CN111386481B - 干涉滤光器模块 - Google Patents

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Abstract

本发明的干涉滤光器模块(1)具备：一对光纤准直器(3a、3b)，它们对置配置在光轴(60)上；偶数个干涉滤光片(5a、5b)；以及壳体(2)，其包含筒状的主体部(21)和保持干涉滤光片而安装在主体部上的滤光片保持部(4a、4b)，关于干涉滤光片，将由从前端起配置在第k个的干涉滤光片和从后端起配置在第k个的干涉滤光片构成的两个干涉滤光片作为第k组，第k组的两个干涉滤光片收纳在从前后两端起处于第k个的两个滤光片保持部中，从前后两端起处于第k个的两个滤光片保持部构成为在与前后方向正交的方向上具有转轴(46a、46b)而在已安装在壳体上的状态下能够转动，而且彼此的所述转轴正交。

Description

干涉滤光器模块
技术领域
本发明涉及在对置的光纤准直器之间配置干涉滤光片而使规定波段的光选择性地透过的干涉滤光器模块。
背景技术
作为光学元件的干涉滤光片具有在玻璃等基板上层叠有由介电体等构成的薄膜的结构，使特定波段的光透过并反射其他波段的光。并且，干涉滤光器模块的构成基本上是在对置的1对光纤准直器之间所形成的光轴上配置干涉滤光片。通常，干涉滤光器模块具有如下结构：在中空筒状的壳体内以对准了位置的状态保持有干涉滤光片，在该壳体的两端分别连接有光纤准直器。这种干涉滤光器模块例如介存于光通信网中的成为光信号传送路径的光纤的延长路途上，用于对已变差的信号波形进行整形或者去除噪声光。
另外，在准直器之间配置一个干涉滤光片的基本的干涉滤光器模块无法使目标波段的波长更高效地透过。因此，有时会串列配置多个干涉滤光片来提高使目标波段的波长选择性地透过的特性(以下也称为波长选择特性)。此外，在干涉滤光器模块中会使干涉滤光片的光入射面相对于光轴而倾斜。由此，防止了在去往一方向的光从一个光纤入射到干涉滤光片时一部分光发生正反射而再次入射至该光纤的所谓的“回光”。但是，若使干涉滤光片的光入射面相对于光轴而倾斜，则在相互正交的方向上振动的P波与S波的光强度会产生差异。即，插入损耗产生偏振依赖性。此外，会产生偏振模色散，即P波与S波的传播速度产生差异。于是，在为了提高波长选择特性而使用了两个干涉滤光片的干涉滤光器模块中，偏振依赖性和偏振模色散造成的影响会更大。因此，以下的专利文献1记载了一种干涉滤光器模块，其中，以光入射面相互正交而且相对于光轴而倾斜的方式配置两个干涉滤光片，借助第二个干涉滤光片来改换透过了第一个干涉滤光片后的P波与S波的关系，由此，一方面提高了波长选择特性，另一方面降低了偏振依赖性和偏振模色散。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开平9-178970号公报
发明内容
发明要解决的问题
上述专利文献1记载的干涉滤光器模块中，一方面使两个干涉滤光片串列配置，另一方面使光入射面相对于光轴的倾斜方向在两个干涉滤光片之间正交。并且，一个干涉滤光片根据壳体的内部形状以光入射面相对于光轴呈规定倾斜角(以下也称为光入射角)的方式加以保持，另一个干涉滤光片支承在旋动自如地安装于壳体上的圆筒状的支架上。
另外，干涉滤光片的波长选择特性会受到干涉膜的膜厚和光入射面相对于光轴的倾斜角的影响。但是，在上述专利文献1记载的发明中，由于一个干涉滤光片的光入射角是固定的，因此，当干涉滤光片的干涉膜存在误差时，便得不到想要的波长选择特性。换句话说，干涉滤光片需要极高精度的膜厚控制。当然，壳体侧也需要以高精度达到规定的光入射角的方式保持干涉滤光片的结构。因而，以往的干涉滤光器模块存在干涉滤光片和壳体的制造成本增加、难以廉价地提供这一问题。
因此，本发明的目的在于更廉价地提供偏振依赖性和偏振模色散少、波长选择特性也优异的干涉滤光器模块。
解决问题的技术手段
为了达成上述目的的本发明为一种干涉滤光器模块，具备：第1光纤准直器及第2光纤准直器，它们以前后方向为光轴方向，在壳体的前后两端相互对置且配置在光轴上；以及2n个干涉滤光片，n设为自然数，所述2n个干涉滤光片配置在所述壳体内而且配置在光轴上，
所述壳体是包含主体部和2n个滤光片保持部而构成，所述主体部为筒状，所述2n个滤光片保持部各自保持一个所述干涉滤光片而安装在所述主体部上，
所述干涉滤光片是在基板上层叠干涉膜而成，
k设为n以下的自然数，将由从所述壳体的前端往后端配置在第k个的干涉滤光片和从所述壳体的后端往前端配置在第k个的干涉滤光片构成的两个干涉滤光片设为所述2n个干涉滤光片中的第k组，
所述第k组的两个所述干涉滤光片收纳在从所述壳体的前后两端起处于第k个的两个滤光片保持部中，
从所述壳体的前后两端起处于第k个的所述两个滤光片保持部在与前后方向正交的方向上具有转轴而可转动地保持在所述壳体上，而且相互的所述转轴正交。
也可以设为所述第k组的两个所述干涉滤光片各自的干涉膜的膜面相互对置的干涉滤光器模块。并且，优选设为如下干涉滤光器模块：具备两个所述干涉滤光片，且配置成这两个干涉滤光片各自的所述膜面相对于前后对置的所述第1光纤准直器与所述第2光纤准直器之间所形成的光路上的光束腰位置而言距离相等。进而，更优选设为如下干涉滤光器模块：所述两个干涉滤光片配置成以互不接触的方式使各自的膜面最大程度接近所述光束腰位置。
发明的效果
本发明的干涉滤光器模块的偏振依赖性和偏振模色散少、波长选择特性优异，而且能够廉价地提供。
附图说明
图1为表示本发明的第1实施例的波长选择滤光器的结构的立体图。
图2为表示上述第1实施例的波长选择滤光器的内部结构的截面图。
图3为表示上述第1实施例的波长选择滤光器的偏振依赖性的图表。
图4为表示上述第1实施例的波长选择滤光器的偏振模色散的图表。
图5为表示光纤准直器的光学特性的图。
图6为表示干涉滤光片中的波长选择特性的发散角依赖性的图表。
图7为用于说明干涉滤光器模块中干涉滤光片的结构和光纤准直器的光学特性所引起的问题的图。
图8为表示本发明的第2实施例的干涉滤光器模块的概略结构的图。
图9为表示上述第2实施例的干涉滤光器模块中干涉滤光片的膜面的位置对准方法的例子的截面图。
具体实施方式
下面，一边参考附图，一边对本发明的实施例进行说明。再者，在以下的说明所使用的附图中，有时会对相同或类似部分标注同一符号并省略重复的说明。某一附图中标注有符号的部分若在其他附图中不需要，则有时也不对该部分标注符号。
＝＝＝第1实施例＝＝＝
本发明的实施例的干涉滤光器模块是在对置的光纤准直器之间、在光轴上串列配置偶数个干涉滤光片而成，进而，各干涉滤光片的光入射出射面的法线方向相对于光轴而倾斜。更具体而言，将光轴方向设为前后方向，而且将n设为自然数而配备2n个干涉滤光片，将从最前方的第1个干涉滤光片往后方第k(k为自然数，k≤n)个干涉滤光片和从最后方的第1个干涉滤光片往前方第k个干涉滤光片作为1组，各组的干涉滤光片的光入射面与前后方向正交，而且各干涉滤光片以可以绕相互正交的轴转动的方式加以保持。下面，列举配备2个干涉滤光片而且具备各实施例共通的基本构成的最简单的干涉滤光器模块作为第1实施例。
图1为表示第1实施例的干涉滤光器模块1的图。图1的(A)为干涉滤光器模块1的分解立体图，图1的(B)为表示组装好的状态的干涉滤光器模块1的立体图。如图1的(A)所示，第1实施例的干涉滤光器模块1由壳体2、两个干涉滤光片(5a、5b)以及两个光纤准直器(3a、3b)构成。壳体2由圆筒状的壳体主体部(以下也称为主体部21)和安装在该主体部21上的两个滤光片保持部(4a、4b)构成。并且，在圆筒状的主体部21的两端(22a、22b)以相互对置的方式分别连接有光纤准直器(3a、3b)。各滤光片保持部(4a、4b)中分别保持一个干涉滤光片(5a、5b)。此处，为方便起见，将圆筒状的主体部21的圆筒轴6方向设为前后方向。于是，以与前后方向平行的方式取z轴而设定xyz三维正交坐标系，而且将x轴方向设为左右方向、将y轴方向设为上下方向。此外，将图1的(A)设为从右上前方观察时的立体图，像图中所示那样规定左右、上下及前后各方向。
接着，一边参考图1的(A)，一边对第1实施例的干涉滤光器模块1的构成进行具体说明。首先，两个滤光片保持部(4a、4b)当中，前方的滤光片保持部4a的构成是用于使干涉滤光片5a可以绕y轴转动并将其固定在主体部21中，后方的滤光片保持部4b的构成是用于使干涉滤光片5b可以绕x轴转动并将其固定在主体部21中。此外，各滤光片保持部(4a、4b)呈如下形状：在圆筒状的躯干部41的端面形成有相较于该躯干部41而言扩径得到的圆板状的头部44。
为了在圆筒状的躯干部41的侧面收纳干涉滤光片(5a、5b)，形成有在与该躯干部41的圆筒轴(46a、46b)正交的方向上贯通的孔(以下也称为滤光片收纳部42)。在该例中，滤光片收纳部42的开口43配合长方体状或矩形平板状的干涉滤光片(5a、5b)的形状而呈矩形状。干涉滤光片(5a、5b)以自身的光入射出射面(51、52)从该滤光片收纳部42的矩形开口43露出的方式插入在该滤光片收纳部42中。
主体部21为中空圆筒状，在前后两端面(22a、22b)具有圆形截面，沿与圆筒轴6一致的方向形成有在前后方向上贯通的孔(以下也称为横孔23)。并且，在主体部21的前后两端面(22a、22b)通过焊接等方法、以相互的光轴60成同轴的方式连接有光纤准直器(3a、3b)。由此，在横孔23内形成沿着光轴60的光路。再者，以下是以主体部21的圆筒轴6与光轴60成同轴的形式来继续说明。
主体部21上形成有以上下方向及左右方向为深度方向开设的两个圆形的孔(以下也称为纵孔(24a、24b))，前文的前后方向的横孔23开设在纵孔(24a、24b)的内面。再者，在此处所示的例子中，纵孔(24a、24b)是有底，但也可为通孔。并且，滤光片保持部(4a、4b)的躯干部41插入在这些纵孔(24a、24b)内。当将各滤光片保持部(4a、4b)的躯干部41插入至纵孔(24a、24b)时，躯干部41的侧面可滑动地接触纵孔(24a、24b)的内面。由此，可以使滤光片保持部(4a、4b)绕轴(46a、46b)顺畅地转动。此外，在该第1实施例的干涉滤光器模块1中，切出有以纵孔(24a、24b)的形成位置为中心的前后的区域25，在该切出的区域25内形成有平坦面26。平坦面26的法线方向与该平坦面26上开设的纵孔(24a、24b)的轴也就是滤光片保持部(4a、4b)的躯干部41的圆筒轴(46a、46b)的方向一致。由此，当滤光片保持部(4a、4b)的躯干部41插入至纵孔(24a、24b)时，如图1的(B)所示，滤光片保持部(4a、4b)的头部44上躯干部41侧那一面(以下称为背面)抵接至主体部21的平坦面26，滤光片保持部(4a、4b)得以无间隙地安装在主体部21上。
再者，滤光片保持部(4a、4b)上，在头部44的表面侧形成有槽45作为用于转动躯干部41的结构。当在滤光片保持部(4a、4b)已安装在主体部21上的状态下将一字螺丝刀等工具抵接至该槽45而使该头部44绕躯干部41的圆筒轴(46a、46b)转动时，能使躯干部41上安装的干涉滤光片(5a、5b)的光入射出射面(51、52)相对于光轴60以任意角度倾斜。再者，在以这种状态固定干涉滤光片(5a、5b)的情况下，通过激光焊接等方法将滤光片保持部(4a、4b)的头部44固定在主体部21的平坦面26上即可。再者，在第1实施例的干涉滤光器模块1中，用于可变调整干涉滤光片(4a、4b)相对于光轴60的倾斜的机构和滤光片保持部(4a、4b)对干涉滤光片(5a、5b)的保持结构不限定于图1所示的构成和结构。
图2为表示组装好的状态的第1实施例的干涉滤光器模块1的内部结构的概略图。图2的(A)为表示包含光轴60的zx面的纵截面图，图2的(B)为表示包含光轴60的yz面的纵截面图。如图2所示，光纤准直器(3a、3b)具有在中空圆筒状的套筒32内同轴保持有套箍33和准直透镜(34a、34b)的结构，所述套箍33保持有光纤(31a、31b)，光纤(31a、31b)在壳体2侧具有开口端(35a、35b)。此处，在前方的光纤31a中传播而来的光信号以从该光纤31a的开口端35a去往后方的光束的形式出射，该光束入射至后方的光纤31b的开口端35b。于是，以下将前方的光纤准直器3a和构成该光纤准直器3a的光纤31a及准直透镜34a分别称为输入侧准直器3a、输入侧光纤31a及输入侧透镜34a。后方的光纤准直器3b、光纤31b及准直透镜34b则分别称为输出侧准直器3b、输出侧光纤31b及输出侧透镜34b。并且，将连结输入输出侧的光纤(31a、31b)的开口端彼此(35a-35b)的直线作为光轴60。
组装好的状态的第1实施例的干涉滤光器模块1使前后的滤光片保持部(4a、4b)各自的滤光片收纳部42的开口43与纵孔(24a、24b)内的横孔23的开口面对面，由此，使得沿光轴60从前方向后方行进的光束透过干涉滤光片(5a、5b)。此外，当使滤光片保持部(4a、4b)上插入在纵孔(24a、24b)内的躯干部41绕圆筒轴(46a、46b)转动时，干涉滤光片(5a、5b)的光入射出射面(51、52)相对于光轴60而倾斜。再者，此处将光入射出射面(51、52)的法线53与光轴60所成的角设为入射角度(θ1、θ2)。
接着，对第1实施例的干涉滤光器模块1的偏振依赖性和偏振模色散进行了调查。将该偏振依赖性及偏振模色散制成图表展示在图3及图4中。再者，图3的(A)和图4的(A)展示的是使用一个干涉滤光片的干涉滤光器模块(以下也称为比较例)相关的偏振依赖性和偏振模色散，在展示这些比较例的特性的图表中，是以干涉滤光片的光入射面的法线方向与光轴的交叉角度(以下也称为入射角度θ)为参数。此外，图3的(B)和图4的(B)展示的是第1实施例的偏振依赖性和偏振模色散，在这些第1实施例的偏振依赖性和偏振模色散的特性图表中，是以图2所示的入射角(θ1、θ2)为参数。并且，比较例及第1实施例的干涉滤光器模块1所使用的干涉滤光片是在1.4mm的石英基板上依序层叠33μm厚度的SiO2和19μm厚度的Ta2O5作为干涉膜得到的。下面，根据图2～图4，对第1实施例的干涉滤光器模块1的偏振依赖性和偏振模色散的特性进行说明。
如图3的(A)及图4的(A)所示，在比较例中得知，在将入射角度θ设为2.5°、2.7°及3.0°时，θ越大，偏振依赖性以及偏振模的特性越是变差。另一方面，在第1实施例的干涉滤光器模块1中，如图3的(B)及图4的(B)所示，即便在将后方的干涉滤光片5b的入射角θ2设为与比较例中偏振依赖性及偏振模色散的特性大幅变差时的入射角θ相同的3.0°的情况下，也可以通过使前方的干涉滤光片5a的入射角θ1接近3.0°而相对于比较例而言提高偏振依赖性和偏振模色散的特性。当然，若两个干涉滤光片(5a、5b)的入射角度(θ1、θ2)相同(θ1＝θ2)，则特性会进一步提高，这是显而易见的。再者，在图3的(B)、图4的(B)所示的第1实施例的干涉滤光器模块1的特性的图表中，纵轴的正负符号与比较例中的不一样。其原因在于，在光束从前方向后方依序透过前方和后方的干涉滤光片(5a、5b)时，后方的干涉滤光片5b的入射角θ2比前方的干涉滤光片5a的入射角θ1大(θ1＜θ2)，所以P波和S波的每一波长的透光强度和延迟的大小相对于比较例而言发生颠倒。总之，在第1实施例的干涉滤光器模块1中，由于可以自如调整两个干涉滤光片(5a、5b)的入射角(θ1、θ2)，因此壳体2侧不需要用于高精度地固定一个干涉滤光片(5a或5b)的结构。此外，如图3的(B)和图4的(B)所示，即便双方的入射角度(θ2、θ1)不完全一致，也会获得优异的偏振依赖性和偏振模色散特性，因此，在两个干涉滤光片(5b、5a)中干涉膜的厚度存在偏差的情况下，可以通过任意调整双方的入射角度(θ2、θ1)来获得想要的波长选择特性。
＝＝＝第2实施例＝＝＝
在第1实施例中，可以任意设定两个干涉滤光片的入射角，从而无须严格控制干涉滤光片中的干涉膜的厚度或者以极高加工精度来制造壳体。因此，能够廉价地提供具备优异的偏振依赖特性和偏振模色散特性的干涉滤光器模块。但是，使用多个干涉滤光片的本来目的是提高波长选择特性。因而，在干涉滤光器模块中也需要在更高维度上达成该本来目的。但我们已知道，包括第1实施例在内的使用多个干涉滤光片的干涉滤光器模块存在如下问题，即，由于光纤准直器的光学特性和干涉滤光片的结构的原因而难以获得更高的波长选择特性。
首先，对光纤准直器的光学特性所引起的波长选择特性的极限进行说明。图5为表示光纤准直器的光学特性的图，图6为表示该光纤准直器的光学特性与干涉滤光片的波长选择特性的关系的图表。如图5所示，从输入侧光纤31a的开口端35a出射的光束B1以规定的开口角φ向后方出射，经输入侧透镜34a整形为平行光B2而去往后方。平行光B2的光束点径从输入侧透镜34a的主面位置P1上的最大径ω1起逐渐缩径而在光束腰位置BW达到最小值ω2，其后逐渐扩径而到达输出侧准直器3b。于是，入射到输出侧透镜34b的平行光B2以会聚光B3的形式耦合至输出侧光纤31b的开口端35b。
另外，在第1实施例中，两个干涉滤光片配置在该光束点径逐渐变化的平行光B2的光路上的任一前后位置。因此，各干涉滤光片因自身所配置的前后位置而导致入射光的发散角不一样。例如，图5中，在准直透镜(34a、34b)的焦距f为1.8mm、输入输出侧各自的光纤准直器(31a、31b)中的准直透镜(34a、34b)的主面间(P1-P2)为距离L＝30mm光学系统中，与光束腰位置BW前后相距5mm的位置上的发散角为0.015°，相距10mm的位置上的发散角为0.03°。只须像这样使干涉滤光片前后挪动5mm，发散角便达到2倍。
图6针对一个干涉滤光片而展示了以发散角为参数时的波长选择特性。如该图6所示，得知干涉滤光片中，发散角越大，波长选择特性越是变差。该发散角与波长选择特性的关系通过干涉滤光片的结构显现出来。具体而言，为了获得更优异的波长选择特性，干涉滤光片较理想配置于发散角在理论上达到0°的光束腰位置的附近。但是，干涉滤光片是在基板上层叠有干涉膜的结构，相对于干涉膜而言基板的厚度是相当厚的。在第1实施例中，相对于1.4mm厚度的基板而言，干涉膜的厚度为52μm。并且，基板完全不干预波长选择特性。图7展示了这种干涉滤光片的结构和光纤准直器的光学特性所引起的波长选择特性变差的机理。此处，简略展示了第1实施例的干涉滤光器模块1的与yz面相对应的纵截面。此外，以夸张的方式展示了两个干涉滤光片(5a、5b)的由基板(54a、54b)和干涉膜(55a、55b)构成的层叠结构。如该图7所示，在使两个干涉滤光片(5a、5b)前后串列配置时，例如就前方的干涉滤光片5a而言，能使干涉膜55a的位置(以下也称为膜位置Pa)与发散角较小的光束腰位置BW大致一致，但后方的干涉滤光片5b中，膜位置Pb在隔开了前方的干涉滤光片5a的基板54a的厚度程度的位置的后方，导致光束B2在发散角较大的位置入射。即，因基板(54a、54b)的厚度而导致波长选择特性变差。当然也会考虑减薄基板，但制造薄基板需要高超的技术，会导致干涉滤光片的制造成本增加。进而，要确保基板的强度，就需要一定程度的厚度，因此，就现实性而言，与第1实施例一样需要1mm左右的厚度。并且，若将滤光片保持部的大小也考虑进去，则至少一个干涉滤光片的发散角会更大。
因此，列举即便不减薄基板也能抑制发散角所引起的波长选择特性变差的干涉滤光器模块作为第2实施例。图8为第2实施例的干涉滤光器模块100的概略图。此处也是利用不含壳体等的简化后的图来展示与yz面相对应的纵截面。如图8所示，在第2实施例的干涉滤光器模块100中，前后串列配置的两个干涉滤光片(5a、5b)当中，对于前方的干涉滤光片5a，使干涉膜55a朝向后方，对于后方的干涉滤光片5b，使干涉膜55b朝向前方。即，以相互的干涉膜(55a、55b)面对面的方式配置两个干涉滤光片(5a、5b)。由此，能使两个干涉滤光片(5a、5b)各自的膜位置(Pa、Pb)极为接近，从而能使光束以大致相同的发散角入射。
再者，第2实施例的干涉滤光器模块100中，只要在相对于光束腰位置BW而言前后距离相等的位置上配置各干涉滤光片(5a、5b)，发散角便会可靠地变得相同，从而能使波长选择特性对称。即，能够可靠地使目标波段的波长精度极高地透过，比较理想。进而，只要使两个干涉滤光片(5a、5b)的膜位置(P1、P2)尽可能靠近光束腰位置BW，便能将影响波长选择特性的发散角限制在最小程度，更为理想。具体而言，一方面以光束腰位置BW为中心而以前后距离相等的方式使两个干涉滤光片(5a、5b)的干涉膜(55a、55b)面对面，另一方面以规定的入射角度(θ1、θ2)加以保持，这时，以相互的干涉膜(55a、55b)的膜面不接触的方式使两者靠近即可。
另外，由于干涉膜(55a、55b)极薄，因此，膜位置(Pa、Pb)在实质上成为膜面57的位置，但在第1实施例的干涉滤光器模块1中，若要将两个干涉滤光片(5a、5b)的干涉膜(55a、55b)配置在距光束腰位置BW相同的距离上，则需要考虑基板(54a、54b)的厚度来设定壳体2的主体部21中的滤光片保持部(4a、4b)的安装位置、干涉滤光片(5a、5b)相对于滤光片保持部(4a、4b)的相对位置。而且，干涉滤光片(5a、5b)的基板(54a、54b)有可能因研磨等后段工序而发生厚度的改变，导致难以高精度地调整两个干涉滤光片(5a、5b)的相对的配置。另一方面，在第2实施例的干涉滤光器模块100中，由于使两个干涉滤光片(5a、5b)的膜面57彼此面对面，因此可以在不考虑基板(54a、54b)的厚度的情况下配置两个干涉滤光片(5a、5b)。
再者，在像图1所示的第1实施例的干涉滤光器模块1那样在筒状的滤光片保持部(4a、4b)的躯干部41内收纳干涉滤光片(5a、5b)的情况下，对于滤光片保持部(4a、4b)而言，也要调整膜面57的相对位置。图9展示了膜面57相对于滤光片保持部(4a、4b)的相对位置的调整方法和调整结构。例如，图9的(A)是以与转轴(46a、46b)正交的面切割滤光片保持部(4a、4b)时的横截面图，如该图所示，使膜面57与滤光片收纳部42的开口43的端面47一致即可。此外，图9的(B)是以包含转轴(46a、46b)并将滤光片收纳部42的开口43二等分的方式切割滤光片保持部(4a、4b)时的纵截面图，如该图所示，将滤光片收纳部42设为有底并在其底部48形成用于使光路穿过的孔49即可。并且，只要使膜面抵接至该底部48的内面50，干涉滤光片(5a、5b)的膜面57便以规定的相对位置关系配置在滤光片收纳部42内。总之，考虑到相对于较薄的干涉膜(55a、55b)的基板(54a、54b)的厚度，使膜面彼此(57-57)面对面是能够减小选择波长的发散角依赖性的最有效的对策。
＝＝＝其他实施例＝＝＝
在上述第1实施例中使用了两个干涉滤光片，但如上所述，只要为偶数，则也可使用多个干涉滤光片，对于从前方数及从后方数序号相同的干涉滤光片，以可以绕与前后方向正交而且相互正交的两个轴中的一个轴和另一个轴转动的方式加以保持即可。当然，相互正交的轴也可不为x轴和y轴，对于从前方数及从后方数序号互不相同的1对干涉滤光片，其转轴的方向也可不同。例如，若是配备有4个干涉滤光片的干涉滤光器模块，则当前端侧和后端侧的两个干涉滤光片是以能绕x轴和y轴转动的方式加以保持时，对于处于内侧的两个干涉滤光片，只要能以可以绕与z轴正交而且相互正交的两个轴转动的方式加以保持，则其转轴的方向也可不在x轴和y轴的方向上。
符号说明
1、100 干涉滤光器模块
2 壳体
3a、3b 光纤准直器
4a、4b 滤光片保持部
5a、5b 干涉滤光片
21 壳体的主体部
23 纵孔
31a、31b 光纤
34a、34b 准直透镜
41 滤光片保持部的躯干部
42 滤光片收纳部
46a、46b 滤光片保持部的转轴
51、52 干涉滤光片的光入射出射面
54a、54b 干涉滤光片的基板
55a、55b 干涉膜
60 光轴。

Claims (2)

1.一种干涉滤光器模块，具备：第1光纤准直器及第2光纤准直器，它们以前后方向为光轴方向，在壳体的前后两端相互对置且配置在光轴上；以及2n个干涉滤光片，n设为自然数，所述2n个干涉滤光片配置在所述壳体内而且配置在光轴上，
该干涉滤光器模块的特征在于，
所述壳体是包含主体部和2n个滤光片保持部而构成，所述主体部为筒状，所述2n个滤光片保持部各自保持一个所述干涉滤光片而安装在所述主体部上，
所述干涉滤光片是在基板上层叠干涉膜而成，
k设为n以下的自然数，将由从所述壳体的前端往后端配置在第k个的干涉滤光片和从所述壳体的后端往前端配置在第k个的干涉滤光片构成的两个干涉滤光片设为所述2n个干涉滤光片中的第k组，
所述第k组的两个所述干涉滤光片收纳在从所述壳体的前后两端起处于第k个的两个滤光片保持部中，
所述第k组的两个所述干涉滤光片各自的干涉膜的膜面相互对置，且配置成这两个干涉滤光片各自的所述膜面相对于前后对置的所述第1光纤准直器与所述第2光纤准直器之间所形成的光路上的光束腰位置而言距离相等，
从所述壳体的前后两端起处于第k个的所述两个滤光片保持部在与前后方向正交的方向上具有转轴而可转动地保持在所述壳体上，而且相互的所述转轴正交。
2.根据权利要求1所述的干涉滤光器模块，其特征在于，
所述两个干涉滤光片配置成以互不接触的方式使各自的膜面最大程度接近所述光束腰位置。
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