CN111740013B - 掩模板、显示面板及显示面板的制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种掩模板、显示面板及显示面板的制作方法，其中掩模板包括至少一条掩膜条，掩膜条包括至少一个开口；开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。通过开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种的掩膜版图案化显示面板中的无机层，使无机层在平面区和弯折区的交界处形成至少部分包括凹边和凸边中的至少一种的台阶，降低了显示面板台阶位置的信号线短路的风险，提高显示面板的可靠性，进而提高用户的体验效果。

Description

掩模板、显示面板及显示面板的制作方法

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板、显示面板及显示面板的制作方法。

背景技术

有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)显示面板是目前市场的主流方向，市场需求很大，但挑战同样也大。

OLED显示面板包括平面区和弯折区，在平面区和弯折区交界处的台阶位置存在信号线容易短路的情况，使得OLED显示面板的可靠性降低，从而降低用户的体验效果。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩模板、显示面板及显示面板的制备方法，以降低显示面板台阶位置的信号线短路的风险，提高显示面板的可靠性，进而提高用户的体验效果。

第一方面，本发明实施例提供了一种掩模版，包括至少一条掩膜条，所述掩膜条包括至少一个开口；所述开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，所述开口包括第一边；所述第一边的至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，所述开口还包括第二边，所述第二边与所述第一边相对设置，所述第二边的至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，所述开口的边缘至少部分包括凹凸边。

可选的，所述凹凸边的形状为三角波波形、方波波形和正弦波波形中的至少一种。

第二方面，本发明实施例提供了一种显示面板，包括：

基板，所述基板包括平面区和弯折区；

无机层，设置于所述基板的平面区上，所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶；所述台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，所述无机层包括栅极绝缘层和层间绝缘层，所述栅极绝缘层设置于所述基板和所述层间绝缘层之间；所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层分别在所述平面区和所述弯折区的交界处形成第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶中的至少一个台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，还包括不同层设置的第一导电线和第二导电线；

所述第一导电线设置于所述基板的平面区上，所述第一导电线设置于所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层之间；所述第二导电线设置于所述基板的部分平面区和弯折区上，所述第二导电线设置于所述层间绝缘层远离所述基板的一侧；所述层间绝缘层上设置有过孔，所述第一导电线和所述第二导电线通过所述过孔电连接。

第三方面，本发明实施例提供了一种显示面板的制作方法，包括：

提供基板；所述基板包括平面区和弯折区；

在所述基板上形成无机层；

采用如第一方面任一所述的掩膜版图案化所述无机层，使所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶；所述台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，采用如第一方面任一所述的掩膜版图案化所述无机层，在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶，包括：

所述掩膜版开口的凹边和凸边中的至少一种与所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处相对设置。

本发明实施例提供了一种掩模板、显示面板及显示面板的制备方法，掩模板包括至少一条掩膜条，掩膜条包括至少一个开口；开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。通过开口的边缘至少部分包括凹边和/或凸边的掩膜版图案化显示面板中的无机层，使无机层在平面区和弯折区的交界处形成至少部分包括凹边和/或凸边的台阶，可以在后续形成信号线时，在不增加信号线之间的距离的基础上相对增加了台阶位置处相邻信号线的距离，从而可以降低台阶位置因无机层的高度差导致的信号线短路的风险，提高了显示面板的可靠性，进而提高了用户的体验效果。

附图说明

图1是现有技术中提供的一种显示面板的结构示意图；

图2是图1中第二导线在弯折区的俯视图；

图3是图1中无机层在基板的平面区与弯折区的交界处的剖面结构示意图；

图4是本发明实施例提供的一种掩模版的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种掩模条开口形状的示意图；

图6是基于图5所示掩模条在显示面板上形成的台阶与基于现有技术掩膜条在显示面板上形成的台阶的对比俯视图；

图7是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状的示意图；

图8是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；

图9是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；

图10是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；

图11是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；

图12是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；

图13是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图

图14是本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图；

图15是图14提供的显示面板的无机层包括凸边台阶的俯视图；

图16是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

图1是现有技术中提供的一种显示面板的结构示意图，参考图1，显示面板包括基板1，基板1包括平面区A和弯折区B，在基板1的平面区A上形成驱动电路层，用于驱动显示面板上的发光器件发光。驱动电路层可以包括有源层、金属层和无机层，通过对有源层、金属层和无机层图案化，可以形成晶体管。另外，金属层可以形成导电走线，延伸至基板1的弯折区B，并通过弯折区B与显示面板的驱动芯片连接，用于为显示面板提供驱动信号。金属层可以包括第一金属层、第二金属层和第三金属层，第一金属层可以通过图案化形成驱动电路层中晶体管的栅极，第二金属层可以通过图案化形成驱动电路层中存储电容的极板，第三金属层可以通过图案化形成驱动电路层中晶体管的源漏极。由于第二金属层的材料可以为Mo，第三金属层的材料可以为Ti/Al/Ti。在金属层形成导电走线时，可以在基板1的平面区A采用第二金属层形成第一导电线4，在基板1的弯折区B采用第三金属层形成第二导电线6，并通过第一导线4与第二导线6电连接实现显示面板的信号线与显示面板的驱动芯片连接。另外，第二金属层和第三金属层之间包括无机层，示例性地，无机层可以包括栅极绝缘层3和层间绝缘层5，第一导电线4和第二导电线6通过在换线区D刻蚀两者之间的无机层实现电连接，即第一导电线4和第二导电线6在换线区D实现电连接。另外，基板1的弯折区B需要进行弯折，因此可以对基板1弯折区B的无机层进行刻蚀，减少弯折区B弯折时产生的应力，降低第二导电线6断裂的风险。此时无机层在基板1的平面区A和弯折区B形成台阶7。图2是第二导线在弯折区的俯视图。如图2所示，第二导电线6在弯折区B包括多条(图2中示例性地示出了包括3条)，并沿平面区A指向弯折区B的方向延伸。其中，第二导电线6通过换线区D与第一导电线4电连接。由于在平面区A与弯折区B的交界处具有台阶7。在弯折区B采用曝光刻蚀工艺形成多条第二导电线6时，在台阶7处，由于无机层具有高度差，导致曝光过程中黄光到平面区A的能量与到弯折区B的能量不同，即在台阶7处会形成光刻胶曝光存在残留的问题，从而导致在台阶7处会有第三金属层的金属微残留8，进而导致相邻第二导电线6之间距离变短，容易出现短路的情况，使得OLED显示面板的可靠性降低，从而降低用户的体验效果。示例性地，图3为无机层在基板的平面区与弯折区的交界处的剖面结构示意图。参考图3，结合图2，在基板1的平面区A与弯折区B的交界处对无机层刻蚀后，在平面区A和弯折区B的交界处会形成台阶7，即在平面区A和弯折区B的交界处会形成一个坡度角C过大的台阶7。在后续的工艺过程中，会继续形成第三金属层，用于形成第二导电线6。在形成第三金属层后，对第三金属层进行刻蚀形成第二导电线6时，可以先在第三金属层上形成光刻胶，然后通过另一掩膜版对光刻胶进行曝光刻蚀，使第二导电线6对应位置的光刻胶不被刻蚀，其他位置的光刻胶被刻蚀。然后对第三金属层进行刻蚀，使得光刻胶对应的第三金属层不被刻蚀，其他位置的第三金属层被刻蚀，从而形成第二导电线6。由于在台阶位置具有高度差，在对光刻胶进行刻蚀时，台阶位置的曝光能力比较弱，使得台阶位置的光刻胶具有残留，在后续对第三金属层进行刻蚀时，由于光刻胶的残留导致第三金属层具有金属残留8，从而导致相邻第二导电线6与第二导电线6之间的距离减小甚至接触发生短路，使得OLED显示面板的可靠性降低，从而降低用户的体验效果。

针对上述问题，一般可以通过工艺优化来改善，但是无法从根本上降低换线区金属微残留风险。本申请着重从形成无机层的掩膜版优化设计考虑，通过优化后的掩膜版将无机层边界处在基板上的投影由平整改为包括凹边和凸边中的至少一种的形状，达到在产品设计限制的范围内增加台阶位置的信号线间的相对距离，降低了台阶位置的信号线短路的风险，提高了显示面板的可靠性。

图4是本发明实施例提供的一种掩模版的结构示意图，参考图4，本发明实施例提供的掩模版100包括至少一条掩膜条110，掩膜条110包括至少一个开口120；开口120的边缘130至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

具体的，掩模版100作为图形信息的载体，可以用于曝光，也可以用于蒸镀，通过曝光或蒸镀过程将掩模版图形转移到被曝光或被蒸镀产品上，从而实现图形的转移。图4示例性地示出了掩膜版100包括5条掩膜条110，每条掩膜条110上示例性地示出了包括一个开口120。当掩膜版100用于刻蚀显示面板的弯折区对应的无机层的工艺中，一个开口120可以对应一个显示面板的弯折区。当本发明实施例提供的掩模版100中的掩膜条110的开口120的边缘130至少部分包括凹边和/或凸边时，在显示面板制备的过程中，将其应用到对显示面板中的无机层进行刻蚀时，使开口120中包括凹边和/或凸边的边缘130与显示面板的平面区和弯折区的交界处相对设置。在对无机层进行刻蚀后，无机层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成至少部分包括凹边和/或凸边的台阶，在此基础上，在无机层上形成信号线的导电层后，例如可以是金属层，位于无机层上的导电层在显示面板的平面区和弯折区的交界处也会形成至少部分为凹边和/或凸边的台阶，此时，再对无机层上形成信号线的导电层进行刻蚀时，由于台阶处坡度角过大导致黄光曝光能力减弱而造成残留的光刻胶会沿着台阶的凹边和或/凸边形成。相对于现有技术中平面区和弯折区的交界处形成的平整的台阶，对导电层进行刻蚀工艺形成信号线时，在垂直于信号线的延伸方向上，凹边和/或凸边的台阶形状可以在不增加相邻信号线之间的绝对距离的基础上可以使相邻信号线之间的相对距离在台阶位置增加，从而可以降低在刻蚀工艺中，由于台阶位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。

示例性地，在显示面板的弯折区的信号线靠近基板的一侧，无机层可以包括栅极绝缘层和层间绝缘层。采用上述实施例提供的掩膜版对无机层进行刻蚀时，无机层可以是层间绝缘层，也可以是栅极绝缘层。即可以将开口的边缘至少部分包括凹边和/或凸边的掩模版用于显示面板制备中对层间绝缘层的刻蚀中，使层间绝缘层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成台阶至少部分为凹和/或凸状。也可以将开口的边缘至少部分包括凹边和/或凸边的掩模版用于显示面板制备中对栅极绝缘层的刻蚀中，使栅极绝缘层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成台阶至少部分为凹和/或凸状。栅极绝缘层和层间绝缘层中的至少一层在平面区和弯折区的交界处形成凹和/或凸状的台阶，均可以在弯折区通过刻蚀工艺形成信号线时增加台阶位置相邻信号线之间的相对距离，从而可以降低在刻蚀工艺中，由于台阶位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。

可选的，掩模条开口包括第一边；第一边的至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

具体的，图5是本发明实施例提供的一种掩模条开口形状的示意图，如图5所示，第一边131包括凹边，当采用掩膜版对显示面板的无机层进行刻蚀时，无机层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成包括凹边的台阶。在无机层上形成导电层后对导电层进行刻蚀形成信号线时，凹边的台阶可以在不增加相邻信号线之间的绝对距离的基础上增加相邻信号线之间的相对距离，从而可以降低在形成信号线的刻蚀工艺中，由于台阶位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。示例性地，图6是基于图5所示掩模条在显示面板上形成的台阶与基于现有技术掩膜条在显示面板上形成的台阶的对比俯视图。如图6所示，在包括凹边的台阶上进行对信号线的导电层的刻蚀，残留的光刻胶会沿着台阶的凹边分布(图6中的左图)。由于残留的光刻胶覆盖，信号线的导电层微残留9也会沿着台阶的凹边分布。相对于现有技术，掩膜版中掩膜条开口的每条边为直线，所以无机层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成平整的台阶(图6中的右图)，即在平整的台阶上进行对信号线的导电层的刻蚀，残留的光刻胶会沿着台阶平整的直边分布，使得信号线的导电层微残留9也沿着台阶平整的直边分布。由于两点之间直线最短，所以凹边的总长度大于直边的长度。在相同长度的导电层微残留9的情况下，掩膜条凹边设置时相邻两条信号线的导电层微残留9之间的距离为b，掩膜条直边设置时相邻两条信号线的导电层微残留9之间的距离为a，b大于a，即凹边的设置可以增加相邻两条信号线的导电层微残留9之间的距离，从而降低了台阶位置的信号线短路的风险，提高了显示面板的可靠性，进而提高了用户的体验效果。

图7是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状的示意图，如图7所示，第一边131包括凸边，当采用掩膜版对显示面板的无机层进行刻蚀时，无机层在显示面板的平面区和弯折区的交界处会形成包括凸边的台阶，同理，凸边也在不增加相邻信号线之间的绝对距离的基础上可以增加相邻信号线之间的相对距离，降低相邻信号线之间短路的风险，提高显示面板的可靠性，这里不再赘述。

需要说明的是，图5和图7仅是示例性地示出了第一边131包括第一凹边或凸边，在其他实施例中，第一边131还可以包括多个凹边或凸边。另外，凹边或凸边的形状不做限定。优选地，图8是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状的示意图；图9是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图；参考图8-图9，开口第一边131上的凹边或凸边的个数为多个。增加凹边或凸边的个数，或者增加凹边的凹陷距离和凸边的凸出距离，可以进一步的实现增加相邻金属走线的距离，降低了金属微残留风险，提高了客户端的可靠性。

而且，在其他实施例中，第一边131还可以部分包括凹边或凸边，同样可以增加第一边131的长度，只要第一边131包括凹边或凸边中的至少一种，相对现有技术中的直线，即可以实现增加相邻信号线的相对距离，从而降低了台阶位置的信号线短路的风险，提高了显示面板的可靠性，进而提高了用户的体验效果。

可选的，图10是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图，参考图10，开口还包括第二边132，第二边132与第一边131相对设置，第二边132的至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

示例性地，开口可以为矩形，矩形的一对对边上均至少部分包括凹边和凸边中的至少一种，可以提高掩膜条的对称性，进而提高采用掩膜版刻蚀时的精度。可选地，如图10所示，第一边131和第二边132的凹边和凸边可以对称设置，从而可以使掩膜版沿垂直于长度方向对称，进而提高掩膜版刻蚀时的精度。

可选的，图11是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图，图12是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图，图13是本发明实施例提供的另一种掩模条开口形状示的意图，参考图11-13，开口的边缘至少部分包括凹凸边。

具体地，如图11-图13所示，凹凸边即为开口的边缘同时包括凹边和凸边。通过设置开口的边缘同时包括凹边和凸边，可以进一步地增加开口的凹凸程度，进而可以在使用掩膜版刻蚀无机层形成台阶时，台阶位置的相邻信号线之间的相对距离进一步增加，从而可以进一步地降低相邻信号线之间短路的风险，提高显示面板的可靠性。

示例性地，凹凸边的形状可以为三角波波形(参考图11)、方波波形(参考图12)和正弦波波形(参考图13)中的至少一种。

需要说明的是，上述的凹凸边的形状仅是一种示例，而不是限定。在其他实施例中，凹凸边的形状可以为任意形状，此处不作限定。

本发明实施例还提供了一种显示面板，图14是本发明实施例提供的一种显示面板的结构示意图，参考图14，显示面板包括：

基板10，基板10包括平面区A和弯折区B；

无机层20，设置于基板10的平面区A上，无机层20在平面区A和弯折区B的交界处形成台阶70；台阶70在基板10上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

本实施例的技术方案，通过无机层20在平面区A和弯折区B的交界处形成包括凹边和/或凸边的台阶70，使得在包括凹边和/或凸边的台阶位置上进行对信号线的导电层刻蚀时，残留的光刻胶会沿着台阶70的凹边和/或凸边分布。由于残留的光刻胶覆盖，信号线的导电微残留也会沿着台阶的凹边分布。相对于现有技术中平面区A和弯折区B的交界处形成的平整的台阶，对导电层进行刻蚀工艺形成信号线时，在垂直于信号线的延伸方向上，凹边和/或凸边的台阶形状可以在不增加相邻信号线之间的绝对距离的基础上可以使相邻信号线之间的相对距离在台阶70位置增加，从而可以降低在刻蚀工艺中，由于台阶70位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。

可选的，参考图14，无机层20包括栅极绝缘层21和层间绝缘层22，栅极绝缘层21设置于基板10和层间绝缘层22之间；栅极绝缘层21和层间绝缘层22分别在平面区A和所述弯折区B的交界处形成第一台阶211和第二台阶221，第一台阶211和第二台阶221中的至少一个台阶在基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，还包括不同层设置的第一导电线40和第二导电线60；

第一导电线40设置于基板的平面区A上，第一导电线40设置于栅极绝缘层21和层间绝缘层22之间；第二导电线60设置于基板的部分平面区A和弯折区B上，第二导电线30设置于层间绝缘层22远离基板的一侧；层间绝缘层22上设置有过孔，第一导电线40和第二导电线60通过过孔电连接。

具体的，基于上述任一实施例提供的掩膜版，使无机层20在平面区A和弯折区B的交界处形成台阶70，并且台阶70在基板10上的垂直投影至少部分包括凹边和/或凸边。示例性地，图15是图14提供的显示面板的无机层包括凸边台阶的俯视图，参考图15，无机层在平面区A和弯折区B的交界处形成台阶包括凸边。其中无机层20包括栅极绝缘层21和层间绝缘层22，因此，可以使栅极绝缘层21在平面区A和弯折区B的交界处形成第一台阶211在基板上的投影至少部分包括凸边，或可以使层间绝缘层22在平面区A和弯折区B的交界处形成第二台阶221在基板上的投影包括凸边。位于栅极绝缘层21和层间绝缘层22之间第一导电线40和位于层间绝缘层22远离基板的一侧第二导电线60通过层间绝缘层22上的过孔电连接，并且第二导电线60会沿着基板10弯折区B的平坦层弯曲延伸。此时，第二导线60的导电层微残留会沿着第一台阶211和/或第二台阶221台阶的凸边分布。由于两点之间直线最短，相对于现有技术中的直边台阶，凸边台阶的边长大于直边的长度。在相同长度的导电层微残留的情况下，凸边台阶的设置可以增加相邻两条第二导线60之间的导电层微残留之间的距离，从而可以降低在刻蚀工艺中，由于台阶位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。同理，包括凹边的台阶具有相同的技术效果，这里不再赘述。

本发明实施例还提供了还一种显示面板的制作方法，图16是本发明实施例提供的一种显示面板的制作方法的流程图，参考图16，结合图14，制作方法包括：

S110、提供基板10；基板包括平面区A和弯折区B。

S120、在基板上形成无机层20。

具体的，于基板10的平面区A上形成无机层20，无机层20包括栅极绝缘层21和层间绝缘层22。其中栅极绝缘层21设置于基板10和层间绝缘层22之间。在基板10的平面区上，基板10与无基层之间还可以形成一层缓冲层，缓冲层用于减少基板10与无机层20接触面之间的缺陷。无机层20中还形成有第一导线40和第二导线60。其中，第一导电线40形成于栅极绝缘层21和层间绝缘层22之间；第二导电线60形成于基板10的部分平面区和弯折区上，并且第二导电线60位于层间绝缘层22远离基板10的一侧；层间绝缘层22上形成过孔，使第一导电线40和第二导电线60通过过孔电连接。

S130、采用如上述任一实施例所述的掩膜版图案化无机层，使无机层在平面区和弯折区的交界处形成台阶；台阶在基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

可选的，采用如上述任一实施例所述的掩膜版图案化无机层20，在平面区A和弯折区B的交界处形成台阶70包括：掩膜版开口的凹边和凸边中的至少一种与无机层20在平面区A和弯折区B的交界处相对设置。

具体的，采用上述实施例提供的掩膜版对无机层进行刻蚀时，无机层20可以是层间绝缘层22，也可以是栅极绝缘层21。即可以将开口的边缘至少部分包括凹边和/或凸边的掩模版用于显示面板制备中对层间绝缘层22的刻蚀中，使层间绝缘层22在显示面板的平面区A和弯折区B的交界处会形成台阶70至少部分为凹和/或凸状。也可以将开口的边缘至少部分包括凹边和/或凸边的掩模版用于显示面板制备中对栅极绝缘层21的刻蚀中，使栅极绝缘层21在显示面板的平面区A和弯折区B的交界处会形成台阶70至少部分为凹和/或凸状。在此基础上，在层间绝缘层22上形成第二导线60的导电层，并且位于层间绝缘层22上的第二导线60的导电层在显示面板的平面区A和弯折区B的交界处也会形成至少部分为凹边和/或凸边的台阶70。此时，对第二导线60的导电层进行刻蚀形成多条第二导线60时，由于台阶70处坡度角过大导致黄光曝光能力减弱而造成残留的光刻胶会沿着台阶70的凹边和/或凸边分布。相对于现有技术中平面区A和弯折区B的交界处会形成的平整的台阶，凹边和/或凸边的台阶70形状可以在不增加相邻第二导线60之间的绝对距离的基础上可以使相邻第二导线60之间的相对距离在台阶位置增加。从而可以降低在刻蚀工艺中，由于台阶位置的高度差导致的导电层微残留，使得相邻信号线短路的风险，进而提高了显示面板的可靠性，提高了用户的体验效果。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (5)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

基板，所述基板包括平面区和弯折区；

无机层，设置于所述基板的平面区上，所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶；所述台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种；其中，所述无机层采用掩模版图案化，所述掩模版包括至少一条掩膜条，所述掩膜条包括至少一个开口；开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种；所述开口中包括凹边和/或凸边的边缘与显示面板的平面区和弯折区的交界处相对设置；

不同层设置的第一导电线和第二导电线，所述第一导电线设置于所述基板的平面区上，所述第二导电线设置于所述基板的部分平面区和弯折区上，且形成在无机层上；所述第一导电线和所述第二导电线通过过孔电连接；所述第二导电线的导电层微残留沿着台阶的凹边或者凸边分布。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述无机层包括栅极绝缘层和层间绝缘层，所述栅极绝缘层设置于所述基板和所述层间绝缘层之间；所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层分别在所述平面区和所述弯折区的交界处形成第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶中的至少一个台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一导电线设置于所述栅极绝缘层和所述层间绝缘层之间；所述第二导电线设置于所述层间绝缘层远离所述基板的一侧；所述层间绝缘层上设置有所述过孔。

4.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供基板；所述基板包括平面区和弯折区；

在所述基板上形成无机层；

采用掩模版图案化所述无机层，使所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶；所述台阶在所述基板上的垂直投影至少部分包括凹边和凸边中的至少一种；所述掩模版包括至少一条掩膜条，所述掩膜条包括至少一个开口；开口的边缘至少部分包括凹边和凸边中的至少一种；

形成第一导电线和第二导电线；所述第一导电线和所述第二导电线不同层设置，所述第一导电线设置于所述基板的平面区上，所述第二导电线设置于所述基板的部分平面区和弯折区上，且形成在无机层上；所述第一导电线和所述第二导电线通过过孔电连接；所述第二导电线的导电层微残留沿着台阶的凹边或者凸边分布。

5.根据权利要求4所述的显示面板的制作方法，其特征在于，采用掩模版图案化所述无机层，在所述平面区和所述弯折区的交界处形成台阶，包括：

所述掩模版开口的凹边和凸边中的至少一种与所述无机层在所述平面区和所述弯折区的交界处相对设置。