CN111560603A - 喷淋式进气cvd动态混气装置 - Google Patents
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- 238000002156 mixing Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 238000005507 spraying Methods 0.000 title abstract description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 28
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 7
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
本发明涉及一种喷淋式进气CVD动态混气装置，在法兰的右侧壁上呈密封固定有混合罐，在法兰的左侧壁上呈密封固定有定子，在法兰上或者混合罐上固定有至少两个进气接头，在混合罐上固定有出气接头，在混合罐内转动安装有叶片轴，在叶片轴上固定有叶片；在定子内转动安装有主轴，主轴与叶片轴呈一体式同轴连接，在主轴内固定有强磁线圈，在主轴的外壁与定子的内壁之间设有密封用磁性粉末。本发明大大提高了二维材料生长用气体的混合效果，本发明还具有密封可靠、结构简单的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种二维材料生长领域使用的气体混合器，具体地说是一种喷淋式进气CVD动态混气装置。
背景技术
在二维材料生长领域使用的气体混合器大多为静态混合器，静态混合器的工作原理是高速度通过的几路气体通过密闭的迷宫状管道空间碰撞然后实现混合，混合效果取决气体的通过密闭腔助混结构的速度和助混结构的合理搭配的空间，能很好的让气体分子自在空间里面有碰撞混合。目前，静态混合器普遍存在气体混合效果较差的问题。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种能大大提升混合效果且密封可靠的喷淋式进气CVD动态混气装置。
按照本发明提供的技术方案，所述喷淋式进气CVD动态混气装置，包括法兰、混合罐、定子、进气接头、出气接头、叶片轴、叶片、主轴、强磁线圈与密封用磁性粉末；
在法兰的右侧壁上呈密封固定有混合罐，在法兰的左侧壁上呈密封固定有定子，在法兰上或者混合罐上固定有两个进气接头，在混合罐上固定有出气接头，在混合罐内转动安装有叶片轴，在叶片轴上固定有叶片；在定子内转动安装有主轴，主轴与叶片轴呈一体式同轴连接，在主轴内固定有强磁线圈，在主轴的外壁与定子的内壁之间设有密封用磁性粉末。
作为优选，所述叶片包括正向吹风叶片与反向吹风叶片，在叶片轴上固定有呈间隔设置的正向吹风叶片与反向吹风叶片，相邻两个正向吹风叶片之间设有一个反向吹风叶片，相邻两个反向吹风叶片之间设有一个正向吹风叶片。
作为优选，所述混合罐的出气端为圆锥形罐体，在圆锥形罐体的内壁面上设有气体导流旋转螺纹，在圆锥形罐体的锥顶位置固定有所述的出气接头。
作为优选，所述两个进气接头分别固定在法兰的直径两端，进气接头（4）的出气方向与叶片轴的轴线方向一致，在靠近法兰的混合罐内壁上设有与进气接头的出气端位置配合的挡板。
作为优选，所述进气接头固定在靠近法兰的混合罐上，两个进气接头的出气方向为混合罐的直径方向且呈对向设置。
作为优选，所述叶片轴与混合罐呈同轴设置。
本发明大大提高了二维材料生长用气体的混合效果，本发明还具有密封可靠、结构简单的优点。
附图说明
图1是本发明实施例1的结构示意图。
图2是本发明实施例2的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步说明。
实施例1
一种喷淋式进气CVD动态混气装置，如图1所示，它包括法兰1、混合罐2、定子3、进气接头4、出气接头5、叶片轴6、叶片7、主轴8、强磁线圈9与密封用磁性粉末10；
在法兰1的右侧壁上呈密封固定有混合罐2，在法兰1的左侧壁上呈密封固定有定子3，在法兰1上或者混合罐2上固定有两个进气接头4，在混合罐2上固定有出气接头5，在混合罐2内转动安装有叶片轴6，在叶片轴6上固定有叶片7；在定子3内转动安装有主轴8，主轴8与叶片轴6呈一体式同轴连接，在主轴8内固定有强磁线圈9，在主轴8的外壁与定子3的内壁之间设有密封用磁性粉末10。
所述叶片7包括正向吹风叶片71与反向吹风叶片72，在叶片轴6上固定有呈间隔设置的正向吹风叶片71与反向吹风叶片72，相邻两个正向吹风叶片71之间设有一个反向吹风叶片72，相邻两个反向吹风叶片72之间设有一个正向吹风叶片71。
所述混合罐2的出气端为圆锥形罐体，在圆锥形罐体的内壁面上设有气体导流旋转螺纹11，在圆锥形罐体的锥顶位置固定有所述的出气接头5。
所述两个进气接头4分别固定在法兰1的直径两端，进气接头4的出气方向与叶片轴6的轴线方向一致，在靠近法兰1的混合罐2内壁上设有与进气接头4的出气端位置配合的挡板12。使得两种二维材料生长用气体在刚刚接入混合罐2经过挡板12的阻挡转向后对撞，实现一定程度的混合。
本发明中，法兰1与混合罐2之间通过O型圈进行密封，法兰1与定子3之间通过O型圈进行密封，叶片轴6与混合罐2呈同轴设置。
工作时，主轴8的左端通过联轴器13与变速电机14的输出轴同轴连接，由变速电机14驱动叶片轴6转动，主轴8的强磁线圈9在通电后产生磁场，使得密封用磁性粉末10连同主轴8一起转动，实现密封效果。
两种二维材料生长用气体分别由两个进气接头4通入混合罐2内，叶片轴6上的正向吹风叶片71与反向吹风叶片72随着叶片轴6一起旋转时，正向吹风叶片71与反向吹风叶片72的同时搅动着两种二维材料生长用气体，使两种二维材料生长用气体快速而均匀地混合在一起，气体在经过具有圆锥形罐体的出气端时，罐体内壁面上的气体导流旋转螺纹11会使气体产生旋流效果，加剧了两种二维材料生长用气体的混合作用，混合后，气体从出气接头5被接出进行二维材料生长。
实施例2
如图2所示，本实施例与实施例1基本相同，不同之处是：进气接头4设置在靠近法兰1的混合罐2上，进气接头4的出气方向为混合罐2的直径方向且呈对向设置。使得两种二维材料生长用气体在刚刚接入混合罐2后对撞，实现一定程度的混合。
Claims (6)
1.一种喷淋式进气CVD动态混气装置，包括法兰（1）、混合罐（2）、定子（3）、进气接头（4）、出气接头（5）、叶片轴（6）、叶片（7）、主轴（8）、强磁线圈（9）与密封用磁性粉末（10）；
其特征是：在法兰（1）的右侧壁上呈密封固定有混合罐（2），在法兰（1）的左侧壁上呈密封固定有定子（3），在法兰（1）上或者混合罐（2）上固定有两个进气接头（4），在混合罐（2）上固定有出气接头（5），在混合罐（2）内转动安装有叶片轴（6），在叶片轴（6）上固定有叶片（7）；在定子（3）内转动安装有主轴（8），主轴（8）与叶片轴（6）呈一体式同轴连接，在主轴（8）内固定有强磁线圈（9），在主轴（8）的外壁与定子（3）的内壁之间设有密封用磁性粉末（10）。
2.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述叶片（7）包括正向吹风叶片（71）与反向吹风叶片（72），在叶片轴（6）上固定有呈间隔设置的正向吹风叶片（71）与反向吹风叶片（72），相邻两个正向吹风叶片（71）之间设有一个反向吹风叶片（72），相邻两个反向吹风叶片（72）之间设有一个正向吹风叶片（71）。
3.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述混合罐（2）的出气端为圆锥形罐体，在圆锥形罐体的内壁面上设有气体导流旋转螺纹（11），在圆锥形罐体的锥顶位置固定有所述的出气接头（5）。
4.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述两个进气接头（4）分别固定在法兰（1）的直径两端，进气接头（4）的出气方向与叶片轴（6）的轴线方向一致，在靠近法兰（1）的混合罐（2）内壁上设有与进气接头（4）的出气端位置配合的挡板（12）。
5.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述进气接头（4）固定在靠近法兰（1）的混合罐（2）上，两个进气接头（4）的出气方向为混合罐（2）的直径方向且呈对向设置。
6.根据权利要求1所述的喷淋式进气CVD动态混气装置，其特征是：所述叶片轴（6）与混合罐（2）呈同轴设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202010542448.1A CN111560603A (zh) | 2020-06-15 | 2020-06-15 | 喷淋式进气cvd动态混气装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202010542448.1A CN111560603A (zh) | 2020-06-15 | 2020-06-15 | 喷淋式进气cvd动态混气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111560603A true CN111560603A (zh) | 2020-08-21 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202010542448.1A Pending CN111560603A (zh) | 2020-06-15 | 2020-06-15 | 喷淋式进气cvd动态混气装置 |
Country Status (1)
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