CN111774353A - 一种用于晶圆检测的除尘装置 - Google Patents
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- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 81
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 54
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 39
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
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- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/14—Measuring as part of the manufacturing process for electrical parameters, e.g. resistance, deep-levels, CV, diffusions by electrical means
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Abstract
本发明公开了一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构，检测箱的正面设置有箱门，且检测箱内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛，第一电机安装在检测箱的内部顶面上，且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接，安装板通过伸缩组件与刷板连接，刷板位于安装板的正下方，且刷板的底部设置有刷毛，检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台，承载台为圆形结构，且承载台的半径与刷板的长度相等，承载台上均匀设置有多组的除尘孔；本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱内的占用的空间。
Description
技术领域
本发明属于晶圆检测技术领域，涉及一种除尘装置，具体为一种用于晶圆检测的除尘装置。
背景技术
半导体集成电路制造过程中，晶圆是最常用的半导体材料，晶圆经过特定工艺生产出来后，需要对晶圆进行检测以确定该产品是否合格。晶圆探针台是一种对成型后的晶圆进行检测，并判定晶圆是否合格的一种工业设备，其广泛应用于半导体行业、集成电路以及封装测试行业。
现有技术中，通常采用吹气的方式对晶圆进行除尘清理，而吹气方式需要实用气罐、气泵等设备，导致使用成本比较高；且输送管道会因为长久使用产生老化现象，其管道内壁会脱皮产生异物，同时输送管道和高压存储罐内可能存在其他异物。这些异物会随着高速气流喷向晶圆的表面，进而对晶圆的质量产生影响，甚至导致晶圆的不合格的问题。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决现有技术中，通常采用吹气的方式对晶圆进行除尘清理，而吹气方式需要实用气罐、气泵等设备，导致使用成本比较高；且输送管道会因为长久使用产生老化现象，其管道内壁会脱皮产生异物，同时输送管道和高压存储罐内可能存在其他异物。这些异物会随着高速气流喷向晶圆的表面，进而对晶圆的质量产生影响，甚至导致晶圆的不合格的问题，而提出一种用于晶圆检测的除尘装置。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构，检测箱的正面设置有箱门，且检测箱内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛，第一电机安装在检测箱的内部顶面上，且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接，安装板通过伸缩组件与刷板连接，刷板位于安装板的正下方，且刷板的底部设置有刷毛，检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台，承载台为圆形结构，且承载台的半径与刷板的长度相等，承载台上均匀设置有多组的除尘孔。
优选的，检测箱的内壁上设置有支撑限位环，安装板的另一端设置有限位滑轮，支撑限位环设置有与限位滑轮相适配的环形限位槽。
优选的，伸缩组件包括第一活动杆、第二活动杆、第一滑块、第二滑块、限位安装槽、液压缸，第一活动杆的两端分别与第一滑块活动连接，第二活动杆的两端分别与第二滑块活动连接，底端的第一滑块安装在刷板的顶面上，顶端的第一滑块位于限位安装槽内，并与安装板滑动连接，底端的第二滑块与刷板的顶面滑动连接，顶端的第二滑块设置在限位安装槽的一侧上。
优选的，安装板上设置有长方形的限位安装槽，液压缸设置在限位安装槽的另一侧上，且液压缸的输出端与第一滑块连接。
优选的，检测箱的正面滑动设置滑动有集尘柜，集尘柜位于承载台的正下方，集尘柜为顶面开口的中空结构，集尘柜的内部顶面上设置有吸水层。
优选的，该用于晶圆检测的除尘装置的使用方法包括以下步骤：
S1、使用时，首先将需要检测的晶圆放置到承载台上，然后控制液压缸伸长运动，使得第一滑块与第二滑块相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆和第二活动杆，使得刷板向下移动，并使得刷板底面上的刷毛与承载台上的晶圆接触，再启动第一电机工作，带动安装板和安装板连接的刷板转动，对承载台上的晶圆进行刷洗，去除承载台表面的灰尘；
S2、刷洗后的杂质灰尘通过承载台上的除尘孔落入到集尘柜内收集，通入抽拉集尘柜可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜内的吸水层，降低检测箱的水分，使得检测箱处于较干燥的环境。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：使用时，首先将需要检测的晶圆放置到承载台上，然后控制液压缸伸长运动，使得第一滑块与第二滑块相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆和第二活动杆，使得刷板向下移动，并使得刷板底面上的刷毛与承载台上的晶圆接触，再启动电机工作，带动安装板和安装板连接的刷板转动，对承载台上的晶圆进行刷洗，去除承载台表面的灰尘，本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱内的占用的空间；
刷洗后的杂质灰尘通过承载台上的除尘孔落入到集尘柜内收集，通入抽拉集尘柜可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜内的吸水层，可以降低检测箱的水分，使得检测箱处于较干燥的环境。
附图说明
为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1为本发明整体立体结构示意图。
图2为本发明中检测箱内部的结构示意图。
图3为本发明中安装板的结构示意图。
图中：1、检测箱；2、集尘柜；3、箱门；4、承载台；5、吸水层；6、支撑限位环；7、第一电机；8、转轴；9、安装板；10、限位滑轮；11、第一活动杆；12、第二活动杆；13、刷板；14、刷毛；15、第一滑块；16、第二滑块；17、限位安装槽；18、液压缸。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3所示，一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱1、集尘柜2、承载台4和除尘机构，检测箱1的正面设置有箱门3，且检测箱1内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机7、转轴8、安装板9、限位滑轮10、刷板13、刷毛14，第一电机7安装在检测箱1的内部顶面上，且第一电机7的输出端通过转轴与安装板9的一端连接，安装板9通过伸缩组件与刷板13连接，刷板13位于安装板9的正下方，且刷板13的底部设置有刷毛14，检测箱1内的下方设置有用于晶圆检测的承载台4，承载台4为圆形结构，且承载台4的半径与刷板13的长度相等，承载台4上均匀设置有多组的除尘孔。
检测箱1的内壁上设置有支撑限位环6，安装板9的另一端设置有限位滑轮10，支撑限位环6设置有与限位滑轮10相适配的环形限位槽。
伸缩组件包括第一活动杆11、第二活动杆12、第一滑块15、第二滑块16、限位安装槽17、液压缸18，第一活动杆11的两端分别与第一滑块15活动连接，第二活动杆12的两端分别与第二滑块16活动连接，底端的第一滑块15安装在刷板13的顶面上，顶端的第一滑块15位于限位安装槽17内，并与安装板9滑动连接，底端的第二滑块16与刷板13的顶面滑动连接，顶端的第二滑块16设置在限位安装槽17的一侧上，控制液压缸18伸长运动，使得第一滑块15与第二滑块16相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆11和第二活动杆12，使得刷板13向下移动，并使得刷板13底面上的刷毛14与承载台4上的晶圆接触，再启动第一电机7工作，带动安装板9和安装板9连接的刷板13转动，对承载台4上的晶圆进行刷洗，去除承载台4表面的灰尘，本发明以刷板13为半径可以对承载台4表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板13进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱1内的占用的空间。
安装板9上设置有长方形的限位安装槽17，液压缸18设置在限位安装槽17的另一侧上，且液压缸18的输出端与第一滑块15连接。
检测箱1的正面滑动设置滑动有集尘柜2，集尘柜2位于承载台4的正下方，集尘柜2为顶面开口的中空结构，集尘柜2的内部顶面上设置有吸水层5，刷洗后的杂质灰尘通过承载台4上的除尘孔落入到集尘柜2内收集，通入抽拉集尘柜2可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜2内的吸水层，可以降低检测箱1的水分，使得检测箱1处于较干燥的环境。
该用于晶圆检测的除尘装置的使用方法包括以下步骤：
S1、使用时，首先将需要检测的晶圆放置到承载台4上，然后控制液压缸18伸长运动，使得第一滑块15与第二滑块16相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆11和第二活动杆12，使得刷板13向下移动，并使得刷板13底面上的刷毛14与承载台4上的晶圆接触，再启动第一电机7工作，带动安装板9和安装板9连接的刷板13转动，对承载台4上的晶圆进行刷洗，去除承载台4表面的灰尘；
S2、刷洗后的杂质灰尘通过承载台4上的除尘孔落入到集尘柜2内收集，通入抽拉集尘柜2可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜2内的吸水层，降低检测箱1的水分，使得检测箱1处于较干燥的环境。
本发明的工作原理：使用时，首先将需要检测的晶圆放置到承载台4上，然后控制液压缸18伸长运动，使得第一滑块15与第二滑块16相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆11和第二活动杆12，使得刷板13向下移动，并使得刷板13底面上的刷毛14与承载台4上的晶圆接触，再启动第一电机7工作，带动安装板9和安装板9连接的刷板13转动，对承载台4上的晶圆进行刷洗，去除承载台4表面的灰尘，本发明以刷板13为半径可以对承载台4表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板13进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱1内的占用的空间；
刷洗后的杂质灰尘通过承载台4上的除尘孔落入到集尘柜2内收集，通入抽拉集尘柜2可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜2内的吸水层，可以降低检测箱1的水分，使得检测箱1处于较干燥的环境。
以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (6)
1.一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于：包括检测箱(1)、集尘柜(2)、承载台(4)和除尘机构，检测箱(1)的正面设置有箱门(3)，且检测箱(1)内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机(7)、转轴(8)、安装板(9)、限位滑轮(10)、刷板(13)、刷毛(14)，第一电机(7)安装在检测箱(1)的内部顶面上，且第一电机(7)的输出端通过转轴与安装板(9)的一端连接，安装板(9)通过伸缩组件与刷板(13)连接，刷板(13)位于安装板(9)的正下方，且刷板(13)的底部设置有刷毛(14)，检测箱(1)内的下方设置有用于晶圆检测的承载台(4)，承载台(4)为圆形结构，且承载台(4)的半径与刷板(13)的长度相等，承载台(4)上均匀设置有多组的除尘孔。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于，检测箱(1)的内壁上设置有支撑限位环(6)，安装板(9)的另一端设置有限位滑轮(10)，支撑限位环(6)设置有与限位滑轮(10)相适配的环形限位槽。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于，伸缩组件包括第一活动杆(11)、第二活动杆(12)、第一滑块(15)、第二滑块(16)、限位安装槽(17)、液压缸(18)，第一活动杆(11)的两端分别与第一滑块(15)活动连接，第二活动杆(12)的两端分别与第二滑块(16)活动连接，底端的第一滑块(15)安装在刷板(13)的顶面上，顶端的第一滑块(15)位于限位安装槽(17)内，并与安装板(9)滑动连接，底端的第二滑块(16)与刷板(13)的顶面滑动连接，顶端的第二滑块(16)设置在限位安装槽(17)的一侧上。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于，安装板(9)上设置有长方形的限位安装槽(17)，液压缸(18)设置在限位安装槽(17)的另一侧上，且液压缸(18)的输出端与第一滑块(15)连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于，检测箱(1)的正面滑动设置滑动有集尘柜(2)，集尘柜(2)位于承载台(4)的正下方，集尘柜(2)为顶面开口的中空结构，集尘柜(2)的内部顶面上设置有吸水层(5)。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的除尘装置，其特征在于，该用于晶圆检测的除尘装置的使用方法包括以下步骤：
S1、使用时，首先将需要检测的晶圆放置到承载台(4)上，然后控制液压缸(18)伸长运动，使得第一滑块(15)与第二滑块(16)相互靠近，相互靠近的两组滑块通过第一活动杆(11)和第二活动杆(12)，使得刷板(13)向下移动，并使得刷板(13)底面上的刷毛(14)与承载台(4)上的晶圆接触，再启动第一电机(7)工作，带动安装板(9)和安装板(9)连接的刷板(13)转动，对承载台(4)上的晶圆进行刷洗，去除承载台(4)表面的灰尘；
S2、刷洗后的杂质灰尘通过承载台(4)上的除尘孔落入到集尘柜(2)内收集，通入抽拉集尘柜(2)可以对收集的灰尘进行处理，同时，集尘柜(2)内的吸水层，降低检测箱(1)的水分，使得检测箱(1)处于较干燥的环境。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010662595.2A CN111774353B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种用于晶圆检测的除尘装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010662595.2A CN111774353B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种用于晶圆检测的除尘装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111774353A true CN111774353A (zh) | 2020-10-16 |
| CN111774353B CN111774353B (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=72768023
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010662595.2A Active CN111774353B (zh) | 2020-07-10 | 2020-07-10 | 一种用于晶圆检测的除尘装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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