CN111501001A - 一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,属于光学元件镀膜装置技术领域。所述用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,包括工件盘,工件盘的底部中心转动连接有第一连杆,第一连杆的底端固定连接有挡板,顶端穿过工件盘并通过第二连杆连接有夹具,且第二连杆至少有一端为铰接,夹具远离第二连杆的一侧固定连接有第三连杆,第三连杆与外部电机的输出轴固定连接;工件盘上还开有若干个窗口,窗口与多面体工件所需镀膜面的形状、大小一一对应。本发明提供的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,整个镀膜过程只需要对多面体工件完成一次夹持操作,即能够实现对多面体工件的一炉法镀膜,具有更高的镀膜效率。

Description

一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置
技术领域
本发明涉及光学元件镀膜装置技术领域,特别涉及一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置。
背景技术
提高镀膜效率和镀膜质量、扩大镀膜适用范围是真空镀膜技术领域追求的目标。近年来,随着光电产业迅速发展,人们对镀膜技术提出了更高要求。在这其中,如何能够兼容大小不同、形状各异的基板而不影响其横向均匀性是镀膜技术开发重点之一。为了提高多面体各面的膜厚均匀性,人们通常情况下是将多面体镀过一面之后取出翻转之后再镀其他面,需要对多面体工件反复装夹,这无疑增加了时间与资金成本,也提高了镀膜风险以及镀膜难度。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,以解决目前在对多面体工件镀膜时,当一面镀膜完成后,需要将多面体工件取出翻转再装夹,增加了时间与资金成本的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,包括工件盘,所述工件盘的底部中心转动连接有第一连杆,所述第一连杆的底端固定连接有挡板,顶端穿过所述工件盘并通过第二连杆连接有夹具,且所述第二连杆至少有一端为铰接,所述夹具用于放置待镀膜的多面体工件,所述夹具远离所述第二连杆的一侧固定连接有第三连杆,所述第三连杆与外部电机的输出轴固定连接;所述工件盘上还开有若干个窗口,所述窗口与所述多面体工件所需镀膜面的形状、大小一一对应。
可选的,所述第二连杆和所述第三连杆分别位于所述夹具上的两个相对的棱或面上。
可选的,所述工件盘为一端开口的圆柱形壳体,所述工件盘的侧壁上开有若干个定位槽,所述定位槽与所述窗口的位置一一对应,所述第三连杆的远端穿过所述定位槽与外部电机连接。
可选的,所述第三连杆的远端固定连接有定位螺母,且所述定位螺母的外径大于所述定位槽的宽度。
可选的,所述第三连杆的外表面活动套设有弹簧,所述弹簧的初始状态为压缩状态,且其两端分别抵在所述夹具和所述工件盘的内壁;所述定位螺母通过螺纹连接在所述第三连杆远端的外表面。
可选的,所述挡板为扇形。
可选的,所述夹具为框架结构,且其形状、大小与待镀膜的所述多面体工件一致,所述夹具的一面铰接有放置板,其他面的棱边均为角钢。
可选的,所述多面体工件为三棱柱,所述放置板设置在所述夹具的侧面,所述放置板与所述第三连杆固定连接,所述放置板相对的棱边与所述第二连杆铰接。
可选的,所述工件盘上开有4个所述窗口。
本发明提供的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置具有以下有益效果:
(1)所述用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,在起支撑多面体工件的作用的同时还能在多面体镀完一面之后即刻翻转至下一面进行镀制,整个镀膜过程只需要对多面体工件完成一次夹持操作,即能够实现对多面体工件的一炉法镀膜,结构简单,方便操作,相比于以往的镀膜方式,具有更高的镀膜效率;
(2)能够对不同大小、形状的多面体工件进行装夹和镀膜操作,适用范围广。
附图说明
图1是本发明提供的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置的结构示意图;
图2是本发明提供的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置的底部结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
实施例一
本发明提供了一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其结构如图1所示。包括工件盘1,所述工件盘1的底部中心转动连接有第一连杆2,所述第一连杆2的底端固定连接有挡板3,顶端穿过所述工件盘1并通过第二连杆4连接有夹具5,且所述第二连杆4至少有一端为铰接,所述夹具5用于放置待镀膜的多面体工件6,所述夹具5远离所述第二连杆4的一侧固定连接有第三连杆7,所述第三连杆7与外部电机的输出轴固定连接;所述工件盘1上还开有若干个窗口8,所述窗口8与所述多面体工件6所需镀膜面的形状、大小一一对应。作为优选,所述挡板3为扇形。所述挡板3能够避免在镀膜时,膜料分子蒸发,通过所述窗口8沉积在所述多面体工件6的背面。
具体地,所述第二连杆4和所述第三连杆7分别位于所述夹具5上的两个相对的棱或面上。
所述工件盘1为一端开口的圆柱形壳体,所述工件盘1的侧壁上开有若干个定位槽9,所述定位槽9与所述窗口8的位置一一对应,所述第三连杆7的远端穿过所述定位槽9与外部电机连接,避免所述夹具5相对所述窗口8发生转动而影响镀膜。所述第三连杆7的远端固定连接有定位螺母10,且所述定位螺母10的外径大于所述定位槽9的宽度。
所述第三连杆7的外表面活动套设有弹簧11,所述弹簧11的初始状态为压缩状态,且其两端分别抵在所述夹具5和所述工件盘1的内壁;所述定位螺母10通过螺纹连接在所述第三连杆7远端的外表面。所述定位螺母10能够调节所述第三连杆7的伸出长度,从而能够适用于不同大小的多面体工件和夹具5。
所述夹具5为框架结构,且其形状、大小与待镀膜的所述多面体工件6一致,所述夹具5的一面铰接有放置板50,其他面的棱边均为角钢,作为优选,所述放置板50通过锁扣实现开启和闭合(图中未示出)。
所述夹具5可制成不同的大小、形状,以对不同大小、形状的多面体工件进行装夹。相应地,所述工件盘1上的所述窗口8的形状也可以开设不同的形状。
在本实施例一中,所述多面体工件6为三棱柱,所述夹具5的整体形状也为三棱柱。所述放置板50设置在所述夹具5的侧面,所述放置板50与所述第三连杆7固定连接,所述放置板50相对的棱边与所述第二连杆4铰接。所述工件盘1上开有4个所述窗口8,4个所述窗口8的形状分别为三角形、三角形、矩形、矩形。
工作原理:
需要镀膜时,将待镀膜的所述多面体工件6放置在所述夹具5内,并将其待镀膜的面朝向所述夹具5的底面,托起所述第三连杆7,并相对所述工件盘1转动,使所述夹具5的底面搁置在所需用的所述窗口8上,旋转所述挡板3,露出所需用的所述窗口8;即可对所述多面体工件6的一面进行镀膜。当一面镀完后,开启外部电机,翻转所述夹具5;重复上述步骤,直至对所述多面体工件6完成镀膜操作。
当对不同形状的多面体工件进行镀膜时,换用相应大小、形状的所述夹具5,并通过调节所述定位螺母10,使所述夹具5的各个面对准相应的所述窗口8,并重复上述步骤。
本发明提供的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,在起支撑多面体工件的作用的同时还能在多面体镀完一面之后即刻翻转至下一面进行镀制,整个镀膜过程只需要对多面体工件完成一次夹持操作,即能够实现对多面体工件的一炉法镀膜,结构简单,方便操作,相比于以往的镀膜方式,具有更高的镀膜效率。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述,并非对本发明范围的任何限定,本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置包括工件盘(1),所述工件盘(1)的底部中心转动连接有第一连杆(2),所述第一连杆(2)的底端固定连接有挡板(3),顶端穿过所述工件盘(1)并通过第二连杆(4)连接有夹具(5),且所述第二连杆(4)至少有一端为铰接,所述夹具(5)用于放置待镀膜的多面体工件(6),所述夹具(5)远离所述第二连杆(4)的一侧固定连接有第三连杆(7),所述第三连杆(7)与外部电机的输出轴固定连接;所述工件盘(1)上还开有若干个窗口(8),所述窗口(8)与所述多面体工件(6)所需镀膜面的形状、大小一一对应。
2.如权利要求1所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述第二连杆(4)和所述第三连杆(7)分别位于所述夹具(5)上的两个相对的棱或面上。
3.如权利要求1所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述工件盘(1)为一端开口的圆柱形壳体,所述工件盘(1)的侧壁上开有若干个定位槽(9),所述定位槽(9)与所述窗口(8)的位置一一对应,所述第三连杆(7)的远端穿过所述定位槽(9)与外部电机连接。
4.如权利要求3所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述第三连杆(7)的远端固定连接有定位螺母(10),且所述定位螺母(10)的外径大于所述定位槽(9)的宽度。
5.如权利要求4所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述第三连杆(7)的外表面活动套设有弹簧(11),所述弹簧(11)的初始状态为压缩状态,且其两端分别抵在所述夹具(5)和所述工件盘(1)的内壁;所述定位螺母(10)通过螺纹连接在所述第三连杆(7)远端的外表面。
6.如权利要求1所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述挡板(3)为扇形。
7.如权利要求1所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述夹具(5)为框架结构,且其形状、大小与待镀膜的所述多面体工件(6)一致,所述夹具(5)的一面铰接有放置板(50),其他面的棱边均为角钢。
8.如权利要求7所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述多面体工件(6)为三棱柱,所述放置板(50)设置在所述夹具(5)的侧面,所述放置板(50)与所述第三连杆(7)固定连接,所述放置板(50)相对的棱边与所述第二连杆(4)铰接。
9.如权利要求8所述的一种用于不规则多面体一炉法镀膜的镀膜装置,其特征在于,所述工件盘(1)上开有4个所述窗口(8)。
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