CN111687432A - 静压流体轴承主轴装置及包括其的机床 - Google Patents

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Abstract

本发明的静压流体轴承主轴装置及包括其的机床中，静压流体轴承主轴装置包括：主轴，包括锥形部及凸缘部，锥形部包括锥形径向接受面，凸缘部包括第一推力接受面及形成于第一推力接受面的后方的第二推力接受面；第一推力轴承部，包括与第一推力接受面相向的第一推力轴承面；第二推力轴承部，包括与第二推力接受面相向的第二推力轴承面；径向轴承部与锥形径向接受面相向；旋转限制部，限制第一推力轴承部及第二推力轴承部的一者相对于另一者旋转；及壳体，包括与第一推力轴承部螺合的第一螺纹槽及与第二推力轴承部螺合的第二螺纹槽。锥形部向后方展开则第二螺纹槽螺纹间距大于第一螺纹槽，锥形部向前方展开则第一螺纹槽螺纹间距大于第二螺纹槽。

Description

静压流体轴承主轴装置及包括其的机床
技术领域
本发明涉及一种机床，直接或利用工具对工件进行加工，所述工具通过工具固持器而安装于主轴(spindle)，特别是涉及一种静压流体轴承主轴装置，静压流体轴承通过流体而能够旋转地以非接触方式支撑主轴。
背景技术
静压流体轴承装置通过流体而以非接触方式支撑旋转的主轴。例如在专利文献1及专利文献2中，公开了支撑施加至主轴的推力(thrust)载荷及径向载荷的负载的静压流体轴承装置。
专利文献1的静压流体轴承是在旋转轴形成有凸缘部及锥形(taper)部。锥形部形成于凸缘部的两侧。推力载荷由从配置于凸缘部的两侧的推力载荷衬套(bush)供给的流体支撑着。径向载荷由从与各锥形部分别相对的径向载荷衬套供给的流体支撑着。推力载荷衬套夹着推力间隙调整衬垫(liner)而收容于壳体(housing)。径向载荷衬套夹着径向间隙调整衬垫而收容于推力载荷衬套。旋转轴收容于径向载荷衬套。凸缘部与推力载荷衬套之间的间隙的距离取决于推力间隙调整衬垫的大小。锥形部与径向载荷衬套之间的间隙的距离取决于径向间隙调整衬垫的大小。推力间隙调整衬垫及径向间隙调整衬垫是适当选择在组装装置时各自需要的大小的衬垫。
专利文献2的静压型流体轴承装置利用流体支撑着主轴的径向载荷，所述流体是从与主轴的锥形外周部相对的活动套筒(sleeve)供给。活动套筒能够在主轴的轴方向上移动。锥形外周部与活动套筒之间的间隙的距离能够通过使活动套筒移动而可变化。当主轴的径向载荷大时，为了暂时提高主轴的刚性，缩短锥形外周部与活动套筒之间的间隙的距离。当主轴的径向载荷小时，为了抑制主轴的发热，延长锥形外周部与活动套筒之间的间隙的距离。主轴的推力载荷由流体支撑着。流体是从固定于主轴的推力受压法兰(flange)的一侧的衬套及固定于另一侧的定位构件分别供给。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利实开昭62-112319号公报
[专利文献2]日本专利特开平08-028566号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
专利文献1的静压流体轴承在调整凸缘部与推力载荷衬套之间的间隙的距离、及锥形部与径向载荷衬套之间的间隙的距离时，必须对装置进行分解而更换各间隙调整衬垫。
专利文献2的静压型流体轴承装置不含调整推力受压法兰与衬套之间的间隙的距离的机构、及调整推力受压法兰与定位构件之间的间隙的距离的机构。
理想的是，静压流体轴承主轴装置能够容易地调整推力侧的间隙的距离及径向侧的间隙的距离两者。特别理想的是，静压流体轴承主轴装置在施加至主轴的负载大，并且主轴的旋转速度慢时，减小两个间隙的距离而提高刚性，当施加至主轴的负载小，并且主轴的旋转速度快时，增大两个间隙的距离而减小摩擦热。另外，静压流体轴承主轴装置是搭载于机床的加工头(head)，因此理想的是体型小并且构成简单。
因此，鉴于所述问题，本发明的目的在于提出一种静压流体轴承主轴装置，能够容易地调整推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离两者，体型小，并且构成简单。其它目的及本发明的优点在后续说明中描述。
[解决问题的技术手段]
本发明涉及一种静压流体轴承主轴装置，拆装自如地固定工具或工件。所述静压流体轴承主轴装置包括：
主轴，构成为在前端拆装自如地固定工具或工件，所述主轴包括锥形部及凸缘部，所述锥形部包括锥形径向接受面，所述凸缘部包括第一推力接受面及形成于第一推力接受面的后方的第二推力接受面；
主轴旋转驱动装置，使主轴旋转；
第一推力轴承部，包括隔开第一间隙而与第一推力接受面相互平行地相向的第一推力轴承面，且由主轴贯通第一推力轴承部；
第二推力轴承部，包括隔开第二间隙而与第二推力接受面相互平行地相向的第二推力轴承面，且由主轴贯通第二推力轴承部；
径向轴承部，包括隔开第三间隙而与锥形径向接受面相互平行地相向的锥形径向轴承面，且由主轴贯通径向轴承部；
旋转限制部，允许第一推力轴承部及第二推力轴承部中的一者相对于另一者朝向轴方向移动，限制一者相对于另一者旋转；以及
壳体，包括与第一推力轴承部螺合的第一螺纹槽(thread groove)、及与第二推力轴承部螺合的第二螺纹槽，且收容有主轴、第一推力轴承部、第二推力轴承部及径向轴承部，固定有径向轴承部。
如果锥形部向后方展开，那么第二螺纹槽在螺纹间距上大于第一螺纹槽，如果锥形部向前方展开，那么第一螺纹槽在螺纹间距上大于第二螺纹槽。
[发明的效果]
本发明的静压流体轴承装置一方面体型小并且构成简单，一方面能够容易地调整推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离两者。
附图说明
图1表示本发明第一实施方式的静压流体轴承主轴装置的概况，且是推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离大时的前视截面图。
图2表示本发明第一实施方式的静压流体轴承主轴装置的概况，且是推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离小时的前视截面图。
图3表示本发明第二实施方式的静压流体轴承主轴装置的概况，且是推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离大时的前视截面图。
图4表示本发明第二实施方式的静压流体轴承主轴装置的概况，且是推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离小时的前视截面图。
图5表示本发明第三实施方式的静压流体轴承主轴装置的概况，且是推力载荷侧的间隙的距离及径向载荷侧的间隙的距离大时的前视截面图。
具体实施方式
以下，利用图，对本发明的实施方式的静压流体轴承装置进行详细说明。另外，各图中所示的构成构件及这些构件之间的空间被局部地强调而表示，以说明尺寸及形状。在经图示的实施例中，将主轴的下端设为主轴的前端，将主轴的上端设为主轴的后端。主轴的前进表示朝向主轴的下方的移动。主轴的后退表示朝向主轴上方的移动。
主轴2在壳体6中围绕轴进行旋转，并且在壳体6中在轴方向上移动。构成为在主轴2的前端直接或利用适当的工具固持器拆装自如地安装工具7。工具7与主轴2一起旋转，并且与主轴2一起前后移动。也可以取代工具7，将工件固定于主轴2。将在轴方向上延伸的安装孔24形成于主轴2的后端。将主轴旋转驱动装置8的旋转杆80与主轴2同轴地插入至安装孔24。主轴旋转驱动装置8使主轴2旋转。主轴旋转驱动装置8并不限定于电动式马达，能够采用空气主轴等各种方式的旋转驱动装置。
主轴2在安装孔24的内周包括在直径方向上延伸的键(key)构件25。在旋转杆80的外周形成有在主轴2的轴方向上引导键构件25的引导槽81。键构件25与引导槽81一方面允许主轴2相对于旋转杆80在轴方向上移动，另一方面限制主轴2相对于旋转杆80旋转。主轴2能够相对于旋转杆80在轴方向上移动。主轴2能够与旋转杆80一起旋转。
在主轴2的外周面的一部分形成有凸缘部21。凸缘部21包括相互平行地形成的第一推力接受面22、及形成于第一推力接受面22的后方的第二推力接受面23。
在主轴2的前端，形成有朝向后方展开的圆锥台形的锥形部20。锥形部20在其外周面具有锥形径向接受面20a。锥形部20的外径朝向后方递增。关于锥形部20，将最小的外径设为d1，将最大的外径设为d2，将高度设为h。锥形部20的锥形比(taper ratio)T如下所述，可将外径d2与外径d1的差除以高度h而求出。
T＝(d2－d1)/h
锥形部20的锥形比T可以是1/50～1/10。
主轴2在壳体6中受到支撑。主要是第一推力轴承部3及第二推力轴承部4以非接触方式静压轴承主轴2的推力方向上的载荷。主要是径向轴承部5以非接触方式静压轴承主轴2的径向上的载荷。
主轴2所贯通的第一推力轴承部3与主轴2同轴地收容于壳体6中。第一推力轴承部3是圆筒形状或圆环形状。第一推力轴承部3包括第一推力轴承面30，第一推力轴承面30与凸缘部21的第一推力接受面22隔开第一间隙S1而相互平行地相向。第一推力轴承面30与第一推力接受面22平行。第一间隙S1的尺寸是与第一推力轴承面30及第一推力接受面22两者垂直的方向上的距离。
如图1所示，第一推力轴承部3在凸缘部21与锥形部20之间，形成有与主轴2的外周面相向的内周面35。另外，第一推力轴承部3包括与凸缘部21的外周面相向的内周面36。第一推力轴承部3的第一推力轴承面30与内周面35及内周面36垂直。
在第一推力轴承面30，形成有朝向凸缘部21的第一推力接受面22喷出流体的至少一个第一流体喷出口31。第一流体喷出口31与形成于第一推力轴承部3中的第一流体供给配管32连接。第一流体供给配管32与在壳体6的外周开口的第一流体供给口61连接。第一流体供给口61与省略图示的流体供给装置连接。流体供给装置经由第一流体供给口61、第一流体供给配管32及第一流体喷出口31向第一间隙S1供给流体。流体例如可以是空气。
也可以形成流体排出配管38，所述流体排出配管38用于将形成于第一推力轴承部3的内周面36与凸缘部21的外周面之间的间隙中的流体排出至壳体6外。流体排出配管38与在壳体6的外周面开口的第一流体排出口65连接。
在壳体6的内周面的一部分，形成有第一螺纹槽63、及形成于第一螺纹槽63的后方的第二螺纹槽64。第一推力轴承部3在外周面的一部分形成有螺纹槽33。第一推力轴承部3的螺纹槽33与第一螺纹槽63螺合。
第一推力轴承部3在内周面36形成有引导槽34。引导槽34与主轴2的轴芯平行地引导第二推力轴承部4的键构件44。
主轴2所贯通的第二推力轴承部4与主轴2同轴地收容于壳体6中。第二推力轴承部4是圆筒形状或圆环形状。第二推力轴承部4包括第二推力轴承面40，第二推力轴承面40与凸缘部21的第二推力接受面23隔开第二间隙S2而相向。第二推力轴承面40与第二推力接受面23平行。第二间隙S2的尺寸是与第二推力轴承面40及第二推力接受面23两者垂直的方向上的距离。
如图1所示，在第二推力轴承部4的前部形成有接受第一推力轴承部3的后部的缺口。第一推力轴承部3的内周面36与第二推力轴承部4的前部的外周面45滑接。第二推力轴承部4的后部在直径上大于前部。
在第二推力轴承面40，形成有朝向第二推力接受面23喷出流体的至少一个第二流体喷出口41。第二流体喷出口41与形成于第二推力轴承部4中的第二流体供给配管42连接。第二流体供给配管42与在壳体6的外周面开口的第二流体供给口62连接。第二流体供给口62连接于与第一流体供给口61相同或不同的省略图示的流体供给装置。流体供给装置经由第二流体供给口62、第二流体供给配管42及第二流体喷出口41向第二间隙S2供给空气。
在第二推力轴承部4的后部的外周面46形成有螺纹槽43。第二推力轴承部4的螺纹槽43与第二螺纹槽64螺合，所述第二螺纹槽64形成于壳体6的内周面的一部分。
在第二推力轴承部4的外周面45，固定有在直径方向上延伸的键构件44。键构件44被引导至第一推力轴承部3的引导槽34。键构件44及引导槽34是旋转限制部9的一例。旋转限制部9只要能够允许第一推力轴承部3相对于第二推力轴承部4在轴方向上移动，限制第一推力轴承部3相对于第二推力轴承部4旋转，就可以采用各种方法及各种机构。第一推力轴承部3能够相对于第二推力轴承部4在轴方向上移动。第一推力轴承部3能够与第二推力轴承部4一起旋转。
第二推力轴承部4在外周的一部分形成有齿形47。第二推力轴承部4的齿形47与推力轴承部旋转驱动装置10的驱动轴的齿形咬合。推力轴承部旋转驱动装置10使第二推力轴承部4旋转。旋转的第二推力轴承部4通过旋转限制部9而使第一推力轴承部3旋转。
推力轴承部旋转驱动装置10也可以如后述的图5所示，使第一推力轴承部3经由齿轮等旋转传动部而旋转，所述第一推力轴承部3在外周的一部分形成有齿形37。第一推力轴承部3也可以通过旋转限制部9而使第二推力轴承部4旋转。推力轴承部旋转驱动装置10并不限定于电动式马达，可以采用利用流体式马达或人力的旋转驱动机构部等各种方式的旋转驱动装置。另外，推力轴承部旋转驱动装置10例如，也可以采用使活塞筒(pistoncylinder)等线性驱动装置和齿条与小齿轮组合而成的旋转驱动装置。推力轴承部旋转驱动装置10也可以通过控制装置11而控制。控制装置11可以对推力轴承部旋转驱动装置10进行控制，以使得第一推力轴承部3或第二推力轴承部4正旋转或逆旋转规定的圈数，第一推力轴承部3或第二推力轴承部4前进或后退规定的距离。此处，所谓圈数，例如，如果是0.5圈，则表示旋转180度，如果是1圈，则表示旋转360度，以及如果是10.25圈，则表示重复旋转十次1圈后进而旋转90度。
主轴2所贯通的径向轴承部5与主轴2同轴地固定于壳体6中。径向轴承部5是圆筒形状或圆环形状。在径向轴承部5形成有在形状上与锥形部20互补的锥形孔50。径向轴承部5包括锥形径向轴承面50a，所述锥形径向轴承面50a与锥形部20的锥形径向接受面20a隔开第三间隙S3相互平行地相向。第三间隙S3的尺寸是与锥形径向轴承面50a及锥形径向接受面20a两者垂直的方向上的距离。锥形孔50的锥形比可以与锥形部20的锥形比T相同。
在锥形径向轴承面50a，形成有朝向锥形径向接受面20a喷出流体的至少一个第三流体喷出口51。第三流体喷出口51与形成于径向轴承部5中的第三流体供给配管52连接。第三流体供给配管52与在壳体6的外周开口的第三流体供给口60连接。第三流体供给口60连接于与第一流体供给口61及第二流体供给口62相同或不同的省略图示的流体供给装置。流体供给装置经由第三流体供给口60、第三流体供给配管52及第三流体喷出口51向第三间隙S3供给空气。
壳体6例如是圆筒形状。壳体6在内孔收容主轴2、第一推力轴承部3、第二推力轴承部4及径向轴承部5。壳体6在外周形成有第一流体供给口61、第二流体供给口62及第三流体供给口60，所述第一流体供给口61、第二流体供给口62及第三流体供给口60用于从外部向内部的流体供给配管32、内部的流体供给配管42、内部的流体供给配管52供给流体。第一流体供给口61、第二流体供给口62及第三流体供给口60与省略图示的流体供给装置连接。壳体6形成为用于将内部的流体排出至外部的第一流体排出口65及第二流体排出口66在外周开口。第一流体排出口65也可以如图1所示，设为与流体排出配管38连接。流体排出配管38形成为贯通第一推力轴承部3。壳体6可以形成为适当地使至少一个流体排出口在外周面开口。
壳体6在内周的一部分形成有第一螺纹槽63及第二螺纹槽64。第一螺纹槽63与第一推力轴承部3的螺纹槽33螺合。第一螺纹槽63及第一推力轴承部3的螺纹槽33是相同的螺纹间距P1。第二螺纹槽64与第二推力轴承部4的螺纹槽43螺合。第二螺纹槽64与第二推力轴承部4的螺纹槽43是相同的螺纹间距P2。
在图1及图2所示的第一实施方式的静压流体轴承主轴装置1中，锥形部20的外径朝向后方递增。第一推力轴承部3的第一推力轴承面30与凸缘部21的第一推力接受面22相向。第二推力轴承部4的第二推力轴承面40与凸缘部21的第二推力接受面23相向。第二螺纹槽64的螺纹间距P2形成得大于第一螺纹槽63的螺纹间距P1。
P2＞P1
第二推力轴承部4通过推力轴承部旋转驱动装置10而在规定的旋转方向上旋转规定的圈数R，前进规定的距离L2。第一推力轴承部3通过旋转限制部9而在与第二推力轴承部4相同的旋转方向上旋转相同圈数R，前进规定的距离L1。第二推力轴承部4前进的距离L2大于第一推力轴承部3前进的距离L1。
L2＝P2·R
L1＝P1·R
L2＞L1
第一间隙S1减小距离ΔL，所述距离ΔL是从距离L2减去距离L1所得的距离的二分之一。另外，第二间隙S2也减小所述距离ΔL。静压流体轴承主轴装置1在第一间隙S1及第二间隙S2减小时，能够获得对于推力载荷的大刚性。
ΔL＝(L2－L1)/2＝R·(P2－P1)/2
主轴2由第一推力轴承部3及第二推力轴承部4以非接触方式支撑着，因此与第一推力轴承部3及第二推力轴承部4一起前进。主轴2前进距离L3，所述距离L3是在第一推力轴承部3已前进的距离L1上加上距离ΔL所得的距离、或者从第二推力轴承部4已前进的距离L2减去距离ΔL所得的距离。
L3＝L1+ΔL
L3＝L2－ΔL
径向轴承部5的锥形径向轴承面50a与主轴2的锥形径向接受面20a相对于主轴2前进的方向均倾斜。第三间隙S3减小基于锥形部20的锥形比T及主轴2前进的距离L3而算出的距离。通常第一间隙S1、第二间隙S2与第三间隙S3的尺寸优选的是相同。静压流体轴承主轴装置1在第三间隙S3减小时，能够获得对于径向载荷的大刚性。
当使主轴2移动时，第一间隙S1、第二间隙S2与第三间隙S3的各尺寸可以设为分别增减相同的距离ΔL。第一螺纹槽63的螺纹间距P1与第二螺纹槽64的螺纹间距P2可以如下的方式形成：使主轴2移动之后，第一间隙S1、第二间隙S2及第三间隙S3分别增减相同的距离ΔL。第一螺纹槽63的螺纹间距P1与第二螺纹槽64的螺纹间距P2的关系如下。
Figure BDA0002407964680000091
例如，如果锥形比T＝1/50，第一螺纹槽63的螺纹间距P1＝1.000(mm)，那么第二螺纹槽64的螺纹间距P2为1.020(mm)。另外，例如，如果锥形比T＝1/10，第一螺纹槽63的螺纹间距P1＝1.000(mm)，那么第二螺纹槽64的螺纹间距P2为1.105(mm)。
参照图3及图4，说明第二实施方式的静压流体轴承主轴装置1。静压流体轴承主轴装置1包括主轴102，在主轴102的前端，形成有朝向前方展开的圆锥台形的锥形部120。锥形部120在其外周面具有锥形径向接受面120a。锥形部120的外径朝向前方递增。径向轴承部105的锥形孔150的外径也朝向前方递增。径向轴承部105包括锥形径向轴承面150a，锥形径向轴承面150a与锥形径向接受面120a相互平行地相向。第一推力轴承部103的第一推力轴承面130与凸缘部121的第一推力接受面122相向。在第一推力轴承部103的外周面的一部分形成有螺纹槽133。第二推力轴承部104的第二推力轴承面140与凸缘部121的第二推力接受面123相向。在第二推力轴承部104的外周面的一部分形成有螺纹槽143。壳体6在内周的一部分形成有第一螺纹槽163及第二螺纹槽164。与第二推力轴承部104的螺纹槽143螺合的第二螺纹槽164的螺纹间距P102形成得小于与第一推力轴承部103的螺纹槽133螺合的第一螺纹槽163的螺纹间距P101。
P102＜P101
第一推力轴承部103及第二推力轴承部104在规定的旋转方向上旋转规定的圈数r，而朝向后方移动。第二推力轴承部104后退的距离L102小于第一推力轴承部103后退的距离L101。
L102＝P102·r
L101＝P101·r
L102＜L101
主轴102由第一推力轴承部103及第二推力轴承部104以非接触方式支撑着，因此与第一推力轴承部103及第二推力轴承部104一起后退。主轴102后退基于距离L101及距离L102而算出的距离L103。此外，对于与以上所述的实施方式同样的构成省略说明。
L103＝L102+(L101－L102)/2＝L101－(L101－L102)/2
本发明的静压流体轴承主轴装置1一方面体型小并且构成简单，一方面能够容易地调整推力载荷侧的间隙及径向载荷侧的间隙两者。所谓推力载荷侧的间隙，是指第一间隙S1及第二间隙S2。所谓径向载荷侧的间隙，是指第三间隙S3。因此，本发明的静压流体轴承主轴装置1能够应对多种多样的加工。另一方面，当加工负载小，并且主轴2正在高速旋转时，为了降低因为高速旋转而从轴承产生的大摩擦热，使主轴2移动而使第一间隙S1、第二间隙S2及第三间隙S3分别增大。另一方面，当加工负载大，并且主轴2正在低速旋转时，为了保持抵抗高加工负载的大刚性，使主轴2移动而使第一间隙S1、第二间隙S2及第三间隙S3分别减小。
另外，如图5所示的第三实施方式，本发明的静压流体轴承主轴装置1也可以在主轴2形成两个以上的锥形部20、20，并包括以非接触方式支撑各个锥形部的两个以上的径向轴承部5、5。两个以上的径向轴承部5、5的各自的第三间隙S3、第三间隙S3可以在尺寸上相同。两个以上的径向轴承部5、5能够支撑更大的径向载荷。此外，对于与以上所述的实施方式同样的构成省略说明。
实施方式是为了说明发明的原理及其实际应用而选择。参照以上所述的描述，能够进行各种改良。发明的范围通过随附的权利要求书而定义。

Claims (10)

1.一种静压流体轴承主轴装置，拆装自如地固定工具或工件，所述静压流体轴承主轴装置包括：
主轴，构成为在前端拆装自如地固定所述工具或所述工件，所述主轴包括锥形部及凸缘部，所述锥形部包括锥形径向接受面，所述凸缘部包括第一推力接受面及形成于所述第一推力接受面的后方的第二推力接受面；
主轴旋转驱动装置，使所述主轴旋转；
第一推力轴承部，包括隔开第一间隙而与所述第一推力接受面相互平行地相向的第一推力轴承面，且由所述主轴贯通；
第二推力轴承部，包括隔开第二间隙而与所述第二推力接受面相互平行地相向的第二推力轴承面，且由所述主轴贯通；
径向轴承部，包括隔开第三间隙而与所述锥形径向接受面相互平行地相向的锥形径向轴承面，且由所述主轴贯通；
旋转限制部，允许所述第一推力轴承部及所述第二推力轴承部中的一者相对于另一者朝向轴方向移动，并限制一者相对于另一者旋转；以及
壳体，包括与所述第一推力轴承部螺合的第一螺纹槽、及与所述第二推力轴承部螺合的第二螺纹槽，收容有所述主轴、所述第一推力轴承部、所述第二推力轴承部及所述径向轴承部，并固定有所述径向轴承部；并且
如果所述锥形部向后方展开，那么所述第二螺纹槽在螺纹间距上大于所述第一螺纹槽，如果所述锥形部向前方展开，那么所述第一螺纹槽在螺纹间距上大于所述第二螺纹槽。
2.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
所述旋转限制部包括：键构件，固定于所述第二推力轴承部，且在直径方向上延伸；以及引导槽，形成于所述第一推力轴承部，且与所述主轴的轴芯平行地引导所述键构件。
3.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
在所述主轴的外周形成有两个以上的所述锥形部，且
包括两个以上的所述径向轴承部。
4.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
所述锥形部的锥形比是1/50～1/10。
5.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
包括使所述第一推力轴承部或所述第二推力轴承部之中的至少一者旋转的推力轴承部旋转驱动装置。
6.根据权利要求5所述的静压流体轴承主轴装置，其中包括控制所述推力轴承部旋转驱动装置的控制装置。
7.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
所述第一间隙、所述第二间隙及所述第三间隙在尺寸上相同。
8.根据权利要求1所述的静压流体轴承主轴装置，其中
包括对所述第一间隙、所述第二间隙及所述第三间隙分别供给流体的流体供给装置。
9.根据权利要求8所述的静压流体轴承主轴装置，其中
所述壳体包括第一流体供给口、第二流体供给口及第三流体供给口，
所述第一推力轴承部包括形成于所述第一推力轴承面的第一流体喷出口、及将所述第一流体喷出口与所述第一流体供给口加以连接的第一流体供给配管，
所述第二推力轴承部包括形成于所述第二推力轴承面的第二流体喷出口、及将所述第二流体喷出口与所述第二流体供给口加以连接的第二流体供给配管，
所述径向轴承部包括形成于所述锥形径向轴承面的第三流体喷出口、及将所述第三流体喷出口与所述第三流体供给口加以连接的第三流体供给配管，
所述流体供给装置与所述第一流体供给口、所述第二流体供给口及所述第三流体供给口分别连接。
10.一种机床，包括如权利要求1至9中任一项所述的静压流体轴承主轴装置。
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