CN111712640A - 低温泵 - Google Patents

Abstract

本发明的低温泵(10)具备：低温泵壳体(70)；及吸水层(80)，其安装于低温泵壳体(70)的外侧。低温泵(10)还可以具备隔热层(82)，该隔热层(82)配置于低温泵壳体(70)与吸水层(80)之间。低温泵(10)还可以具备在外侧具有吸水层(80)且在内侧具有隔热层(82)的吸水隔热片(84)。

Description

低温泵

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵为通过冷凝或吸附将气体分子捕捉于冷却至超低温的低温板而进行排气的真空泵。低温泵通常用于实现半导体电路工艺等中要求的清洁的真空环境。低温泵为所谓的气体积存式真空泵，因此，需要定期进行向外部排出已捕捉到的气体的再生。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭60-71002号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

若低温泵的再生开始，则容纳低温板的低温泵壳体的真空被解除。通过已积存气体的再气化或吹扫气体的导入，壳体内会充满气体。再生初期，低温板还保持在超低温。由于真空隔热效果因气体的充满而消失，因此，低温板经由气体冷却壳体。由于壳体暴露于周围环境，因此，根据情况，壳体的外表面可能会产生结露。结露的水可能会滴落。

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于，抑制低温泵上出现结露或抑制结露的水滴落。

用于解决技术课题的手段

根据本发明的一种实施方式，低温泵具备低温泵壳体及安装于所述低温泵壳体的外侧的吸水层。

另外，以上构成要件的任意组合或本发明的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间的相互替换也作为本发明的方式而有效。

发明效果

根据本发明，能够抑制低温泵上出现结露或抑制结露的水滴落。

附图说明

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵及其结露抑制结构的侧剖视图。

图2是概略地表示图1所示的低温泵的沿A-A线剖切的剖视图。

图3是表示实施方式所涉及的结露抑制结构的另一例的概略图。

图4是表示其他实施方式所涉及的结露抑制结构的又一例的概略图。

图5是表示实施方式所涉及的结露抑制结构的又一例的概略图。

具体实施方式

以下，参考附图对本发明的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或等同的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当省略重复说明。为了便于说明，在附图中，适当设定各部的缩尺或形状，除非另有说明，其并不作限制性解释。实施方式仅为示例，其并不对本发明的范围作任何限定。实施方式中所描述的所有特征及其组合并不一定为发明的本质。

图1是概略地表示实施方式所涉及的低温泵10的侧剖视图。图2是概略地表示图1所示的低温泵10的沿A-A线剖切的剖视图。图1中示出了包括用单点划线表示的低温泵中心轴C的截面。但是，为了便于理解，在图1中，针对低温泵10的低温低温板部和制冷机，示出了侧面而不是截面。

如后述，低温泵10具有结露抑制结构。

低温泵10例如安装于离子注入装置、溅射装置、蒸镀装置或其他真空处理装置的真空腔室，并且用于使真空腔室内部的真空度提高至所希望的真空处理所要求的水平。低温泵10具有用于从真空腔室接收应排出的气体的进气口12。气体通过进气口12而进入低温泵10的内部空间14。

低温泵10可以以图1所示的朝向(即，进气口12朝向上方的姿势)设置于真空腔室而进行使用。但是，低温泵10的姿势并不只限于此，低温泵10也可以以其他朝向设置于真空腔室。

另外，以下为了清晰易懂地表示低温泵10的构成要件之间的位置关系，有时使用“轴向”、“径向”等用语。轴向表示通过进气口12的方向(图1中为沿通过进气口12的中心的低温泵中心轴C的方向)，径向表示沿进气口12的方向(与中心轴C垂直的方向)。为方便起见，有时将在轴向上相对靠近进气口12的一侧称为“上”，相对远离进气口12的一侧称为“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的一侧称为“上”，相对靠近低温泵10的底部的一侧称为“下”。关于径向，有时将靠近进气口12的中心(图1中为中心轴C)的一侧称为“内”，将靠近进气口12的周缘的一侧称为“外”。另外，这种表达形式与低温泵10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10也可以使进气口12沿垂直方向朝下安装于真空腔室。

并且，有时将包围轴向的方向称为“周向”。周向为沿进气口12的第2方向，是与径向正交的切线方向。

低温泵10具备制冷机16、第1级低温板18、第2级低温板总成20及低温泵壳体70。第1级低温板18又被称作高温低温板部或100K部。第2级低温板总成20又被称作低温低温板部或10K部。

制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机(所谓GM制冷机)等超低温制冷机。制冷机16为二级式制冷机。因此，制冷机16具备第1冷却台22及第2冷却台24。制冷机16构成为，将第1冷却台22冷却至第1冷却温度，并将第2冷却台24冷却至第2冷却温度。第2冷却温度低于第1冷却温度。例如，第1冷却台22被冷却至65K～120K左右，优选被冷却至80K～100K，第2冷却台24被冷却至10K～20K左右。

并且，制冷机16具备制冷机结构部21，该制冷机结构部21将第2冷却台24结构性地支承在第1冷却台22并将第1冷却台22结构性地支承在制冷机16的室温部26。因此，制冷机结构部21具备沿着径向以同轴方式延伸的第1缸体23及第2缸体25。第1缸体23将制冷机16的室温部26连接于第1冷却台22。第2缸体25将第1冷却台22连接于第2冷却台24。室温部26、第1缸体23、第1冷却台22、第2缸体25及第2冷却台24依次直线状排成一列。

在第1缸体23及第2缸体25的内部，以能够往复移动的方式分别配设有第1置换器及第2置换器(未图示)。在第1置换器及第2置换器中分别组装有第1蓄冷器及第2蓄冷器(未图示)。并且，室温部26具有用于使第1置换器及第2置换器往复移动的驱动机构(未图示)。驱动机构包括流路切换机构，该流路切换机构切换工作气体的流路以便周期性地反复向制冷机16的内部供给工作气体(例如氦气)以及从制冷机16的内部排出工作气体。

第1冷却台22设置于制冷机16的第1级低温端。第1冷却台22为在与室温部26相反的一侧从外侧包围第1缸体23的端部从而包围工作气体的第1膨胀空间的部件。第1膨胀空间为形成在第1缸体23的内部的第1缸体23与第1置换器之间且其容积随着第1置换器的往复移动而发生变化的可变容积。第1冷却台22由导热系数比第1缸体23的导热系数更高的金属材料制成。例如，第1冷却台22由铜制成，第1缸体23由不锈钢制成。

第2冷却台24设置于制冷机16的第2级低温端。第2冷却台24为在与室温部26相反的一侧从外侧包围第2缸体25的端部从而包围工作气体的第2膨胀空间的部件。第2膨胀空间为形成在第2缸体25的内部的第2缸体25与第2置换器之间且其容积随着第2置换器的往复移动而发生变化的可变容积。第2冷却台24由导热系数比第2缸体25的导热系数更高的金属材料制成。第2冷却台24由铜制成，第2缸体25由不锈钢制成。图1中还示出了第2冷却台24与第2缸体25之间的边界24b。

制冷机16与工作气体的压缩机(未图示)连接。制冷机16使被压缩机加压的工作气体在制冷机16的内部膨胀从而对第1冷却台22及第2冷却台24进行冷却。膨胀的工作气体回收至压缩机并重新被加压。制冷机16反复进行包括工作气体的供给及排出以及与该工作气体的供给及排出同步的第1置换器及第2置换器的往复移动的热循环，从而产生寒冷。

图示的低温泵10为所谓的卧式低温泵。卧式低温泵通常是指制冷机16与低温泵10的中心轴C交叉(通常为正交)配设的低温泵。制冷机16的第1冷却台22及第2冷却台24沿与低温泵中心轴C垂直的方向(图1中为水平方向，且为制冷机16的中心轴D的方向)排列。

第1级低温板18具备放射屏蔽件30和入口低温板32，且其包围第2级低温板总成20。第1级低温板18是为了从来自低温泵10外部或低温泵壳体70的辐射热保护第2级低温板总成20而设置的低温板。第1级低温板18与第1冷却台22热连接。因此，第1级低温板18被冷却至第1冷却温度。在第1级低温板18与第2级低温板总成20之间具有间隙，第1级低温板18并未与第2级低温板总成20接触。

放射屏蔽件30是为了从来自低温泵壳体70的辐射热保护第2级低温板总成20而设置的。放射屏蔽件30存在于低温泵壳体70与第2级低温板总成20之间，并且包围第2级低温板总成20。放射屏蔽件30具有用于从低温泵10的外部接收气体进入内部空间14的屏蔽件主开口34。屏蔽件主开口34位于进气口12。

放射屏蔽件30具备：屏蔽件前端36，确定屏蔽件主开口34；屏蔽件底部38，位于与屏蔽件主开口34相反的一侧；及屏蔽件侧部40，将屏蔽件前端36连接于屏蔽件底部38。屏蔽件前端36构成屏蔽件侧部40的一部分。屏蔽件侧部40沿轴向从屏蔽件前端36朝向与屏蔽件主开口34相反的一侧延伸，并且以包围第2冷却台24的方式沿周向延伸。放射屏蔽件30具有屏蔽件底部38被封闭的筒状(例如圆筒)形状，其形成为杯状。在屏蔽件侧部40与第2级低温板总成20之间形成有环状间隙42。

另外，屏蔽件底部38可以是与屏蔽件侧部40不同的另一部件。例如，屏蔽件底部38可以是直径与屏蔽件侧部40的直径大致相同的平坦的圆盘，并在与屏蔽件主开口34相反的一侧安装于屏蔽件侧部40。并且，屏蔽件底部38也可以构成为，其至少一部分被开放。例如，放射屏蔽件30也可以构成为，未被屏蔽件底部38封闭。即，屏蔽件侧部40的两端可以被开放。

屏蔽件侧部40具有供制冷机结构部21插入的屏蔽件侧部开口44。第2冷却台24及第2缸体25从放射屏蔽件30的外部通过屏蔽件侧部开口44而插入到放射屏蔽件30中。屏蔽件侧部开口44为形成于屏蔽件侧部40的安装孔，其形状例如为圆形。第1冷却台22配置于放射屏蔽件30的外部。

屏蔽件侧部40具备制冷机16的安装座46。安装座46为用于将第1冷却台22安装于放射屏蔽件30的平坦部分，从放射屏蔽件30的外部观察时，其稍微凹陷。安装座46形成屏蔽件侧部开口44的外周。在轴向上，安装座46相比屏蔽件前端36更靠近屏蔽件底部38。通过将第1冷却台22安装于安装座46，放射屏蔽件30与第1冷却台22热连接。

入口低温板32为了从来自低温泵10外部的热源的辐射热保护第2级低温板总成20而设置于屏蔽件主开口34。低温泵10外部的热源例如为安装有低温泵10的真空腔室内的热源。入口低温板32不仅能够限制辐射热进入，还能够限制气体分子进入。入口低温板32占据屏蔽件主开口34的开口面积的一部分，以便将通过屏蔽件主开口34而流入内部空间14的气体限制在所希望的量。在入口低温板32与屏蔽件前端36之间形成有环状的开放区域48。

入口低温板32通过适当的安装部件而安装于屏蔽件前端36，从而与放射屏蔽件30热连接。入口低温板32经由放射屏蔽件30热连接于第1冷却台22。入口低温板32例如具有多个环状或直线状的百叶窗板。或者，入口低温板32也可以是一张板状部件。

第2级低温板总成20以包围第2冷却台24的方式安装于第2冷却台24。因此，第2级低温板总成20与第2冷却台24热连接，第2级低温板总成20被冷却至第2冷却温度。第2级低温板总成20与第2冷却台24一同被屏蔽件侧部40包围。

第2级低温板总成20具备与屏蔽件主开口34相对的顶部低温板60、多个(本例中为两个)低温板部件62及低温板安装部件64。

并且，如图1所示，低温泵10具备低温板定位部件67。将第2级低温板总成20热连接于第2冷却台24的导热部包括低温板安装部件64及低温板定位部件67。顶部低温板60及低温板部件62经由低温板安装部件64和低温板定位部件67而安装于第2冷却台24。

顶部低温板60及低温板部件62与屏蔽件侧部40之间形成有环状间隙42，因此，顶部低温板60及低温板部件62均未与放射屏蔽件30接触。低温板部件62被顶部低温板60覆盖。

顶部低温板60为第2级低温板总成20中最靠近入口低温板32的部分。顶部低温板60在轴向上配置于屏蔽件主开口34或入口低温板32与制冷机16之间。顶部低温板60在轴向上位于低温泵10的内部空间14的中心部。因此，在顶部低温板60的正面(上表面)与入口低温板32之间形成有宽广的冷凝层的主容纳空间65。冷凝层的主容纳空间65占内部空间14的上半部分。

顶部低温板60为与轴向垂直配置的大致平板的低温板。即，顶部低温板60沿径向及周向延伸。如图2所示，顶部低温板60为尺寸(例如，投影面积)比入口低温板32的尺寸更大的圆板状板。但是，顶部低温板60与入口低温板32之间的尺寸关系并不只限于此，也可以设为顶部低温板60更小，或者也可以设为两者具有大致相同的尺寸。

顶部低温板60配置成在其与制冷机结构部21之间形成有间隙区域66。间隙区域66为在顶部低温板60的背面(下表面)与第2缸体25之间沿轴向形成的空间。

在低温板部件62设置有活性碳等吸附材料74。吸附材料74例如粘接于低温板部件62的背面(下表面)。低温板部件62的正面(上表面)作为冷凝面而发挥功能，背面则作为吸附面而发挥功能。在低温板部件62的正面也可以设置吸附材料74。同样地，顶部低温板60也可以在其正面和/或背面具有吸附材料74。或者，顶部低温板60也可以不具备吸附材料74。

两个低温板部件62夹着低温泵中心轴C而分别配置于第2冷却台24的两侧。低温板部件62沿与低温泵中心轴C垂直的平面而配置。为了便于理解，图2中用虚线表示低温板部件62及低温板安装部件64。

两个低温板部件62配置于低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的上端与下端之间的高度位置。两个低温板部件62配置于相同的高度。第2冷却台24在与低温泵中心轴C垂直的方向(制冷机16的中心轴D的方向)上的末端具备凸缘部24a。低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的上端及下端被凸缘部24a确定。即，两个低温板部件62配置于低温泵中心轴C的方向上的第2冷却台24的凸缘部24a的上端与下端之间的高度位置。

两个低温板部件62设计成相同的部件。两个低温板部件62具有相同的形状，且由相同的材料制成。低温板部件62具有弓形状、半月状或半圆状的形状。低温板部件62例如由铜等高导热系数的金属材料制成，并且例如可以被镍等镀层包覆。

如图2所示，低温板部件62具有圆弧部78及弦79。从低温泵中心轴C的方向观察时，两个低温板部件62配置成以两者的中间线(制冷机16的中心轴D)为对称轴而彼此对称。两个低温板部件62的圆弧部78位于以低温泵中心轴C为中心的同一圆周上。并且，各个低温板部件62具有以通过弦79的中点(或低温泵中心轴C)且与弦79垂直的线E为对称轴而线对称的形状。

如图1所示，低温板定位部件67固定于第2冷却台24的凸缘部24a，从而支承于第2冷却台24。低温板定位部件67形成为上下颠倒的倒L字状。通过使用低温板定位部件67，中心轴D方向上的制冷机16的长度限制得到缓和。即使第2冷却台24的凸缘部24a位于从低温泵中心轴C沿制冷机16的中心轴D的方向偏移的位置，也能够通过调整低温板定位部件67的上边部67a的长度来将第2级低温板总成20定位在低温泵中心轴C上。其结果，能够代替专为低温泵10设计的制冷机而能够采用现有的制冷机。这有助于降低低温泵10的制造成本。

另外，为了使低温泵中心轴C与第2级低温板总成20对位，也可以使低温板定位部件67的上边部67a与图1所示相反地从第2冷却台24的凸缘部24a沿制冷机16的中心轴D的方向朝向远离第2缸体25的方向延伸。对于具有大口径的进气口12的低温泵10而言，优选使用具有这种形状的低温板定位部件67。

低温泵10具备气体流向调整部件50，该气体流向调整部件50使从屏蔽件主开口34流入的气体的流向偏离制冷机结构部21。气体流向调整部件50构成为，使通过入口低温板32或开放区域48而流入主容纳空间65的气体的流向偏离第2缸体25。气体流向调整部件50可以是在制冷机结构部21或第2缸体25的上方与其相邻配置的气体流向偏向部件或气体流向反射部件。气体流向调整部件50设置在周向上的局部上，即，在周向上设置于与屏蔽件侧部开口44相同的位置上。气体流向调整部件50俯视时呈矩形形状。气体流向调整部件50例如为一张平坦板，但也可以弯曲。

气体流向调整部件50从屏蔽件侧部40延伸并且插入于间隙区域66。但是，气体流向调整部件50未与顶部低温板60、第2缸体25及其他包围间隙区域66的第2冷却温度部位接触。气体流向调整部件50经由放射屏蔽件30热连接于第1冷却台22。因此，气体流向调整部件50被冷却至第1冷却温度。

低温泵壳体70为容纳第1级低温板18、第2级低温板总成20及制冷机16的低温泵10的筐体，并且是以保持内部空间14的真空气密的方式构成的真空容器。低温泵壳体70以非接触方式包围第1级低温板18及制冷机结构部21。低温泵壳体70安装于制冷机16的室温部26。

通过低温泵壳体70的前端划定进气口12。低温泵壳体70具备从其前端朝向径向外侧延伸的进气口凸缘72。进气口凸缘72遍及低温泵壳体70的整周而设置。低温泵10利用进气口凸缘72安装于真空排气对象的真空腔室。

低温泵壳体70具备以与放射屏蔽件30非接触的方式包围放射屏蔽件30的低温板容纳部76及包围制冷机16的第1缸体23的制冷机容纳部77。低温板容纳部76与制冷机容纳部77形成为一体。

低温板容纳部76具有在一端形成有进气口凸缘72另一端则作为壳体底面76a而被封闭的圆筒状或圆顶状的形状。在将进气口凸缘72连接于壳体底面76a的低温板容纳部76的侧壁，与进气口12独立地形成有供制冷机16插入的开口。制冷机容纳部77具有从该开口朝向制冷机16的室温部26延伸的圆筒状的形状。制冷机容纳部77将低温板容纳部76连接于制冷机16的室温部26。

低温泵10具备安装于低温泵壳体70的外侧的吸水层80及配置于低温泵壳体70与吸水层80之间的隔热层82。低温泵10的结露抑制结构由吸水层80及隔热层82构成。结露抑制结构具备在外侧具有吸水层80而在内侧具有隔热层82的吸水隔热片84。吸水隔热片84为在隔热层82的外侧贴合吸水层80而成的片材。

吸水隔热片84覆盖低温泵壳体70的外表面的至少一部分，例如覆盖整个外表面。吸水隔热片84安装于低温板容纳部76和制冷机容纳部77这两者，并且覆盖它们的大致整个外表面。吸水隔热片84缠绕于低温板容纳部76的侧面从而覆盖该侧面。并且，吸水隔热片84还安装于壳体底面76a。吸水隔热片84还缠绕于制冷机容纳部77。吸水隔热片84利用适当的粘接方法安装于低温泵壳体70。

但是，吸水隔热片84并未覆盖进气口凸缘72。一般情况下，即使进气口凸缘72暴露在外也不会产生结露，因此，无需将吸水层80和/或隔热层82安装于进气口凸缘72。另外，必要时，也可以将吸水层80和/或隔热层82安装于进气口凸缘72。

吸水层80由吸水性比形成低温泵壳体70的外表面的构成材料(例如，SUS304等不锈钢)的吸水性和/或形成隔热层82的隔热材料的吸水性更优异的材料形成。吸水层80例如由吸水性树脂、吸水性多孔质材料等化学性和/或物理性地吸附水分的吸水材料或含有这种吸水材料的材料形成。吸水层80可以适当地使用市场上销售的通常被称作吸水性树脂、吸水聚合物、吸水片等的商品。或者，吸水层80也可以由毛毯、海绵等至少暂时保存水分的材料形成。

隔热层82由导热系数比形成低温泵壳体70的外表面的构成材料的导热系数更小的材料形成。隔热层82例如可以由发泡系隔热材料和/或纤维系隔热材料等各种公知的隔热材料形成。

隔热层82的厚度86设定成，使吸水层80的温度在低温泵10的再生期间维持在高于0℃的温度。隔热层82的厚度86也可以设定成，使吸水层80的温度维持在高于5℃或高于10℃的温度。换言之，隔热层82的厚度86设定成，不让隔热层82的外表面的温度在低温泵10的再生期间低于水的凝固点。

下面，对上述结构的低温泵10的动作进行说明。在低温泵10工作时，首先，在其工作之前利用其他适当的粗抽泵将真空腔室内部粗抽至1Pa左右。然后，使低温泵10工作。第1冷却台22及第2冷却台24通过制冷机16的驱动分别被冷却至第1冷却温度及第2冷却温度。因此，分别与它们热连接的第1级低温板18及第2级低温板总成20也分别被冷却至第1冷却温度及第2冷却温度。

入口低温板32冷却从真空腔室朝向低温泵10飞来的气体。在第1冷却温度下蒸气压充分降低的(例如，10^-8Pa以下的)气体在入口低温板32的表面冷凝。该气体也可以称为第1种气体(还可称为第1类气体)。第1种气体例如为水蒸气。如此，入口低温板32能够排出第1种气体。在第1冷却温度下蒸气压未充分降低的气体的一部分通过入口低温板32或开放区域48而进入主容纳空间65。或者，气体的另一部分被入口低温板32反射而不进入主容纳空间65。

进入到主容纳空间65的气体被第2级低温板总成20冷却。在第2冷却温度下蒸气压充分降低的(例如，10^-8Pa以下的)气体在第2级低温板总成20的表面冷凝。该气体也可以称为第2种气体(还可称为第2类气体)。第2种气体例如为氮气、氩气。如此，第2级低温板总成20能够排出第2种气体。由于顶部低温板60直接面向主容纳空间65，因此第2种气体的冷凝层会在顶部低温板60的正面大幅成长。另外，第2种气体在第1冷却温度下不会冷凝而是气体。

在第2冷却温度小蒸气压未充分降低的气体被第2级低温板总成20的吸附材料74吸附。该气体也可以称为第3种气体(还可称为第3类气体)。第3种气体例如为氢气。如此，第2级低温板总成20能够排出第3种气体。因此，低温泵10通过冷凝或吸附能够排出各种气体，从而能够使真空腔室的真空度达到所希望的水平。

通过排气运转的持续进行，气体会在低温泵10逐渐积蓄。为了向外部排出已积蓄的气体，需要进行低温泵10的再生。若再生结束，则可以重新开始排气运转。

为了促进低温泵10的升温从而缩短再生时间，通常在开始再生的同时向低温泵壳体70内导入吹扫气体。通过吹扫气体或积存气体的再气化，低温泵壳体70内充满气体，因此，与排气运转期间不同，真空隔热效果会消失。气体会促进低温板与低温泵壳体70之间的热交换。刚开始再生之后，低温板尚保持超低温，因此，低温泵壳体70可能被冷却。

并且，低温泵10的主容纳空间65较大，因此，能够积存大量的第2种气体。在再生的相对初期阶段，第2种气体熔化成液体。如上所述，第2种气体为氮气或氩气等，因此，该液化气体非常凉。液化气体会流淌至放射屏蔽件30或低温泵壳体70的底部，从而能够与低温泵壳体70的内表面接触。如此一来，低温泵壳体70会被显著冷却。因此，周围空气中的水分可能会在低温泵壳体70的外表面结露或变成霜。再生期间，低温泵10朝向室温逐渐升温，霜最终会被熔化。假设附着有大量的霜，霜会熔化成大量的水而滴落。有可能会弄湿低温泵10周围的其他装置、物品或地面。

实施方式所涉及的低温泵10具备安装于低温泵壳体70的外侧的吸水层80。欲附着于低温泵壳体70的外表面的水分会被吸水层80吸收。因此，能够抑制低温泵10上出现结露。由于结露得到抑制，因此，朝向低温泵10的周围或地面的滴水也会得到抑制。

并且，隔热层82配置于低温泵壳体70与吸水层80之间。与低温泵壳体70的温度下降相比，隔热层82的外表面的温度下降较小。与没有隔热层82而吸水层80直接安装于低温泵壳体70的情况相比，能够缩小外部气温与吸水层80之间的温差。因此，能够抑制在低温泵10上出现结露。

若隔热层82的外表面温度低于室温，则有可能会产生结露。要想不设置吸水层80而仅通过隔热层82来防止结露，则必须将隔热层82的厚度86设为足够厚。此时，所需的隔热层82的厚度86有可能会变大到实际上难以安装到低温泵壳体70的程度。

但是，实施方式所涉及的低温泵10具有吸水层80，因此，能够吸收可能会在隔热层82的外表面结露的水分。隔热层82的外表面的温度在一定程度上可以低于室温，因而可以将隔热层82设为薄。可以推测吸水层80本身的厚度无需太厚。因此，通过组合吸水层80与隔热层82，能够实现整体厚度小的结露抑制结构，更容易安装到低温泵10。

在一种典型的以往的低温泵中，为了抑制结露，在壳体上缠绕有带式加热器等电加热器。实施方式所涉及的低温泵10还具有不需要这种电加热器的优点(因此，实施方式所涉及的低温泵10不具有对低温泵壳体70进行加热的电加热器)。

并且，实施方式所涉及的低温泵10还不需要被称为排水盘(drain pan)的接水盘。

低温泵10具备在外侧具有吸水层80而在内侧具有隔热层82的吸水隔热片84。在吸水层80与隔热层82分别为独立的层的情况下，需要进行首先在低温泵壳体70上安装隔热层82接着在隔热层82上安装吸水层80的两个阶段的作业。若采用吸水隔热片84，则能够将吸水层80和隔热层82一同安装到低温泵壳体70，因此，制造变得容易。

若吸水层80的外表面温度变得低于0℃，则结露的水分会在吸水层80的外表面上结冰。冰层以从吸水层80分离的方式附着于吸水层80上。若冰层通过低温泵10的升温而融化，则会滴水。但是，根据实施方式，隔热层82的厚度86设定成，使吸水层80的温度在低温泵10的再生期间维持在高于0℃的温度。因此，吸水层80上的冰层形成得到抑制，滴水也得到抑制。

以上，根据实施例对本发明进行了说明。本领域技术人员应当可以理解，本发明并不只限于上述实施方式，其能够进行各种设计变更且存在各种变形例，并且这种变形例也属于本发明的范围。

在上述实施方式中，在低温板容纳部76和制冷机容纳部77这两者上均安装有吸水隔热片84，但这并不是必须的。吸水层80、隔热层82和/或吸水隔热片84也可以仅安装于低温板容纳部76与制冷机容纳部77中的任一个上。

吸水层80、隔热层82和/或吸水隔热片84也可以以仅覆盖低温泵壳体70的外表面的一部分的方式安装于低温泵壳体70。例如，吸水隔热片84可以仅安装于低温板容纳部76的下部。如此一来，能够利用吸水隔热片84吸收从低温板容纳部76的上部流淌下来的结露水，从而能够抑制结露水的滴落。并且，制冷机容纳部77有时还具备阀或传感器等从筒状部朝向外侧突出的构成要件。这种构成要件可以不被吸水隔热片84覆盖。

吸水层80也可以配置于低温泵壳体70与隔热层82之间。即，吸水层80可以配置于隔热层82的内侧。例如，如图3所示，低温泵壳体70可能会具有角部或弯曲部。为了提供良好的隔热性，隔热层82的厚度86设为比较厚。因此，可能会出现隔热层82难以紧贴于角部或弯曲部从而难以完全覆盖的情况。这种情况下，如图3所示，可以用吸水层80覆盖低温泵壳体70的角部或弯曲部。

并且，如图4所示，在隔热层82难以完全覆盖低温泵壳体70的角部或弯曲部的情况下，吸水层80可以从外侧覆盖隔热层82。此时，在低温泵壳体70的角部或弯曲部并未设置有隔热层82，因此，在角部或弯曲部与吸水层80之间可以形成有间隙87。

如图5所示，低温泵10还可以具备排水盘88。排水盘88可以是配置于低温泵壳体70的下方的接水盘，且其构成为防止结露水滴落到地面94和/或接收并存储滴落的结露水。排水盘88安装于低温泵壳体70的低温板容纳部76。排水盘88可以与脚轮90一起紧固在低温板容纳部76。可以将隔热垫片92插入于排水盘88与低温板容纳部76之间。另外，排水盘88也可以通过悬吊于进气口凸缘72等其他方式安装于低温泵壳体70。

吸水层80、隔热层82和/或吸水隔热片84安装于制冷机容纳部77。吸水层80、隔热层82和/或吸水隔热片84也可以安装于低温板容纳部76。如此，作为实施方式所涉及的结露抑制结构，也可以并用排水盘88。

在上述说明中例示出了卧式低温泵，但本发明还可以应用于立式等其他低温泵。另外，所谓的立式低温泵是指：制冷机16沿着低温泵10的低温泵中心轴C而配设的低温泵。此时，制冷机容纳部77设置于壳体底面76a而不是低温板容纳部76的侧面。并且，低温泵的内部结构(例如，低温板的配置、形状、数量等)并不只限于上述特定的实施方式。可以适当地采用各种公知的结构。

符号说明

10-低温泵，70-低温泵壳体，80-吸水层，82-隔热层，84-吸水隔热片。

产业上的可利用性

本发明能够应用于低温泵领域。

Claims (4)

1.一种低温泵，其特征为，具备：

低温泵壳体；及

吸水层，其安装于所述低温泵壳体的外侧。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征为，

还具备隔热层，所述隔热层配置于所述低温泵壳体与所述吸水层之间。

3.根据权利要求2所述的低温泵，其特征为，

具备在外侧具有所述吸水层且在内侧具有所述隔热层的吸水隔热片。

4.根据权利要求2或3所述的低温泵，其特征为，

所述隔热层的厚度设定成，使所述吸水层的温度在所述低温泵的再生期间维持在高于0℃的温度。

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