CN111696881A - 一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置 - Google Patents

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Abstract

本发明属于晶圆领域，尤其是一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，针对目前市场上的硅晶圆光阻溶解过程观测装置使用不够方便，不便于进行溶解操作，现提出如下方案：一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座与溶解桶，所述底座的下端外表面固定安装有支架，所述支架的下端活动安装有滚轮，所述底座的上端固定安装有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一侧的位置固定安装有安装座，所述安装座的上端活动连接有立柱。本发明中，通过滚轮上的减震结构是装置移动更加稳定，通过可转动的立柱能够方便观测装置的使用，并且通过可升降的夹具能够方便对晶圆进行光阻溶解操作。

Description

一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置
技术领域
本发明涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，光阻，亦称为光阻剂，是一个用在许多工业制程上的光敏材料。在硅晶圆制作过程中，需要通过溶解液将晶圆上多余的光阻溶解。
在晶圆光阻溶解过程中，工作人员不方便观察晶圆光阻的溶解情况，不便于根据晶圆光阻的溶解情况对光阻的溶解进行记录分析，因此，现在提出一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置。
发明内容
本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，解决了目前市场上的硅晶圆光阻溶解过程观测装置使用不够方便，不便于进行溶解操作。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座与溶解桶，所述底座的下端外表面固定安装有支架，所述支架的下端活动安装有滚轮，所述底座的上端固定安装有固定座，所述溶解桶放置在固定座的上端，所述底座的上端位于固定座的一侧的位置固定安装有安装座，所述安装座的上端活动连接有立柱，所述立柱的上端一侧固定连接有连接臂，所述连接臂的一端固定连接有定位柱，所述定位柱的下端活动连接有活动杆，所述活动杆的下端固定安装有夹具。
优选的，所述支架的上端中间固定安装有支撑套管，所述支撑套管的上端活动连接有连接套管，所述连接套管的上端中间固定连接有安装杆，所述连接套管的内部上端固定安装有阻尼垫，所述连接套管的内部固定连接有减震弹簧，所述减震弹簧的两端分别与支撑套管和阻尼垫固定连接，所述连接套管通过减震弹簧与支撑套管活动连接。
优选的，所述固定座的上端外表面开设有固定槽，所述固定槽的内部填充有橡胶板，所述固定座的上端位于固定槽的四周的位置均固定安装有限位柱，所述限位柱的数量为三组，三组所述限位柱在固定座的上端呈三角形分布，所述限位柱的外表面固定安装有橡胶圈。
优选的，所述安装座的内部固定安装有轴承，所述立柱的下端位于安装座的内部的位置固定连接有连接轴，所述连接轴贯穿轴承与安装座活动连接，所述立柱通过轴承与安装座活动连接，所述立柱的外表面固定安装有连接座，所述连接座呈筒状结构，所述安装座的上端外表面开设有滑槽，所述连接座的下端位于滑槽的内部的位置活动安装有滚珠。
优选的，所述定位柱的内部开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内部上方固定安装有固定板，所述固定板的上端位于伸缩槽的内部的位置固定安装有电机，所述电机的外表面固定安装有接线盒，所述电机的下端固定连接有丝杠，所述伸缩槽的内壁下方固定安装有导轨，所述活动杆的上端位于伸缩槽的内部的位置固定连接有滑座，所述丝杠贯穿滑座并延伸至活动杆的内部，所述活动杆通过丝杠与定位柱活动连接。
优选的，所述底座的前端外表面开设有检修门，所述检修门的外表面固定连接有安装螺钉，安装螺钉的数量为四组。
优选的，所述滚轮的数量为若干组，所述溶解桶的材质为玻璃，所述夹具位于溶解桶的内部。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明中，通过设置的支架、滚轮、支撑套管、连接套管、安装杆、阻尼垫和减震弹簧，利用减震弹簧和阻尼垫使滚轮具有减震效果，观测装置使用时通过滚轮进行移动，而滚轮上的减震弹簧能够进行减震，使观测装置移动时更加的稳定，从而避免观测装置移动过程中因震动而造成观测装置上部件的损坏，使观测装置的使用效果更好。
2、本发明中，通过设置的安装座、立柱、轴承、连接轴、连接座、滑槽和滚珠，使立柱可以在安装座上进行转动，观测装置在观测晶圆光阻溶解的过程中，可以根据观测需要利用立柱调节定位柱的的位置，从而使观测人员能够方便对夹具上的硅晶圆进行观察记录，方便观测装置的使用。
3、本发明中，通过设置的定位柱、活动杆、伸缩槽、固定板、电机、接线盒、丝杠、导轨和滑座，利用丝杠可以使活动杆进升降，从而使活动杆上的夹具能够进行自动的上下自动，晶圆光阻溶解时，利用丝杠的带动能够使晶圆方便进出溶解桶。
4、本发明中，通过设置的固定座、固定槽、橡胶板、限位柱和橡胶圈，溶解桶通过固定座进行固定时，固定槽中的橡胶板和限位柱上的橡胶圈能够使溶解桶放置更加的稳定，避免溶解桶在使用的过程中晃动，从而方便工作人员进行晶圆光阻溶解观测。
附图说明
图1为本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置的整体结构示意图；
图2为本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置的支架与滚轮的连接结构示意图；
图3为本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置的固定座的结构示意图；
图4为本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置的安装座与立柱的连接结构示意图；
图5为本发明提出的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置的定位柱与活动杆的连接结构示意图。
图中：1、底座；2、支架；3、滚轮；4、检修门；5、固定座；6、溶解桶；7、安装座；8、立柱；9、连接臂；10、定位柱；11、活动杆；12、夹具；13、支撑套管；14、连接套管；15、安装杆；16、阻尼垫；17、减震弹簧；18、固定槽；19、橡胶板；20、限位柱；21、橡胶圈；22、轴承；23、连接轴；24、连接座；25、滑槽；26、滚珠；27、伸缩槽；28、固定板；29、电机；30、接线盒；31、丝杠；32、导轨；33、滑座。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-5，一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座1与溶解桶6，底座1的下端外表面固定安装有支架2，支架2的下端活动安装有滚轮3，底座1的上端固定安装有固定座5，溶解桶6放置在固定座5的上端，底座1的上端位于固定座5的一侧的位置固定安装有安装座7，安装座7的上端活动连接有立柱8，立柱8的上端一侧固定连接有连接臂9，连接臂9的一端固定连接有定位柱10，定位柱10的下端活动连接有活动杆11，活动杆11的下端固定安装有夹具12。
支架2的上端中间固定安装有支撑套管13，支撑套管13的上端活动连接有连接套管14，连接套管14的上端中间固定连接有安装杆15，连接套管14的内部上端固定安装有阻尼垫16，连接套管14的内部固定连接有减震弹簧17，减震弹簧17的两端分别与支撑套管13和阻尼垫16固定连接，连接套管14通过减震弹簧17与支撑套管13活动连接，固定座5的上端外表面开设有固定槽18，固定槽18的内部填充有橡胶板19，固定座5的上端位于固定槽18的四周的位置均固定安装有限位柱20，限位柱20的数量为三组，三组限位柱20在固定座5的上端呈三角形分布，限位柱20的外表面固定安装有橡胶圈21，安装座7的内部固定安装有轴承22，立柱8的下端位于安装座7的内部的位置固定连接有连接轴23，连接轴23贯穿轴承22与安装座7活动连接，立柱8通过轴承22与安装座7活动连接，立柱8的外表面固定安装有连接座24，连接座24呈筒状结构，安装座7的上端外表面开设有滑槽25，连接座24的下端位于滑槽25的内部的位置活动安装有滚珠26，定位柱10的内部开设有伸缩槽27，伸缩槽27的内部上方固定安装有固定板28，固定板28的上端位于伸缩槽27的内部的位置固定安装有电机29，电机29的外表面固定安装有接线盒30，电机29的下端固定连接有丝杠31，伸缩槽27的内壁下方固定安装有导轨32，活动杆11的上端位于伸缩槽27的内部的位置固定连接有滑座33，丝杠31贯穿滑座33并延伸至活动杆11的内部，活动杆11通过丝杠31与定位柱10活动连接，底座1的前端外表面开设有检修门4，检修门4的外表面固定连接有安装螺钉，安装螺钉的数量为四组，滚轮3的数量为若干组，溶解桶6的材质为玻璃，夹具12位于溶解桶6的内部。
综上所述，本发明中，通过支架2下端的滚轮3将装置移动到使用场所，支架2上端的支撑套管13和连接套管14之间安装有阻尼垫16。和减震弹簧17，从而使滚轮3具有减震效果，装置移动时能够更加的稳定，避免观测装置移动时因震动而损坏，将需要溶解的晶圆通过夹具12夹紧固定，然后利用安装座7中的轴承22和立柱8下端的连接轴23转动立柱，使立柱8上的定位柱10和活动杆11移动到溶解桶6的上方，溶解桶6安装在固定座5的上端，固定座5的安装槽18中的橡胶板19和限位柱20上的橡胶圈21能够使溶解桶6放置更加稳定，避免溶解桶6晃动，活动杆11下端夹具12上的晶圆随着立柱8移动到溶解桶6上之后，定位柱10中的电机29带动丝杠31转动，从而使活动杆11随着滑座33在定位柱10的伸缩槽27中下降，从而将晶圆伸入溶解桶6中，溶解桶6中的溶解液将晶圆上的光阻进行溶解，溶解桶6为玻璃材质，工作人员可以观测溶解桶6中晶圆光阻的溶解情况。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，包括底座(1)与溶解桶(6)，其特征在于，所述底座(1)的下端外表面固定安装有支架(2)，所述支架(2)的下端活动安装有滚轮(3)，所述底座(1)的上端固定安装有固定座(5)，所述溶解桶(6)放置在固定座(5)的上端，所述底座(1)的上端位于固定座(5)的一侧的位置固定安装有安装座(7)，所述安装座(7)的上端活动连接有立柱(8)，所述立柱(8)的上端一侧固定连接有连接臂(9)，所述连接臂(9)的一端固定连接有定位柱(10)，所述定位柱(10)的下端活动连接有活动杆(11)，所述活动杆(11)的下端固定安装有夹具(12)。
2.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述支架(2)的上端中间固定安装有支撑套管(13)，所述支撑套管(13)的上端活动连接有连接套管(14)，所述连接套管(14)的上端中间固定连接有安装杆(15)，所述连接套管(14)的内部上端固定安装有阻尼垫(16)，所述连接套管(14)的内部固定连接有减震弹簧(17)，所述减震弹簧(17)的两端分别与支撑套管(13)和阻尼垫(16)固定连接，所述连接套管(14)通过减震弹簧(17)与支撑套管(13)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述固定座(5)的上端外表面开设有固定槽(18)，所述固定槽(18)的内部填充有橡胶板(19)，所述固定座(5)的上端位于固定槽(18)的四周的位置均固定安装有限位柱(20)，所述限位柱(20)的数量为三组，三组所述限位柱(20)在固定座(5)的上端呈三角形分布，所述限位柱(20)的外表面固定安装有橡胶圈(21)。
4.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述安装座(7)的内部固定安装有轴承(22)，所述立柱(8)的下端位于安装座(7)的内部的位置固定连接有连接轴(23)，所述连接轴(23)贯穿轴承(22)与安装座(7)活动连接，所述立柱(8)通过轴承(22)与安装座(7)活动连接，所述立柱(8)的外表面固定安装有连接座(24)，所述连接座(24)呈筒状结构，所述安装座(7)的上端外表面开设有滑槽(25)，所述连接座(24)的下端位于滑槽(25)的内部的位置活动安装有滚珠(26)。
5.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述定位柱(10)的内部开设有伸缩槽(27)，所述伸缩槽(27)的内部上方固定安装有固定板(28)，所述固定板(28)的上端位于伸缩槽(27)的内部的位置固定安装有电机(29)，所述电机(29)的外表面固定安装有接线盒(30)，所述电机(29)的下端固定连接有丝杠(31)，所述伸缩槽(27)的内壁下方固定安装有导轨(32)，所述活动杆(11)的上端位于伸缩槽(27)的内部的位置固定连接有滑座(33)，所述丝杠(31)贯穿滑座(33)并延伸至活动杆(11)的内部，所述活动杆(11)通过丝杠(31)与定位柱(10)活动连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述底座(1)的前端外表面开设有检修门(4)，所述检修门(4)的外表面固定连接有安装螺钉，安装螺钉的数量为四组。
7.根据权利要求1所述的一种硅晶圆光阻溶解过程观测装置，其特征在于，所述滚轮(3)的数量为若干组，所述溶解桶(6)的材质为玻璃，所述夹具(12)位于溶解桶(6)的内部。
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宋超等: "氢氧化钾乙醇溶液去除刻蚀后光刻胶", 《科技风》 *

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