CN111819018A - 微粒子的制造方法及微粒子 - Google Patents

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Abstract

本发明提供能控制微粒子的表面性质之一的酸性度的微粒子的制造方法及微粒子。微粒子的制造方法使用原料的粉末，通过气相法制造微粒子。微粒子的制造方法具有将有机酸供给至原料微粒子的步骤。气相法例如为热等离子体法或火焰法。微粒子具有至少包含羧基的表面包覆物。

Description

微粒子的制造方法及微粒子
技术领域
本发明涉及使用气相法的微粒子的制造方法及微粒子，特别涉及pH经控制的微粒子的制造方法及微粒子。
背景技术
现在，金属微粒子、氧化物微粒子、氮化物微粒子、碳化物微粒子、氮氧化物微粒子、树脂微粒子等微粒子用于各种用途。微粒子用于绝缘零件等的电绝缘材料、传感器等的功能性材料、燃料电池的电极材料、切削工具用材料、机械工作材料、烧结材料、导电性材料及触媒等。
例如，现在平板型计算机及智能型手机等液晶显示装置等的显示设备与触控面板组合利用，使用触控面板的输入操作广泛普及。专利文献1中记载了可用于触控面板的配线的银微粒子的制造方法。
另外，例如专利文献2中记载于氮气环境下，在150℃以下的温度下加热与烧结，显示导电性的铜微粒子材料。
再者，专利文献3中记载以碳化硅包覆硅微粒子而成的硅/碳化硅复合微粒子，专利文献4中记载了钨复合氧化物粒子。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2016/080528号
专利文献2：日本特开2016-14181号公报
专利文献3：日本特开2011-213524号公报
专利文献4：国际公开第2015/186663号
发明内容
发明要解决的技术问题
如上所述，微粒子使用符合用途的微粒子。然而，即使组成相同，根据用途而所要求的性质也会不同。例如，有时要求亲水性，有时要求疏水性。此时，必须控制微粒子的表面性质等。如上所述，提案有各种的微粒子，上述专利文献3的硅/碳化硅复合微粒子由碳化硅包覆硅微粒子，但没有控制亲水性或疏水性等微粒子的表面性质。现状为要求具备符合用途的表面性质的微粒子。
本发明的目的在于消除基于前述已知技术的问题，提供能控制微粒子的表面性质之一的酸性度的微粒子的制造方法及微粒子。
用于解决技术问题的手段
为了达成上述目的，本发明提供一种微粒子的制造方法，其使用原料的粉末，通过气相法制造微粒子的制造方法，其特征在于，具有将有机酸供给至原料微粒子的步骤。
气相法优选为热等离子体法或火焰法。供给有机酸的步骤优选为将含有有机酸的水溶液喷雾至有机酸热分解的环境中。
有机酸优选为仅由C、O及H所构成。有机酸优选为L-抗坏血酸、甲酸、戊二酸、琥珀酸、草酸、DL-酒石酸、乳糖一水合物、麦芽糖一水合物、马来酸、D-甘露糖醇、柠檬酸、苹果酸及丙二酸中的至少一种。
例如，原料的粉末为银以外的金属的粉末，通过气相法制造金属微粒子。
另外，本发明提供一种微粒子，其特征在于，具有表面包覆物，表面包覆物至少包含羧基。
例如，微粒子的粒径为1～100nm。还有，本发明提供一种微粒子，其特征在于，具有表面包覆物，表面包覆物由有机酸的热分解产生的有机物所构成。
例如，微粒子的粒径为1～100nm。
有机酸优选为仅由C、O及H所构成。有机酸优选为L-抗坏血酸、甲酸、戊二酸、琥珀酸、草酸、DL-酒石酸、乳糖一水合物、麦芽糖一水合物、马来酸、D-甘露糖醇、柠檬酸、苹果酸及丙二酸中的至少一种。其中，有机酸优选为柠檬酸。微粒子优选为银以外的金属微粒子。
发明的效果
依照本发明，能控制微粒子的pH等表面性质。
另外，依照本发明，可提供pH等表面性质经过控制的微粒子。
附图说明
图1为显示本发明的实施形态的微粒子的制造方法中所用的微粒子制造装置的一例的模型图。
图2为显示本发明的实施形态的微粒子的一例的模型图。
图3为显示本发明的制造方法所得的金属微粒子与以往的制造方法所得的金属微粒子的通过X射线衍射法得到的结晶构造的解析结果的曲线图。
附图标记
10微粒子制造装置 12等离子体炬 14材料供给装置 15一次微粒子 16腔室 17酸供给部 18微粒子(二次微粒子) 19旋风器 20回收部 22等离子体气体供给源 24热等离子体焰 28气体供给装置 30真空泵 50微粒子 51表面包覆物
具体实施方式
以下，相据附图所示的合适的实施形态，详细说明本发明的微粒子的制造方法及微粒子。
以下，关于本发明的微粒子的制造方法，以金属微粒子作为微粒子的例而说明。
图1显示本发明的实施形态的微粒子的制造方法中所用的微粒子制造装置的一例的模型图。
图1所示的微粒子制造装置10(以下，简称制造装置10)用于微粒子的制造，例如金属微粒子的制造。通过制造装置10，可制造金属微粒子，且也可以改变金属微粒子的pH，还可以控制pH。
另外，制造装置10，只要是微粒子，则其种类没有特别的限定，通过改变原料的组成，除金属微粒子以外，作为微粒子，也可以制造氧化物微粒子、氮化物微粒子、碳化物微粒子、氮氧化物微粒子、树脂微粒子等微粒子。
制造装置10具有产生热等离子体的等离子体炬12、将微粒子的原料的粉末供给至等离子体炬12内的材料供给装置14、用于生成基于原料的材料的一次微粒子15的具有冷却槽的功能的腔室16、酸供给部17、从基于原料的材料的一次微粒子15去除具有任意规定的粒径以上的粒径的粗大粒子的旋风器19、及回收通过旋风器19所分级的具有所要粒径的基于原料的材料的二次微粒子18的回收部20。供给有机酸之前的基于原料的材料的一次微粒子15为本发明的微粒子的制造过程中的产物，基于原料的材料的二次微粒子18相当于本发明的微粒子。
关于材料供给装置14、腔室16、旋风器19、回收部20，例如可使用日本特开2007-138287号公报的各种装置。还有，将基于原料的材料的一次微粒子15也简称为一次微粒子15，将基于原料的材料的二次微粒子18也简称为二次微粒子。
在本实施形态中，在金属微粒子的制造中，使用金属的粉末作为原料的粉末。金属的粉末适宜设定其平均粒径，以便在热等离子体焰中容易地蒸发，但平均粒径例如为100μm以下，优选为10μm以下，更佳为5μm以下。
金属的粉末也包含单一组成的金属的粉末及含有复数的组成的合金的粉末。在金属微粒子中，包含单一组成的金属微粒子及含有复数的组成的合金的合金微粒子。作为金属的粉末，较宜使用银以外的例如Cu、Si、Ni、W、Mo、Ti、Sn等的粉末。通过这些金属的粉末，例如得到银微粒子以外的上述金属的金属微粒子。
如上所述，作为金属微粒子以外的微粒子，制造氧化物微粒子、氮化物微粒子、碳化物微粒子、氮氧化物微粒子、树脂微粒子等微粒子时，可使用氧化物的粉末，氮化物的粉末、碳化物的粉末、氮氧化物的粉末、树脂的粉末等作为原料的粉末。
等离子体炬12由石英管12a与卷绕其外侧的高频振荡用线圈12b所构成。在等离子体炬12的上部，在其中央部设有用于将原料的粉末例如金属微粒子的金属的粉末供给至等离子体炬12内的后述供给管14a。等离子体气体供给口12c形成在供给管14a的周边部(同一圆周上)，等离子体气体供给口12c为环状。
等离子体气体供给源22将等离子体气体供给至等离子体炬12内，例如具有第一气体供给部22a与第二气体供给部22b。第一气体供给部22a与第二气体供给部22b通过配管22c而连接至等离子体气体供给口12c。在第一气体供给部22a与第二气体供给部22b分别设有未图示的用于调整供给量的阀等供给量调整部。等离子体气体从等离子体气体供给源22，经过环状的等离子体气体供给口12c，从箭头P所示的方向与箭头S所示方向供给至等离子体炬12内。
在等离子体气体中，例如使用氢气与氩气的混合气体。此时，在第一气体供给部22a中储存氢气，在第二气体供给部22b中储存氩气。从等离子体气体供给源22的第一气体供给部22a将氢气、从第二气体供给部22b将氩气，通过配管22c，经过等离子体气体供给口12c，从箭头P所示的方向与箭头S所示的方向供给至等离子体炬12内。还有，也可以在箭头P所示的方向，仅供给氩气。
若将高频电压施加于高频振荡用线圈12b，则在等离子体炬12内产生热等离子体焰24。
热等离子体焰24的温度必须比金属的粉末(原料的粉末)的沸点更高。另一方面，虽然热等离子体焰24的温度越高，金属的粉末(原料的粉末)越容易成为气相状态，因此更为适宜，但温度并无特别的限定。例如，也可以将热等离子体焰24的温度设为6000℃，被认为理论上可达到10000℃左右。
另外，等离子体炬12内的压力环境优选为大气压以下。此处，关于大气压以下的环境，并没有特别的限定，例如为0.5～100kPa。
另外，石英管12a的外侧被形成同心圆状的管(未图示)所包围，在此管与石英管12a之间循环冷却水而水冷石英管12a，防止因在等离子体炬12内所产生的热等离子体焰24而使石英管12a变得过度高温。
材料供给装置14通过供给管14a而连接至等离子体炬12的上部。材料供给装置14例如可将金属的粉末(原料的粉末)以粉末形态供给至等离子体炬12内的热等离子体焰24中。
作为将金属的粉末(原料的粉末)以粉末形态供给的材料供给装置14，如上所述，例如可使用日本特开2007-138287号公报中公开的装置。此时，材料供给装置14例如具有：储存金属的粉末(原料的粉末)的储存槽(未图示)；定量输送金属的粉末(原料的粉末)的螺杆进料器(未图示)；在将经螺杆进料器所输送的金属的粉末(原料的粉末)予以最终散布之前，使其分散成一次粒子的状态的分散部(未图示)；以及载体气体供给源(未图示)。
与从载体气体供给源施加有挤出压力的载体气体一起，金属的粉末(原料的粉末)通过供给管14a，供给至等离子体矩12内的热等离子体焰24中。
材料供给装置14只要能防止金属的粉末(原料的粉末)的凝聚，维持着分散状态，将金属的粉末(原料的粉末)散布于等离子体炬12内，则其构成并没有特别的限定。载体气体例如使用氩气等隋性气体。载体气体流量例如可使用浮子式流量计等流量计进行控制。另外，载体气体的流量值为流量计的刻度值。
腔室16邻接设置于等离子体炬12的下方，连接气体供给装置28。在腔室16内生成基于原料的材料(金属)的一次微粒子15。另外，腔室16具有冷却槽的功能。
气体供给装置28将冷却气体供给至腔室16内。气体供给装置28具有第一气体供给源28a及第二气体供给源28b与配管28c，更设有对于供给至腔室16内的冷却气体施加挤出压力的压缩机、鼓风机等的压力赋予手段(未图示)。另外，设有控制来自第一气体供给源28a的气体供给量的压力控制阀28d，设有控制来自第二气体供给源28b的气体供给量的压力控制阀28e。例如，在第一气体供给源28a中储存氩气，在第二气体供给源28b中储存甲烷气体(CH4气体)。此时，冷却气体为氩气与甲烷气体的混合气体。
气体供给装置28向热等离子体焰24的尾部，即与等离子体气体供给口12c相反侧的热等离子体焰24的一端，即热等离子体焰24的终端部，例如以45°的角度，在箭头Q的方向，供给氩气与甲烷气体的混合气体作为冷却气体，而且沿着腔室16的内侧壁16a，从上方向下方，即在图1所示的箭头R的方向，供给上述的冷却气体。
通过从气体供给装置28供给至腔室16内的冷却气体，将因热等离子体焰24成为气相状态的原料的粉末(金属的粉末)予以急速冷却，得到基于原料的材料(金属)的一次微粒子15。此外，上述冷却气体也具有对于旋风器19中的一次微粒子15的分级有所帮助等的附加作用。冷却气体例如为氩气与甲烷气体的混合气体。
若在基于原料的材料(金属)的一次微粒子15的刚生成后的微粒子彼此立即碰撞，形成凝聚体，发生粒径的不均匀，则成为质量降低的主要因素。然而，朝向热等离子体焰的尾部(终端部)，在箭头Q的方向，作为冷却气体所供给的混合气体，稀释一次微粒子15，因此防止微粒子彼此碰童及凝聚。
另外，通过在箭头R方向作为冷却气体供给的混合气体，而在一次微粒子15的回收过程中，防止一次微粒子15附着到腔室16的内侧壁16a，提高所生成的一次微粒子15的产率。
另外，在作为冷却气体使用的氩气与甲烷气体的混合气体中，还可以添加氢气。此时，进一步设置第三气体供给源(未图示)与控制气体供给量的压力控制阀(未图示)，在第三气体供给源中预先储存氢气。例如，氢气只要是从箭头Q及箭头R的中的至少一方向来供给预定的量即可。还有，冷却气体不限定于上述的氩气、甲烷气体及氢气。
酸供给部17对经由冷却气体急速冷却而得到的基于原料的材料(金属)的一次微粒子15(原料微粒子)供给有机酸。向将具有温度10000℃左右的热等离子体予以急速冷却而生成的、比有机酸的分解温度更高的温度区域供给的有机酸热分解，在一次微粒子15上，成为包含碳氢(CnHm)与带来亲水性及酸性的羧基(-COOH)或羟基(-OH)的有机物而析出。结果，例如得到具有酸性的性质的金属微粒子。
例如，通过改变有机酸向基于原料的材料(金属)的一次微粒子15的供给量，可改变金属微粒子的pH，例如即使为酸性，也可改变其程度即表面性质之一的酸性度。有机酸的供给量例如可通过含有有机酸的水溶液的供给量及有机酸的浓度而改变。
酸供给部17只要能将有机酸赋予至基于原料的材料的一次微粒子15，例如赋予至金属的一次微粒子15，则其构成并没有特别的限定。例如，使用有机酸的水溶液时，酸供给部17将有机酸的水溶液喷雾至腔室16内。
酸供给部17具有：储存有机酸的水溶液(未图示)的容器(未图示)及用于将容器内的有机酸的水溶液予以液滴化的喷雾气体供给部(未图示)。在喷雾气体供给部中，使用喷雾气体将水溶液液滴化，经液滴化的有机酸的水溶液AQ以预定量被供给至腔室16内的基于原料的材料(金属)的一次微粒子15。供给该有机酸的水溶液AQ时(供给有机酸的步骤)，腔室16内的环境为有机酸热分解的环境。
在有机酸的水溶液中，例如溶剂使用纯水。有机酸优选为水溶性，且为低沸点，优选为仅以C、O及H所构成。作为有机酸，例如可使用L-抗坏血酸(C6H8O6)、甲酸(CH2O2)、戊二酸(C5H8O4)、琥珀酸(C4H6O4)，草酸(C2H2O4)、DL-酒石酸(C4H6O6)、乳糖一水合物、麦芽糖一水合物、马来酸(C4H4O4)、D-甘露糖醇(C6H14O6)、柠檬酸(C6H8O7)，苹果酸(C4H6O5)及丙二酸(C3H4O4)等。优选为使用上述的有机酸中的至少一种。
将有机酸的水溶液液滴化的喷雾气体，例如使用氩气，但不限定于氩气，可使用氮气等的惰性气体。
如图1所示，在腔室16侧设有用于将经供给有机酸的基于原料的材料(金属)的一次微粒子15以所要粒径分级的旋风器19。该旋风器19具备：从腔室16供给一次微粒子15的入口管19a；与该入口管19a连接，位于旋风器19的上部的圆筒形状外筒19b；从该外筒19b下部向下侧连续，且直径渐减的圆锥台部19c；连接于该圆锥台部19c下侧，将具有上述所要粒径以上的粒径的粗大粒子予以回收的粗大粒子回收腔室19d；以及连接于以后详述的回收部20，穿设于外筒19b的内管19e。
包含一次微粒子15的气流从旋风器19的入口管19a沿着外筒19b内周壁吹入，藉此，该气流如图1中箭头T所示，从外筒19b的内周壁朝向圆锥台部19c方向流动，形成下降的回旋流。
然后，当上述的下降的回旋流反转，成为上升流时，通过离心力与阻力的平衡，粗大粒子无法跟着上升流，而沿着圆锥台部19c侧面下降，被粗大粒子回收腔室19d所回收。另外，相较于离心力更会受到阻力的影响的微粒子与圆锥台部19c内壁的上升流一起，从内管19e排出至系统外。
另外，通过内管19e，从以后详述的回收部20产生负压(吸引力)。然后，通过该负压(吸引力)，从上述的回旋气流所分离出的金属微粒子如符号U所示地被吸引，通过内管19e而送到回收部20。
在旋风器19内的气流出口的内管19e的延长部位上，设有将具有所要的纳米级粒径的二次微粒子(例如金属微粒子)18予以回收的回收部20。回收部20具备回收室20a、设于回收室20a内的过滤器20b、及通过设于回收室20a内下方的管而连接的真空泵30。从旋风器19所送出的微粒子，通过真空泵30吸引而拉进回收室20a内，以留在过滤器20b的表面上的状态被回收。
再者，在上述的制造装置10中，所使用的旋风器的个数不限定于1个，也可为2个以上。
接着，关于使用上述的制造装置10的微粒子的制造方法，以金属微粒子为例而说明。
首先，作为金属微粒子的原料的粉末，例如将平均粒径为5μm以下的金属的粉末投入材料供给装置14。
等离子体气体例如使用氩气及氢气，对于高频振荡用线圈12b施加高频电压，使等离子体炬12内产生热等离子体焰24。
另外，从气体供给装置28，对热等离子体焰24的尾部，即热等离子体焰24的终端部，在箭头Q的方向，供给例如氩气与甲烷气体的混合气体作为冷却气体。此时，在箭头R的方向，也供给氩气与甲烷气体的混合气体作为冷却气体。
其次，作为载体气体，例如使用氩气来气体输送金属的粉末，通过供给管14a供给至等离子体炬12内的热等离子体焰24中。所供给的金属的粉末在热等离子体焰24中蒸发而成为气相状态，通过冷却气体急速冷却，生成金属的一次微粒子15(金属微粒子)。再者，通过酸供给部17，将经液滴化的有机酸的水溶液以预定的量喷雾至金属的一次微粒子15。
然后，在腔室16内所得的金属的一次微粒子15从旋风器19的入口管19a，与气流一起沿着外筒19b的内周壁被吹入，藉此，该气流如图1的箭头T所示，沿着外筒19b的内周壁流动，形成回旋流而下降。而且，当上述的下降的回旋流反转，成为上升流时，通过离心力与阻力的平衡，粗大粒子并无法跟着上升流，而沿着圆锥台部19c侧面下降，被粗大粒子回收腔室19d所回收。另外，相较于离心力更会受到阻力的影响的微粒子与圆锥台部19c内壁的上升流一起，从内壁被排出系统外。
所排出的二次微粒子(金属微粒子)18通过真空泵30所造成的来自回收部20的负压(吸引力)，在图1中符号U所示的方向被吸引，通过内管19e而送到回收部20，被回收部20的过滤器20b所回收。此时的旋风器19内的内压优选为大气压以下。另外，二次微粒子(金属微粒子)18的粒径按照目的规定纳米级的任意粒径。
如上所述，通过等离子体处理金属的粉末，例如仅将有机酸的水溶液喷雾，可容易且确实地得到例如具有酸性的性质的金属微粒子。
另外，虽然使用热等离子体焰形成金属的一次微粒子，但是可使用气相法形成金属的一次微粒子。因此，若为气相法，则不限定于使用热等离子体焰的热等离子体法，也可以为通过火焰法，形成金属的一次微粒子的制造方法。
而且，通过本实施形态的金属微粒子的制造方法所制造的金属微粒子，其粒度分布范围窄，即具有均匀的粒径，几乎没有混入1μm以上的粗大粒子。
此处，所谓的火焰法，就是使用火焰作为热源，通过使金属原料的粉末通过火焰而合成微粒子的方法。在火焰法中，将金属的粉末(原料的粉末)供给至火焰，然后将冷却气体供给至火焰，使火焰的温度降低而抑制金属粒子的成长，得到金属的一次微粒子15。再者，将有机酸以预定的量供给至一次微粒子15，制造金属微粒子。
还有，冷却气体及有机酸可使用与上述的热等离子体焰相同的。
除了上述的金属微粒子以外，也制造上述的氧化物微粒子、氮化物微粒子、碳化物微粒子、氮氧化物微粒子、树脂微粒子等的微粒子时，作为原料的粉末，通过使用氧化物的粉末、氮化物的粉末、碳化物的粉末、氮氧化物的粉末、树脂的粉末，与金属微粒子同样地，可制造上述的氧化物微粒子、氮化物微粒子，碳化物微粒子、氮氧化物微粒子、树脂微粒子等的微粒子。
在制造金属微粒子以外的微粒子时，等离子体气体、冷却气体及有机酸适宜利用符合各组成。
接着，说明微粒子。
本发明的微粒子被称为纳米粒子，例如粒径为1～100nm。粒径使用BET法所测定的平均粒径。本发明的微粒子例如以上述的制造方法制造，以粒子状态获得。如此地，本发明的微粒子不是分散于溶剂内等的状态，而且以微粒子单独存在。因此，与溶剂的组合等也没有特别的限定，溶剂的选择自由度高。
如图2所示，微粒子50在其表面50a上具有表面包覆物51。作为微粒子50，例如在金属微粒子包含表面的表面包覆物，调查其表面状态时，结果碳氢(CnHm)存在于表面，除该碳氢(CnHm)以外，得到暗示带来亲水性及酸性的羟基(-OH)、羧基(-COOH)明显地存在的结果。
表面包覆物51通过有机酸的热分解而产生，以包含碳氢(CnHm)与带来亲水性及酸性的羧基(-COOH)或羟基(-OH)的有机物所构成。例如，表面包覆物以柠檬酸的热分解产生的有机物所构成。
如此地，表面包覆物51包含羟基及羧基，但只要是包含羟基及羧基中的至少羧基的构成即可。
另外，对于以往的金属微粒子，调查表面状态时，虽然确认碳氢(CnHm)存在，但明显地得不到暗示羟基及羧基存在的结果。
还有，微粒子50的表面状态例如可使用FT-IR(傅立叶转换红外分光亮度计)调查。
求得本发明的微粒子的一例的金属微粒子的pH与以往的金属微粒子的pH，结果如后所示，金属微粒子的pH为3.0～4.0，以往的金属微粒子的pH为5～7左右。如此，可将微粒子的pH控制在酸性侧，可控制微粒子的表面性质之一的酸性度。藉此，可提供pH等的表面性质经控制的微粒子。
<金属微粒子的pH>
金属微粒子的pH如下所述地测定。首先，将特定量的各金属微粒子收纳于容器内，将纯水(20毫升)滴下至金属微粒子，放置120分钟后，测定纯水部分的pH。在pH的测定中使用玻璃电极法。
另外，金属微粒子以外的微粒子也可以用上述的方法测定pH。
如上所述，本发明的金属微粒子比以往的金属微粒子更具有酸性的性质。因此，使金属微粒子以如图2所示的微粒子50分散于溶液52中时，可以少量的碱性分散剂(未图示)得到所需要的分散状态。
另外，由于可以少量的碱性分散剂得到所需要的分散状态，因此可以更少量分散剂制作涂膜。
还有，分散剂例如可使用BYK-112(BYK化学日本股份有限公司制)等。
接着，关于微粒子的具体例，以金属微粒子为例而说明。
在原料中使用Sn(锡)的粉末制造Sn微粒子(样品1)。在Sn微粒子(样品1)中，使用喷雾气体，将包含柠檬酸的水溶液(柠檬酸的浓度30W/W％)喷雾至Sn的一次微粒子。喷雾气体使用氩气。
在原料中使用Ni(镍)的粉末制造Ni微粒子(样品3)。在Ni微粒子(样品3)中，使用喷雾气体将包含柠檬酸的水溶液(柠檬酸的浓度30W/W％)喷雾至Ni的一次微粒子。喷雾气体使用氩气。
另外，在比较用的未供给有机酸的以往的制造方法中，在原料中使用Sn(锡)的粉末制造Sn微粒子(样品2)；使用Ni(镍)的粉末制造Ni微粒子(样品4)。
另外，金属微粒子的制造条件为等离子体气体：氢气200升/分钟、氢气5升/分钟；载体气体：氩气5升/分钟；急速冷却气体：氩气900升/分钟、甲烷气体10升/分钟；内压：40kPa。
使用BET法测定所得的微粒子的粒径。如下述表1所示，在本发明的金属微粒子的制造方法中，可将pH控制在酸性侧。
[表1]
种类 粒径(nm) pH
样品1 Sn 231 3.7
样品2 Sn 69 5.1
样品3 Ni 21 3.0
样品4 Ni 7 6.3
对于样品3及样品4的Ni微粒子，进行通过X射线衍射法的结晶构造的解析。图3中显示其结果。图3为显示本发明的制造方法所得的金属微粒子与以往的制造方法所得的金属微粒子的通过X射线衍射法的结晶构造的解析结果的曲线图，纵轴的强度单位为无因次。
图3的符号60表示本发明的微粒子的制造方法所得的Ni微粒子(样品3)的光谱，符号61表示以往的微粒子的制造方法，即在不供给有机酸下制造而得的Ni微粒子(样品4)的光谱。
如图3所示，样品3的光谱60与样品4的光谱61相同，样品3与样品4仅pH不同。由此可知，通过本发明的微粒子的制造方法可控制金属微粒子的pH。
本发明基本上如上所述构成。以上，虽然已详细说明本发明的微粒子的制造方法及微粒子，但是本发明不限定于上述的实施形态，在不脱离本发明的宗旨的范围内，当然可进行各种的改良或变更。

Claims (13)

1.一种微粒子的制造方法，其是使用原料的粉末，通过气相法制造微粒子的制造方法，其特征在于，具有将有机酸供给至原料微粒子的步骤。
2.根据权利要求1所述的微粒子的制造方法，其特征在于，所述气相法为热等离子体法或火焰法。
3.根据权利要求1或2所述的微粒子的制造方法，其特征在于，供给所述有机酸的步骤为将含有所述有机酸的水溶液喷雾至所述有机酸热分解的环境中。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的微粒子的制造方法，其特征在于，所述有机酸仅由C、O及H所构成。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的微粒子的制造方法，其特征在于，所述有机酸为L-抗坏血酸、甲酸、戊二酸、琥珀酸、草酸、DL-酒石酸、乳糖一水台物、麦芽糖一水合物、马来酸、D-甘露糖醇、柠檬酸、苹果酸及丙二酸中的至少一种。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的微粒子的制造方法，其特征在于，所述原料的粉末为银以外的金属的粉末，通过所述气相法制造金属微粒子。
7.一种微粒子，其特征在于，具有表面包覆物，所述表面包覆物至少包含羧基。
8.根据权利要求7所述的微粒子，其特征在于，所述微粒子的粒径为1～100nm。
9.一种微粒子，其特征在于，具有表面包覆物，所述表面包覆物由有机酸的热分解产生的有机物所构成。
10.根据权利要求9所述的微粒子，其特征在于，所述微粒子的粒径为1～100nm。
11.根据权利要求9或10所述的微粒子，其特征在于，所述有机酸为L-抗坏血酸、甲酸、戊二酸、琥珀酸、草酸、DL-酒石酸，乳糖一水合物、麦芽糖一水合物、马来酸、D-甘露糖醇、柠檬酸、苹果酸及丙二酸中的至少一种。
12.根据权利要求9或10所述的微粒子，其特征在于，所述有机酸为柠檬酸。
13.根据权利要求7～12中任一项所述的微粒子，其特征在于，所述微粒子为银以外的金属微粒子。
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