CN111745880B - 压力模塑设备及其操作方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种压力模塑设备及其操作方法，所述压力模塑设备包括：第一模架；与所述第一模架相对的第二模架；压力致动装置，包括至少两个致动单元，用于使第二模架朝向第一模架移动，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于第一倒置楔形构件移动；公开了一种压力模塑设备，还包括：第二致动装置，配置为使所述第二模架朝向第一模架移动到预定位置，所述预定位置为在压力致动装置之上；公开了一种压力模塑设备的操作方法，包括经由压力致动装置，将第二模架向第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力。

Description

压力模塑设备及其操作方法
技术领域
根据一些实施例，本公开总体上涉及压力模塑设备(或称塑封设备、压力塑封设备或者压缩模塑设备)。具体的，根据一些实施例，本公开涉及半导体封装工艺中的模塑过程(或称塑封过程molding)所涉及的压力塑封设备。进一步具体的，根据一些实施例，涉及面板级半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备。根据一些实施例，本公开总体上还涉及压力模塑设备的操作方法。具体的，根据一些实施例，涉及半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备的操作方法。进一步具体的，根据一些实施例，涉及用于面板级半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备的操作方法。
背景技术
在面板级封装过程中，将电子元件，例如裸片，硅片，被动元件和金属元件等装贴到大型的载板上，然后经过模塑(molding)成型工艺步骤，在载板上形成包封电子元件的模塑面板(molded panel)。接着，将包封电子元件的模塑面板从大型的载板上分离，并从塑封面板中暴露出电子元件的活性面，接着将电路镀覆在电子元件的活性面上。面板级封装具有产率高，价格低，适合大规模生产的优势。在面板级封装过程中，需要一种用于面板级模塑成型的有效和可靠的压力模塑设备。
发明内容
本公开涉及一种压力模塑设备，包括：第一模架；与所述第一模架相对的第二模架；压力致动装置，包括至少两个致动单元，用于使第二模架朝向第一模架移动，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于第一倒置楔形构件移动。还涉及一种压力模塑设备，包括：第一模架；与所述第一模架相对的第二模架；压力致动装置，用于使第二模架朝向第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力，所述压力致动装置包括致动单元，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于所述第一倒置楔形构件移动；以及第二致动装置，配置为使所述第二模架朝向第一模架移动到预定位置，所述预定位置为在压力致动装置之上。
本公开涉及一种压力模塑设备的操作方法，包括经由压力致动装置，将第二模架向第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力，其中所述第二模架与所述第一模架相对，其中所述压力致动装置包括致动单元，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于所述第一倒置楔形构件移动。
附图说明
在附图中，相同的附图标记通常指代相同的部分。附图不一定按比例绘制，而是通常将重点放在说明本公开的原理上。参考以下附图描述各种实施例：
图1A和图1B示出了根据一些实施例的压力模塑设备的示意图。
图2A示出了根据一些实施例的压力模塑设备的示意性俯视图。
图2B示出了根据一些实施例的图2A的压力模塑设备的示意性侧视图。
图3A至图3H示出了根据一些实施例的使用图2B的压力模塑设备进行压力模塑的方法。
具体实施方式
在以下的实施例中，对设备的描述对于相应的方法类似有效，反之亦然。此外，将理解的是，以下描述的实施例可以被组合，例如，一个实施例的一部分可以与另一实施例的一部分组合。
应该理解，术语“在...上”，“在...上方”，“顶部”，“底部”，“向下”，“向上”，“侧”，“旁”，“左”，“右”，“前”，“后”，“上”，“下”等在以下描述中使用时，是为了方便描述并帮助理解相对位置或方向，而不是要限制任何设备的方向或者结构，或任何设备或结构的任何部分。另外，除非上下文另外明确指出，否则单数术语“一个”，“一种”和“该”包括复数形式。类似地，除非上下文另外明确指出，否则单词“或”旨在包括“和”。
在面板级封装过程中需要形成大型模塑面板，由于成型面积较大，需要模压机提供很高的模塑压力，并且，由于成型面积大，需要高度的平行度，因为即使在模塑过程中模塑设备的上下加热板彼此稍微不平行，模塑面板的厚度不均匀也会非常显著，而模塑面板的厚度不均匀会影响随后的布线过程，这也是影响面板放大过程的重要问题。因此，需要一种用于面板级成型的更有效和可靠的压力模塑设备，以解决上述问题。
传统的压力模塑设备通常分为肘压式成型机(toggle press type moldingmachine)和直接驱动式成型机(direct drive press type molding machine)。通常，在肘压式成型机中，仅在行程末端(at the end of the stroke)和下止点(at the bottomdead center,BDC)产生额定力(rated force)。在这种情况下，使用肘压式机构可以以较小的负担来实现肘压式机构的高工作压力。但是，肘压式机构不能提供线性运动(或距离与时间之间的线性关系)。因此，在成型过程中，操作者难以精确地控制模板的移动距离和输出压力。因此，肘压式成型机不适用于面板级半导体封装工艺的模塑过程。
对于直接驱动式成型机，顶模板或底模板由致动器直接驱动，以在顶模板和底模板之间进行模塑成型过程。尽管这种方法可以实现线性运动(或距离与时间之间的线性关系)，但是位置控制的精度通常不足以成型大型模塑面板。另外，在面板级封装工艺中，由于需要成型的面板面积较大，所使用的成型机的顶模板和底模板的面积相应较大，在成型过程中，确保大面积的均匀压力以及确保均匀的成型厚度也是困难的。即使成型机的顶模板和底模板在模塑过程中彼此之间只是稍微的不平行，但由于成型面积很大，模塑树脂层在整个面板上的不同位置处的厚度数值变化范围也可能很大。而模塑形成的面板的厚度不均匀会影响后续的布线工艺，这是面板级封装工艺面板尺寸放大的主要障碍。在模塑过程中，难以将顶模板的底表面和底模板的顶表面的平行程度控制在令人满意的状态。同时，在大面积的模塑面板成型过程中，由于成型面积较大，因此也需要很大的压力来实现面板成型。然而，实现大的压力就要求具有更高的机械标准，这是常规成型机无法轻易实现的，直接驱动式成型机很难在平行的模板之间达到所需的高压。
因此，在大型面板级半导体封装工艺中，在模塑面板的成型过程中，使用传统的压力模塑设备来实现压力模塑设备的平行的模塑模板之间的高压是困难且具有挑战性的，而这种高压是面板级半导体封装工艺的模塑面板形成的必要条件。另外，面板级封装工艺中面板成型过程需要对成型的面板的厚度和平行度进行精确的控制。故而相应的，需要面板级封装过程中在面板成型期间精确控制压力模塑设备的顶模板和底模板的高度和平行度，而传统的压力模塑设备也难以满足。
根据一些实施例，本公开总体上涉及压力模塑设备以及压力模塑设备的操作方法。具体的，根据一些实施例，本公开涉及半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力塑封设备以及涉及半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备的操作方法。进一步具体的，根据一些实施例，涉及面板级半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备以及涉及用于面板级半导体封装工艺中的模塑过程所涉及的压力模塑设备的操作方法。根据一些实施例，在面板级模塑过程中，将电子元件，例如裸片，硅片，被动元件和金属元件等装贴到大型的载板上，将模塑材料或化合物覆盖于载板上以覆盖多个电子元件。接着施加压力和热量以使模塑材料或化合物固化，从而将多个电子元件塑封在大型模塑面板中。
根据一些实施例，压力模塑设备被配置为采用楔形驱动构件对模架进行施压，可以使驱动机构的输出力经过楔形驱动装置按照相应倍数放大，从而可对模架施加强大的压力，根据一些实施例，压力模塑设备被配置为采用楔形驱动构件对模架进行移动，驱动机构输出的单位时间位移经过楔形驱动装置按照相应倍数减小，从而使模架在单位时间内移动位移小并且模架的移动位移可以被精确控制，根据一些实施例，选取合适的楔块(楔形构件) 的角度，可以控制放大压力的比例和单位时间移动位移缩小比例，根据一些实施例，采用第二致动装置，实现模架间的迅速开合，根据一些实施例，采取多个楔形驱动构件驱动模架，可以使模塑压力成倍增大，根据一些实施例，采取多个楔形驱动构件对称分布的设置，可以使模架严格按照平行的方式运动，以生产具有均匀厚度的模塑面板。根据一些实施例，采取多个楔形驱动构件相互独立控制驱动模架的方式，可以使模架在模塑区域的不同位置相应调整不同区域的移动量，以抵消载板厚度的不均匀，根据一些实施例，采用两个第二致动装置并成对称布置，可以使模架稳定开合。根据一些实施例，压力模塑设备可被配置为加工具有均匀厚度的模塑面板,根据一些实施例，压力模塑设备可均一地移动模架的模塑区域的不同位置，以产生具有均匀厚度的模塑面板。根据一些实施例，压力模塑设备可根据载板厚度的不均匀，在模架的模塑区域的不同位置相应调整不同区域的移动量，以抵消载板厚度的不均匀，从而模塑出具有均匀厚度的模塑面板。根据一些实施例，压力模塑设备可被构造成允许顶部或底部模架的精细的微小运动，以用于顶部或底部模架的精细调整或调平，以获得模塑面板的期望的厚度或厚度轮廓。根据一些实施例，压力模塑设备可被配置为允许调节顶部或底部模架，以确保模塑期间的平行度。根据一些实施例，压力模塑设备可以被配置为在大的成型区域上施加足够大的压力。根据一些实施例，压力模塑设备可被构造成允许在整个模塑区域上均匀地分布压力。根据一些实施例，压力模塑设备可被构造成允许在大的成型区域的不同位置处施加的压力变化。
根据一些实施例，图1A和图1B示出了用于面板模塑过程的压力模塑设备100的示意图。根据一些实施例，图1A示出了在被致动以进行压力模塑成型之前的处于初始状态的压力模塑设备100。图1B示出了在被致动的状态下执行压力模塑成型时的压力模塑设备100。根据一些实施例，压力模塑设备100可以包括基座110。根据一些实施例，基座 110可以是压力模塑设备100的基底结构或基部支撑。根据一些实施例，压力模塑设备 100可包括与基座110间隔开的，并固定在基座110上方的第一模架120(或顶部模架)。根据一些实施例，第一模架120可以是第一模具部分的主体。根据一些实施例，第一模架120可以经由一个或多个支撑柱112固定地连接到基座110。因此，一个或多个支撑柱112 可以在基座110和第一模架120之间延伸以与基座110间隔开的位置关系来固定第一模架120。因此，第一模架120可以由从基座110竖立延伸的一个或多个支撑柱112支撑，使得第一模架120可以保持在基座110上方。
根据一些实施例，压力模塑设备100可包括第二模架130(或底部模架)，其布置在基座110和第一模架120之间。根据一些实施例，第二模架130可以是第二模具部分的主体。根据一些实施例，第二模架130可以直接在基座110和第一模架120之间。因此，第二模架130可以位于基座110上方和第一模架120下方的空间内。根据一些实施例，第二模架130的模塑表面可以为朝向第一模架120，并且第二模架130的相对表面可以为朝向基座110。
根据一些实施例，第二模架130可以沿着在基座110和第一模架120之间垂直延伸的运动轴132相对于基座110和第一模架120移动。在实施例中，在第一模架120相对于基座110固定的情况下，第二模架130可以在基座110和第一模架120之间移动，由此第二模架130可以沿着远离基座110的方向并且沿着靠近第一模架120的方向移动，或者第二模架130可以沿着远离第一模架120的方向并且沿着靠近基座110的方向移动。因此，第二模具框架130可以在基座110和第一模具之间以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第二模架130的运动轴132可以平行于在基座110和第一模架120之间延伸的一个或多个支撑柱112。在各种实施例中，第二模架130可以与在基座110和第一模架120之间延伸的一个或多个支撑柱112滑动接合。根据一些实施例，第二模架130可以包括一个或多个通孔(或通道)分别可滑动地与一个或多个支撑柱112接合，使得一个或多个支撑柱 112可以插入一个或多个通孔(或通道)以使第二模架130沿着一个或多个支撑柱112滑动。因此，一个或多个支撑柱112可以引导或限制第二模架130在基座110和第一模架 120之间沿着运动轴132滑动。
根据一些实施例，压力模塑设备100可以包括压力致动装置140，该压力致动装置140设置在第二模架130与基座110之间，以使第二模架130相对于基座110沿着运动轴 132朝向第一模架120的方向移动，以使第一模架120和第二模架130协同作用以此施加压力。因此，可以通过压力致动装置140将第二模架130压靠在第一模架120上，以使第二模架130和第一模架120之间产生压力。根据一些实施例，压力致动装置140可被安装到基座110，并且可被配置成接合(engage)第二模架130，以使第二模架130相对于基座110沿运动轴132移动。
根据一些实施例，压力致动装置140可包括至少两个致动单元142a，142b，其配置成分别独立地致动第二模架130的至少两个不同部位134a，134b。根据一些实施例，压力致动装置140可包括两个或三个或四个或五个或六个或更多个致动单元。根据一些实施例，至少两个致动单元142a，142b可以在基座110上横向地间隔分布。根据一些实施例，每个致动单元142a，142b可以被独立地控制和操作。因此，每个致动单元142a，142b可被单独控制和操作，而不受另一致动单元的链接或影响或控制或干扰。根据一些实施例，利用至少两个致动单元142a，142b独立地致动以移动第二模架130，并可以实现第二模架 130的倾斜或校平或平衡，从而调节第一模架120和第二模架130之间的平行度，以控制在第一模架120和第二模架130之间模塑的面板的厚度或厚度轮廓。
根据一些实施例，每个致动单元142a，142b可包括第一倒置楔形构件150a，150b，该第一倒置楔形构件150a，150b可相对于基座110沿着平行于第二模架130的运动轴132 的致动轴156a，156b移动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b可以沿着致动轴156a，156b以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a， 150b可以定向成具有朝向第二模架130的基部152a，152b，其中第一倒置楔形构件150a， 150b的基部152a，152b可以垂直于运动轴132以及第一倒置楔形构件150a，150b的高度可平行于运动轴132。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b可包括任何合适的楔形。例如，如图1A和图1B所示，第一倒置楔形构件150a，159b可包括直角三角柱体 (right-angled-triangular-prism)的楔形构件，其定向成使基部152a，152b的表面朝向第二模架130，并且垂直表面154a，154b平行于运动轴132。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b可以沿着致动轴156a，156b移动，以接合(engage)并推动(urge)第二模架130的相应部分134a，134b，以移动第二模架。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b的基部152a，152b可以接合并推动第二模架130的相应部分134a，134b。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a可以被限制为仅沿致动轴156a，156b移动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b可以关联至(coupled to)平行于致动轴 156a，156b的导杆或导轨，以沿着致动轴156a，156b移动。根据一些实施例，每个致动单元142a，142b的致动轴156a，156b可以与第二模架130的相应部分134a，134b相交。根据一些实施例，至少两个致动单元的第一致动单元142a的第一倒置楔形构件150a与至少两个致动单元的第二致动单元142b的第一倒置楔形构件150b可沿着各自的致动轴156a， 156b移动相同的距离，从而可以实现第二模架130的水平(也可称为平行或均匀)运动。根据一些实施例，至少两个致动单元的第一致动单元142a的第一倒置楔形构件150a与至少两个致动单元的第二致动单元142b的第一倒置楔形构件150b可沿着各自的致动轴156a， 156b移动不同的距离，从而矫正抵消载板厚度的不均匀，模塑出具有均匀厚度的模塑面板。根据一些实施例，至少两个致动单元中的第一致动单元142a的第一倒置楔形构件150a与至少两个致动单元的第二致动单元142b的第一倒置楔形构件150b可以被预设为处于不同初始高度，使得第二模架130的初始取向可以倾斜，然后，至少两个致动单元的第一致动单元142a的第一倒置楔形构件150a与至少两个致动单元的第二致动单元142b的第一倒置楔形构件150b可以沿着各自的致动轴156a，156b移动相同的距离，第二模架130可以沿倾斜方向平行均匀地移动，从而矫正抵消载板厚度的不均匀，模塑出具有均匀厚度的模塑面板。
根据一些实施例，每个致动单元142a，142b可包括第二楔形构件160a，160b，该第二楔形构件160a，160b可相对于第一倒置楔形构件150a，150b沿着传动轴166a，166b运动，该传动轴166a，166b垂直于第二模架130的运动轴132。根据一些实施例，第二楔形构件160a，160b可以沿传动轴166a，166b以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第二楔形构件160a，160b可以定向成具有面向基座110的基部162a，162b，其中第二楔形构件160a，160b的基部162a，162b可以垂直于运动轴132以及第二楔形构件160a， 160b的高度。根据一些实施例，第二楔形构件160a，160b可包括任何合适的楔形。例如，如图1A和图1B所示，第二楔形构件160a，160b可以包括直角三角柱体的楔形构件，其定向成使其基部162a，162b的表面直接面向基座110并且其垂直表面164a，164b平行于运动轴132。根据一些实施例，第二楔形构件160a，160b可以被限制为仅沿着传动轴 166a，166b移动。根据一些实施例，第二楔形构件160a，160b可以关联至(coupled to) 平行于传动轴166a，166b的导杆或导轨，以沿着传动轴166a，166b运动。
根据一些实施例，每个致动单元142a，142b可包括连接至第二楔形构件160a，160b以使第二楔形构件160a，160b沿着传动轴166a，166b运动的驱动机构144a，144b。根据一些实施例，驱动机构144a，144b可包括线性致动器，例如但不限于将电动机的旋转运动转换为线性运动的机电线性致动器，液压致动器，气动致动器，线性马达或伸缩线性马达。根据一些实施例，驱动机构144a，144b可以使第二楔形构件160a，160b沿着传动轴 166a，166b线性地移动。根据一些实施例，驱动机构144a，144b可以基于驱动控制信号来移动第二楔形构件160a，160b。根据一些实施例，至少两个致动单元142a，142b的驱动机构144a，144b可以被控制以驱动第二楔形构件160a，160b移动相同的距离。根据一些实施例，至少两个致动单元142a，142b的驱动机构144a，144b可以接收相同的驱动控制信号。根据一些实施例，至少两个致动单元142a，142b的驱动机构144a，144b可以被独立地控制以驱动第二楔形构件160a，160b分别移动不同的距离。根据一些实施例，至少两个致动单元142a，142b的驱动机构144a，144b可以分别独立接收彼此不同的单独的驱动控制信号。
根据一些实施例，在每个致动单元142a，142b中，第一倒置楔形构件150a，150b的倾斜表面158a，158b和第二楔形构件160a，160b的倾斜表面168a，168b以可滑动地接合的方式彼此移动，以将第二楔形构件160a，160b沿着传动轴166a，166b的运动转换成第一倒置楔形构件150a，150b沿着致动轴156a，156b的运动，从而使第二模架130沿着运动轴132运动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b的倾斜表面158a，158b 与基部152a，152b之间形成的角度可以与第二楔形构件160a，160b的倾斜表面168a， 168b与基部162a，162b之间形成的角度相同。根据一些实施例，当第一倒置楔形构件 150a，150b的倾斜表面158a，158b和第二楔形构件160a，160b的倾斜表面168a，168b 彼此滑动接触时，第一倒置楔形构件150a，150b的基部152a，152b和第二楔形构件160a， 160b的基部162a，162b可以彼此平行。此外，第一倒置楔形构件150a，150b的基部152a， 152b和第一倒置楔形构件150a，150b的倾斜表面158a，158b汇合形成的第一倒置楔形构件150a，150b的细端159a，159b，其方向与第二楔形构件160a，160b的基部162a，162b 和第二楔形构件160a，160b的倾斜表面168a，168b汇合形成的第二楔形构件160a，160b 的细端169a，169b的方向相反。根据一些实施例，当第二楔形构件160a，160b沿着传动轴166a，166b移动时，第二楔形构件160a，160b的与传动轴166a成一定角度的倾斜表面 168a，168b可相对于第一倒置楔形构件150a，150b的与致动轴156a，156b成一角度的倾斜表面158a，158b相对滑动，以将第二楔形构件160a，160b沿传动轴166a，166b的线性运动转换为第一倒置楔形构件150a，150b沿致动轴156a，156b的线性运动。
根据一些实施例，压力致动装置140可用于使第二模架130朝向第一模架120移动，以使第一模架120和第二模架130协作地施加压力。根据一些实施例，通过控制压力致动装置140的至少两个致动单元142a，142b的驱动机构144a，144b以分别移动至少两个致动单元142a，142b的第二楔形构件160a，160b，至少两个致动单元142a，142b的第二楔形构件160a，160b的运动可以被转换成至少两个致动单元142a，142b的第一倒置楔形构件150a，150b的运动，以接合和推动第二模架130向第一模架120移动。相应地，压力致动装置140可以将第二模架130向第一模架120的运动转换为用于压缩置于第二模架和第一模架120之间的模塑材料的压力。
根据一些实施例，第一模架120可以包括在第一模架120下方的第一加热装置。根据一些实施例，第二模架130可以包括在第二模架130上表面上的第二加热装置。根据一些实施例，第一加热装置可以设置在第一模架120上并朝向第二模架130。类似地，第二加热装置可以设置在第二模架130上并朝向第一模架。根据一些实施例，第一加热装置和第二加热装置中的每个可包括但不限于加热板，加热膜或加热丝。根据一些实施例，在第一加热装置和第二加热装置分别设置在第一模架120和第二模架130上的情况下，压力模塑设备100可以成型模塑材料。根据一些实施例，可以基于加热控制信号来控制第一加热装置和第二加热装置中的每个。
根据一些实施例，压力致动装置140的每个致动单元142a，142b可包括布置在驱动机构144a,144b和第二模架130之间的力传感器146a，146b。力传感器146a，146b可设置在第二模架130与第一倒置楔形构件150a，150b之间。因此，力传感器146a，146b可以被配置为测量由第一倒置楔形构件150a，150b直接施加到第二模架130的力或压力。根据一些实施例，力传感器146a，146b可以是布置在驱动机构144a,144b和第二楔形构件160a，160b之间。因此，力传感器146a，146b可被配置为测量由驱动机构144a,144b 直接施加到第二楔形构件160a，160b的力或压力，以作为致动单元142a，142b施加到第二模架130的力或压力的量度。根据一些实施例，力传感器146a，146b可以被配置为提供指示检测到的力或压力的大小的力检测信号。根据一些实施例，力传感器146a，146b 可包括但不限于测力传感器(loadcell)，应变仪(strain gauge)或压电传感器(piezoelectric sensor)。
根据一些实施例，压力致动装置140的每个致动单元142a，142b可包括位置传感器148a，148b，该位置传感器148a，148b设置于第一倒置楔形构件150a，150b或基座110 用以确定第一倒置楔形构件150a，150b沿致动轴156a，156b相对于基座110的的位移。根据一些实施例，当位置传感器148a，148b设置于第一倒置楔形构件150a，150b时，位置传感器148a，148b可以测量从位置传感器148a，148b到基座110的距离，第一倒置楔形构件150a，150b与位置传感器148a，148b一起移动以确定第一倒置楔形构件150a， 150b的位移。根据一些实施例，当位置传感器148a，148b固定到基座110时，位置传感器148a，148b可以测量从位置传感器148a，148b到参考位置(例如，突起或参考结构) 的距离，第一倒置楔形构件150a，150b与参考位置一起移动以确定第一倒置楔形构件 150a，150b的位移。根据一些实施例，位置传感器148a，148b可被配置为提供位置检测信号，该位置检测信号指示第一倒置楔形构件150a，150b与基座110之间的距离或第一倒置楔形构件150a，150b的位移。根据一些实施例，位置传感器148a，148b可以包括但不限于位置编码器，位移传感器，接近传感器，激光传感器，光传感器或超声传感器。
根据一些实施例，压力致动装置140的至少两个致动单元142a，142b可以被配置成相对于彼此成镜像对称，使得至少两个致动单元142a，142b的第二楔形构件160a，160b 的传动轴166a，166b可以是同轴的。例如，如图1A和图1B所示。根据一些实施例，至少两个致动单元的第一致动单元142a的第一倒置楔形构件150a的细端159a和至少两个致动单元的第二致动单元142b的第一倒置楔形构件150b的细端159b可以彼此定向地远离 (directedaway)，从而彼此成镜像对称。此外，至少两个致动单元的第一致动单元142a 的第二楔形构件160a的细端169a和至少两个致动单元的第二致动单元142b的第二楔形构件160b的细端169b可以彼此定向地靠近(directed towards)，从而彼此成镜像对称。根据一些实施例，第一倒置楔形构件150a，150b和第二楔形构件160a，160b的取向可以颠倒。根据一些实施例，以镜像对称的方式布置至少两个致动单元142a，142b可以提供用于以最佳配置致动第二模架130的至少两个相对部分134a，134b以相对于第一模架120 倾斜或调平或平衡。
根据一些实施例，图2A示出了用于面板级模塑成型的压力模塑设备200的示意性俯视图。根据一些实施例，图2B示出了用于面板级模塑成型的压力模塑设备200的示意性侧视图。根据一些实施例，类似于图1A和图1B的压力模塑设备100，压力模塑设备200 可包括基座210。根据一些实施例，基座210可以是用于压力模塑设备200的基底结构或基部支撑。根据一些实施例，压力模塑设备200可以类似于图1A和图1B的压力模塑设备100，压力模塑设备100可包括与基座210间隔开的，并固定在基座210上方的第一模架220(或顶部模架)。根据一些实施例，第一模架220可以是第一模具部分的主体。根据一些实施例，第一模架220可以经由一个或多个支撑柱212固定地连接到基座210。因此，一个或多个支撑柱212可以在基座210和第一模架220之间延伸以与基座210间隔开的位置关系来固定第一模架220。因此，第一模架220可以由从基座210竖立延伸的一个或多个支撑柱212支撑，使得第一模架220可以保持在基座210上方。
根据一些实施例，类似于图1A和图1B的压塑机100，压力模塑设备200可包括第二模架230(或底部模架)，其布置在基座210和第一模架220之间。根据一些实施例，第二模架230可以是第二模具部分的主体。根据一些实施例，第二模架230可以直接在基座 210和第一模架220之间。因此，第二模架230可以位于基座210上方和第一模架220下方的空间内。根据一些实施例，第二模架230的模塑表面可以为朝向第一模架220，并且第二模架130的相对表面可以为朝向基座210。
根据一些实施例，第二模架230可以沿着在基座210和第一模架220之间垂直延伸的运动轴232相对于基座210和第一模架220移动。在实施例中，在第一模架220相对于基座210固定的情况下，第二模架230可以在基座210和第一模架220之间移动，由此第二模架230可以沿着远离基座210的方向并且沿着靠近第一模架220的方向移动，或者第二模架230可以沿着远离第一模架220的方向并且沿着靠近基座210的方向移动。因此，第二模具框架230可以在基座210和第一模具之间以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第二模架230的运动轴232可以平行于在基座210和第一模架220之间延伸的一个或多个支撑柱212。在各种实施例中，第二模架230可以与在基座210和第一模架220之间延伸的一个或多个支撑柱212滑动接合。根据一些实施例，第二模架230可以包括一个或多个通孔(或通道)分别可滑动地与一个或多个支撑柱212接合，使得一个或多个支撑柱 212可以插入一个或多个通孔(或通道)以使第二模架230沿着一个或多个支撑柱212滑动。因此，一个或多个支撑柱212可以引导或限制第二模架230在基座210和第一模架 220之间沿着运动轴232滑动。
根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括压力致动装置240，该压力致动装置240设置在第二模架230与基座210之间，以使第二模架230相对于基座210沿着移动轴线232朝向第一模架220的方向移动，以使第一模架220和第二模架230协同作用以此施加压力。因此，可以通过压力致动装置240将第二模架230压靠在第一模架220上，以使第二模架230和第一模架220之间产生压力。根据一些实施例，压力致动装置240可被安装到基座210，并且可被配置成接合(engage)第二模架230，以使第二模架230相对于基座210沿移动轴线232朝向第一模架220移动。
根据一些实施例，类似于图1A和图1B示出的压力模塑设备100，压力致动装置240可以至少包括两个致动单元(例如四个致动单元242a，242b，242c，242d)，其设置成分别独立地致动第二模架230的至少两个不同部位(例如四个不同位置234a，234b，234c， 234d)。根据一些实施例，压力致动装置240可包括两个或三个或四个或五个或六个或更多个致动单元。例如，如图2A所示，根据一些实施例，压力致动装置240可包括四个致动单元242a，242b，242c，242d。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c， 242d可以彼此间隔分布在基座210上。根据一些实施例，可以布置四个致动单元242a， 242b，242c，242d形成矩形或正方形，每个致动单元242a，242b，242c，242d设置在矩形或正方形的一角，以分别独立地致动第二模架230的四个不同部分234a，234b，234c， 234d。根据一些实施例，当存在五个致动单元(未示出)时，可以将五个致动单元布置成形成五边形图案，其中每个致动单元都布置在五边形图案的拐角处，或者可以布置五个致动单元，其中四个致动单元形成矩形或正方形图案的四个角，第五个致动单元设置在矩形或正方形图案的中央。根据一些实施例，当存在六个致动单元(未示出)时，六个致动单元可以以两乘两的配置布置，即成对并排布置，以形成矩形图案，第二对在第一对后方排成一行，第三对在第二对后方排成一行。根据一些实施例，依据致动单元的数量，致动单元可以以合适的图案布置并被配置形成压力致动装置240。
根据一些实施例，每个致动单元242a，242b，242c，242d可以被独立地控制和操作。因此，每个致动单元242a，242b，242c，242d可被单独控制和操作，而不受另一致动单元的链接或影响或控制或干扰。根据一些实施例，如图2A所示，利用四个致动单元242a， 242b，242c，242d独立地致动以使第二模具230在四个不同部分234a，234b，234c， 234d移动，可以实现第二模具230的倾斜或校平或平衡，从而调节第一模架220和第二模架230之间的平行度，以控制在第一模架220和第二模架230之间模塑的面板的厚度或厚度轮廓。
根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括第二致动装置270，该第二致动装置270布置在第二模架230和基座210之间，用于使第二模架230沿着运动轴232移动到预定位置。根据一些实施例，第二致动装置270可以被安装到基座210，并且可以被构造成接合(engage)第二模架230，以沿着运动轴232相对于基座210移动第二模架230至预定位置。根据一些实施例，预定位置可以是，在该位置处，第二模架230被放置为靠近第一模架220，而在它们之间不产生任何压力。随后，压力致动装置240可以被操作以使第二模架230沿着运动轴232从预定位置朝向第一模架220移动，以在第一模架220和第二模架230之间协同地施加压力。故而，第二致动装置270可操作为在装载待模塑的材料之后将第二模架230快速移动到预定位置，以朝向第一模架220闭合第二模架230，并且压力致动装置240可以是执行压力成型的主要驱动装置。根据一些实施例，设置单独分立的用于闭合第一模架220和第二模架230以及用于执行压模的致动装置，可以提高模塑效率以及实现对压模过程的更好和更精细的控制。
根据一些实施例，第二致动装置270可包括设置在基座210的至少一个线性致动器272a，272b。根据一些实施例，至少一个线性致动器272a，272b可包括线性致动臂274，沿运动轴232接合并移动第二模架230。根据一些实施例，至少一个线性致动器272a， 272b可以安装到基座210。根据一些实施例，线性致动臂274可从基座210延伸以接合并移动第二模架230。根据一些实施例，至少一个线性致动器272a，272b可包括但不限于螺杆型线性致动器，轮轴型线性致动器，凸轮型线性致动器或活塞型线性致动器。根据一些实施例，螺杆型线性致动器可以包括滚珠丝杠，滚柱螺杆，丝杠或螺杆千斤顶。螺杆型线性致动器可提供用于移动第二模架230的快速且有效的方式。根据一些实施例，轮轴型线性致动器可包括使电缆，齿条，链条或皮带(例如提升机，绞车，齿条和小齿轮)，链传动或皮带传动装置运动的旋转轮。根据一些实施例，凸轮型线性致动器可包括凸轮和从动件。根据一些实施例，活塞型线性致动器可以是液压操作的或气动操作的。
根据一些实施例，第二致动装置270可包括一个或两个或三个或四个或更多个线性致动器。例如，如图2A所示，根据一些实施例，第二致动装置270可以包括两个线性致动器272a，272b。根据一些实施例，两个线性致动器272a，272b可以彼此间隔开。根据一些实施例，两个线性致动器中的第一线性致动器272a可以设置在由四个致动单元242a， 242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第一侧的外侧。根据一些实施例，两个线性致动器中的第一线性致动器272a可以与由四个致动单元242a，242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第一侧的中部相邻。根据一些实施例，两个线性致动器中的第二线性致动器272b可以设置在由四个致动单元242a，242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第二侧的外侧。根据一些实施例，两个线性致动器中的第二线性致动器272b可以与由四个致动单元242a，242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第二侧的中部相邻。根据一些实施例，由四个致动单元242a，242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第一侧和第二侧可以是矩形或正方形图案的两个相对侧。
根据一些实施例，两个线性致动器272a，272b可操作为以同步方式将第二模架230移动到预定位置(例如，参见图3C)。根据一些实施例，两个线性致动器272a，272b可以由单个驱动机构驱动，因此，两个线性致动器272a，272b可以基于单个致动器控制信号以同步方式操作。根据一些实施例，两个线性致动器272a，272b可以经由两个单独的驱动机构被驱动，因此，两个线性致动器272a，272b可以基于分别发送到两个驱动机构的相同的致动器控制信号以同步方式操作。
根据一些实施例，第二模架230可包括在第二模架230下方的至少两个滑动支撑块(例如四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d)。根据一些实施例，至少两个滑动支撑块(例如四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d)可相对于第二模架230沿滑动轴滑动，滑动轴为垂直于第二模架230的运动轴232(例如，参见图3D)。根据一些实施例，第二模架230可包括在第二模架230下方的滑轨或轨道或滑杆。根据一些实施例，滑轨或轨道或滑杆可垂直于第二模架230的运动轴232。根据一些实施例，至少两个滑动支撑块(例如四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d)可以与滑轨或轨道或滑杆滑动接合，从而可相对于第二模架230滑动。根据一些实施例，当第二模架230沿着运动轴232处于预定位置时，至少两个滑动支撑块236a，236b，236c，236d可以彼此相对滑动，从而位于相应的压力致动装置的致动单元(例如四个压力致动装置242a，242b，242c，242d上方)。
根据一些实施例，对于压力致动装置240中的每个致动单元242a，242b，242c，242d，第二模架230均包括一个滑动支撑块236a，236b，236c，236d。根据一些实施例，当第二模架230沿着运动轴232处于预定位置时，每个滑动支撑块236a，236b，236c，236d 可以在第一位置和第二位置之间滑动。根据一些实施例，第一位置可以在相应的致动单元242a，242b，242c，242d的区域的外部。根据一些实施例，第二位置可以在相应的致动单元242a，242b，242c，242d的正上方。
根据一些实施例，例如如图2A所示，第二模架230可包括四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d，其对应于四个致动单元242a，242b，242c，242d。根据一些实施例，当所有四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d都处于第一位置时，四个滑动支撑块 236a，236b，236c，236d可以悬垂在第二模架230并处于相应的四个致动单元242a， 242b，242c，242d的区域的外部。因此，第二模架230可以不与压力致动装置240的四个致动单元242a，242b，242c，242d接触，并且第二模架230可以由第二致动装置270支撑和移动。第二致动装置270可以使第二模架230移动至更靠近基座210，从而在第二模架230和第一模架之间打开用于装载要模塑的材料的空间。根据一些实施例，当第二模架 230更靠近基座210时，四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d可以悬挂在第二模架 230上并与相应的四个致动单元242a，242b，242c，242d相邻。
根据一些实施例，当第二模架230通过第二致动装置270移动到预定位置时，四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d可分别从第一位置滑动到第二位置(例如，参见图3C 和图3D)。根据一些实施例，当所有四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d都处于第二位置时，四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d可以在对应的四个致动单元242a， 242b，242c，242d正上方。因此，压力致动装置240的四个致动单元242a，242b，242c， 242d可被操作以通过分别接合对应的四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d而将第二模架230接合并朝向第一模架220移动，以使它们之间协作地施加压力。
在图2B中，仅示出了压力致动装置240的四个致动单元242a，242b，242c，242d中的第一对242a，242b。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d中的第二对242c，242d位于四个致动单元242a的第一对242a，242b的正后方，并与四个致动单元242a，242b，242c，242d的第一对242a，242b相同。因此，应当理解，以下关于由四个致动单元242a，242b，242c，242d中的第一对242a，242b的附图标记所指的部件的描述也适用于四个致动单元242a，242b，242c，242d的第二对242c，242d。
根据一些实施例，压力致动装置240的每个致动单元242a，242b，242c，242d可包括第一倒置楔形构件250a，250b，该第一倒置楔形构件250a，250b可相对于基座210沿着平行于第二模架230的运动轴232的致动轴256a，256b移动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b可以沿着致动轴256a，256b以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b可以定向成具有朝向第二模架230的基部252a，252b，其中第一倒置楔形构件250a，250b的基部252a，252b可以垂直于运动轴232以及第一倒置楔形构件250a，250b的高度可平行于运动轴232。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b可包括任何合适的楔形。例如，第一倒置楔形构件250a，250b可包括直角三角柱体(right-angled-triangular-prism)的楔形构件，其定向成使基座252a，252b的表面朝向第二模架230，并且垂直表面254a，254b平行于运动轴232。根据一些实施例，当第二模架230处于预定位置并且滑动支撑块236a，236b，236c，236d处于第二位置时，第一倒置楔形构件250a，250b可以沿致动轴256a，256b移动，以接合(engage)并推动 (urge)第二模架230的相应的滑动支撑块236a，236b，236c，236d，以使第二模架230 (例如，见图3E)朝着第一模架220移动，以在它们之间协同地施加压力。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b的基部252a，252b可以接合并推动第二模架130的相应的滑动支撑块236a，236b，236c，236d。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a， 250b可以被限制为仅沿着致动轴256a，256b移动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件 250a，250b可以关联至(coupled to)平行于致动轴线250a，250b的导杆或导轨，以沿着致动轴256a，256b移动。根据一些实施例，每个致动单元242a，242b，242c，242d的致动轴256a，256b可以与第二模架230的相应的滑动支撑块236a，236b，236c，236d相交。根据一些实施例，至少两个致动单元的第一致动单元242a的第一倒置楔形构件250a与至少两个致动单元的第二致动单元242b的第一倒置楔形构件250b可沿着各自的致动轴256a， 256b移动相同的距离，从而可以实现第二模架230的水平(也可称为平行或均匀)运动。根据一些实施例，至少两个致动单元的第一致动单元242a的第一倒置楔形构件250a与至少两个致动单元的第二致动单元242b的第一倒置楔形构件250b可沿着各自的致动轴256a， 256b移动不同的距离，从而矫正抵消载板厚度的不均匀，模塑出具有均匀厚度的模塑面板。根据一些实施例，至少两个致动单元中的第一致动单元242a的第一倒置楔形构件250a与至少两个致动单元的第二致动单元242b的第一倒置楔形构件250b可以被预设为处于不同初始高度，使得第二模架230的初始取向可以倾斜，然后，至少两个致动单元的第一致动单元242a的第一倒置楔形构件250a与至少两个致动单元的第二致动单元242b的第一倒置楔形构件250b可以沿着各自的致动轴256a，256b移动相同的距离，第二模架230可以沿倾斜方向平行均匀地移动，从而矫正抵消载板厚度的不均匀，模塑出具有均匀厚度的模塑面板。
根据一些实施例，每个致动单元242a,242b,242c,242d可包括第二楔形构件260a，260b，该第二楔形构件260a，260b可相对于第一倒置楔形构件250a，250b沿着传动轴 266a，266b运动，该传动轴266a，266b垂直于第二模架230的运动轴232。根据一些实施例，第二楔形构件260a，260b可以沿传动轴266a，266b以线性方式来回往复运动。根据一些实施例，第二楔形构件260a，260b可以定向成具有面向基座210的基部262a， 262b，其中第二楔形构件260a，260b的基部262a，262b可以垂直于运动轴232以及第二楔形构件260a，260b的高度可以平行于运动轴232。根据一些实施例，第二楔形构件 260a，260b可包括任何合适的楔形。例如，如图2B所示，第二楔形构件260a，260b可以包括直角三角柱体的楔形构件，其定向成使其基部262a，262b的表面直接面向基座210 并且其垂直表面264a，264b平行于运动轴232。根据一些实施例，第二楔形构件260a， 260b可以被限制为仅沿着传动轴266a，266b移动。根据一些实施例，第二楔形构件260a， 260b可以关联至(coupled to)平行于传动轴266a，266b的导杆或导轨，以沿着传动轴 266a，266b运动。
根据一些实施例，每个致动单元242a,242b,242c,242d可包括连接至第二楔形构件 260a，260b以使第二楔形构件260a，260b沿着传动轴266a，266b运动的驱动机构244a，244b。根据一些实施例，驱动机构244a，244b可包括线性致动器，例如但不限于将电动机的旋转运动转换为线性运动的机电线性致动器，液压致动器，气动致动器，线性马达或伸缩线性马达。根据一些实施例，驱动机构244a，244b可以使第二楔形构件260a，260b 沿着传动轴266a，266b线性地移动。根据一些实施例，驱动机构244a，244b可以基于驱动控制信号来移动第二楔形构件260a，260b。根据一些实施例，至少两个致动单元242a, 242b,242c,242d的驱动机构244a，244b可以被独立地控制以驱动第二楔形构件260a， 260b分别移动不同的距离。根据一些实施例，至少两个致动单元242a,242b,242c,242d的驱动机构244a，244b可以分别独立接收彼此不同的单独的驱动控制信号。
根据一些实施例，在每个致动单元242a,242b,242c,242d中，第一倒置楔形构件250a， 250b的倾斜表面258a，258b和第二楔形构件260a，260b的倾斜表面268a，268b以可滑动地接合的方式彼此移动，以将第二楔形构件260a，260b沿着传动轴266a，266b的运动转换成第一倒置楔形构件250a，250b沿着致动轴256a，256b的运动，从而使第二模架 230沿着运动轴232运动。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b的倾斜表面 258a，258b与基部252a，252b之间形成的角度可以与第二楔形构件260a，260b的倾斜表面268a，268b与基部262a，262b之间形成的角度相同。根据一些实施例，当第一倒置楔形构件250a，250b的倾斜表面258a，258b和第二楔形构件260a，260b的倾斜表面268a， 268b彼此滑动接触时，第一倒置楔形构件250a，250b的基部252a，252b和第二楔形构件 260a，260b的基部262a，262b可以彼此平行。此外，第一倒置楔形构件250a，250b的基部252a，252b和第一倒置楔形构件250a，250b的倾斜表面258a，258b汇合形成的第一倒置楔形构件250a，250b的细端259a，259b，其方向与第二楔形构件260a，260b的基部 262a，262b和第二楔形构件260a，260b的倾斜表面268a，268b汇合形成的第二楔形构件 260a，260b的细端269a，269b的方向相反。根据一些实施例，当第二楔形构件260a， 260b沿着传动轴266a，266b移动时，第二楔形构件260a，260b的与传动轴266a成一定角度的倾斜表面268a，268b可相对于第一倒置楔形构件250a，250b的与致动轴256a， 256b成一角度的倾斜表面258a，258b相对滑动，以将第二楔形构件260a，260b沿传动轴 266a，266b的线性运动转换为第一倒置楔形构件250a，250b沿致动轴256a，256b的线性运动。
根据一些实施例，压力致动装置240可用于使第二模架230朝向第一模架220移动，以使第一模架220和第二模架230协作地施加压力。根据一些实施例，通过控制压力致动装置240的至少两个致动单元242a,242b,242c,242d的驱动机构244a，244b以分别移动至少两个致动单元242a,242b,242c,242d的第二楔形构件260a，260b，至少两个致动单元 242a,242b,242c,242d的第二楔形构件260a，260b的运动可以被转换成至少两个致动单元 242a,242b,242c,242d的第一倒置楔形构件250a，250b的运动，以接合和推动第二模架 230向第一模架220移动。相应地，压力致动装置240可以将第二模架230向第一模架 220的运动转换为用于压缩置于第二模架和第一模架220之间的模塑材料的压力。
根据一些实施例，第一模架220可以包括在第一模架220下方的第一加热装置280。根据一些实施例，第二模架230可以包括在第二模架230的上表面上的第二加热装置282。根据一些实施例，第一加热装置可以设置在第一模架220上并朝向第二模架130。类似地，第二加热装置可以设置在第二模架130上并朝向第一模架。根据一些实施例，第一加热装置120和第二加热装置130中的每个可包括但不限于加热板，加热膜或加热丝。根据一些实施例，在第一加热装置280和第二加热装置282分别设置在第一模架120和第二模架 130上的情况下，压力模塑设备100可以成型模塑材料。根据一些实施例，可以基于加热控制信号来控制第一加热装置280和第二加热装置282中的每个。
根据一些实施例，压力致动装置240的每个致动单元242a,242b,242c,242d可包括布置在驱动机构244a,244b和第二模架230之间的力传感器246a，246b。力传感器246a，246b可设置在第二模架230与第一倒置楔形构件250a，250b之间。因此，力传感器246a，246b可以被配置为测量由第一倒置楔形构件250a，250b直接施加到第二模架230的力或压力。根据一些实施例，力传感器246a，246b可以是布置在驱动机构244a,244b和第二楔形构件260a，260b之间。因此，力传感器246a，246b可被配置为测量由驱动机构244a, 244b直接施加到第二楔形构件260a，260b的力或压力，以作为致动单元242a,242b,242c, 242d施加到第二模架230的力或压力的量度。根据一些实施例，力传感器246a，246b可以被配置为提供指示检测到的力或压力的大小的力检测信号。根据一些实施例，力传感器 246a，246b可包括但不限于测力传感器(load cell)，应变仪(strain gauge)或压电传感器(piezoelectric sensor)。
根据一些实施例，压力致动装置240的每个致动单元242a,242b,242c,242d可包括位置传感器248a，248b，该位置传感器248a，248b设置于第一倒置楔形构件250a，250b或基座210用以确定第一倒置楔形构件250a，250b沿致动轴256a，256b相对于基座210的的位移。根据一些实施例，当位置传感器248a，248b设置于第一倒置楔形构件250a， 250b时，位置传感器248a，248b可以测量从位置传感器248a，248b到基座210的距离，第一倒置楔形构件250a，250b与位置传感器248a，248b一起移动以确定第一倒置楔形构件250a，250b的位移。根据一些实施例，当位置传感器248a，248b固定到基座210时，位置传感器248a，248b可以测量从位置传感器248a，248b到参考位置(例如，突起或参考结构)的距离，第一倒置楔形构件250a，250b与参考位置一起移动以确定第一倒置楔形构件250a，250b的位移。根据一些实施例，位置传感器248a，248b可被配置为提供位置检测信号，该位置检测信号指示第一倒置楔形构件250a，250b与基座210之间的距离或第一倒置楔形构件250a，250b的位移。根据一些实施例，位置传感器248a，248b可以包括但不限于位置编码器，位移传感器，接近传感器，激光传感器，光传感器或超声传感器。
根据一些实施例，压力致动装置140的至少两个致动单元242a，242b，242c，242d中的每对可以被配置成相对于彼此成镜像对称，使得至少两个致动单元242a，242b，242c，242d中的每对的第二楔形构件260a，260b的传动轴266a，266b可以是同轴的。相应地，四个致动单元242a，242b，242c，242d(例如，参见图2A)中的第一对的第一致动单元和相邻的第二致动单元242a，242b沿着由四个致动单元242a，242b，242c，242d形成的矩形或正方形图案的第一侧可以被布置为相对于彼此成镜像对称，使得第一致动单元和相邻的第二致动单元242a，242b的第二楔形构件260a，260b的传动轴266a，266b是同轴的。类似地，四个致动单元242a，242b，242c，242d(例如，参见图2A)中的第二对的第三致动单元和相邻的第四致动单元242c，242d沿着由四个致动单元242a，242b，242c， 242d形成的矩形或正方形图案的第二侧可以被布置为相对于彼此成镜像对称，使得第三致动单元和相邻的第四致动单元242c，242d的第二楔形构件的传动轴是同轴的。例如，如图2B所示，根据一些实施例，第一对中第一致动单元242a的第一倒置楔形构件250a的细端259a和第一对中第二致动单元242b的第一倒置楔形构件250b的细端259b可以彼此定向地远离(directed away)，从而彼此成镜像对称。此外，第一对中的第一致动单元 242a的第二楔形构件260a的细端269a和第一对中的第二致动单元242b的第二楔形构件 260b的细端269b可以彼此定向地靠近(directedtowards)，从而彼此成镜像对称。根据一些实施例，第一倒置楔形构件250a，250b和第二楔形构件260a，260b的取向可以颠倒。根据一些实施例，以镜像对称的方式布置四个致动单元242a，242b，242c，242d的每对可以提供用于以最佳配置致动第二模架230的四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d，以相对于第一模架120倾斜或调平或平衡第二模具框架230，以在第一模具框架220和第二模具框架230之间施加压力。
根据一些实施例，压力模塑设备200还可包括膜分配器单元290。膜分配器单元290可包括设置在第一模架220的第一侧的膜供应卷轴292和设置在第一模架220的相对侧的第二侧的膜收取卷轴294。因此，膜供应卷轴292和膜收取卷轴294可以在第一模架220 的相对的两侧上。根据一些实施例，膜296可以横跨于第一模架220的第一加热装置280 上并悬挂在膜供应卷轴292和膜收取卷轴294之间。因此，膜296可以悬挂在第一模架 220下方并且横跨第一模架220的第一加热装置280。根据一些实施例，膜收取卷轴294 可被驱动，从而使得将膜296的用过的部分卷到膜收取卷轴294上，并将新的膜296可以从膜供应卷轴292上展开。根据一些实施例，膜收取卷轴294可以基于卷轴控制信号进行操作。根据一些实施例，膜296可以促进模塑面板与第一模架220的分离。
根据一些实施例，压力模塑设备200还可包括设置在第一模架220下方的吸膜装置284。根据一些实施例，吸膜装置284可操作以将膜296吸附至第一模架220的第一加热装置280。根据一些实施例，吸膜装置284可包括一个或多个真空抽吸口，可操作以将膜 296吸附到第一加热装置280上。根据一些实施例，一个或多个真空抽吸口可以设置在第一模架220的第一加热装置280中。根据一些实施例，吸膜装置284可以被配置为将膜 296固定到第一模架220的第一加热装置280。根据一些实施例，吸膜装置284还可以被配置为使在第一模架220的第一加热装置280上的膜296变平整。根据一些实施例，可以基于真空控制信号来操作吸膜装置284。
根据一些实施例，压力模塑设备200还可包括设置在第二模架230处的载板固定装置 286。根据一些实施例，载板固定装置286可配置成将载板保持或持有在第二模架230的第二加热装置282上。根据一些实施例，载板固定装置286可以被配置为将载板固定在第二模架230上。根据一些实施例，载板固定装置286可以被配置为防止模塑过程中载板的移动。根据一些实施例，载板固定装置286可以防止载板被提升以接触第一模架220。根据一些实施例，载板固定装置286可以使得能够通过第二模架230的第二加热装置282均匀地加热载板。根据一些实施例，载板固定装置286可包括真空抽吸元件，磁性元件或夹持元件中的一个或多个或组合，用于将载板附接到第二模架230的第二加热装置282。根据一些实施例，载体可以承载要模塑或封装的多个电子元件。根据一些实施例，真空抽吸元件可以是真空抽吸口或垫或杯，磁性元件可以是电磁体或永磁体，夹持元件可以是一对夹具，钳口或抓持器。根据一些实施例，可以基于附接控制信号来操作载板固定装置286。
根据一些实施例，压力模塑设备200可包括围绕第一模架220的第一加热装置280或围绕第二模架230的第二加热装置282或两者的部分外围或周边的密封件。因此，当在压力成型期间当第二模架230抵靠第一模架220推动时，密封件、第一模架220以及第二模架230之间可形成封闭的模塑腔室。根据一些实施例，第二模架230可包括真空抽吸口，第二模架230的真空抽吸口可用于去除封闭的模塑腔室中的空气，以形成无空(void free) 的模塑环境。因此，密封件和真空抽吸口可以减少模塑期间空气滞留的机会，并确保模塑面板的完全填充而没有空隙缺陷。
根据一些实施例，提供了压力模塑设备200。根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括两个模架，即第一模架220(或顶模架)和第二模架230(或底模架)。根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括膜分配器单元290(或带式供料器)，该膜分配器单元290用于在模塑过程中提供膜296以将模塑材料(或模塑物质)与第一模架220(或顶模架)分离。根据一些实施例，膜分配器单元290可以包括用于在模塑过程之前提供新鲜膜296的膜供应卷盘292(或入口进给器inlet feeder)以及用于在模塑过程之后接收用过的膜的膜卷取卷盘294(或出口进给器outlet feeder)。根据一些实施例，压力模塑设备 200可包括两个加热装置(或两个加热板)。这两个加热装置可包括在第一模架220(或顶模架)下方的第一加热装置280(或顶加热板)和在第二模架230(或底模架)上的第二加热装置282(或底加热板)。第二加热装置282(或底加热板)在第一加热装置280 (或顶加热板)之下。根据一些实施例，当第一加热装置280和第二加热装置282压合在一起时，可以形成模塑腔室，在该模塑腔室中可以将载板或基板上的多个电子元件模塑成面板。
根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d(或四个滑块)，用于在每个角处支撑第二模具框架230。四个滑动支撑块236a， 236b，236c，236d可以包括位于左前角的第一滑动支撑块236a，位于右前角的第二滑动支撑块236b，位于左后角的第三滑动支撑块236c，右后角的第四滑动支撑块236d。根据一些实施例，压力模塑设备200可包括四个力传感器246a，246b(或四个测力传感器)，用于在不同时间读取每个角上的压力。四个力传感器246a，246b可包括在左前角的第一力传感器246a(或第一测力传感器)，在右前角的第二力传感器246b(或第二测力传感器)，在左后角的第三力传感器(或第三测力传感器)，在右后角的第四力传感器(或第四测力传感器)。
根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括用于快速闭合第一模架220和第二模架 230的第二致动装置270(或双垂直/Z方向螺旋驱动器)。根据一些实施例，压力模塑设备200可包括压力致动装置240，该压力致动装置240在对应的力传感器246a，246b(或称测力传感器)下方的每个角处包括四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)。根据一些实施例，每个致动单元242a，242b，242c，242d(或每个楔形驱动器) 可包括第一倒置楔形构件250a，250b(或垂直/Z方向楔形构件)和第二楔形构件260a， 260b(或水平/X方向楔形构件)。根据一些实施例，第一致动单元242a(或第一楔形驱动器)可以在左前角处，第一致动单元242a包括第一倒置楔形构件250a和第二楔形构件 260a。根据一些实施例，第二致动单元242b(或第二楔形驱动器)可以在右前角处，第二致动单元242b包括第一倒置楔形构件250b和第二楔形构件260b。根据一些实施例，第三致动单元242c(或第三楔形驱动器)可以在左后角，第三致动单元242c包括第一倒楔形构件和第二楔形构件。根据一些实施例，第四致动单元242d(或第四楔形驱动器)可以在右后角，第四致动单元242d包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件。根据一些实施例，压力模塑设备200可包括位置传感器248a，248b(或垂直/Z方向编码器)。
根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以是压力模塑设备200的独特特征之一。根据一些实施例，四个独立的致动单元242a，242b，242c，242d(或四个独立的楔形驱动器)可以移动第二模架230，以在大型面板模塑过程中实现面板级封装所需的平行度。此外，可以实现精确的高度控制和精确的平行度(例如 +/-25um)。根据一些实施例，四个独立的致动单元242a，242b，242c，242d(或四个独立的楔形驱动器)可以实现精细运动。根据一些实施例，由于可以将沿X方向移动的长度为多倍的移动长度按比例传输为沿Z方向移动的长度为单倍的移动长度，因此可以对运动进行更精细的控制。更具体地，可以通过特定的楔形驱动器的楔角度值来确定X方向和Z 方向移动长度按比例传输的比例。根据一些实施例，压力模塑设备200可以能够通过四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)提供高吨位(例如320TF夹紧能力)压力。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以放大输入力。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以允许精确的压力控制。根据一些实施例，移动距离可以与输入力和输出力具有线性关系，这可以允许操作员在操作期间更容易且准确地将压力控制到适当的值。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以提供低的维护成本。根据一些实施例，由于压力模塑设备200结构可以相对简单，所以维护成本可以更便宜。另外，对于四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器) 中的每个，承受压力可以较小。此外，压力可以不再被加载到第二致动装置270(或滚珠丝杠)上，并且因此可以增加第二致动装置270(或滚珠丝杠)的寿命。因此，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以增加第二致动装置270滚珠丝杠的寿命。另外，压力模塑设备200可以通过利用第二致动装置270(或滚珠丝杠驱动装置) 来实现模具的快速闭合。更具体地，具有两个线性致动器272a，272b(或两个滚珠丝杠) 的第二致动装置270可用于精确地控制第一和第二模架以及热板的平行精度，从而实现第一和第二模架或热板的快速闭合以及保证在第一和第二模架或热板的四个侧面的每一处的精细夹紧。
根据一些实施例，四个力传感器246a，246b(或四个测力传感器)和四个位置传感器 248a，248b(或四个垂直/Z方向编码器)可以是压力模塑设备200的另一特征。根据一些实施例，四个力传感器246a，246b(或四个测力传感器)可以用于在不同时间读取每个角上的压力。根据一些实施例，四个位置传感器248a，248b(或四个垂直/Z方向编码器 thevertical/Z-direction encoder)中的每个可对应于第一倒置楔形构件250a，250b(或楔形) 在Z方向(即高度方向)上的上升值。根据一些实施例，可通过位置传感器248a，248b(或垂直/Z方向编码器)，根据载板的厚度变化而自动做出调整，以补偿默认设置的偏离。根据一些实施例，载板上的条形码可用于记录载板和产品的信息，载板信息可以包括载板的厚度变化，在压力模塑设备200读取载板的厚度变化之后，位置传感器248a，248b (或垂直/Z方向编码器)可用于调整第二模架230的移动，以自动调整载板的倾斜度。根据一些实施例，还可通过将位置传感器248a，248b(或垂直/Z方向编码器)应用于默认设置来根据模塑面板(或产品)的特定要求来调整模塑层的厚度。根据一些实施例，还可以改变压力以调节模塑层或模塑面板(或产品)的厚度。
根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括四组真空系统，其用作吸膜装置284，载板固定装置286，以及用于抽真空模塑室。根据一些实施例，用作载板固定装置286的真空系统(或载板真空)和用于排空模塑腔室的真空系统可设置在第二模架230的第二加热装置282(或下热板)中。根据一些实施例，用作吸膜装置284(或膜吸附真空和膜平坦真空)的真空系统可设置在第一模架220的第一加热装置280(或上热板)中。在一些实施例中，用作载板固定装置286的真空系统(或载板真空)可以用于将载板固定在第二模架230上，因此，它可以防止在模塑期间载板的移位，它还可以防止载板被抬起并接触第一模架220(或顶模具)。因此，载板的加热可以更均匀。根据一些实施例，可以通过真空系统用于抽空模塑腔室去除最初在模制腔室中的空气以形成无空(void free)模塑环境，因此，这可以减少空气滞留在模塑腔室中的机会，可以确保塑封面板(或产品)可以被完全填充。根据一些实施例，吸膜装置284(或膜吸附真空)可以被构造成将膜吸附并固定在第一加热装置280(或上加热板)中。根据一些实施例，吸膜装置284(或膜平坦真空)可以被配置为使膜在第一加热装置280(或上加热板)上平坦。根据一些实施例，压力模塑设备200可以包括膜分配器单元290(或带式供料器)，以将新鲜的膜供给到模塑室中。
根据一些实施例，图3A至图3H示出了一系列使用图2B中的压力模塑设备200进行压力模塑成型的方法。
根据一些实施例，参照图3A，可以打开或激活膜分配器单元290(或带式供料器)以在第一模架220的第一加热装置280(或顶加热板)的底表面上提供新鲜的膜296。在各种实施例中，膜分配器单元290可以是带辊索引(tape roller indexes)。因此，该方法可以包括由膜分配器单元290分配新鲜的膜296，使得将新鲜的膜296悬挂在膜供应卷轴 292和膜收取卷轴294之间并跨过第一模架220的第一加热装置280。根据一些实施例，在提供新鲜的膜296之后，可以打开吸膜装置284(或膜吸附真空和膜平坦真空)以将新鲜的膜296吸附并固定到第一加热装置280(或顶加热板)上，并且还使新鲜的膜296在第一加热装置280(或顶加热板)上平坦。因此，该方法可以包括操作吸膜装置284以将膜296贴附至第一模架220的第一加热装置280。
根据一些实施例，参照图3B，提供其上具有多个电子元件204(或裸片)的载板202(或面板级基板)。根据一些实施例，模塑材料206(或模塑物质)也可被提供到载板 202(或面板级基板)上并完全覆盖载板202(或面板级基板)。根据一些实施例，可以将载板202(或面板级基板)装载在第二模架230的第二加热装置282(或底加热板)上。因此，该方法可以包括将具有多个电子元件204和模塑材料206的载板202(或板级基板) 装载到第二模架230的第二加热装置282(或底加热板)。根据一些实施例，载板固定装置286(或载板真空)可以被打开或激活以将载板202保持或持有在第二模架230的第二加热装置282上。因此，该方法可以包括通过载板固定装置286将载板附接到第二模架 230的第二加热装置282上。
根据一些实施例，如图3C所示，第二模架230可以利用第二致动装置270(或两个螺杆驱动器)向上移动到预定位置(或特定高度)。根据一些实施例，可以通过闭合第二模架230的第二加热装置282(或底加热板)和第一模架220的第一加热装置280(或顶加热板)来形成模塑腔室。但是，此时没有施加压力。根据一些实施例，可以打开或激活用于排空模塑腔室的真空系统。该方法可包括经由第二致动装置270将第二模架230沿着运动轴232移动到预定位置。此外，移动第二模架230可包括控制至少一个线性致动器 272a，272b，将第二模架230移动到压力致动装置240上方的预定位置。
根据一些实施例，参照图3D，四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d(或滑块) 可在第二模架230下方并向内移动，以便第一方面：通过使用致动单元242a，242b，242c， 242d(或四个楔形驱动器)推压第二模架230时对第二模架230起到支撑作用。第二方面：确保第二模架230的第二加热装置282(或底加热板)与第一模架220的第一加热装置 280(或顶部热板)完全平行。进一步，该方法还可包括移动第二模架230的四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d(或四个滑动支撑块中的每对)，使其分别朝向彼此滑动并定位在压力致动装置240的至少两个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个致动单元的对应的每对)上方。
根据一些实施例，如图3E所示，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以向内致动以提供用于模塑的压力。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可根据预设参数在第二模架230(或底加热板) 施加压力。特别地，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)的每一个中的第二楔形构件260a，260b(或水平/X方向楔形)可由驱动机构244a，244b(或电动机和传动机构)的驱动下沿着传动轴266a，266b(或沿水平方向)移动，第一倒置楔形构件250a，250b(或垂直/Z方向楔形)在第二楔形构件260a，260b(或水平/X方向楔形) 运动的带动下，沿致动轴256a，256b(沿Z方向)运动。根据一些实施例，第二加热装置282(或底加热板)的四个角中的每个可以由第一倒置楔形构件250a，250b(或垂直/Z 方向楔)驱动，并且可以根据位置传感器248a，248b(或Z编码器)中编程的预设参数，例如0.35mm/s的移动速度，沿着致动轴256a，256b(或沿Z方向)运动。根据一些实施例，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)的第一倒置楔形构件 250a，250b可以以相同的速度运动以确保第二加热装置282(或底加热板)的四个角可以沿运动轴232(或沿Z方向)在任何单位时间内都移动相同的距离。因此，在模塑过程中，可以使第二模架230的第二加热装置282(或底加热板)与第一模架220的第一加热装置 280(或顶加热板)平行。根据一些实施例，四个力传感器246a，246b(或压力传感器) 中的每个可分别测量由四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)的每个施加的压力。根据一些实施例，当四个压力之和达到预设压力值时，可以停止加压过程，并且可以开始模塑过程的时间。根据一些实施例，一旦压力达到预设点，就可以启动计时器以监视或跟踪或计算施加压力的时间。
该方法可以包括经由压力致动装置240使第二模架230沿着运动轴232朝向第一模架 220移动，以在它们之间协同地施加压力。根据一些实施例，使第二模架230朝向第一模架220移动可包括通过操作每个致动单元242a，242b，242c，242b的驱动机构244a， 244b来沿传动轴266a，266b向内移动每个致动单元242a，242b，242c，242d的第二楔形构件260a，260b，以使每个致动单元242a，242b，242c，242d的第一倒置楔形构件250a， 250b分别沿致动轴256a，256b向上移动。从而致动第二模架230以沿着运动轴232朝向第一模架220运动，以在它们之间协同地施加压力。该方法可以进一步包括控制驱动机构 244a，244b使每个致动单元242a，242b，242c，242d的第二楔形构件260a，260b，基于位置传感器248a，248b中预设的关于每个致动单元242a，242b，242c，242d的第一倒置楔形构件250a，250b相对于基座210的沿致动轴256a，256b的位移的设定值来进行运动。该方法可以进一步包括基于力传感器246a，246b测量到的压力达到预设的压力值，控制驱动机构244a，244b，停止移动每个致动单元242a，242b，242c，242d的第二楔形构件 260a，260b。该方法可以进一步包括：当压力处于预设的压力值时，经由压力致动装置 240将第二模架230和第一模架220在预定时间段内保持在它们之间协作地施加设定的压力值的状态。
根据一些实施例，如图3F所示，当压力模塑过程结束时，四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)可以向外缩回。根据一些实施例，在缩回四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器)之前，可以关闭用于模塑腔室抽真空的真空系统，以及关闭吸膜装置284(或膜平坦真空)。此外，可以在模塑腔室中开始吹入空气。根据一些实施例，在完成四个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个楔形驱动器) 的缩回时，可以停止吹入空气。因此，该方法可以包括停止吸膜装置284以将膜296从第一模架220的第一加热装置280释放。该方法可以进一步包括通过缩回压力致动装置240，第二模架230沿着运动轴232远离第一模架220，以释放它们之间的压力。此外，使第二模架230远离第一模架220可以包括通过操作每个致动单元的驱动机构244a，244b来使每个致动单元242a，242b，242c，242d的第二楔形构件260a，260b分别沿着传动轴266a 266b移动和缩回，从而使每个致动单元242a，242b，242c，242d的第一倒置楔形构件 250a，250b分别沿致动轴256a，256b移动和缩回，从而使第二模架230沿着运动轴232 远离第一模架220。该方法可以进一步包括在压力致动装置240缩回期间启动模具腔室中的空气吹入。空气吹入可以包括将空气引入模具腔室以使腔室减压。
根据一些实施例，如图3G所示，在压力致动装置240缩回之后，第二模架230可以由第二致动装置270支撑并保持。随后，四个滑动支撑块236a，236b，236c，236d(或四个滑块)会向外缩回。该方法可以包括移动第二模架230的至少两个滑动支撑块236a， 236b，236c，236d(或四个滑动支撑块中的每对)以向彼此远离的方向滑动并且定位在压力致动装置240的至少两个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个致动单元的相对应的每对)的区域之外。
根据一些实施例，如图3H所示，随着滑动支撑块236a，236b，236c，236d移动到压力致动装置240的至少两个致动单元242a，242b，242c，242d(或四个致动单元的相对应的每对)的区域之外，第二模架230可以通过第二致动装置270朝着基座210降低。在第二模架230被降低之后，关闭载板固定装置286，并且可以将具有模塑面板的载板从压力模塑设备中取出。因此，该方法可以包括经由第二致动装置270使第二模架230沿着运动轴232朝向基座210移动。该方法可以进一步包括关闭或停止载板固定装置286以释放具有模塑面板的载板。
根据一些实施例，压力模塑设备100、200可以包括处理器。在各种实施例中，“处理器”可以被理解为任何种类的逻辑实现实体，其可以是专用电路或执行存储在存储器，固件或其任何组合中的软件的处理器。因此，在一个实施例中，“处理器”可以是逻辑电路或诸如可编程处理器之类的可编程逻辑电路，例如可编程处理器。微处理器(例如，复杂指令集计算机(CISC)处理器或精简指令集计算机(RISC)处理器)。“处理器”也可以是任何类型的计算机程序，例如软件。例如使用虚拟机代码的计算机程序，例如Java。根据一些实施例，将在下面更详细描述的各个功能的任何其他种类的实现方式也可以被理解为“处理器”。在各种实施例中，处理器可以是计算系统或控制器或微控制器或提供处理能力的任何其他系统的一部分。根据一些实施例，这样的系统可以包括例如在由设备或系统执行的处理中使用的存储器。在实施例中使用的存储器可以是易失性存储器，例如 DRAM(动态随机存取存储器)或非易失性存储器，例如PROM(可编程只读存储器)， EPROM(可擦除PROM)，EEPROM(电可擦除PROM)或闪存，例如浮栅存储器，电荷捕获存储器，MRAM(磁阻随机存取存储器)或PCRAM(相变随机存取存储器)。
根据一些实施例，处理器可以被配置为生成各种控制信号，例如驱动控制信号，致动控制信号，加热控制信号，附件控制信号，卷轴控制信号，真空控制用于操作各个压力模塑设备100、200的各个组件的信号等。根据一些实施例，处理器可以被配置为生成各种控制信号，以便根据所述的各种方法来操作各个压力模塑设备100、200。根据一些实施例，处理器可以被配置为基于所述的各种方法以预定的序列生成各种控制信号。根据一些实施例，处理器可以从各种组件(例如力传感器146a，146b，246a，246b和/或位置传感器148a，148b，248a，248b)接收各种检测信号，处理各种检测信号。并响应于各种检测信号而生成相应的控制信号，以控制各个压力模塑设备100、200的各个组件。
根据一些实施例，提供了一种压力模塑设备和压力模塑设备的操作方法，其适用于大型面板级塑封成型。根据一些实施例，可以提供足够大的压力以施加到大的模塑区域。根据一些实施例，还可为基于面板的半导体组件的面板级封装工艺中的面板级模塑提供足够高的压力和严格的平行度。
虽然已经参考特定实施例具体示出并描述了本发明，但是本领域技术人员应当理解，在不脱离本发明范围的情况下，可以在其中进行形式和细节上的各种改变，修改，变化。如所附权利要求书所定义的本发明。因此，本发明的范围由所附权利要求书指示，并且因此意图包括落入权利要求书的等同含义和范围内的所有改变。

Claims (20)

1.一种适用于面板级封装的压力模塑设备，其特征在于，包括：
第一模架；
与所述第一模架相对的第二模架；
压力致动装置，包括至少两个致动单元，用于使第二模架沿着第一方向朝向第一模架移动，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于第一倒置楔形构件在与第一方向垂直的第二方向上移动，其中，所述至少两个致动单元通过独立控制各自的第二楔形构件相对于第一倒置楔形构件的移动，从而在面板厚度不均匀的情况下，使得第一模架和第二模架能够采取相互倾斜的取向，以抵消面板厚度的不均匀。
2.根据权利要求1中所述的压力模塑设备，其中，还包括：基座，
其中所述第一模架固定在所述基座上方并与所述基座间隔开；
所述第二模架设置在所述基座和所述第一模架之间，并与在基座和第一模架之间延伸的一个或多个支撑柱滑动接合，以使得所述第二模架可相对于所述基座和所述第一模架沿着运动轴移动，所述运动轴为在所述基座和所述第一模架之间垂直延伸；
所述压力致动装置设置在所述第二模架与所述基座之间，以使所述第二模架沿运动轴移动，至少两个所述致动单元，被配置为可分别的独立接合所述第二模架的至少两个不同部位；所述第一倒置楔形构件可相对于所述基座沿着致动轴移动，所述致动轴平行于所述第二模架的所述运动轴；所述第二楔形构件可相对于所述第一倒置楔形构件沿着传动轴移动，所述传动轴垂直于所述第二模架的所述运动轴；所述致动单元还包括连接至所述第二楔形构件以使所述第二楔形构件沿着所述传动轴运动的驱动机构；第一倒置楔形构件的倾斜表面和第二楔形构件的倾斜表面可滑动地接合，以将第二楔形构件沿着传动轴的运动转换成第一倒置楔形构件沿着致动轴的运动，从而使第二模架沿着运动轴运动，所述压力致动装置可使所述第二模架朝向所述第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力。
3.根据权利要求2中所述的压力模塑设备，其中，至少两个所述致动单元，被配置为相对于彼此成镜像对称，使得第一致动单元和相邻的第二致动单元的第二楔形构件的传动轴是同轴的。
4.根据权利要求1中所述的压力模塑设备，其中，还包括：第二致动装置，配置为接合所述第二模架，使所述第二模架沿着运动轴移动。
5.根据权利要求2中所述的压力模塑设备，其中，还包括：第二致动装置，配置为接合所述第二模架，使所述第二模架朝向第一模架移动；所述第二致动装置包括设置在所述基座的至少一个线性致动器；至少一个所述线性致动器包括线性致动臂，沿所述运动轴移动所述第二模架；
所述压力模塑设备进一步包括在第二模架下方的至少两个滑动支撑块，至少两个所述滑动支撑块可相对于所述第二模架沿滑动轴滑动，所述滑动轴垂直于第二模架的运动轴；
所述第二致动装置被配置为将所述第二模架移动到所述压力致动装置上方的预定位置,以使至少两个所述滑动支撑块分别朝向彼此滑动并定位在所述压力致动装置的所述第一倒置楔形构件上方；
所述压力致动装置随后可操作为以使至少两个所述致动单元的所述第一倒置楔形构件移动以分别接合至少两个所述滑动支撑块，从而使所述第二模架沿着所述运动轴朝向所述第一模架移动，以使所述第一模架和所述第二模架协作地施加压力。
6.根据权利要求5中所述的压力模塑设备，其中：所述压力致动装置包括四个所述致动单元，四个所述致动单元设置为形成矩形或正方形，每个所述致动单元设置在矩形或正方形的一角，以分别独立地致动所述第二模架的四个不同部分。
7.根据权利要求6中所述的压力模塑设备，其中：
四个所述致动单元中的第一所述致动单元和相邻的第二所述致动单元沿着所述矩形或正方形的第一侧被设置为相对于彼此成镜像对称，使得第一所述致动单元的和第二所述致动单元的所述第二楔形构件的所述传动轴是同轴的；
四个所述致动单元中的第三所述致动单元和相邻的第四所述致动单元沿着所述矩形或正方形的第二侧被设置为相对于彼此成镜像对称，使得第三所述致动单元的和第四所述致动单元的所述第二楔形构件的所述传动轴是同轴的；
所述矩形或正方形的所述第一侧和所述第二侧是所述矩形或正方形的两个相对侧。
8.根据权利要求7中所述的压力模塑设备，其中：所述第二致动装置包括两个线性致动器；所述两个线性致动器中的第一线性致动器设置在由四个所述致动单元形成的所述矩形或正方形的第一侧的外侧；所述两个线性致动器中的第二线性致动器设置在由四个所述致动单元形成的所述矩形或正方形的第二侧的外侧；所述两个线性致动器可操作为以同步方式将所述第二模架移动到所述压力致动装置上方的所述预定位置。
9.根据权利要求2、3、5-8中任一项所述的压力模塑设备，其中：每一所述致动单元包括力传感器，所述力传感器设置在所述驱动机构和所述第二模架之间，用于测量由所述驱动机构施加在所述第二模架上的力。
10.根据权利要求2、3、5-8中任一项所述的压力模塑设备，其中：每一所述致动单元包括位置传感器，所述位置传感器设置在所述第一倒置楔形构件或所述基座，用以确定所述第一倒置楔形构件沿所述致动轴相对于所述基座的位移。
11.根据权利要求1-6中任一项所述的压力模塑设备，其中，还包括：所述第一模架下方的第一加热装置和所述第二模架上表面上的第二加热装置。
12.根据权利要求11中所述的压力模塑设备，其中，还包括：设置在所述第一模架的膜分配器单元，所述膜分配器单元包括设置在所述第一模架的第一侧的膜供应卷轴和设置在所述第一模架的与所述第一侧相对的第二侧的膜收取卷轴，膜横跨于所述第一模架的所述第一加热装置上并悬挂在所述膜供应卷轴和所述膜收取卷轴之间。
13.根据权利要求12中所述的压力模塑设备，其中，还包括：设置在所述第一加热装置的吸膜装置，所述吸膜装置包括一个或多个真空抽吸口，配置为将膜吸附到第一加热装置上。
14.根据权利要求13中所述的压力模塑设备，其中，还包括：设置在所述第二加热装置的载板固定装置，所述载板固定装置包括一个或多个真空抽吸元件、磁性元件或夹持元件，配置为将载板附接到所述第二加热装置。
15.一种适用于面板级封装的压力模塑设备，其特征在于，包括：
第一模架；
与所述第一模架相对的第二模架；
压力致动装置，用于使第二模架沿着第一方向朝向第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力，所述压力致动装置包括致动单元，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于所述第一倒置楔形构件在与第一方向垂直的第二方向上移动；以及
第二致动装置，配置为使所述第二模架朝向第一模架移动到预定位置，所述预定位置为在压力致动装置之上；
其中，所述致动单元通过控制第二楔形构件相对于第一倒置楔形构件的移动，从而在面板厚度不均匀的情况下，使得第一模架和第二模架能够采取相互倾斜的取向，以抵消面板厚度的不均匀。
16.根据权利要求15中所述的压力模塑设备，其中：所述压力致动装置包括至少两个致动单元，至少两个所述致动单元，被配置为相对于彼此成镜像对称，使得第一致动单元和相邻的第二致动单元的第二楔形构件的传动轴是同轴的；
其中，所述至少两个致动单元独立控制各自的第二楔形构件相对于第一倒置楔形构件的移动。
17.根据权利要求16中所述的压力模塑设备，其中：所述压力致动装置包括四个所述致动单元，四个所述致动单元设置为形成矩形或正方形，每个所述致动单元设置在矩形或正方形的一角，以分别独立地致动所述第二模架的四个不同部分。
18.根据权利要求17中所述的压力模塑设备，其中：所述第二致动装置包括两个线性致动器；所述两个线性致动器中的第一线性致动器设置在由四个所述致动单元形成的所述矩形或正方形的第一侧的外侧；所述两个线性致动器中的第二线性致动器设置在由四个所述致动单元形成的所述矩形或正方形的第二侧的外侧；所述两个线性致动器可操作为以同步方式将所述第二模架移动到所述压力致动装置上方的预定位置。
19.一种根据权利要求1-18中任一项所述的压力模塑设备的操作方法，其特征在于，该方法包括
经由压力致动装置，将第二模架向第一模架移动，以使第一模架和第二模架协作地施加压力，
其中所述第二模架与所述第一模架相对，
其中所述压力致动装置包括致动单元，所述致动单元包括第一倒置楔形构件和第二楔形构件，所述第二楔形构件可相对于所述第一倒置楔形构件移动。
20.一种根据权利要求19中所述的压力模塑设备的操作方法，其特征在于，所述方法还包括
经由第二致动装置，在通过压力致动装置将第二模架朝向第一模架移动以在其间协同地施加压力之前，将第二模架朝向第一模架移动至预定位置，所述预定位置为在压力致动装置之上。
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