CN111435104A

CN111435104A - 检查装置

Info

Publication number: CN111435104A
Application number: CN201911363161.6A
Authority: CN
Inventors: 下坂俊郎
Original assignee: JATCO Ltd
Current assignee: JATCO Ltd
Priority date: 2019-01-11
Filing date: 2019-12-26
Publication date: 2020-07-21
Anticipated expiration: 2039-12-26
Also published as: CN111435104B; JP2020112454A; JP7237422B2

Abstract

一种检查装置，能够在更短时间对过度研磨的情况进行检查。该检查装置(10)具备用于检测自动变速器的振动的振动传感器(11)和控制装置(13)。控制装置作为实施振动传感器输出的振动信号的同步平均处理的处理单元(131)、基于同步平均处理的结果判断自动变速器内的齿轮部件(4、5、6、7)中有无异常的判断单元(132)发挥功能。检查装置具备：与齿轮部件的外周设置有齿部的区域的侧面相对配置的旋转传感器、以及将旋转传感器输出的脉冲信号转换为电压信号的F/V转换器。在控制装置中，处理单元实施F/V转换器所转换的电压信号的同步平均处理，判断单元基于电压信号的同步平均处理的结果，判断从旋转传感器侧观察到的齿部的侧面形状有无异常。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及一种在车辆用自动变速器的成品检查中使用的检查装置

背景技术

车辆用自动变速器在旋转驱动力的传递路径上设置有多个齿轮组。在各齿轮组中，经由相互啮合的齿轮部件传递旋转。

作为一个示例，齿轮部件按以下步骤制作。

(1)通过棒状材料的热锻造，在轴部的长度方向的中间位置造型出大径部。(2)在大径部的外周，通过切削加工形成齿部。(3)对形成有齿部的齿轮部件进行渗碳处理。(4)对在渗碳处理后的齿轮部件中成为与其他齿轮部件的啮合面的齿部的表面进行研磨。

齿部的研磨是为了将齿部表面的作为与其他齿轮部件的啮合面的区域，以及作为传感器检测面的侧面区域用磨石进行研磨，去除因渗碳处理而被氧化的原料表面而实施。

但是，例如，如车辆用自动变速器所采用的齿轮部件那样，在齿部弯曲的斜齿轮的情况下，要完全去除齿部的表面被氧化的原料表面很困难。

在此，残留在齿部的一部分上的氧化原料表面呈黑色，因此被称为黑皮残留。在齿轮部件中，若在与其他齿轮部件啮合的部分有黑皮残留，则会成为旋转传递时产生异常声音的原因。

因此，在自动变速器的生产线上，在成品的检查工序中设置有检查有无异常声音的检查装置。

在专利文献1中公开了一种检查有无异常声音的检查装置，是用于确定有异常的齿轮部件的装置。

专利文献

专利文献1：日本特许第4779032号公报

在这种检查装置中，在进行自动变速器的成品的动作试验时，在动作试验的同时获取频率据，并根据获取的频率据判断有无异常声音。

在此，由于齿轮部件的侧面区域有时会用作传感器的检测面，因此，如果侧面区域被过度研磨，则传感器的检测会出现不良问题。

但是，异常声音大多是由切削残留引起的，在过度研磨的情况下，异常音的检查中则无法检测出来。

因此，为了对过度研磨的情况进行检查，需要另外准备专用的检查机器和检查工序。这样，对自动变速器的成品实施的检查就会变长。

于是，需要能够在更短的时间内对过度研磨的情况进行检查。

发明内容

本发明的检查装置具备：

振动检测单元，其检测检查对象物的振动；

处理单元，其实施所述振动检测单元输出的振动信号的同步平均处理；

判断单元，其基于所述同步平均处理的结果，判断构成所述检查对象物内的齿轮组的齿轮部件中有无异常，其特征在于，

该检查装置还具备：

旋转传感器，其与所述齿轮部件的外周的设置有齿部的区域的侧面相对配置；

转换单元，其将所述旋转传感器输出的脉冲信号转换为电压信号，

所述处理单元实施所述转换单元转换的电压信号的所述同步平均处理，

所述判断单元基于所述电压信号的同步平均处理的结果，判断从所述旋转传感器侧观察到的所述齿部的侧面形状有无异常。

根据本发明，在进行自动变速器的成品的动作试验时，在动作试验的同时，可以使用相同的检查装置来判断齿轮部件上有无异常、以及齿部的侧面形状有无异常。

由于齿部的侧面形状的异常是在研磨过度的情况下发生的，所以可以在更短的时间对研磨过度的情况进行检查。

附图说明

图1是实施方式的检查装置的概略结构图。

图2的(a)～(c)是说明输入到控制装置的频率据和控制装置中的频率据的处理的图。

图3的(a)～(b)是说明齿轮部件的图。

图4的(a)～(b)是说明具有过度研磨区域的齿部的形状和对脉冲信号的影响的图。

图5的(a)～(c)是说明输入到控制装置的电压信号和控制装置中的电压信号的处理的图。

附图标记说明

4、5、6 齿轮部件

7 齿轮部件

70a、70b 侧面

71 齿部

71X 齿部

72 齿槽部

10 检查装置

11 振动传感器

12 旋转传感器

13 控制装置

14 F/V转换器

131 处理单元

132 判断单元

701 侧面区域

AT 自动变速器

A、B、C、D 振动波形

E、F 信号波形

Lm 线段

P1、P2 峰值

Pmax 峰值

Rx 区域

Th1 阈值

Th2 阈值

X、X1、X2、X3 旋转轴

α、β 齿轮组

具体实施方式

以下，说明本发明的实施方式。

图1是表示本实施方式的检查装置10的概略结构的图。

检查装置10具备：振动传感器11、旋转传感器12、控制装置13、F/V转换器14(周期/电压转换器)。

检查装置10的检查对象物是车辆用自动变速器AT。在车辆用自动变速器AT中，在旋转驱动力的传递路径上设置有多个齿轮组α、β。

检查装置10是用于检查构成齿轮组α、β的齿轮部件4、5、6、7中有无不良而设置。

制作齿轮部件的过程中，包括研磨作为与其他齿轮部件的啮合面的齿部的表面的工序。该工序的目的是：(a)去除在渗碳处理中被氧化的原料表面、(b)去除毛刺。

在齿轮部件中，如果齿部区域中的被氧化的原料表面的去除不充分，则在旋转驱动力的传递时，在与其他齿轮部件的啮合部分会产生异常声音。

齿轮部件的旋转轴方向上的齿部的侧面区域成为旋转传感器12的检测面。因此，当齿部的侧面区域的原料表面研磨过度时，齿部的侧面区域的形状与规定形状不同，其结果，导致旋转传感器12的检测出现故障。

本实施方式的检查装置10自动变速器的生产线上设置在成品检查工序中。

检查装置10在成品自动变速器的一次的动作试验中并行基于振动传感器11以及旋转传感器12的输出信号，进行齿轮部件的表面材料的去除是否不充分的检查(检查1)和原料表面是否过度切削的检查(检查2)。

振动传感器11设置在自动变速器AT的大致中央的正上方。振动传感器11在实施成品的动作检查时，检测作为检查对象物的自动变速器AT的振动，并将表示检测出的振动的信号(振动信号)输出到控制装置13。

旋转传感器12检测齿轮部件7(例如，末端传动齿轮)或旋转轴X1、X2、X3的旋转速度，并将表示齿轮部件7的旋转速度的脉冲信号、表示旋转轴X1、X2、X3的旋转速度的脉冲信号输出到控制装置13。

在图1中，代表旋转传感器12仅记载了一个，但在自动变速器AT中，对各个检测对象设置有旋转传感器12，各个旋转传感器12向控制装置13输出表示检测对象的旋转速度的脉冲信号。

另外，表示齿轮部件7(例如，末端传动齿轮)的旋转速度的脉冲信号也被输出到F/V转换器14。

F/V转换器14通过F/V转换(周期/电压转换)将从旋转传感器12输入的旋转脉冲信号转换为电压信号。转换后的电压信号被输出到控制装置13。

如图1所示，振动传感器11的输出信号(振动信号)从检查装置10的输入输出端口的信道1(Ch1)输入。旋转传感器12的脉冲信号从输入输出端口的输入端口In输入。F/V转换器14的输出信号(电压信号)由检查装置10的输入输出端口中的信道2(Ch2)输入。

控制装置13具备：RAM、ROM、非易失性存储器等存储介质和CPU等。控制装置13基于存储在存储介质中的程序，实施齿轮部件的表面材料的去除是否不充分的检查(检查1)和原料表面是否过度切削的检查(检查2)。

控制装置13基于存储在存储介质中的程序，作为实施同步平均处理的处理单元131、判断齿轮部件中有无异常的判断单元132而发挥功能。

处理单元131实施对检测自动变速器AT(检查对象物)的振动的振动传感器11(振动检测单元)输出的振动信号的同步平均处理、以及F/V转换器14(转换单元)转换的电压信号的同步平均处理。

判断单元132基于振动信号的同步平均处理的结果，判断构成自动变速器AT(检查对象物)内的齿轮组的齿轮部件中有无异常。进而，基于电压信号的同步平均处理的结果，判断从旋转传感器12侧观察到的齿部71的侧面形状有无异常。

以下，说明由检查装置10的控制装置13实施的检查1和检查2。

[检查1]

首先，说明实施齿轮部件的表面材料去除是否不充分的检查1时的处理。

另外，以下的说明以齿轮组α是检查对象的齿轮组，构成齿轮组α的一方的齿轮部件4具有的多个齿部中的一个齿存在表面材料的去除不充分的区域的情况进行说明。在这种情况下，齿轮部件4、5之间的旋转驱动力传递时，会产生异常声音，至少一方的齿轮部件4会产生打痕。

图2是说明输入到控制装置13的频率据和控制装置13中的频率据的处理的图。

图2的(a)是说明从振动传感器11输入到控制装置13的频率据的波形的图。图2的(b)是表示对图2的(a)的频率据，将进行了包络处理后的振动波形B与包络处理前的振动波形A一起表示的图。图2的(c)是将对振动波形A进行了同步平均处理(同步加法平均处理)后的振动波形C、D重叠表示的图。振动波形C是有打痕的齿轮部件4的振动波形，振动波形D是无打痕的齿轮部件5的振动波形。

向控制装置13输入如图2的(a)所示波形的频率据。

控制装置13从图2的(a)所示的频率据(振动信号)中提取与检查对象的齿轮组α的固有频率对应的频带的信号成分。由此得到的振动波形A在图2的(b)中用细线表示。

在检查对象齿轮组的振动波形A中，每隔一定时间出现的峰值P1相当于因有打痕的齿轮部件引起的振动(异常声音)。

控制装置13通过对图2的(b)所示的振动波形A实施包络处理，获得提取出振动波形A的外形的振动波形B。

在此，包络处理也被称为包络线处理，是提取出振幅的外形的处理。在包络处理中，根据振动信号的振动波形和希尔伯特变换后波形的正交坐标值计算出多个参数，通过将计算出的多个参数的绝对值波形包络线化，得到与振动波形的包络线成比例的输出。

对于图2的(b)的振动波形B，在进行了同步平均处理之后，分离为检查对象的齿轮组的一方的齿轮部件的振动波形和另一方的齿轮部件的振动波形。由此，得到图2的(c)所示的振动波形C、振动波形D。

另外，在图2的(c)中，横轴表示时间、纵轴表示振幅。

在此，同步平均处理是指用于从包含噪声的振动波形(信号波形)中提取出与特定周期一致的成分数据的处理，是用于特定各旋转轴X1、X2、X3相对处理对象的振动波形的贡献的处理。

在同步平均处理中，对与各个旋转轴X1，X2，X3对应的振动波形，分别进行以下处理。

(I)根据旋转传感器12的输出脉冲计算出各个旋转轴X1、X2、X3旋转一次(一圈)所需的时间。

(II)对每个旋转轴X1、X2、X3获取旋转轴以规定次数旋转期间的振动波形。

(III)将旋转轴以规定次数旋转期间的振动波形分割为旋转轴旋转一次期间的振动波形，将得到的各个旋转一次的振动波形同步后进行重叠并将输出值相加。

(IV)将相加后的输出值除以规定次数，将旋转轴旋转一次期间的振动波形(输出值)平均化。

这样，如图2的(c)的振动波形C所示，对于旋转轴X1，成为峰值Pmax较高的振动波形，另一方面，如振动波形D所示，对于旋转轴X2，成为峰值Pmax较低的振动波形。

接着，控制装置13通过比较通过同步平均处理得到的振动波形C、振动波形D和阈值Th1，确认在振动波形C、振动波形D中是否存在输出值大于阈值Th1的区域。

并且，在存在输出值大于阈值Th1的区域的情况下，判断为有带打痕的齿轮，不存在的情况下，则判断为没有带打痕的齿轮。

在图2的(c)的情况下，由于检查对象是齿轮组α，所以判断为固定在旋转轴X1上的齿轮部件4有打痕。

另外，在此，以检查对象为齿轮组α的情况为例进行了说明。对于其他齿轮组β，在对齿轮组α确认有无打痕的处理的同时，执行确认有无打痕的处理。

另外，在自动变速器AT中存在多个检查对象的齿轮组的情况下，利用在自动变速器AT的一次动作试验期间获取的数据，执行关于各个齿轮组的确认有无打痕的处理。

也就是说，即使在有多个检查对象的齿轮组的情况下，也无需进行多次动作试验即可完成。

[检查2]

接着，说明实施齿轮部件的原料表面是否研磨过度的检查2时的处理。

另外，以下的说明以齿轮组β是检查对象的齿轮组，在构成齿轮组β的一方的齿轮部件7所具有的多个齿部71中的一个齿存在过度研磨原料表面的区域的情况进行说明。

图3是说明齿轮部件7(末端传动齿轮)的图，图3的(a)是齿轮部件7的立体图，图3的(b)是从旋转轴X的径向观察的齿轮部件7的图。

图4是说明齿轮部件7的齿部71中具有过度研磨的区域Rx的齿部71X的形状和齿部71X的形状对脉冲信号的影响的图。

图4的(a)是从旋转轴X方向观察齿轮部件7的侧面区域701的图，是将外周的齿部71周围放大的图。图4的(b)是说明旋转传感器12的输出脉冲的图，是表示研磨过度的区域Rx的影响的图。

另外，在图4的(a)中，为了便于说明，将齿轮部件7的外周呈弧状排列的齿部71排列成直线状。

图5是说明输入到控制装置13的电压信号和控制装置13的电压信号的处理的图。

图5的(a)是说明从F/V转换器14(周期/电压转换器)输入到控制装置13的电压信号的波形(信号波形)的图。图5的(b)是表示对于图5的(a)的电压信号，进行傅立叶变换处理后的信号波形E的图。图5的(c)是表示对信号波形E进行了同步平均处理(同步加法平均处理)后的信号波形F的图。

信号波形F是具有过度研磨的区域Rx的齿轮部件7(末端传动齿轮)的波形。

如图3所示，从旋转轴X的径向来观察，齿轮部件7(末端传动齿轮)的外周的齿部71相对于旋转轴X倾斜规定角度，并且随着从旋转轴X方向的一方的侧面70a朝向另一方的侧面70b，以齿向扭转的方式弯曲的斜齿轮。

在齿轮部件7中，旋转轴X方向上的一方的侧面70a处的齿部71形成的外周侧的规定宽度的范围(侧面区域701)成为旋转传感器12的检测面。

在此，侧面区域701的研磨通过磨削加工进行。在磨削加工中，使具有磨削齿的工具与旋转的齿轮部件7接触以研磨侧面区域701。

在磨削加工中，磨削齿接触侧面区域时，由于齿轮部件旋转产生的应力作用于工具，因此，磨削齿与侧面区域的接触角度容易发生变化。随着接触角度的变化，磨削齿最初接触的齿的侧面区域有容易形成研磨过度的区域Rx(参照图4的(a))的倾向。

如图3的(b)所示，旋转传感器12从旋转轴X方向与侧面区域701相对设置。旋转传感器12的检测面12a与旋转轴X的径向上通过侧面区域701的大致中间的线段Lm上(参照图4的(a))相对。

旋转传感器12在齿槽部72通过检测面12a的延长的情况下，输出接通信号，在齿部71通过的情况下输出断开信号(参照图4的(b))。

因此，在侧面区域701是被适当研磨的齿轮部件7的情况下，齿部71和与该齿部71邻接的齿槽部72的绕旋转轴X的周向宽度W，遍及绕旋转轴X的周向的全周大致固定。因此，在齿轮零件7以恒定速度旋转的情况下，传感器12输出的脉冲信号中从断开信号到接通信号的时间幅度t为一定的值。

如图4的(a)所示，在通过渗碳处理后的研磨，侧面区域701的原料表面被过度研磨情况下，由于齿轮部件7为斜齿轮，因此，仅研磨过度的区域Rx的部分齿部71的绕旋转轴X的周向宽度W变窄。

于是，旋转传感器12的输出脉冲受到研磨过度的区域Rx的影响，在具有区域Rx的齿部71X的前后，从断开信号到接通信号的时间幅度t发生变化。

即，与具有区域Rx的齿部71X和齿槽部72对应的从断开信号到接通信号的时间幅度受到区域Rx的影响，仅缩短时间幅度a(t-a)。

在齿轮部件7的旋转方向上，齿部71X的上游侧相邻的齿部71和齿槽部72对应的从断开信号到接通信号的时间幅度受到区域Rx的影响，时间幅度a变长(t+a)。

这样，在输入了旋转传感器12的脉冲信号的控制装置13中，无法适当地检测齿轮部件7的旋转速度。

在本实施方式中，为了能够适当地检测出具有区域Rx的齿部71X的存在，将旋转传感器12的脉冲信号经由F/V转换器14输入到控制装置13。并且，控制装置13对经由F/V转换器14输入的电压信号(信号波形)进行检查2，确认有无具有区域Rx的齿部71X。

在F/V转换器14中，从旋转传感器12输入的旋转脉冲信号通过F/V转换(周期/电压转换)转换为电压信号。

控制装置13中输入如图5的(a)所示的波形的电压信号。

在控制装置13中实施在输入的电压信号中去除DC成分(旋转上升、下降的成分)、高速采样、滤波处理、以及傅立叶变换处理，从而获得图5的(b)所示的信号波形E。

在图5的(b)中，横轴为时间t，纵轴为旋转轴X3的转速。

信号波形E中每隔一定时间出现的峰值P2是由于具有过度研磨的区域Rx的齿部71X而引起。

在控制装置13中对图5的(b)所示的信号波形E进行同步平均处理。

在信号波形E的同步平均处理中，

(I)将旋转轴X3旋转规定次数期间的信号波形分割为旋转轴X3旋转一次期间的信号波形，将得到的各个旋转一次的信号波形同步后进行重叠，并将信号的输出值相加。

(II)将相加后信号的输出值除以规定次数，从而对旋转轴旋转一次时的信号波形(输出值)进行平均。

由此，可以得到图5的(c)所示的信号波形F。

接着，控制装置13通过比较通过同步平均处理得到的信号波形F和阈值Th2，确认信号波形F中是否存在输出值大于阈值Th2的区域。

并且，在存在输出值大于阈值Th2的区域的情况下，判断为存在具有过度研磨的区域Rx的齿部71X，在不存在的情况下，判断为没有具有过度研磨的区域Rx的齿部71X。

在图5的(c)的情况下，判断为存在具有过度研磨的区域Rx的齿部71X。

这样，利用在自动变速器AT的一次动作试验中获取的数据可执行用于是否存在具有过度研磨的区域Rx的齿部71X的检查2的处理。

由于该检查2能够与上述检查1并行(同时执行)，所以在进行检查1和检查2时，不需要进行多次动作试验即可完成。

在将旋转传感器12的脉冲信号进行F/V转换输入到控制装置13而无法进行处理的以往例子的情况下，其按照以下顺序实施了检查2。

(i)将用于“检查2”的专用的动作模式与成品的自动变速器的检查用的模式分开准备。

(ii)利用“检查2”专用的动作模式另外驱动自动变速器，通过外部的提取终端(数据记录仪)读取旋转传感器12的输出信号。

(iii)利用专用的分析装置分析所读取的旋转传感器12的输出信号，判断是否存在具有研磨过度的区域Rx的齿部71X。

如上所述，在本实施方式的情况下，与自动变速器的动作试验并行获取频率据和电压信号。并且，能够与动作试验并行同时实施通过所获取的振动数据的处理来判断有无异常音，以及通过所获取的电压信号的处理来判断是否存在具有研磨过度的区域Rx的齿部71X。

因此，与以往的例子相比，能够在更短的时间判断齿轮组中有无缺陷。由此，能够缩短成品在自动变速器的检查工序中的滞留时间，因此能够期待自动变速器的生产效率的提高。

在本实施方式中，示例了检查装置的检查对象为车辆用自动变速器的情况。本发明的检查装置的检查对象并不仅限于自动变速器。

例如，也适用于如具有减速齿轮组的减速机等内部具有多个齿轮组的其他装置的齿轮部件中有无异常的判断。

如上所述，本实施方式的检查装置10具有以下结构。

(1)检查装置10具备：检测自动变速器AT(检查对象物)的振动的振动传感器11(振动检测单元)、以及控制装置13。

控制装置13作为实施振动传感器11输出的振动信号的同步平均处理的处理单元131、基于同步平均处理的结果判断构成自动变速器AT(检查对象物)内的齿轮组α、β的齿轮部件4、5、6、7中有无异常的判断单元132发挥功能。

检查装置10具备：与齿轮部件7的外周设置有齿部71的区域的侧面相对配置的旋转传感器12、以及将旋转传感器12输出的脉冲信号转换为电压信号的F/V转换器14(转换单元)。

在控制装置13中，处理单元131实施F/V转换器14(转换单元)转换的电压信号的同步平均处理，判断单元132基于电压信号的同步平均处理的结果判断从旋转传感器12侧观察到的齿部71的侧面形状有无异常。

通过这样构成，根据本发明，在进行自动变速器AT的成品的动作试验时，能够与动作试验并行，利用相同的检查装置10判断齿轮部件4～7中有无异常、以及齿部71的侧面形状有无异常。

由于齿部71的侧面形状的异常是在研磨过度的情况下发生的，所以能够在更短的时间对研磨过度的情况进行检查。

本实施方式的检查装置10具有以下结构。

(2)检查齿部71的侧面形状有无异常的齿轮部件7为斜齿轮。

作为斜齿轮的齿轮部件7(斜齿轮)从旋转轴X的径向观察，齿轮外周的齿部71相对旋转轴X倾斜规定角度，并且随着从旋转轴X方向的一侧面70a朝向另一侧面70b，以齿向扭转的方式弯曲。

在此，齿部的侧面区域的研磨例如通过磨削加工进行。在磨削加工中，当工具具有的磨削齿接触侧面区域时，齿轮部件的旋转产生的应力作用于工具，使得磨削齿与侧面区域的接触角度容易发生变化。当接触角度发生变化时，在磨削齿最初接触的齿部的侧面区域容易形成研磨过度的区域Rx(参照图4的(a))。

因此，斜齿轮是比较容易产生齿部71的侧面形状异常的齿轮部件。这样的齿轮部件的齿部的侧面形状有无异常，无需另外准备专用的机器和工序，可以在自动变速器的动作试验中同时进行检查，因此，能够缩短有无异常检查所需的时间的同时适当进行。

本实施方式的检查装置10具有以下结构。

(3)检查装置10设置在实施自动变速器AT(检查对象物)的动作试验的工序中。

齿轮部件4～7中有无异常的判断(检查1)基于自动变速器AT的动作试验时振动传感器11(振动检查单元)检测到的自动变速器AT的振动来执行。

齿部71的侧面形状有无异常的判断(检查2)基于自动变速器AT的动作试验时旋转传感器12检测出的自动变速器AT中的齿轮部件7的旋转而执行。

通过这样的构成，可以将检查1和检查2与自动变速器AT的动作试验同时进行。

无需为了检查1和检查2另外准备另外的检查用工序和检查用自动变速器AT的动作模式。

由此，可以更简便地实施检查1和检查2。

本实施方式的检查装置10具有以下结构。

(4)齿轮部件4～7中有无异常的判断(检查1)和齿部71的侧面形状有无异常的判断(检查2)与自动变速器AT的动作试验并行实施。

通过这样的构成，在自动变速器AT的动作试验后，可以同时进行利用检查1和检查2的有无异常的判断，无需为了进行检查2而以专用的动作模式使自动变速器AT动作。

由此，能够缩短自动变速器AT的动作试验后、检查1和检查2所需的时间。由此，自动变速器AT在用于完成检查的工序中滞留的时间缩短，因此能够期待自动变速器的生产效率的提高。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于这些实施方式所示的方式。在发明的技术思想范围内，可以适当改变。

Claims

1.一种检查装置，具备：

振动检测单元，其检测检查对象物的振动；

该检查装置还具备：

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

被检查所述齿部的侧面形状有无异常的齿轮部件为斜齿轮。

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置设置在实施所述检查对象物的动作试验的工序中，

所述齿轮部件中有无异常的判断基于所述动作试验时所述振动检测单元检测出的所述检查对象物的振动而执行，

所述齿部的侧面形状有无异常的判断基于所述动作试验时所述旋转传感器检测出的所述检查对象物内的齿轮部件的旋转而执行。

4.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

所述齿轮部件中有无异常的判断以及所述齿部的侧面形状有无异常的判断与所述动作试验并行实施。