CN111681941A - 一种icp高密度等离子刻蚀机的监控机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的左侧设置有前后移动机构，所述刻蚀机本体的上方设置有左右移动导向机构，所述左右移动导向机构的内腔设置有左右移动机构一和左右移动机构二，所述刻蚀机本体的顶部固定连接有刻蚀基板。本发明通过前后移动机构的设置，使得监控设备能够跟随左右移动导向机构移动，从而使得监控设备与左右移动机构二之间的连接线不需要太长，从而就不易因连接线缠绕而出现事故，也能够减少对刻蚀机的损坏，延长刻蚀机的使用寿命，还能够控制左右移动机构一对刻蚀机上淤积的药水进行风力吹干，从而使得刻蚀基板的表面能够快速干燥，也方便后续的使用。

Description

一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构

技术领域

本发明涉及蚀刻机技术领域，具体为一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构。

背景技术

蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中，蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工，在半导体和线路板制程上，蚀刻更是不可或缺的技术，也可对各种金属如：铁、铜、铝、钛金、不锈钢、锌板、等金属和金属制品的表面蚀刻图纹、花纹、几何形状，并能精确镂空，也可专业针对各种型号的国产和进口不锈钢进行蚀刻和薄板切割，如今广泛应用于金卡标牌加工、手机按键加工、不锈钢滤网加工、不锈钢电梯装饰板加工、金属引线框加工、金属眼镜脚丝加工、线路板加工、装饰性金属板加工等工业用途。

蚀刻机上是安装有监控装置的，但是传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，具备缩短连接先长度，降低事故出现频率以及快速烘干淤积药水的优点，解决了传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体，所述刻蚀机本体的左侧设置有前后移动机构，所述刻蚀机本体的上方设置有左右移动导向机构，所述左右移动导向机构的内腔设置有左右移动机构一和左右移动机构二，所述刻蚀机本体的顶部固定连接有刻蚀基板，所述左右移动机构一底部的两侧分别固设有风力烘干设备二和风力烘干设备一，所述前后移动机构的左侧固设有监控设备。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述前后移动机构包括通过螺栓固定连接有在刻蚀机本体左侧的固定架，所述固定架的后侧焊接有托板，所述托板的顶部焊接有电机一，所述电机一的输出轴固定连接有位于固定架内腔的螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑动块，所述滑动块的右侧固定安装有连接件，所述连接件的右侧固定安装有移动柱，所述监控设备固定在移动柱上，所述移动柱的底部活动安装有滚轮，所述滚轮的底部与固定架的内壁接触。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述连接件包括焊接在滑动块上的固定块一以及焊接在移动柱上的固定块二，所述固定块一和固定块二通过螺丝固定连接。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述左右移动导向机构包括固定安装在移动柱顶部的导向轨，所述导向轨的前侧和后侧分别开设有长方孔和长圆孔，所述导向轨内腔的顶部焊接有齿板。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述左右移动机构一包括设置在导向轨内腔的活动架一，所述活动架一的前侧固定安装有在长方孔内腔滑动的滑动件，所述活动架一的前侧固定安装有位于滑动件内腔的电机三，所述电机三的输出轴贯穿至活动架一的内腔并固定连接有与齿板啮合的齿轮一，所述活动架一的底部固定安装有电机二，所述电机二的输出轴固定连接有转盘，所述风力烘干设备二和风力烘干设备一分别固定安装在转盘底部的两侧。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述左右移动机构二包括设置在导向轨内腔的活动架二，所述活动架二的后侧焊接有在长圆孔内腔滑动的滑动销，所述活动架二的前侧固定安装有电机四，所述电机四的输出轴贯穿至活动架二的内腔并固定连接有与齿板啮合的齿轮二，所述活动架二的底部固定安装有喷洒设备，所述喷洒设备底部的四角均连通有喷洒头。

本发明如上所述的用于ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，进一步：所述齿轮一和齿轮二分别啮合在齿板底部的前侧和后侧。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明通过前后移动机构的设置，能够带动左右移动导向机构以及左右移动导向机构上的左右移动机构二和左右移动机构一前后移动，并且监控设备也能够跟随左右移动导向机构移动，从而使得监控设备与左右移动机构二之间的连接线不需要太长，从而就不易因连接线缠绕而出现事故，也能够减少对刻蚀机的损坏，延长刻蚀机的使用寿命，并且当左右移动机构二喷完药水后，还能够控制左右移动机构一对刻蚀机上淤积的药水进行风力吹干，从而使得刻蚀基板的表面能够快速干燥，减少清理所需要的时间，也方便后续的使用，该ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，具备缩短连接先长度，降低事故出现频率以及快速烘干淤积药水的优点，解决了传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率的问题。

2、本发明通过滚轮的设置，当滑动块带动移动柱在固定架的内腔滑动时，能够减少移动柱外壁与固定架内壁的磨擦，从而减少阻力，使得移动柱能够滑动的更加流畅。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明前后移动机构立体图；

图3为本发明连接件立体图；

图4为本发明左右移动导向机构前侧立体图；

图5为本发明左右移动导向机构后侧立体图；

图6为本发明左右移动导向机构仰视立体图；

图7为本发明左右移动机构一立体图；

图8为本发明左右移动机构二立体图；

图9为本发明左右移动导向机构立体解剖分解图。

图中：1、刻蚀机本体；2、前后移动机构；3、左右移动导向机构；4、左右移动机构一；5、左右移动机构二；6、刻蚀基板；7、风力烘干设备一；8、风力烘干设备二；9、监控设备；21、固定架；22、托板；23、电机一；24、螺纹杆；25、滑动块；26、移动柱；27、滚轮；28、连接件；31、导向轨；32、长圆孔；33、齿板；34、长方孔；41、活动架一；42、滑动件；43、电机二；44、转盘；45、电机三；46、齿轮一；51、活动架二；52、滑动销；53、电机四；54、齿轮二；55、喷洒设备；56、喷洒头；281、固定块一；282、固定块二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案，一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体1，刻蚀机本体1的左侧设置有前后移动机构2，刻蚀机本体1的上方设置有左右移动导向机构3，左右移动导向机构3的内腔设置有左右移动机构一4和左右移动机构二5，刻蚀机本体1的顶部固定连接有刻蚀基板6，左右移动机构一4底部的两侧分别固设有风力烘干设备二8和风力烘干设备一7，前后移动机构2的左侧固设有监控设备9。

作为本发明中的一个实施例：前后移动机构2包括通过螺栓固定连接有在刻蚀机本体1左侧的固定架21，固定架21的后侧焊接有托板22，托板22的顶部焊接有电机一23，电机一23的输出轴固定连接有位于固定架21内腔的螺纹杆24，螺纹杆24的表面螺纹连接有滑动块25，滑动块25的右侧固定安装有连接件28，连接件28的右侧固定安装有移动柱26，监控设备9固定在移动柱26上，移动柱26的底部活动安装有滚轮27，滚轮27的底部与固定架21的内壁接触，连接件28包括焊接在滑动块25上的固定块一281以及焊接在移动柱26上的固定块二282，固定块一281和固定块二282通过螺丝固定连接，在实际使用时，通过监控设备9控制电机一23启动并带动螺纹杆24转动，从而带动滑动块25在固定架21的内腔滑动，然后再通过连接件28带动移动柱26在固定架21的内腔滑动，当移动柱26在滑动的同时，移动柱26上的滚轮27则会紧贴固定架21的内壁滚动，使得移动柱26滑动的更加流畅，通过滚轮27的设置，当滑动块25带动移动柱26在固定架21的内腔滑动时，能够减少移动柱26外壁与固定架21内壁的磨擦，从而减少阻力，使得移动柱26能够滑动的更加流畅。

作为本发明中的又一个实施例：左右移动导向机构3包括固定安装在移动柱26顶部的导向轨31，导向轨31的前侧和后侧分别开设有长方孔34和长圆孔32，导向轨31内腔的顶部焊接有齿板33，齿轮一46和齿轮二54分别啮合在齿板33底部的前侧和后侧，在实际使用时，活动架一41和活动架二51均会在导向轨31的内腔滑动，并且滑动件42和滑动销52分别在长方孔34和长圆孔32的内腔滑动，以此对左右移动机构一4和左右移动机构二5进行限位，保证左右移动机构一4和左右移动机构二5的平衡性。

作为本发明中的又一个实施例：左右移动机构一4包括设置在导向轨31内腔的活动架一41，活动架一41的前侧固定安装有在长方孔34内腔滑动的滑动件42，活动架一41的前侧固定安装有位于滑动件42内腔的电机三45，电机三45的输出轴贯穿至活动架一41的内腔并固定连接有与齿板33啮合的齿轮一46，活动架一41的底部固定安装有电机二43，电机二43的输出轴固定连接有转盘44，风力烘干设备二8和风力烘干设备一7分别固定安装在转盘44底部的两侧，在实际使用时，通过监控设备9控制电机三45启动并带动齿轮一46转动，然后齿轮一46与齿板33啮合，而齿板33是固定不动的，以此整个左右移动机构一4能够移动，进而带动电机二43移动，而同时也会启动电机二43带动转盘44转动，实现风力烘干设备二8和风力烘干设备一7吹风角度的调节，也能够实现吹风位置的调节，方便使用者使用。

作为本发明中的又一个实施例：左右移动机构二5包括设置在导向轨31内腔的活动架二51，活动架二51的后侧焊接有在长圆孔32内腔滑动的滑动销52，活动架二51的前侧固定安装有电机四53，电机四53的输出轴贯穿至活动架二51的内腔并固定连接有与齿板33啮合的齿轮二54，活动架二51的底部固定安装有喷洒设备55，喷洒设备55底部的四角均连通有喷洒头56，在实际使用时，通过监控设备9控制启动电机四53，然后电机四53带动齿轮二54转动，齿轮二54则会与齿板33啮合，而齿板33是固定不动，以此整个左右移动机构二5能够进行移动，进而带动喷洒设备55进行移动，实现药水喷洒位置的调节，方便使用者使用。

根据上述，因为监控设备9能够跟随左右移动导向机构3进行移动，因此连接线的接线长度最长与导向轨31的长度相同，或者略大于导向轨31的长度均可，从而能够缩短监控设备9与左右移动机构一4以及左右移动机构二5的布线长度，避免出现连接线缠绕，而出事故的情况，降低事故出现的频率，提高刻蚀机的使用安全性。

工作原理：本发明使用时，使用者通过操作监控设备9启动前后移动机构2上的电机一23，从而在整个前后移动机构2的作用下，左右移动导向机构3、左右移动机构一4和左右移动机构二5均能够前后移动，而且监控设备9也能够跟随移动，进而能够缩短监控设备9与左右移动机构一4和左右移动机构二5之间连接线的长度，避免因连接线缠绕而出现事故，对刻蚀机造成损坏，延长刻蚀机的使用寿命，同时左右移动机构一4能够在刻蚀后对刻蚀基板6上残留淤积的药水进行风力烘干，加快刻蚀基板6表面干燥的速度，以便于进行下一次的刻蚀工作。

综上所述：该ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，通过前后移动机构2的设置，能够带动左右移动导向机构3以及左右移动导向机构3上的左右移动机构二5和左右移动机构一4前后移动，并且监控设备9也能够跟随左右移动导向机构3移动，从而使得监控设备9与左右移动机构二5之间的连接线不需要太长，从而就不易因连接线缠绕而出现事故，也能够减少对刻蚀机的损坏，延长刻蚀机的使用寿命，并且当左右移动机构二5喷完药水后，还能够控制左右移动机构一4对刻蚀机上淤积的药水进行风力吹干，从而使得刻蚀基板6的表面能够快速干燥，减少清理所需要的时间，也方便后续的使用，该ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，具备缩短连接先长度，降低事故出现频率以及快速烘干淤积药水的优点，解决了传统蚀刻机上的监控装置是固定在一个位置的，无法移动，而蚀刻机上的药剂喷淋装置则是可以移动的，为了使得喷淋装置能够顺利的移动，其控制装置与喷淋装置之间的连接线就需要很长，而连接线过长则容易缠绕在一起，容易出现事故，不仅会对蚀刻机造成损坏，还威胁着使用者的生命安全，而且除了监控装置无法移动，喷淋装置喷出的药水在刻蚀后，很可能会出现残留和淤积，不易晾干，从而对下一次的刻蚀效果造成影响，降低刻蚀效率的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，包括刻蚀机本体(1)，其特征在于：所述刻蚀机本体(1)的左侧设置有前后移动机构(2)，所述刻蚀机本体(1)的上方设置有左右移动导向机构(3)，所述左右移动导向机构(3)的内腔设置有左右移动机构一(4)和左右移动机构二(5)，所述刻蚀机本体(1)的顶部固定连接有刻蚀基板(6)，所述左右移动机构一(4)底部的两侧分别固设有风力烘干设备二(8)和风力烘干设备一(7)，所述前后移动机构(2)的左侧固设有监控设备(9)。

2.根据权利要求1所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述前后移动机构(2)包括通过螺栓固定连接有在刻蚀机本体(1)左侧的固定架(21)，所述固定架(21)的后侧焊接有托板(22)，所述托板(22)的顶部焊接有电机一(23)，所述电机一(23)的输出轴固定连接有位于固定架(21)内腔的螺纹杆(24)，所述螺纹杆(24)的表面螺纹连接有滑动块(25)，所述滑动块(25)的右侧固定安装有连接件(28)，所述连接件(28)的右侧固定安装有移动柱(26)，所述监控设备(9)固定在移动柱(26)上，所述移动柱(26)的底部活动安装有滚轮(27)，所述滚轮(27)的底部与固定架(21)的内壁接触。

3.根据权利要求2所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述连接件(28)包括焊接在滑动块(25)上的固定块一(281)以及焊接在移动柱(26)上的固定块二(282)，所述固定块一(281)和固定块二(282)通过螺丝固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述左右移动导向机构(3)包括固定安装在移动柱(26)顶部的导向轨(31)，所述导向轨(31)的前侧和后侧分别开设有长方孔(34)和长圆孔(32)，所述导向轨(31)内腔的顶部焊接有齿板(33)。

5.根据权利要求4所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述左右移动机构一(4)包括设置在导向轨(31)内腔的活动架一(41)，所述活动架一(41)的前侧固定安装有在长方孔(34)内腔滑动的滑动件(42)，所述活动架一(41)的前侧固定安装有位于滑动件(42)内腔的电机三(45)，所述电机三(45)的输出轴贯穿至活动架一(41)的内腔并固定连接有与齿板(33)啮合的齿轮一(46)，所述活动架一(41)的底部固定安装有电机二(43)，所述电机二(43)的输出轴固定连接有转盘(44)，所述风力烘干设备二(8)和风力烘干设备一(7)分别固定安装在转盘(44)底部的两侧。

6.根据权利要求4所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述左右移动机构二(5)包括设置在导向轨(31)内腔的活动架二(51)，所述活动架二(51)的后侧焊接有在长圆孔(32)内腔滑动的滑动销(52)，所述活动架二(51)的前侧固定安装有电机四(53)，所述电机四(53)的输出轴贯穿至活动架二(51)的内腔并固定连接有与齿板(33)啮合的齿轮二(54)，所述活动架二(51)的底部固定安装有喷洒设备(55)，所述喷洒设备(55)底部的四角均连通有喷洒头(56)。

7.根据权利要求5或6所述的一种ICP高密度等离子刻蚀机的监控机构，其特征在于：所述齿轮一(46)和齿轮二(54)分别啮合在齿板(33)底部的前侧和后侧。

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