CN111682096B - 一种平面超导纳米桥结的制备方法 - Google Patents
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- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 15
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 14
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 12
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 11
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 5
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 2
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000657 niobium-tin Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910021521 yttrium barium copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 5
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 5
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 230000005668 Josephson effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005610 quantum mechanics Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/80—Constructional details
- H10N60/805—Constructional details for Josephson-effect devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/01—Manufacture or treatment
- H10N60/0156—Manufacture or treatment of devices comprising Nb or an alloy of Nb with one or more of the elements of group IVB, e.g. titanium, zirconium or hafnium
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N60/00—Superconducting devices
- H10N60/01—Manufacture or treatment
- H10N60/0912—Manufacture or treatment of Josephson-effect devices
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
本发明涉及一种平面超导纳米桥结的制备方法,在衬底表面进行光刻形成图案,然后沉积金属薄膜;利用离子束刻蚀金属,金属因反溅射现象沿着光刻胶形成侧壁,去胶,即得纳米桥,桥的宽度即为反溅射的金属薄膜厚度,因此可以超越光刻极限;沉积超导薄膜、光刻,刻蚀形成桥两端的电极,即得。本发明具有低成本,易集成,高精度等优势。
Description
技术领域
本发明属于约瑟夫森结的制备领域,特别涉及一种平面超导纳米桥结的制备方法。
背景技术
超导电路包括超导量子干涉器(SQUID),单磁通量子器件(SFQ)等应用超导约瑟夫森结的电路。
在量子力学的概念里,当两块金属被一层薄的绝缘体分开时,金属之间可以有电流通过,通常把这种“金属—绝缘体—金属”的叠层称为隧道结,它们之间流动的电流称为隧道电流。假如,在这种叠层三明治结构中,一个或者两个金属是超导体,则称为超导隧道结。根据Josephson效应,在超导隧道结中,绝缘层具有超导体的一些性质,但与常规超导体相比具有较弱的超导电性,被称为“弱连接超导体”。
减小约瑟夫森结尺寸可以提高超导量子干涉器的灵敏度,提升超导数字电路的集成度。约瑟夫森结除了上述三明治结构形成超导弱连接外,还可以有桥结和台阶结等形式。桥结是一条超导线,中间做出窄通道来实现弱连接。窄通道的大小就是结的大小,如何减小通道的尺寸是目前桥结研究重点。
CN107275472A公开了高温超导薄膜纳米桥结的制备方法,一般高温超导纳米桥结是利用台阶处的弱连接形成的,桥结的大小受光刻精度限制,尺寸和精度上无法进一步提升。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种平面超导纳米桥结的制备方法,克服现有制备桥结技术受光刻精度限制,无法大规模集成的缺陷,本发明巧妙地将再溅射生长薄膜的厚度来做纳米桥,薄膜厚度即为桥结的大小,不受光刻精度的限制,在传统光刻下实现超导纳米桥结或阵列的制备。
本发明的一种纳米桥结的制备方法,包括:
(1)在衬底表面进行光刻形成图案,然后沉积金属薄膜;
(2)利用离子束IBE刻蚀完金属,金属沿着光刻胶形成侧壁,去胶,即得纳米桥;
(3)在衬底上再沉积超导薄膜,光刻形成电极图案,刻蚀,形成桥结两端的电极,即得纳米桥结电极。
上述制备方法的优选方式如下:
所述步骤(1)中衬底为半导体衬底、绝缘体衬底。
所述衬底的厚度为100um及其以上。
所述半导体为Si、Ge、GaN中的一种或几种;绝缘体为SiO2、Al2O3、HfO2中的一种或几种。
所述步骤(1)中金属为超导材料Nb、NbN、Pb、NbC、Nb3Sn、Nb3Ge中的一种或几种,或者为Al、Au、Cu、合金中的一种。
所述步骤(1)中沉积金属薄膜的沉积方式为:电子束蒸发或者磁控溅射;沉积金属薄膜厚度为20nm-500nm。
所述步骤(2)中IBE刻蚀具体工艺参数:IBE刻蚀角度在10-50度之间,离子束流在10-600mA。
所述步骤(2)中侧壁厚度为2nm-300nm。
所述步骤(3)中沉积超导薄膜中的超导材料为Nb、NbN、YBCO中的一种或几种,沉积厚度为20-500nm,沉积方式选择电子束蒸发或者磁控溅射。
所述步骤(3)中光刻:形成电极图案;刻蚀:采用RIE、ICP或湿法刻蚀。
本发明的一种所述方法制备的纳米桥结,所述纳米桥结的的宽度为侧壁厚度2nm-300nm,长度为两个电极间隙的曝光极限,约20nm-1000nm。
本发明的一种基于所述方法制备的集成纳米桥结。
本发明的一种所述纳米桥结的应用。
有益效果
本发明利用金属在刻蚀中的再沉积原理,形成阵列化的超薄金属侧壁,制备出小尺寸、可大规模集成的超导纳米桥结。
本发明制备工艺流程简单、特征尺寸不受光刻精度限制等优点,现有光刻精度通常由曝光机的精度决定,而本发明侧壁的形成跟薄膜生长类似,不受光刻精度限制。
附图说明
图1(a)、(b)、(c)为本发明纳米桥接的制备流程图。
具体实施方式
下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。应理解,这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解,在阅读了本发明讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改,这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
(1)衬底选取:衬底选取表面热氧化的二氧化硅;
(2)光刻:光刻形成图案;
(3)金属沉积:利用电子束蒸发或者磁控溅射方式沉积金属Nb超导薄膜(100nm厚),薄膜的厚度决定了侧壁尺寸的精度;
(4)超薄侧壁形成:利用离子束刻蚀(IBE)刻蚀(启辉功率500W,束流200mA,倾角40度,加速电压400V)Nb,金属沿着光刻胶形成超薄侧壁(20-50nm)。
(5)去胶:清洗去除光刻胶;
(6)超导薄膜沉积:沉积另外一层超导Nb薄膜。
(7)光刻形成电极图案,用ICP刻蚀Nb,形成纳米桥结的电极,所得纳米桥结的宽度为超导侧壁的厚度,长度为光刻形成的间隙,以i-line曝光机为例,为400nm。
实施例2
(1)衬底选取:衬底选取表面热氧化的二氧化硅;
(2)光刻:光刻形成图案;
(3)金属沉积:利用电子束蒸发或者磁控溅射方式沉积金属Nb超导薄膜(10nm厚),薄膜的厚度决定了侧壁尺寸的精度;
(4)超薄侧壁形成:利用离子束刻蚀(IBE)刻蚀(启辉功率500W,束流200mA,倾角40度,加速电压400V)Nb,金属沿着光刻胶形成超薄侧壁(2-5nm)。
(5)去胶:清洗去除光刻胶;
(6)超导薄膜沉积:沉积另外一层超导Nb薄膜。
(7)光刻形成电极图案,用ICP刻蚀Nb,形成纳米桥结的电极,所得纳米桥结的宽度为超导侧壁的厚度,长度为光刻形成的间隙,以i-line曝光机为例,为400nm。
Claims (11)
1.一种纳米桥结的制备方法,包括:
(1)在衬底表面进行光刻形成图案,然后沉积金属薄膜;
(2)利用离子束刻蚀完金属,金属沿着光刻胶形成侧壁,去胶,即得纳米桥;
(3)再沉积超导薄膜、光刻、刻蚀,即得纳米桥结电极;其中纳米桥结的宽度为超导侧壁的厚度,长度为光刻形成的间隙。
2.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中衬底为半导体衬底、绝缘体衬底。
3.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述半导体为Si、Ge、GaN中的一种或几种;绝缘体为SiO2、Al2O3、HfO2中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中金属为超导材料Nb、NbN、Pb、NbC、Nb3Sn、Nb3Ge中的一种或几种,或者为Al、Au、Cu、合金中的一种。
5.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中沉积金属薄膜的沉积方式为:电子束蒸发或者磁控溅射;沉积金属薄膜厚度为10nm-500nm。
6.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中离子束刻蚀具体为:IBE刻蚀角度在10-50度,离子束流在10-600mA。
7.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中侧壁厚度为2nm-300nm。
8.根据权利要求1所述制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中沉积超导薄膜中的超导材料为Nb、NbN、YBCO中的一种;薄膜厚度为10nm-500nm。
9.一种权利要求1所述方法制备的纳米桥结,其特征在于,所述纳米桥结的宽度为2nm-300nm,长度为20nm-1000nm。
10.一种基于权利要求1所述方法制备的集成纳米桥接。
11.一种权利要求9所述纳米桥结的应用。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010397024.0A CN111682096B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种平面超导纳米桥结的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010397024.0A CN111682096B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种平面超导纳米桥结的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111682096A CN111682096A (zh) | 2020-09-18 |
CN111682096B true CN111682096B (zh) | 2022-06-21 |
Family
ID=72433558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010397024.0A Active CN111682096B (zh) | 2020-05-12 | 2020-05-12 | 一种平面超导纳米桥结的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111682096B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112577613B (zh) * | 2020-11-02 | 2022-03-25 | 南京大学 | 蝴蝶结天线耦合的太赫兹探测器及其制备方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH624514A5 (en) * | 1977-05-26 | 1981-07-31 | Kandyba Petr E | Thin-film cryotron and method of manufacturing it |
JP2526402B2 (ja) * | 1993-09-24 | 1996-08-21 | 郵政省通信総合研究所長 | 超伝導ジョセフソン素子の製造方法 |
JPH1022274A (ja) * | 1996-07-08 | 1998-01-23 | Fujitsu Ltd | エッチング方法及び半導体装置の製造方法 |
CN107275472A (zh) * | 2017-07-03 | 2017-10-20 | 中国科学院物理研究所 | 高温超导薄膜纳米桥结制备方法 |
CN109560189B (zh) * | 2017-09-26 | 2021-04-13 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种磁通超导探测器及制备方法以及探测方法 |
CN108110131B (zh) * | 2017-12-18 | 2021-04-06 | 合肥本源量子计算科技有限责任公司 | 一种超导约瑟夫森结的制备方法 |
CN108539004B (zh) * | 2018-04-25 | 2023-12-05 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法 |
CN110246762B (zh) * | 2019-06-12 | 2021-04-02 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 金属侧壁的制备方法及器件结构 |
CN110635022A (zh) * | 2019-09-27 | 2019-12-31 | 江苏鲁汶仪器有限公司 | 一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法 |
CN110828307A (zh) * | 2019-10-16 | 2020-02-21 | 中芯集成电路制造(绍兴)有限公司 | 形成具有倾斜侧壁的材料层的方法及半导体器件 |
-
2020
- 2020-05-12 CN CN202010397024.0A patent/CN111682096B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111682096A (zh) | 2020-09-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |