CN111791380A - 一种切割打磨一体化的装置及其使用方法 - Google Patents

一种切割打磨一体化的装置及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及集成电路技术领域，且公开了一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，包括底板，对整个装置进行支撑，通过割刀、打磨棒和承重架的配合使用，从而使得当割刀将极板切割之后，由于重力作用重叠于支撑架的上方，最终带动打磨棒的运动，从而使整个装置可以切割和打磨一体化，减少了后续的单独打磨操作，提高了整个集成电路制作过程中的工作效率，通过竖杆、方块、转杆、连接台和推杆的配合使用，推杆往前运动带动转杆旋转，使得且竖杆带动方块同步往下移动，最终带动割刀受到往下的力，且在切割的瞬间往下的力较大较快，较传统的上下往复切割会使得切割更加的整齐，减少碎屑的产生。

Description

一种切割打磨一体化的装置及其使用方法
本申请是申请日为2019年11月08日，申请号为CN 201910894797.7，发明名称为一种基于往复运动提供瞬时压力且切割打磨一体化的装置的分案申请。
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域，具体为一种切割打磨一体化的装置及其使用方法。
背景技术
随着科技的发展，人们利用自身的智慧将具有一定功能的电路所需要的半导体、电阻、电容等原件及它们之间的连接导线全部集成在一小块硅片上，然后通过焊接封装在一个管壳内，随着科学家的一步步探索，最终发展为现如今的集成电路，具有体积小，性能高的优点，被广泛的用于计算机、手机等其他数字电器内的制作过程中，为人们的日常生活带来巨大的改变。
集成电路主要包括光刻、刻蚀、薄膜、掺杂和化学机械平坦化CMP，并重复使用，而在进行光刻之前需要先对基板进行切割，将其切割成合适的与电路板适合的尺寸，传统的切割基板在进行切割之后需要单独再进行研磨，使得在操作过程中工作效率较低，且传统的切割机通过往复运动进行切割时切刀在往下运动时无法提供足够的动力，无法一次性将基板切割完成，产生的废屑较多，切口较不整齐。
为解决上述问题，发明者提出了一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，具备切割和打磨一体化的优点，解决了现有装置切割和打磨无法结合的问题，整个过程工作效率较低且切口不齐的问题，保证了工作人员在使用该装置操作时工作效率更高更切口更加整齐。
发明内容
(一)技术方案
为实现上述切割和打磨一体化的目的，本发明提供如下技术方案：一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，包括底板，对整个装置进行支撑，所述底板的上方固定连接有承重台，对转盘进行支撑，使其可以旋转，承重台的右侧固定连接有转盘，底板的上方固定连接有支撑块，使得可以对基板进行支撑和限位，支撑块的上方活动连接有连接台，通过连接台的位移变化带动割刀的位移变化，连接台的左侧活动连接有转杆，通过转杆的旋转从而改变受力范围，底板的上方固定连接有支撑台，对斜杆的底部进行限位，支撑台的上方固定连接有横杆，横杆的外侧活动连接有限位块，限位块的侧面活动连接有斜杆，通过基板运输过程中顶端与斜杆的底部接触使得斜杆发生移动，斜杆远离限位块的一侧活动连接有推杆，通过推杆的运动可带动转杆进行旋转，连接台的下方活动连接有割刀，底板的上方活动连接有承重架，承重架的上方活动连接有拉板，拉板的右侧活动连接有打磨棒，打磨棒的上方活动连接有第一齿轮，拉板的上方活动连接有第二齿轮，连接台的上方活动连接有方块，方块的上方活动连接有竖杆。
优选的，所述转杆设计为倒L型，且转杆顶部横条的尺寸不小于方块到连接台之间的距离。
优选的，所述推杆的外侧活动连接有固定柱，该固定柱设计为楔形与推杆的尺寸相适配。
优选的，所述转盘有两个，两个转盘的规格一致，且处于上方的转盘位置可以进行移动。
优选的，所述支撑块设有凹槽，且该凹槽的尺寸不小于割刀的尺寸。
优选的，所述承重架有两组，每组有两个，两承重架的规格一致，且承重架之间的距离不小于所切割的基板的长度。
优选的，所述竖杆的上方活动连接有凸轮，且凸轮的外侧活动连接有转柱，转盘与转柱之间通过皮带活动连接。
(二)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，具备以下有益效果：
与现有技术相比，本发明提供了一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，具备以下有益效果：
1、该切割打磨一体化的装置及其使用方法，通过割刀、打磨棒和承重架的配合使用，从而使得当割刀将基板切割之后，由于重力作用重叠于支撑架的上方，最终带动打磨棒的运动，从而使得整个装置可以完成切割和打磨一体化，减少了后续的单独打磨操作，提高了整个集成电路制作过程中的工作效率。
2、该切割打磨一体化的装置及其使用方法，通过横杆、限位块、斜杆和推杆的配合使用，使得基板运输与斜杆的底部接触带动推杆往前移动，从而引发后续的切割过程，由于是以基板自身的运输长度作为触发装置，从而使得每批次切割的基板尺寸保持一致，且通过调节斜杆的位置可以同步调整所切割的基板的尺寸，使得整个装置可控性更高且更加智能。
3、该切割打磨一体化的装置及其使用方法，通过竖杆、方块、转杆、连接台和推杆的配合使用，从而使得推杆往前运动带动转杆旋转，使得且竖杆带动方块同步往下移动，方块与转杆的顶部横条接触，对连接台进行挤压，从而最终带动割刀受到往下的力，且在切割的瞬间往下的力较大较快，较传统的上下往复切割会使得切割更加的整齐，减少碎屑的产生。
4、该切割打磨一体化的装置及其使用方法，通过承重架、拉板、打磨棒、第一齿轮和第二齿轮的配合使用，当切割后的基板由于重力下降掉落到承重架的上方，从而带动第二齿轮往下移动，最终与第一齿轮相互啮合，带动打磨棒进行转动，从而对基板完成打磨，且随着基板的叠加，所受重力渐渐增加，使得第二齿轮的位置保持不变，从而完成整个打磨过程，从而将整个打磨与切割的过程联系在一起，构思更加巧妙。
附图说明
图1为本发明连接结构示意图；
图2为本发明图1中各结构运动轨迹图，此时转盘旋转带动基板同步发生运动；
图3为本发明横杆、限位块、斜杆、和推杆结构结构示意图，此时各结构均处于原始状态；
图4为本发明图3中各结构运动轨迹图，此时斜杆发生运动，带动推杆同步发生运动；
图5为本发明推杆结构左视图；
图6为本发明支撑块、连接台和割刀连接结构示意图，此时各结构均处于原始状态；
图7为本发明结构图6中结构运动轨迹图，此时连接台往下运动，带动割刀同步发生运动；
图8为本发明转杆的结构示意图；
图9为本发明承重架、拉板、打磨棒、第一齿轮和第二齿轮连接结构示意图，此时各结构均处于原始状态；
图10为本发明图9中第一齿轮和第二齿轮运动轨迹图，此时第二齿轮往下移动，与第一齿轮相互啮合；
图11为本发明竖杆运动原理图，此时各结构均处于原始状态；
图12为本发明图11中各结构运动轨迹图，此时凸轮发生旋转，带动竖杆同步运动。
图中：1-底板、2-承重台、3-转盘、4-支撑块、5-连接台、6-转杆、7-支撑台、8-横杆、9-限位块、10-斜杆、11-推杆、12-割刀、13-承重架、14-拉板、15-打磨棒、16-第一齿轮、17-第二齿轮、18-方块、19-竖杆。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-12，一种切割打磨一体化的装置及其使用方法，包括底板1，对整个装置进行支撑，底板1的上方固定连接有承重台2，对转盘3进行支撑，使其可以旋转，承重台2的右侧固定连接有转盘3，转盘3有两个，两个转盘3的规格一致，且处于上方的转盘3位置可以进行移动，底板1的上方固定连接有支撑块4，使得可以对基板进行支撑和限位，支撑块4设有凹槽，且该凹槽的尺寸不小于割刀12的尺寸，当割刀12往下移动时，保证切割更加全面，支撑块4的上方活动连接有连接台5，通过连接台5的位移变化带动割刀12的位移变化。
连接台5的左侧活动连接有转杆6，转杆6设计为倒L型，通过转杆6的旋转从而改变受力范围，且转杆6顶部横条的尺寸不小于方块18到连接台5之间的距离，通过转杆6旋转之后，增加方块18往下的压力，从而使得割刀12往下进行移动，完成切割，底板1的上方固定连接有支撑台7，对斜杆10的底部进行限位，支撑台7的上方固定连接有横杆8，横杆8的外侧活动连接有限位块9，限位块9的侧面活动连接有斜杆10，通过基板运输过程中顶端与斜杆10的底部接触使得斜杆10发生移动，斜杆10远离限位块9的一侧活动连接有推杆11，推杆11的外侧活动连接有固定柱，该固定柱设计为楔形与推杆11的尺寸相适配，推杆11可以在固定柱内移动，通过斜杆10的运动可带动转杆6进行旋转，连接台5的下方活动连接有割刀12，从而对基板进行切割。
底板1的上方活动连接有承重架13，承重架13有两组，每组有两个，两承重架13的规格一致，且承重架13之间的距离不小于所切割的基板的长度，从而对切割完成的基板就那些统一收纳，承重架13的上方活动连接有拉板14，拉板14的右侧活动连接有打磨棒15，利用切割后的基板自身的重力变化带动第二齿轮17的运动，打磨棒15的上方活动连接有第一齿轮16，拉板14的上方活动连接有第二齿轮17，连接台5的上方活动连接有方块18，方块18的上方活动连接有竖杆19，竖杆19的上方活动连接有凸轮，且凸轮的外侧活动连接有转柱，通过凸轮的旋转可带动竖杆19的上下往复运动，从而同步带动方块18运动，转盘3与转柱之间通过皮带活动连接，从而转盘3旋转同步带动转柱旋转，从而使凸轮旋转。
工作原理:通过将电机的输出轴与转盘3活动连接，使得转盘3进行旋转，两个转盘3同步旋转，从而对基板进行往前传动运输，当运输至基板的顶部与斜杆10的底部进行接触时，继续往前运动，会使得斜杆10取得底部受到往前的推力，由于限位板9的作用，从而使得斜杆10的顶端往前进行移动，斜杆10远离限位板9的一侧活动连接有推杆11，当斜杆10往前进行移动时，会使得推杆11受到向前的推力，从而最终使得推杆11往前进行移动，转杆6设为倒L型，推杆11往前移动的过程中与转杆6接触，并施加推力，使得转杆6进行旋转，于此同时，转盘3与转柱之间通过皮带活动连接，从而转盘3旋转同步带动转柱旋转，从而使凸轮旋转，当凸轮的下方活动连接有竖杆19，故旋转时会带动竖杆19的上方往复运动，竖杆19的下方活动连接有方块18，故带动方块18同步上下运动，当转杆6进行旋转至连接台5的上方时，方块18正好往下移动，从而对转杆6进行挤压，带动转杆6往下移动，转杆6的下方设有连接台5，从而使得连接台5同步往下进行移动，最终带动割刀12往下移动，从而对基板完成切割，且由于基板在运输过程中的与推杆11与斜杆10接触的长度一致，故保证了同批次切割的基板的长度均一致，且限位块9与斜杆10的倾斜度均可以自助调到，从而可以在切割之前可以将其调整成对不同长度的基板进行切割。
切割之后的基板会由于重力作用2掉入承重架13的上方，随着基板数量的增多，会使得拉板14带动第二齿轮17往下移动，最终与两个第一齿轮16相互啮合，从而使得打磨棒15可以进行旋转进行打磨，且承重架13共有四个，提高承重的同时提高打磨效果，进一步增加切割打磨一体化的工作效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种切割打磨一体化的装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上方固定连接有承重台(2)，承重台(2)的右侧固定连接有转盘(3)，底板(1)的上方固定连接有支撑块(4)，支撑块(4)的上方活动连接有连接台(5)，连接台(5)的左侧活动连接有转杆(6)，底板(1)的上方固定连接有支撑台(7)，支撑台(7)的上方固定连接有横杆(8)，横杆(8)的外侧活动连接有限位块(9)，限位块(9)的侧面活动连接有斜杆(10)，斜杆(10)远离限位块(9)的一侧活动连接有推杆(11)，连接台(5)的下方活动连接有割刀(12)，底板(1)的上方活动连接有承重架(13)，承重架(13)的上方活动连接有拉板(14)，拉板(14)的右侧活动连接有打磨棒(15)，打磨棒(15)的上方活动连接有第一齿轮(16)，拉板(14)的上方活动连接有第二齿轮(17)，连接台(5)的上方活动连接有方块(18)，方块(18)的上方活动连接有竖杆(19)；转杆(6)设为倒L型，推杆(11)往前移动的过程中与转杆(6)接触，并施加推力，使得推杆(11)进行旋转，于此同时，转盘(3)与转柱之间通过皮带活动连接，从而转盘(3)旋转同步带动转柱旋转，从而使凸轮旋转，当凸轮的下方活动连接有竖杆(19)，故旋转时会带动竖杆(19)的上方往复运动，竖杆(19)的下方活动连接有方块(18)，故带动方块(18)同步上下运动，当推杆(11)进行旋转至连接台(5)的上方时，方块(18)正好往下移动，从而对转杆(6)进行挤压，带动转杆(6)往下移动，转杆(6)的下方设有连接台(5)，从而使得连接台(5)同步往下进行移动，最终带动割刀(12)往下移动，从而对极板完成切割；
所述转杆(6)顶部横条的尺寸不小于方块(18)到连接台(5)之间的距离；
所述支撑块(4)设有凹槽，且该凹槽的尺寸不小于割刀(12)的尺寸。
2.根据权利要求1所述的一种切割打磨一体化的装置，其特征在于：所述推杆(11)的外侧活动连接有固定柱，该固定柱设计为楔形与推杆(11)的尺寸相适配。
3.根据权利要求1所述的一种切割打磨一体化的装置，其特征在于：所述转盘(3)有两个，两个转盘(3)的规格一致，且处于上方的转盘(3)位置可以进行移动。
4.根据权利要求1所述的一种切割打磨一体化的装置，其特征在于：所述承重架(13)有两组，每组有两个，两承重架(13)的规格一致，且承重架(13)之间的距离不小于所切割的基板的长度。
5.根据权利要求1所述的一种切割打磨一体化的装置，其特征在于：所述竖杆(19)的上方活动连接有凸轮，且凸轮的外侧活动连接有转柱，转盘(3)与转柱之间通过皮带活动连接。
6.一种根据权利要求1-5项中任一项所述的一种切割打磨一体化的装置的使用方法，其特征在于：通过将电机的输出轴与转盘(3)活动连接，使得转盘(3)进行旋转，两个转盘(3)同步旋转，从而对基板进行往前传动运输，当运输至基板的顶部与斜杆(10)的底部进行接触时，继续往前运动，会使得斜杆(10)取得底部受到往前的推力，由于限位板(9)的作用，从而使得斜杆(10)的顶端往前进行移动，斜杆(10)远离限位板(9)的一侧活动连接有推杆(11)，当斜杆(10)往前进行移动时，会使得推杆(11)受到向前的推力，从而最终使得推杆(11)往前进行移动，转杆(6)设为倒L型，推杆(11)往前移动的过程中与转杆(6)接触，并施加推力，使得转杆(6)进行旋转，于此同时，转盘(3)与转柱之间通过皮带活动连接，从而转盘(3)旋转同步带动转柱旋转，从而使凸轮旋转，当凸轮的下方活动连接有竖杆(19)，故旋转时会带动竖杆(19)的上方往复运动，竖杆(19)的下方活动连接有方块(18)，故带动方块(18)同步上下运动，当转杆(6)进行旋转至连接台(5)的上方时，方块(18)正好往下移动，从而对转杆(6)进行挤压，带动转杆(6)往下移动，转杆(6)的下方设有连接台(5)，从而使得连接台(5)同步往下进行移动，最终带动割刀(12)往下移动，从而对基板完成切割，且由于基板在运输过程中的与推杆(11)与斜杆(10)接触的长度一致，故保证了同批次切割的基板的长度均一致，且限位块(9)与斜杆(10)的倾斜度均可以自助调到，从而可以在切割之前可以将其调整成对不同长度的基板进行切割；
切割之后的基板会由于重力作用(2)掉入承重架(13)的上方，随着基板数量的增多，会使得拉板(14)带动第二齿轮(17)往下移动，最终与两个第一齿轮(16)相互啮合，从而使得打磨棒(15)可以进行旋转进行打磨，且承重架(13)共有四个，提高承重的同时提高打磨效果，进一步增加切割打磨一体化的工作效率。
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