CN111394690A - 一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。该掩膜板包括框架和掩膜网，框架包括边框和连接边框的至少一个支架，支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区；掩膜网包括至少两个，各掩膜网分别对应张网于各张网区，且掩膜网的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架固定连接。该掩膜板，通过支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区，能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且能够实现掩膜网的四边张网，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度，从而改善阴影效应和混色风险，提高采用该掩膜板的蒸镀质量。

Description

一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法
技术领域
本发明属于显示技术领域，具体涉及一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。
背景技术
有机电激发光器件(OLED，OrganicLight-Emitting Diode)由于自主发光、色域广、响应快、面板薄、可弯曲、耐低温等独有的优异特性，已经广泛应用于手机，车载显示，相机等中小尺寸面板显示，大有取代传统的液晶显示器的趋势，成为公认的下一代屏幕显示技术。
OLED中的有机发光功能层大都采用高真空蒸镀技术，原理是用精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)遮挡在玻璃基板下面，然后加热有机材料使其挥发，挥发的有机材料透过掩膜板上的精细开孔沉积到玻璃基板的相应位置上。因此，为了实现高精度下的显示效果，就需要提高金属掩膜板的精度。但是，随着显示面板尺寸的增加，掩膜板的下垂量增大，在张网过程中更易发生褶皱，精度难以控制导致张网合格率下降，且蒸镀过程中阴影效应也会加剧。这些不良现象成为了大尺寸OLED显示器发展过程中的重要瓶颈。
发明内容
本发明针对大尺寸显示面板蒸镀中掩膜板下垂量大，且掩膜板在张网过程中更容易发生褶皱的问题，提供一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法。该掩膜板能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且能够实现掩膜网的四边张网，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度。
本发明提供一种掩膜板，包括框架和掩膜网，所述框架包括边框和连接所述边框的至少一个支架，所述支架将所述边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区；所述掩膜网包括至少两个，各所述掩膜网分别对应张网于各所述张网区，且所述掩膜网的四周边缘均分别与围设形成所述张网区的所述框架固定连接。
可选地，所述支架包括两个以上，所述支架为条状，所述支架沿第一方向平行等间隔排布，以将所述边框围设形成的区域分隔为多个面积相等的所述张网区。
可选地，所述张网区与所述支架的沿所述第一方向的宽度相等。
可选地，所述边框围设形成的区域形状包括矩形，所述第一方向为所述矩形一边的延伸方向，所述支架的长度方向垂直于所述第一方向；
所述张网区的形状和大小与所述支架的位于所述边框围设形成的区域内的部分的形状和大小相同。
可选地，所述掩膜网的四周各边缘上均分别设置有一个第一对位标记，围设形成所述张网区的所述框架的各边上均分别设置有一个第二对位标记；
所述第一对位标记和所述第二对位标记位置相对应且重合。
本发明还提供一种上述掩膜板的制备方法，包括：张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区；
将所述掩膜网的四周边缘分别与围设形成所述张网区的框架固定连接。
本发明还提供一种采用上述掩膜板的蒸镀方法，包括：将所述掩膜板与待镀基板进行对位，对位完成后进行一次蒸镀，完成所述待镀基板上部分区域的蒸镀；
对所述待镀基板或者所述掩膜板进行位置移动，将所述掩膜板与待镀基板进行再次对位，对位完成后进行再次蒸镀，循环执行该步骤直至完成所述待镀基板的蒸镀。
可选地，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述掩膜板保持不动，将所述待镀基板沿第一方向平移一个掩膜网的宽度，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
可选地，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述掩膜板保持不动，将所述待镀基板绕其中心旋转180°，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
可选地，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述待镀基板保持不动，将所述掩膜板绕其中心旋转180°，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
本发明的有益效果：本发明所提供的掩膜板，通过支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区，相对于目前只设置有外围边框框架的掩膜板，能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且通过使掩膜网的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架固定连接，能够实现掩膜网的四边张网，相对于目前掩膜板只能两边张网的情况，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度，从而改善阴影效应和混色风险，提高采用该掩膜板的蒸镀质量。
本发明所提供的掩膜板的制备方法，通过张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区，实现了掩膜网的四边张网，同时还缩小了掩膜板张网区域的面积，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险和在重力作用下发生下垂的风险，提升了张网精度和张网质量。
本发明所提供的采用上述掩膜板的蒸镀方法，通过采用上述掩膜板，能够提升蒸镀精度和蒸镀质量，且上述蒸镀方法，通过使待镀基板或者掩膜板进行简单的位置移动，即可实现待镀基板整个待镀面积的蒸镀，提高了蒸镀效率。
附图说明
图1为现有掩膜板的结构俯视图；
图2为本发明实施例中掩膜板的结构俯视图；
图3为采用图2中的掩膜板进行蒸镀的过程示意图；
图4为另一种采用图2中的掩膜板进行蒸镀的过程示意图；
图5为又一种采用图2中的掩膜板进行蒸镀的过程示意图。
其中附图标记为：
1、框架；11、边框；12、支架；2、掩膜网；3、第一对位标记；4、第二对位标记；5、掩膜板；6、待镀基板；7、未蒸镀区域；8、金属掩膜板。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明一种掩膜板及其制备方法和采用其的蒸镀方法作进一步详细描述。
如图1所示，目前大尺寸金属掩膜板8的张网依旧采用传统的两边张网方式，首先，将金属掩膜板8放在机台(stage)上，CCD(charge coupled device，电荷耦合器件)相机对位后用夹抓(gripper)夹持着金属掩膜板8两端，然后沿张网方向对框架1(frame)施加反作用力，之后夹抓夹着金属掩膜板8移动到框架1上方并施加拉伸力，CCD相机对位后检测像素位置精度，之后完成金属掩膜板8与框架1的焊接过程。该张网方法虽然简洁方便，应用在中小尺寸(10inch)的金属掩膜板8张网过程中也能得到较好的结果，但是在大尺寸(＞10inch)的金属掩膜板8张网过程中如果依然沿用传统的两边张网的方式，金属掩膜板8会由于受力不均易发生褶皱风险，且在蒸镀过程中，由于金属掩膜板8只有两边受力，当有机材料粘附在金属掩膜板8上时，金属掩膜板8也会因为重力过大而发生下垂导致蒸镀的精度发生变化，阴影效应和混色风险都会逐渐增加，严重影响蒸镀质量。
针对目前掩膜板所存在的大尺寸显示面板蒸镀中两边张网的金属掩膜板下垂量大，且金属掩膜板在张网过程中更容易发生褶皱的问题，本发明实施例提供一种掩膜板，如图2所示，包括框架1和掩膜网2，框架1包括边框11和连接边框11的至少一个支架12，支架12将边框11围设形成的区域分隔为至少两个张网区；掩膜网2包括至少两个，各掩膜网2分别对应张网于各张网区，且掩膜网2的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架1固定连接。
其中，掩膜网2为金属掩膜网。
通过支架12将边框11围设形成的区域分隔为至少两个张网区，相对于目前只设置有外围边框框架的掩膜板，能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网2在张网过程中发生褶皱的风险，且通过使掩膜网2的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架1固定连接，能够实现掩膜网2的四边张网，相对于目前掩膜板只能两边张网的情况，四边张网能够大大改善掩膜网2由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度，从而改善阴影效应和混色风险，提高采用该掩膜板的蒸镀质量。
可选地，支架12包括两个以上，支架12为条状，支架12沿第一方向L平行等间隔排布，以将边框11围设形成的区域分隔为多个面积相等的张网区。
需要说明的是，掩膜板对应蒸镀的待镀基板的面积越大，则支架12的设置数量可以越多，以减小掩膜网2在张网过程中发生褶皱的风险和在重力作用下发生下垂的风险，从而提升掩膜板的蒸镀精度。
本实施例中，支架12为两个，两个支架12将边框11围设形成的区域分隔为三个面积相等的张网区。
优选的，本实施例中，张网区与支架12的沿第一方向L的宽度相等。如此设置，以便能在采用该掩膜板进行蒸镀时，通过对待镀基板或掩膜板进行水平移动或者旋转移动，即可实现对待镀基板整个待镀面积的蒸镀。
进一步优选的，本实施例中，边框11围设形成的区域形状包括矩形，第一方向L为矩形一边的延伸方向，支架12的长度方向垂直于第一方向L；张网区的形状和大小与支架12的位于边框11围设形成的区域内的部分的形状和大小相同。如此设置，以便能在采用该掩膜板进行蒸镀时，通过对待镀基板或掩膜板进行水平移动或者旋转移动，即可实现对待镀基板整个待镀面积的蒸镀。同时，如此设置，还能减小掩膜网2在张网过程中发生褶皱的风险和在重力作用下发生下垂的风险，从而提升掩膜板的蒸镀精度。
本实施例中，掩膜网2的四周各边缘上均分别设置有一个第一对位标记3，围设形成张网区的框架1的各边上均分别设置有一个第二对位标记4；第一对位标记3和第二对位标记4位置相对应且重合。第一对位标记3和第二对位标记4的设置，能够在掩膜网2张网至张网区时进行掩膜网2与框架1的张网对位，还能在采用掩膜板进行蒸镀时进行掩膜板与待镀基板之间的对位，从而不仅提升张网精度，而且提升蒸镀精度。
本实施例中所提供的掩膜板，通过支架将边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区，相对于目前只设置有外围边框框架的掩膜板，能够使掩膜板张网区域的面积缩小，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险，且通过使掩膜网的四周边缘均分别与围设形成张网区的框架固定连接，能够实现掩膜网的四边张网，相对于目前掩膜板只能两边张网的情况，四边张网能够大大改善掩膜网由于重力过大而发生下垂的现象，提升采用该掩膜板的蒸镀精度，从而改善阴影效应和混色风险，提高采用该掩膜板的蒸镀质量。
基于掩膜板的上述结构，本实施例还提供一种该掩膜板的制备方法，包括：张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区；将掩膜网的四周边缘分别与围设形成张网区的框架固定连接。
其中，在将掩膜网张网于张网区的过程中，将设置于掩膜网上的第一对位标记与设置于框架上的第二对位标记进行对位，然后进行掩膜网与框架的固定连接，确保了掩膜板的张网精度。
该掩膜板的制备方法，通过张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区，实现了掩膜网的四边张网，同时还缩小了掩膜板张网区域的面积，从而减小了掩膜网在张网过程中发生褶皱的风险和在重力作用下发生下垂的风险，提升了张网精度和张网质量。
基于掩膜板的上述结构，本实施例还提供一种采用该掩膜板的蒸镀方法，包括：步骤S1：将掩膜板与待镀基板进行对位，对位完成后进行一次蒸镀，完成待镀基板上部分区域的蒸镀。
步骤S2：对待镀基板或者掩膜板进行位置移动，将掩膜板与待镀基板进行再次对位，对位完成后进行再次蒸镀，循环执行该步骤直至完成待镀基板的蒸镀。
本实施例中，如图3所示，采用上述结构掩膜板的蒸镀方法包括：一次蒸镀完成后，掩膜板5保持不动，将待镀基板6沿第一方向L平移一个掩膜网2的宽度，使掩膜板5上掩膜网2与待镀基板6上的未蒸镀区域7相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成待镀基板6的蒸镀。即采用上述结构的掩膜板5，通过两次蒸镀即可实现待镀基板6整个待镀面积的蒸镀。
需要说明的是，采用上述结构掩膜板的蒸镀方法也可以为：如图4所示，一次蒸镀完成后，掩膜板5保持不动，将待镀基板6绕其中心旋转180°，使掩膜板5上掩膜网2与待镀基板6上的未蒸镀区域7相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成待镀基板6的蒸镀。如此蒸镀，通过两次蒸镀也可实现待镀基板6整个待镀面积的蒸镀。
可选地，采用上述结构掩膜板的蒸镀方法也可以为：如图5所示，一次蒸镀完成后，待镀基板6保持不动，将掩膜板5绕其中心旋转180°，使掩膜板5上掩膜网2与待镀基板6上的未蒸镀区域7相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成待镀基板6的蒸镀。如此蒸镀，通过两次蒸镀也可实现待镀基板6整个待镀面积的蒸镀。
该采用上述结构掩膜板的蒸镀方法，通过采用上述掩膜板，能够提升蒸镀精度和蒸镀质量，且上述蒸镀方法，通过使待镀基板或者掩膜板进行简单的位置移动，即可实现待镀基板整个待镀面积的蒸镀，提高了蒸镀效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种掩膜板，包括框架和掩膜网，其特征在于，所述框架包括边框和连接所述边框的至少一个支架，所述支架将所述边框围设形成的区域分隔为至少两个张网区；所述掩膜网包括至少两个，各所述掩膜网分别对应张网于各所述张网区，且所述掩膜网的四周边缘均分别与围设形成所述张网区的所述框架固定连接。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述支架包括两个以上，所述支架为条状，所述支架沿第一方向平行等间隔排布，以将所述边框围设形成的区域分隔为多个面积相等的所述张网区。
3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述张网区与所述支架的沿所述第一方向的宽度相等。
4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述边框围设形成的区域形状包括矩形，所述第一方向为所述矩形一边的延伸方向，所述支架的长度方向垂直于所述第一方向；
所述张网区的形状和大小与所述支架的位于所述边框围设形成的区域内的部分的形状和大小相同。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜网的四周各边缘上均分别设置有一个第一对位标记，围设形成所述张网区的所述框架的各边上均分别设置有一个第二对位标记；
所述第一对位标记和所述第二对位标记位置相对应且重合。
6.一种如权利要求1-5任意一项所述的掩膜板的制备方法，其特征在于，包括：张网夹具分别夹持各掩膜网的四周边缘，将其张网于各张网区；
将所述掩膜网的四周边缘分别与围设形成所述张网区的框架固定连接。
7.一种采用如权利要求1-5任意一项所述的掩膜板的蒸镀方法，其特征在于，包括：将所述掩膜板与待镀基板进行对位，对位完成后进行一次蒸镀，完成所述待镀基板上部分区域的蒸镀；
对所述待镀基板或者所述掩膜板进行位置移动，将所述掩膜板与待镀基板进行再次对位，对位完成后进行再次蒸镀，循环执行该步骤直至完成所述待镀基板的蒸镀。
8.根据权利要求7所述的掩膜板的蒸镀方法，其特征在于，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述掩膜板保持不动，将所述待镀基板沿第一方向平移一个掩膜网的宽度，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
9.根据权利要求7所述的掩膜板的蒸镀方法，其特征在于，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述掩膜板保持不动，将所述待镀基板绕其中心旋转180°，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
10.根据权利要求7所述的掩膜板的蒸镀方法，其特征在于，所述掩膜板为权利要求4所述的掩膜板，所述蒸镀方法包括：所述一次蒸镀完成后，所述待镀基板保持不动，将所述掩膜板绕其中心旋转180°，使所述掩膜板上所述掩膜网与所述待镀基板上的未蒸镀区域相对应并对位，然后进行再次蒸镀，完成所述待镀基板的蒸镀。
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