CN111696883A - 混液装置及其浓度调节方法 - Google Patents

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Abstract

一种混液装置及其浓度调节方法，所述混液装置包括：内槽体；外槽体；循环管路，连通所述内槽体和外槽体，用于使外槽体内的液体经由所述循环管路进入所述内槽体；排液单元，连通所述外槽体，用于排出所述外槽体内高于预设液位的液体。可以提高混液装置内液体浓度的控制准确性。

Description

混液装置及其浓度调节方法
技术领域
本发明涉及半导体设备领域，尤其涉及一种混液装置及其浓度调节方法。
背景技术
在半导体工艺中，经常需要将晶圆浸入混液装置内，进行湿法腐蚀或者清洗等工艺。混液装置内可以盛放酸性溶液、碱性溶液或去离子水等，以对应不同的处理工艺。混液装置在处理时间长、高温以及均一性特殊分布的工艺上有相当的必要性，另外还具有高产能低成本的优势。
例如，现有技术中，通过SPM溶液被用于去除光刻胶或其他有机薄膜层，SPM溶液为硫酸和双氧水的混合水溶液，SPM的浓度对去除光刻胶或其他有机薄膜层的效果有决定作用，在刻蚀过程中，需要向混液装置内补充新的SPM溶液，以维持混液装置内的溶液浓度稳定。
但是，现有技术中，向混液装置内补入液体的过程中，对混液装置内的溶液浓度很难得到准确控制，导致混液装置内的溶液浓度无法达到预期要求，从而无法有效去除目标材料层，导致残留缺陷等问题，影响产品的良率。
如何避免上述问题，是目前亟待解决的问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种混液装置及其浓度调节方法，提高对所述混液装置内的液体浓度的控制准确性。
为了解决上述问题，本发明提供了一种混液装置，包括：内槽体；外槽体；循环管路，连通所述内槽体和外槽体，用于使外槽体内的液体经由所述循环管路进入所述内槽体；排液单元，连通所述外槽体，用于排出所述外槽体内高于预设液位的液体。
可选的，所述内槽体和所述外槽体共用部分侧壁。
可选的，还包括控制单元，所述控制单元连接所述外槽体和所述排液单元，所述控制单元用于实时检测所述外槽体中的液位高度，并根据所述液位高度控制所述排液单元开断。
可选的，还包括：加液单元，用于向所述外槽体内加入液体；所述加液单元与所述控制单元连接，所述控制单元用于根据所述排液单元的开断控制所述加液单元是否向所述外槽体内加入液体。
为解决上述问题，本发明的技术方案还提供一种混液装置的浓度调节方法，所述混液装置包括：内槽体；外槽体；所述浓度调节方法包括：实时检测所述外槽体中的液位高度，根据所述外槽体中的液位高度决定是否排出所述外槽体内的液体。
可选的，包括：设定预设液位和排液时间，所述外槽体达到预设液位时，打开所述排液单元，在所述排液时间内完成排液。
可选的，所述排液时间为3-8s。
可选的，包括：设定加液时间，所述排液单元完成排液后，向所述外槽体中加液，在所述加液时间内完成加液。
可选的，所述加液时间为3-5s。
可选的，加液完成后，液位高度大于所述预设液位高度。
本发明的混液装置，在外槽体内设置有排液单元，用于排出外槽体内高于预设液面的液体，避免新加入的液体溢出，从而可以准确控制所述液体槽内的溶液浓度，提高所述混液装置对晶圆进行处理的效果。
附图说明
图1和图2为本发明具体实施方式的混液装置的结构示意图；
图3为现有技术和本发明的混液装置内溶液浓度随时间变化的曲线图。
具体实施方式
如背景技术中所述，现有的混液装置对液体浓度较难控制。发明人发现，当混液装置内的溶液高度过高时，新加入的液体未经充分混合就会通过溢流口溢出，无法和原有液体很好的混合，从而很难对液体浓度进行精确控制。
为此，发明人提出了一种新的混液装置。
下面结合附图对本发明提供的混液装置的具体实施方式做详细说明。
请参考图1，为本发明一具体实施方式的混液装置的结构示意图。
所述混液装置包括：内槽体101、外槽体102、循环管路103以及排液单元104。
所述内槽体101内用于盛放化学液体100，例如各种酸或去离子水等，用于对晶圆进行湿法刻蚀或清洗等处理。待处理晶圆110竖直放置与所述内槽体101内。所述内槽体101底部设置有喷嘴1011，用于向所述内槽体101内喷入液体，并且使得所述内槽体101内的液体100循环流动，使得内槽体101内的液体浓度分布均匀，从而对晶圆110各位置处的处理均较为均匀。所述化学液体100可以为SPM溶液，用于去除晶圆110表面的光刻胶等有机薄膜材料。化学液体100的浓度对晶圆110的处理效果影响很大。
所述外槽体102固定于所述内槽体101外，所述内槽体101和所述外槽体102共用部分侧壁。在一个具体实施方式中，所述外槽体102包围所述内槽体101设置。
在对晶圆110进行处理的过程中，由于溶液的蒸发、以及晶圆110进出内槽体101时会带走一部分的液体，通过循环管路103的循环，使得内槽体101内的液体始终保持液位为满的状态，而随着晶圆处理过程的进行，混液装置内的溶液减少，使得外槽体102内液位下降，并且随着对晶圆处理过程中对溶液内有效成分的消耗使得溶液浓度下降，需要向外槽体102内补入化学液体，以维持所述化学液体100的有效成分浓度。所述外槽体102一方面用于容纳自所述内槽体101内溢出的液体，另一方面，当需要向所述混液装置内加入新的化学液时，将新的化学液加入所述外槽体102内，再通过循环管路103进入内槽体101内。
所述混液装置还包括加液单元106，用于向所述外槽体102内加入新的化学液体。在一些具体实施方式中，所述外槽体102底部为台阶状，使得所述外槽体102至少具有两个深度。所述加液单元106设置于所述外槽体102的最小深度处上方，自所述外槽体102的最小深度处向所述外槽体102内加入新的化学液体，使得加入的液体能够至最小深度处自最大深度处流动，有利于液体的混合。所述加液单元106向外槽体102内加入的新的化学液可以是一种溶液，例如HF溶液；也可以是两种以上溶液，例如H2SO4和H2O2，分别通过不同的加液管路加入所述外槽体102内，使得两种溶液在外槽体102内混合，形成SPM溶液。新加入的不同液体之间，以及加入液体与外槽体102内的液体充分混合是保持溶液浓度达标的关键。所述加液单元106可以包括两个以上的加液管路，用于向所述外槽体102内加入两种以上的溶液。
所述循环管路103，连通所述内槽体101和外槽体102，用于使外槽体102内的液体经由所述循环管路103进入所述内槽体101。所述循环管路103的输入端连通至所述外槽体101的底部，通常为所述外槽体101的最大深度处的底部；所述循环管路103的输出端连通至所述内槽体101的底部，具体的，连接至所述内槽体101底部内设置的喷嘴1011。所述外槽体102内的液体经由所述循环管路103进入所述内槽体101内。当向所述外槽体102内加入新的化学液体后，新的化学液与外槽体102内的化学液混合，自外槽体102底部进入所述循环管路103内，再进入内槽体101内，从而调整所述内槽体101内的溶液浓度。
该具体实施方式中，所述循环管路103上至少设置有泵1031、加热器1032以及过滤器1033，外槽体102内的液体由泵1031抽取进入循环管路103内，经由加热器1032加热、过滤器1033过滤后，由喷嘴1011喷入内槽体101内。
所述混液装置还包括浓度计105，与所述循环管路103连接，用于对所述循环管路103内的液体浓度进行测量，以判断进入内槽体101内的溶液浓度是否符合要求。
所述排液单元104，连通所述外槽体102底部和外部，用于向外部排出所述外槽体102内高于预设液位的液体，为新加入的液体保留足够空间，避免新加入的液体未经充分混合，就从所述外槽体102内溢出。
该具体实施方式中，所述排液单元104包括至少一根排液管1041，连通所述外槽体102的底部，可以设置于所述外槽体102的底部或者靠近底部处的侧壁处。
在其他具体实施方式中，所述排液单元104可以包括两根以上的排液管，可以提高排出液体时的效率。在其他具体实施方式中，所述排液单元104包括两根以上的排液管，分别对应不同的预设液位，通过控制对应进液高度的排液管排液，排出对应预设液位高度上方的液体。
当所述混液装置内的溶液温度较高时，通过所述排液单元104排出的液体可以经过一冷却装置，再排至厂务端。
所述排液单元104还包括设置于所述排液管1041上的阀门1042，用于控制所述排液管1041的通断状态。在其他具体实施方式中，当具有多根排液管的情况下，每根排液管上均设置有阀门，便于对各排液管单独进行控制。
所述混液装置还包括控制单元107，所述控制单元107连接所述外槽体102和所述排液单元104，所述控制单元107用于实时检测所述外槽体102中的液位高度，并根据所述液位高度控制所述排液单元104开断。当外槽体102内的液体高度大于所述预设液位且时间达到需要加液的预设参数时，所述控制单元107控制所述阀门1042开启，液体通过所述排液管1041自所述外槽体102底部排出。该具体实施方式中，所述外槽体102包括至少六个液位检测器，分别分布于液位L1～L6处，侦测外槽体102内的实时液位。其中，L1为空液位，表示液体基本为排空状态；L2为泵保护液位，当液体液位下降至L2时，需要停止泵1031抽取液体；L3为加热保护液位，当液体处于此液位时，加热器1032开始加热；L4为第一测试液位，当液体处于此液位时，只通入纯水；L5为测量液位；L6为液位上限。可以根据不同情况，选择其中的一个或多个液位作为预设液位。该具体实施方式中，以L5作为排液单元排液的预设液位。根据所述外槽体102内液体的液位高度与所述预设液位之间的关系，控制自所述外槽体102内排出液体的量，所述排出液体的量由排液时间控制。所述外槽体102达到预设液位时，打开所述排液单元104，在所述排液时间内完成排液。所述排液时间可以为3-8s。可以根据每次加入液体的量以及预设液位高度，合理设定所述排液时间。
所述控制单元107还连接至所述加液单元106，用于根据所述排液单元的开断控制所述加液单元是否向所述外槽体内加入液体。
在一些具体实施方式中，所述控制单元107可以在检测到外槽体102内液位下降到预设液位L5时，开启所述阀门1042，在排液时间内排出一定量的液体，使得液位低于所述预设液位L5；然后加液单元106向所述外槽体106内加入新的液体，加入液体的量可以通过加液时间控制，所述加液时间可以为3-5s，使得加液完成后，外槽体102内的液位高度大于所述预设液位高度。
由于在加液单元106进行加液之前，排液单元104通过排出部分外槽体102内的液体，使得外槽体102内的液体液位低于预设液位，使得外槽体102内有足够的空间容纳新加入的液体，避免新加入的液体溢出，从而能够准确控制混液装置内的液体浓度。
在另一些具体实施方式中，还可以在前一次加入新的液体之后，经过一预设时间后，开启所述排液单元104在排液时间内进行排液；排液完成后，通过加液单元106在加液时间内加液，在加液过程中，当液位到达预设液位之后，再继续加液3-5s，以确保新加入液体后外槽体102内的液位高于预设液位。
在排液以及加液的过程中，可以保持所述循环管路103关闭，外槽体102内的液体不会经过所述循环管路103进入到内槽体101内，从而使得新加入的液体有足够的时间在外槽体102内混合均匀，可以在加液完成之后，过一段时间，液体在外槽体内充分混合之后，再开启所述循环管路103；进一步，所述浓度计105在所述循环管路103关闭的状态下，加热器1032不加热且有补酸，此时浓度计不侦测浓度，避免检测的浓度发生错误。在加入新的液体一段时间后，开启所述循环管路，将外槽体102内的液体循环至内槽体101内。此时，由于外槽体102内的液体已经充分混合，浓度控制较为准确，因此，进入所述内槽体101内能够对晶圆有较高的处理效果，满足溶液浓度要求，且浓度计105检测到的溶液浓度也更为准确。
在该具体实施方式中，所述外槽体102的槽壁上还设置有溢流口1023，所述溢流口1023的位置高于所述预设液位。在遇到特殊情况，所述排液单元未能及时排液导致外槽体102内液位过高时，液体能够自所述溢流口1023流出，避免液体溢出至装置其他位置，造成装置损坏或污染环境。在其他具体实施方式中，所述外槽体102侧壁也可以不用设置所述溢流口。
请参考图2，为本发明另一具体实方式的混液装置的结构示意图。
所述混液装置的排液单元200包括排液管201和排液管202，分别具有不同的进液高度，即对应不同的预设液位。
所述排液管201上设置有阀门2011，所述排液管202上设置有阀门2021，用于分别对所述排液管201和排液管202进行控制。
所述控制单元107连接至所述阀门2011和阀门2021，用于对所述阀门2011和阀门2021进行控制。根据不同的预设液位，选择不同的排液管进行排液。
本发明的混液装置，在外槽体内设置排液单元，用于排出外槽体内高于预设液面的液体，避免新加入的液体溢出，从而可以准确控制所述液体槽内的溶液浓度，提高所述混液装置对晶圆进行处理的效果。
本发明的具体实施方式，还提供一种混液装置的液体浓度调节方法，所述混液装置包括：内槽体；外槽体；所述浓度调节方法包括：实时检测所述外槽体中的液位高度，根据所述外槽体中的液位高度决定是否排出所述外槽体内的液体。
在一些具体实施方式中，所述液体浓度调节方法还包括设定预设液位和排液时间，所述外槽体达到预设液位时，打开所述排液单元，在所述排液时间内完成排液。所述排液时间可以为3-8s，可以根据预设液位的高度以及后续单次加入液体的体积进行调整。
在一些具体实施方式中，还包括设定加液时间，所述排液单元完成排液后，向所述外槽体中加液，在所述加液时间内完成加液。所述加液时间可以为3-5s，可以根据加入液量以及预设液位高度进行设置。加液完成后，液位高度大于所述预设液位高度。
在一些具体实施方式中，可以在检测到外槽体内液位下降到预设液位时，排出外槽体内一定量的液体，使得外槽体内液位低于所述预设液位；然后加液向所述外槽体内加入新的液体，加入液体的量可以通过加液时间控制，所述加液时间可以为3-5s，使得加液完成后，外槽体内的液位高度大于所述预设液位高度。
由于在进行加液之前，通过排出部分外槽体内的液体，使得外槽体内的液体液位低于预设液位，使得外槽体内有足够的空间容纳新加入的液体，避免新加入的液体溢出，从而能够准确控制混液装置内的液体浓度。
在另一些具体实施方式中，还可以在前一次加入新的液体之后，经过一预设时间后，在排液时间内进行排液；排液完成后，在加液时间内加液，在加液过程中，当液位到达预设液位之后，再继续加液3-5s，以确保新加入液体后外槽体内的液位高于预设液位。
在排液以及加液的过程中，可以关闭外槽体和内槽体之间的液体循环，外槽体内的液体不会经过所述循环管路进入到内槽体内，从而使得新加入的液体有足够的时间在外槽体内混合均匀；进一步，在所述循环管路关闭的状态下，停止对浓度的检测，避免检测的浓度发生错误。在加入新的液体一段时间后，开启所述循环管路，将外槽体内的液体循环至内槽体内。此时，由于外槽体内的液体已经充分混合，浓度控制较为准确，因此，进入所述内槽体内能够对晶圆有较高的处理效果，满足溶液浓度要求，且检测到的溶液浓度也更为准确。
请参考图3，为本发明一具体实施方式中，采用上述混液装置及其浓度调节方法获得的混液装置内溶液浓度变化与现有技术中无排液单元的混液装置中溶液浓度变化曲线图。
其中曲线1为现有技术中传统的混液装置中，SPM溶液浓度随时间变化的曲线，曲线2为本发明一具体实施方式中，SPM溶液浓度随时间变化的曲线，曲线3为SPM溶液的浓度下限。可见，在新的SPM溶液的浓度相同的情况下，本发明的具体实施方式中，混液装置中的SPM溶液浓度在相同时间时大于传统混液装置中的溶液浓度，且在浓度下限上方维持的时间更长。
曲线2中，曲线浓度不连续，这是因为在排液和加液时间内，浓度计不对溶液浓度进行检测。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种混液装置，其特征在于，包括：
内槽体；
外槽体；
循环管路，连通所述内槽体和外槽体，用于使外槽体内的液体经由所述循环管路进入所述内槽体；
排液单元，连通所述外槽体，用于排出所述外槽体内高于预设液位的液体。
2.根据权利要求1所述的混液装置，其特征在于，所述内槽体和所述外槽体共用部分侧壁。
3.根据权利要求1所述的混液装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元连接所述外槽体和所述排液单元，所述控制单元用于实时检测所述外槽体中的液位高度，并根据所述液位高度控制所述排液单元开断。
4.根据权利要求3所述的混液装置，其特征在于，还包括：加液单元，用于向所述外槽体内加入液体；所述加液单元与所述控制单元连接，所述控制单元用于根据所述排液单元的开断控制所述加液单元是否向所述外槽体内加入液体。
5.一种混液装置的浓度调节方法，所述混液装置包括：内槽体；外槽体；其特征在于，所述浓度调节方法包括：
实时检测所述外槽体中的液位高度，根据所述外槽体中的液位高度决定是否排出所述外槽体内的液体。
6.根据权利要求5所述的浓度调节方法，其特征在于，包括：设定预设液位和排液时间，所述外槽体达到预设液位时，打开所述排液单元，在所述排液时间内完成排液。
7.根据权利要求6所述的浓度调节方法，其特征在于，所述排液时间为3-8s。
8.根据权利要求6所述的浓度调节方法，其特征在于，包括：设定加液时间，所述排液单元完成排液后，向所述外槽体中加液，在所述加液时间内完成加液。
9.根据权利要求8所述的浓度调节方法，其特征在于，所述加液时间为3-5s。
10.根据权利要求8所述的浓度调节方法，其特征在于，加液完成后，液位高度大于所述预设液位高度。
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