从托盘12中取出所述待定位件；由于取料组件13用来从托盘12取出待定位件，取料组件13包括：上料机构131和载台132。上料机构131和载台132分开设置，上料机构131设置于托盘12上方，用于从托盘12取走待定位件，并将待定位件运送到第一次定位的工作位。第一次定位的工作位位于第一图像传感组件15前，使第一图像传感组件15能够扫描带定位件上的定位标记。上料机构131包括：取料吸盘1311和上下运动模组1312。取料吸盘1311连接在上下运动模组1312下端，并位于托盘12正上方，取料吸盘1311用来从托盘12吸取带定位件。取料吸盘1311上开设有若干的小孔构造，可以用来取放待定位件。载台132用来从第一次定位的工作位定位完后接收取料吸盘1311放置的待定位件。上下运动模组1312由气缸、加强筋和固定块组成，通过加强筋和固定块固定气缸，气缸可以为普通的单作用和双作用气缸、缓冲气缸、气-液阻尼缸、摆动气缸和冲击气缸等等，气缸下端的活塞杆和取料吸盘1311相连接，气缸为取料吸盘1311上下运动提供动力。由于取料吸盘1311位于托盘12正上方，气缸通过带动活塞杆往下运动，将取料吸盘1311下降，进而取料吸盘1311从托盘12中吸取待定位件，接着气缸带动取料吸盘1311上升，到达第一次定位的工作位，从而能进行第一次定位工作。从而实现通过取料组件13从托盘12中取出所述待定位件。

S103：通过第一图像传感组件15获取定位标记的当前位置信息；第一图像传感组件15包括：第一支架151和第一图像传感模组152，第一支架151和第一图像传感模组152相连接。第一支架151用来固定第一图像传感模组152，第一图像传感模组152用来识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。第一图像传感模组152优选CCD图像传感器，可以准确的获取识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。当待定位件被运送到第一次定位的工作位时，第一图像传感模组152对待定位件进行识别和扫描，进而获取定位标记的当前位置信息。

S104：根据当前位置信息与标准位置信息的差异通过驱动组件14驱动取料组件13运动，进而使得待定位件呈与标准位置信息相对应的标准姿态；驱动组件14包括：第一驱动机构141和第二驱动机构142，第一驱动机构141和上下运动模组1312连接，第二驱动机构142和载台132连接。第一驱动机构141用来调整距离差异，距离差异为当前位置信息与标准位置信息的差异的一种，距离差异包括第一方向上的距离差异及垂直于第一方向的第二方向上的距离差异，第一方向与第二方向为水平方向。第一驱动机构141包括：第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412，第一子驱动机构1411和第二子驱动机构1412分别可以在第一方向的第二方向上移动。第一子驱动机构1411包括有电机、滑轨、滑块和固定块，滑块设置于滑轨之上，滑块与滑轨滑动连接，滑块与上下运动模组1312连接，滑块的在第一方向上的移动可以带动取料组件13在第一方向上的移动。固定块将电机固定，电机可以为直流电动机、异步电动机、同步电动机等，电机用来驱动第一子驱动机构1411运动，第一子驱动机构1411在第一方向上移动以调整第一方向的距离差异。第二子驱动机构1412包括有电机、滑轨和滑块，滑动与滑轨滑动连接，滑块于第一子驱动机构1411的固定块连接，电机可以驱动滑块在滑轨上移动，进而带动第一子驱动机构1411和取料组件13的移动。由于第二子驱动机构1412是在第二方向上的移动，从而可以调整取料组件13在第二方向上的距离差异。第二驱动机构142用来调整角度差异，角度差异为当前位置信息与标准位置信息的差异的一种。第二驱动机构142有电机和旋转平台组成，电机用来根据所需旋转角度旋转旋转平台。电机设置于旋转平台之下，并与旋转平台相固定，电机可以为同步电机和异步电机旋转电机或者为旋转气缸，电机为旋转提供动力。旋转平台用来承载载台132，并为旋转提供平台。当第二驱动机构142的电机根据所需的旋转角度旋转，进而带动旋转平台和载台132旋转，此时载台132承载着待定位件，从而实现载台132调整角度差异，最终实现第二图像传感组16能够读取到待定位件的位置，定位成功。通过驱动14调节待定位件的距离差异和角度差异，使待定位件在驱动14的作用下，能够呈现与标准位置信息相对应的标准姿态，进一步促使待定位件的定位成功。

S105：通过第二图像传感组件16在待定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息。第二图像传感组件16包括：第二支架161和第二图像传感模组162，第二支架161和第二图像传感模组162相连接。第二支架161用来固定第二图像传感模组162，第二图像传感模组162用来识别和获取待定位件的定位标记的当前位置信息。第二图像传感模组162优选CCD图像传感器，可以准确的定位件呈标准姿态时获取定位标记的位置信息。第一图像传感模组152的视野范围大于所述第二图像传感模组162的视野范围，第二图像传感模组162能够获取更为精准的位置标记。当待定位件运达第二图像传感组件16前，第二图像传感模组162对待定位件进行识别，此时待定位件呈标准姿态，从而实现待定位件获取信息和定位成功。

本发明的一种定位装置及其定位方法、基板加工设备，能够获取待定位件的标记，实现待定位件的定位，定位成功率高达100％，降低宕机率，提高生产效率。采用非接触式读取标记的方式，相比机械定位方式，可有效防止生产过程中对待定位件的刮伤与折曲，提高了产品良率。弥补了机械加工与装配误差带来的不可控因素，使得设备稳定性提高。

最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制。尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (9)

1.一种定位装置，其特征在于，所述定位装置包括：

托盘，用于承载待定位件，所述待定位件上设有定位标记；

取料组件，用于从所述托盘中取出所述待定位件；所述取料组件包括分开设置的上料机构及载台，所述上料机构用于从所述托盘中取出所述待定位件，所述载台用于接收所述上料机构放置的所述待定位件；

第一图像传感组件，用于获取所述定位标记的当前位置信息，所述第一图像传感组件靠近所述上料机构设置；

驱动组件，与所述取料组件连接，以根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异驱动所述取料组件运动，进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态；所述当前位置信息与标准位置信息的差异包括距离差异及角度差异，所述驱动组件包括第一驱动机构及第二驱动机构，所述第一驱动机构与所述上料机构连接，以根据所述距离差异驱动所述上料机构移动，所述第二驱动机构与所述载台连接，以根据所述角度差异驱动所述载台转动；

第二图像传感组件，用于在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息，所述第二图像传感组件靠近所述载台设置；所述标准位置信息为所述第一图像传感组件或者所述第二图像传感组件能够准确获得待定位标记的标记信息；

当不存在距离差异及角度差异时，所述第一图像传感组件能够准确的识别和获取定位标记的标记信息，此时获取定位信息成功，不需要定位；

当存在距离差异而不存在角度差异时，此时的距离差异包括于第一方向上差异或者第二方向上差异，再或者于第一方向上和第二方向上都存在差异，通过所述第一驱动机构中的第一子驱动机构和第二子驱动机构的工作，带动所述上料机构在所述第一方向上、所述第二方向上移动，从而带动所述上料机构上的所述待定位件在所述第一方向上、所述第二方向上移动，从而实现调整距离差异，使所述第一图像传感组件能够获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功；

当存在距离差异和存在角度差异时，所述驱动组件通过所述第一子驱动机构和所述第二子驱动机构的工作调整所述待定位件在所述第一方向上、所述第二方向上的距离差异，消除距离差异接着所述载台从所述上料机构取走所述待定位件，所述第二驱动机构根据所需旋转角度旋转所述载台，所述载台上的所述待定位件也跟着旋转，从而达到消除角度差异，进而使所述第二图像传感组件能够识别和获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功；

当不存在距离差异和存在角度差异时，所述第一驱动机构无需工作，接着所述载台从所述上料机构取走所述待定位件，所述第二驱动机构根据所需旋转角度旋转所述载台，所述载台上的所述待定位件也跟着旋转，从而达到消除角度差异，进而使所述第二图像传感组件能够识别和获取定位信息标记，获取定位信息成功，定位成功。

2.根据权利要求1的定位装置，其特征在于，所述距离差异包括第一方向上的距离差异及垂直于所述第一方向的第二方向上的距离差异，所述第一方向与所述第二方向为水平方向，所述第一驱动机构包括第一子驱动机构及第二子驱动机构，所述第一子驱动机构与所述第二子驱动机构分别用于驱动所述上料机构在所述第一方向与所述第二方向上移动。

3.根据权利要求2的定位装置，其特征在于，所述上料机构包括上料件及上料驱动机构，所述上料件用于吸附所述待定位件，所述上料驱动机构与所述上料件连接以在竖直方向上驱动所述待定位件远离所述托盘。

4.根据权利要求1的定位装置，其特征在于，所述定位装置还包括底座，所述第一图像传感组件包括第一支架及第一图像传感模组，所述第二图像传感组件包括第二支架及第二图像传感模组，所述第一图像传感模组及所述第二图像传感模组分别与所述第一支架及所述第二支架连接，所述第一支架及所述第二支架分别与所述底座可拆卸连接。

5.根据权利要求4的定位装置，其特征在于，所述第一图像传感模组的视野范围大于所述第二图像传感模组的视野范围。

6.根据权利要求4的定位装置，其特征在于，所述托盘、所述取料组件及所述驱动组件承载于所述底座上。

7.一种基板加工设备，其特征在于，所述基板加工设备包括权利要求1~6中任一项所述的定位装置。

8.根据权利要求7的基板加工设备，其特征在于，所述基板加工设备还包括控制器，所述控制器与所述第一图像传感器及与驱动组件连接，以接收所述当前位置信息，并根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异向所述驱动组件发出控制指令。

9.一种基于权利要求1~6中任一项所述的定位装置的定位方法，其特征在于，所述定位方法包括：

通过所述取料组件从所述托盘中取出所述待定位件，所述待定位件上设有定位标记；

通过所述第一图像传感组件获取所述定位标记的当前位置信息；

根据所述当前位置信息与标准位置信息的差异通过所述驱动组件驱动所述取料组件运动，进而使得所述待定位件呈与所述标准位置信息相对应的标准姿态；

通过所述第二图像传感组件在所述待定位件呈所述标准姿态时获取所述定位标记的位置信息。

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